JP5854931B2 - フィン嵌合状態検査装置 - Google Patents
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Description
放熱フィンと金属ベースを別体化することで、押出成形やダイキャスト成形で必要な金型強度の制約などが無く、狭いフィンピッチや長いフィン長を実現でき、半導体装置の設置面積の小型化や、高温に発熱するパワー素子の小型化による低コスト化に貢献している。
例えば、金属ベースに、フィン溝とプレス溝を交互に形成し、フィン溝に放熱フィンを挿入しておいて、上方からプレス刃をプレス溝に押圧し、プレス溝を拡幅させることで、1枚の放熱フィンを、両隣のプレス溝の縁と嵌合させる方法が提案されている。(例えば、特許文献1)
したがって製品の検査が不可欠である。
しかしながら、従来の嵌合状態の検査は、一般的に、人手(手感=官能検査)によって放熱フィンの緩み(ガタツキ)検査をおこなっており、定量的に嵌合状態を検査できる装置(手段)がなかった。
したがって、検査を行っても検査者の個人差、経時的感覚の変化等、検査の信頼性を低下させる要因が存在した。
このことは、特に検査対象となるワークの放熱フィンの嵌合状態が、良否判定の境界にある場合に、不良品を市場に出す危険性が高く、品質管理上の課題であった。
金属ベースに垂直に嵌合した放熱フィンを備えたヒートシンクの、放熱フィンの嵌合状態を検査するフィン嵌合状態検査装置において、
基礎となる第1プレートと、
第1プレートと平行に空間を介して支持され、第1プレート側に放熱フィンを向けて、ヒートシンクを位置決めする第2プレートと、
放熱フィンの最大面積の面に対して垂直に移動して、放熱フィンの金属ベース側とは反対側の端部を押圧可能な歪検知板を備えたものである。
基礎となる第1プレートと、
第1プレートと平行に空間を介して支持され、第1プレート側に放熱フィンを向けて、ヒートシンクを位置決めする第2プレートと、
放熱フィンの最大面積の面に対して垂直に移動して、放熱フィンの金属ベース側とは反対側の端部を押圧可能な歪検知板を備えたものなので、
歪検知板の移動量に対する歪ゲージの歪量を測定し、良品データと比較することで、定量的に放熱フィンの嵌合良否を判定できる。
以下、本願発明の実施の形態1に係るフィン嵌合状態検査装置100を、図を用いて説明する。
図1は、フィン嵌合状態検査装置100の断面模式図である。
図2は、このフィン嵌合状態検査装置100を用いて、放熱フィン92と金属ベース91の嵌合状態を検査するワークであるヒートシンク9の製造工程を示す図である。
図1、図2を使っての説明における上下関係は、図の上下関係と等しい。
図1を使っての説明における上下関係は、図の上下関係と等しい。
また、図1を正面として側面等の言葉を定義する。
まず、図2(a)に示すように、金属ベース91のフィン溝91aに放熱フィン92を挿入する。
次に、図2(b)、(c)に示すように、金属ベース91のフィン溝91aの隣に、これと平行に設けられたプレス溝91bの両側壁を、詳細を図示しない嵌合装置のプレス刃8を用いて両外側に押し広げる。
このように、放熱フィン92を金属ベース91に嵌合することによりヒートシンク9が製造される。
四角形の第1プレート1の四隅には、この第1プレート1から垂直にシャフト2を固定している。
第2プレート3は、これから嵌合状態を検査しようとするヒートシンク9を固定する台であり、シャフト2の上端部に第1プレート1と平行に固定されている。
そして、ヒートシンク9は、放熱フィン92が第1プレート1側に、垂直に突出するような体勢で、第2プレート3に載置される。
ヒートシンク9は、ヒートシンク保持部31に外周を保持されて、その上方からクランプシリンダ25によって押圧されることによって第2プレート3の所定の位置に位置決めされる。
複数の歪検知板4が、図示しないボルトナット等の締め付け手段により連結板26に固定されて一体化されている。
歪検知板4は、ヒートシンク9の放熱フィン92と、最大面同士が平行となるように配置されている。
一体化された歪検知板4は、第1プレート1上に設けたリニア駆動ロボット5に固定されている。
リニア駆動ロボット5(移動手段)は、図の右側方向にリニア駆動により移動できる。
第2プレート3の高さは、ヒートシンク9の放熱フィン92の下方の端部が、2枚の歪検知板4の上端部の間にこれらと平行に挟まれるような高さに設定する。
これにより、リニア駆動ロボット5が移動すると、歪検知板4の先端部42の側面が放熱フィン92の側面に、面同士で接触可能となる。
まず、第2プレート3にヒートシンク9を、放熱フィン92が下方を向くように位置決めセットする。
次に、クランプシリンダ25により、金属ベース91を第2プレート3に固定する。
クランプシリンダ25は、図示しない加圧機構を備え、金属ベース91を第2プレート3から動かないように保持する。
歪検知板4は、金属ベース91に嵌合された、それぞれの放熱フィン92の隙間にその先端が入るように配置されている。
放熱フィン92が平行に配列されており、その面と垂直な方向に歪検知板4を移動させる。
そうすると、いずれ歪検知板4の先端面が放熱フィン92に接触する。
接触後も、更に移動し続けると、歪検知板4は次第に弾性変形して湾曲する。
歪ゲージ41の貼り付け位置は、放熱フィン92に接触することがない位置で、かつ歪検知板4の撓みが不均一な根元や先端を除く箇所であれば、歪検知板4の撓み具合は、およそ一定の曲率の弧状になるため、当該弧状に撓む領域であれば良い。
図では、歪検知板4の中央としている。
このグラフでは、歪検知板4と放熱フィン92が最初に接触した時を移動量0として示している。
また歪検知板4の移動方向は、放熱フィン92の側面(面積が最大の面)に対して垂直な方向とすることが、歪検知板4と放熱フィン92の滑りによる捩れなどを防止でき測定の再現性や精度を向上できる。
すなわち、かしめの勘合部にガタツキがある場合、放熱フィン92はガタツキの範囲内でいわば嵌合部を中心として負荷なく回転運動をする。
そしてこの放熱フィン92の回転によりガタツキが収束したところから、嵌合が十分にされている放熱フィン92の場合と同様に、歪検知板4の移動量と歪検知板4の歪量とが直線的相関関係を示すこととなる。
また、この事象は放熱フィン92の僅かなガタツキに対しても現れることを確認している。
即ち、予め良品における歪検知板の移動量と歪量のデータを取得することによって、検査対象のヒートシンク9のデータとの差異を検出する事で、放熱フィン92毎の嵌合の良否判定が可能となる。
この場合、ハンドリングのミスなどによる放熱フィン92の先端と、歪検知板4の衝突を防止できるメリットもある。
同様に、2枚でもよく、例えば放熱フィン92と同じ枚数まで増やしても良い。
また、特に、対象ワークの放熱フィン92の嵌合状態が良否判定の境界にあるような僅かな嵌合不良でも、自動的に検査(検出)できるため不良品の市場流出を未然に防止できる。
更に、検査対象の放熱フィン92の枚数が増えた場合でも、歪検知板4の枚数を容易に増やすことができるので、多様な製品に対応できる。
また、本実施の形態では、歪検知板4をリニア駆動ロボット5で移動させたが、歪検知板4側を固定して、ヒートシンク9を移動させる構成としても良い。
以下、本願発明の実施の形態2に係るフィン嵌合状態検査装置200を、図を用いて説明する。
図4は、フィン嵌合状態検査装置200の断面模式図である
本実施の形態では、リニア駆動ロボット205による歪検知板4の駆動を図の矢印のように、実施の形態1とは逆方向にも可能とし、双方向に駆動可能としている。
なお、図4の符号で図1と同一のものは同一内容であり、その他のフィン嵌合状態検査装置200の動作についても実施の形態1と同様である。
したがって、歪検知板4の枚数削減が可能となり、検査装置のコスト低減やトラブルの低減、メンテナンス性を向上できる。
実施の形態1でも述べた、第2プレート3を上下に移動できる機構を更に備えれば、全放熱フィン92を半分の数の歪検知板4で一度に検査可能となる。
25 クランプシリンダ、26 連結板、3 第2プレート、
31 ヒートシンク保持部、4 歪検知板、41 歪ゲージ、42 先端部、
5,205 リニア駆動ロボット、8 プレス刃、9 ヒートシンク、
91 金属ベース、91a フィン溝、91b プレス溝、92 放熱フィン。
Claims (6)
- 金属ベースに垂直に嵌合した放熱フィンを備えたヒートシンクの、前記放熱フィンの嵌合状態を検査するフィン嵌合状態検査装置において、
基礎となる第1プレートと、
前記第1プレートと平行に空間を介して支持され、前記第1プレート側に前記放熱フィンを向けて、前記ヒートシンクを位置決めする第2プレートと、
前記放熱フィンの最大面積の面に対して垂直に移動して、前記放熱フィンの前記金属ベース側とは反対側の端部を押圧可能な歪検知板を備えたフィン嵌合状態検査装置。 - 前記歪検知板は、前記歪検知板自体の歪量を検出する歪ゲージを備えた請求項1に記載のフィン嵌合状態検査装置。
- 前記歪検知板は、前記放熱フィンの最大面積の面に対して平行に配置した請求項1又は請求項2に記載のフィン嵌合状態検査装置。
- 正常な嵌合状態の前記ヒートシンクを測定したときの、前記歪検知板の移動量と、歪量の関係を保持して、検査対象である前記ヒートシンクの嵌合状態の良否を判定する判定部を有する請求項2に記載のフィン嵌合状態検査装置。
- 前記第1プレートと前記第2プレートの間隔を伸縮する伸縮手段を備えた請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のフィン嵌合状態検査装置。
- 前記歪検知板は、前記放熱フィンの最大面積の面に対して垂直に、双方向に移動可能な移動手段を備えた請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のフィン嵌合状態検査装置。
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