JP5840518B2 - 表面改質処理装置 - Google Patents

表面改質処理装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5840518B2
JP5840518B2 JP2012023087A JP2012023087A JP5840518B2 JP 5840518 B2 JP5840518 B2 JP 5840518B2 JP 2012023087 A JP2012023087 A JP 2012023087A JP 2012023087 A JP2012023087 A JP 2012023087A JP 5840518 B2 JP5840518 B2 JP 5840518B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hose
burner
case
cylinder
surface modification
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012023087A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013159712A (ja
Inventor
武史 近藤
武史 近藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TIME AUTO MACHINE CO., LTD.
Original Assignee
TIME AUTO MACHINE CO., LTD.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TIME AUTO MACHINE CO., LTD. filed Critical TIME AUTO MACHINE CO., LTD.
Priority to JP2012023087A priority Critical patent/JP5840518B2/ja
Publication of JP2013159712A publication Critical patent/JP2013159712A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5840518B2 publication Critical patent/JP5840518B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)

Description

本発明は、表面改質処理装置に関する。
シリコンゴムやポリエチレン樹脂等の高分子、金属、セラミック等を材料とする固体物質の表面は、他の部材の接着、塗料の塗装、印刷などの表面処理が困難な場合がある。そこで、従来から、固体物質の表面を改質して、接着、塗装、印刷などの表面処理を容易なものとする表面改質処理装置が検討されている。
このような表面改質処理装置としては、改質化合物を気化させて、空気などの引火性ガスや助燃ガスと混合してなる混合ガスをバーナーで燃焼させて固体物質の表面に噴射することにより表面処理が行われるものが知られている(例えば特許文献1を参照)。
上記のようなタイプの表面改質処理装置では、改質化合物を貯蔵する貯蔵タンク、引火性ガスを貯蔵する貯蔵タンク、気体状態の改質化合物と引火性ガスなどとを混合する混合室、および混合室で混合された燃料ガスを噴射する噴射部(バーナー)とが必要である。そのため、このようなタイプの表面改質処理装置としては、装置全体として大型の据え置き型のものが多い。表面改質処理装置を据え置き型とすると、設置スペースが必要であるとともに、装置が設置されている場所でしか表面改質処理を行うことができないという問題がある(特許文献1の図1を参照)。
特開2003−238710号公報
特許文献1には、カートリッジ式の貯蔵タンクを用いた携帯型の表面改質処理装置も提案されている。貯蔵タンクとしてカートリッジ式のものを用いることにより装置の小型化が可能である(特許文献1の図3を参照)。
しかしながら、特許文献1に記載の携帯型の表面改質処理装置においては、燃料ガスとして、沸点27℃のテトラメチルシランと、沸点122℃のテトラメトキシシランと圧縮空気と、を充填したカートリッジ入りの混合ガスを用いている(特許文献1の段落[0060]を参照)。沸点が相違する二種の化合物と圧縮空気(気体)とを1つのカートリッジ(貯蔵タンク)に収容すると、気化した化合物(テトラメチルシランおよびテトラメトキシシラン)と圧縮空気とが均一に混合されない状態で容器から噴射されることが懸念される。このように、改質化合物と引火性ガスとが不均一な混合状態で噴射されると、燃焼効率が悪化して、固体物質の表面の改質が不均一になるという問題がある。
さらに、上記のような携帯型の表面改質処理装置を用いる場合であっても、固体物質の表面に改質化合物を含むガスを吹き付ける作業は、カートリッジ等を収容するケースの外側で行われる。そのため、携帯型の装置においても、カートリッジに収容されている改質化合物をバーナーに移送するためのホースはケースの外側に配置される(特許文献1の図3を参照)。
一部の部品がケースの外側に配置される装置を用いる場合、装置を運搬する際に、ケースの外側に配置される部品が、他の物品等と接触したり、衝撃を受ける等により破損することが懸念される。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、装置を小型化するとともに、改質剤化合物と燃料ガスとを均一に混合した状態で燃焼させた火炎を噴射可能で、かつ部材の破損を防止した表面改質処理装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するものとして本発明は、金属原子、半金属原子または非金属原子と、有機基と、を有する改質化合物を燃料ガスと共にバーナーにて燃焼させ、その火炎を固体物質の表面に吹き付けて前記固体物質の表面の改質を行うものにおいて、前記燃料ガスを液化した液化燃料と液状の前記改質化合物とを混合状態でボンベに収容し、そのボンベ中の一部の混合液体を気化器に通すことで前記改質化合物及び前記液化燃料を気化させて前記バーナーに供給するようにし、前記ボンベおよび前記気化器を内部に保持するとともに、前記気化器を通すことで得られる生成物を前記バーナーに供給するホースを、外側から着脱可能なホース着脱部が設けられているケースを備える表面改質処理装置である。
本発明において、液状の改質化合物と燃料ガスを液化した液化燃料とは、混合状態でボンベに収容されている。つまり、本発明においては、改質化合物および燃料ガスはともに液状なので、所定の混合比で均一に混合された状態でボンベから噴出させることができる。ボンベから噴出される改質化合物および燃料ガスは、気体状態あるいは液体状態である。液体状態の改質化合物および燃料ガス(混合液体)は気体状態のものとともに、ボンベから噴出された後、気化器に通される。気化器において混合液体は均一な混合状態のまま気化されて、気体状態で噴出されたものとともにバーナーに供給される。その結果、本発明によれば、改質化合物と燃料ガスとを所定の混合比で均一に混合した状態で燃焼させた火炎を固体物質に噴射することができるので、固体物質の表面を均一に改質することができる。
また、本発明では、改質化合物と燃料ガスとが均一に混合されて1つのボンベに収容されているので、改質化合物や燃料ガスを別々に貯蔵した構成のものと比較してボンベの数を少なくすることができ、ボンベから噴出する噴出物の量の制御を行う装置も1つで済むので部品点数を減らすとともに装置の小型化を図ることができる。
さらに、本発明では、ボンベおよび気化器を内部に保持するとともに、気化器を通すことで得られる生成物(ボンベから気体状態で噴出されたものを含む)をバーナーに供給するホースを、外側から着脱可能なホース着脱部が設けられているケースを備える。つまり、本発明では、表面改質処理を行うときに、ケース内にボンベおよび気化器を保持させた状態で、ケースのホース着脱部にホースを装着すればよく、表面改質処理を行わないときには、ケースのホース着脱部からホースを取りはずして、ケース内に収容したり別途梱包することもできるので、運搬の際に部材が破損するのを防止することができる。
以上より、本発明によれば、装置を小型化するとともに、改質剤化合物と燃料ガスとを均一に混合した状態で燃焼させた火炎を噴射可能で、かつ部材の破損を防止した表面改質処理装置を提供することができる。
本発明は以下の構成であってもよい。
前記ボンベから噴出される噴出物の量を制御するバルブを開閉する開閉操作部が、前記ケースの外側に設けられていてもよい。
このような構成とすると、ボンベから噴出される噴出物の量を制御するバルブの開閉作業を、ケースを開けずに行うことができるので、作業性に優れる。
前記ホースの端部には前記ホース着脱部に係止される被係止部が設けられる一方、前記ホース着脱部には、前記ホースの被係止部を係止する係止部と、前記ホースの装着方向と平行な方向に移動させることで前記ホースとの係止状態を解除する係止解除部と、が設けられていてもよい。
このような構成においては、ホース着脱部の係止部にホースの端部に設けられた被係止部を係合させることで、ホースがホース着脱部に係止され、これによりホースがホース着脱部に装着される。また、上記の構成においては、ホース着脱部の係止解除部をホースの装着方向と平行な方向に移動させることで、ホースとホース着脱部との係止状態を解除できるので、ワンタッチでホースの取り外しができる。したがって、上記の構成によれば、ホースの着脱を簡易な方法により行うことができる。
前記バーナーを保持するバーナー保持部が、前記ケースの外側に設けられていてもよい。
このような構成とすると、ホースの着脱の際に、ホースとともにケース外に取りだしたバーナーをケースに保持することができるので、高温となったバーナーが床などに接触して損傷を与えるのを防止することができる。また、バーナーの破損を防止し、バーナーをケースに保持させた状態で他の作業を行うこともできる。
前記ケース内には、熱伝導性材料からなる熱伝導板材が収容され、前記気化器は、前記熱伝導板材に対し、熱伝導性材料からなるテープにより固定されていてもよい。
このような構成とすると、気化器への熱伝導性を高めるとともに、気化器の耐衝撃性を高めることができる。
前記ボンベは、前記改質化合物を含んだ前記液化燃料が噴出される噴出口を下方に向けた状態で配置されていてもよい。
例えば、改質化合物の沸点と燃料ガスの沸点に差がある場合に、ボンベの噴出口を上方に向けた状態で、ボンベ内の内容物を噴出させると、気化しやすい物質が先に噴出されてしまい、改質化合物と燃料ガスとが不均一な混合状態でバーナーに供給され、固体物質の表面改質が不均一となることが懸念される。そこで、上記のような構成とすると、噴出口には、改質化合物を含んだ液化燃料(液状物)が配されるので、改質化合物と燃料ガスの沸点に差がある場合などであっても、改質化合物と燃料ガスとが均一に混合された状態で噴出される。
前記気化器は、キャピラリチューブとその先に接続したキャピラリチューブよりも内径が大きな気化パイプとから構成されていてもよい。
このような構成とすると、ボンベから噴出された改質化合物を含んだ液化燃料は、キャピラリチューブ内を円滑に移動し、キャピラリチューブよりも内径が大きな気化パイプに至ると気化するので、簡易な構成でありながらも円滑に気化を行うことができる。
前記バーナーは、前記気化器で気化したガスを噴出させることで周囲の空気を吸引するブンゼン式のバーナーであってもよい。
このような構成とすると、空気の導入ならびに空気の導入量の制御を容易に行うことができ、これにより、ガスの燃焼効率の制御を容易に行うことができる。
前記ケースには、前記ホース着脱部から取り外した前記ホースを収容可能であってもよい。
このような構成とするとホース着脱部から取り外したホースをケースに収容した状態で運搬することもできるので、運搬の際にホースを傷つけることを防止することができる。
前記ケースには、前記ケース内の気体を排気する排気部が設けられていてもよい。
このような構成とすると、ケース内にボンベから噴出された気体等がこもらないので安全面でも優れる。
本発明によれば、装置を小型化するとともに、改質剤化合物と燃料ガスとを均一に混合した状態で燃焼させた火炎を噴射可能で、かつ部材の破損を防止した表面改質処理装置を提供することができる。
実施形態1の表面改質処理装置を正面側から示した一部断面図 バーナーの側面図 ケースの底面図 部材をケースに収容した状態を示す表面改質処理装置の平面図 ケースの側面図 左側面側から示した表面改質処理装置の一部断面図 右側面側から示した表面改質処理装置の一部断面図 ホースを装着する前の表面改質処理装置の一部断面図 図8の一部拡大図 図8と同じ部分であってホースを装着した後の表面改質処理装置の一部拡大図 図10の部分拡大図
<実施形態1>
本発明の実施形態1を図1ないし図11によって説明する。以下の説明において、図1における上を上とし、図1における下を下とする。
本実施形態の表面改質処理装置10(改質装置10ともいう)は、図1および図4に示すように、液状の改質化合物と燃料ガスを液化した液化燃料との混合液体を収容するボンベ28と、気化器35と、気化器35から供給されるガスに空気を混合してなる改質ガスの火炎Fを固体物質Sの表面に吹き付けるバーナー47と、これらの部材を収容する金属製のケース11と、を備える。
ケース11は、アルミニウム合金等の金属からなり、図1および図5〜図7に示すように、略直方体状をなしている。ケース11は、上方が開口し、ボンベ28や気化器35等が内部に収容されるケース本体12と、ケース本体12の開口を覆うとともに、ケース本体12とヒンジ19を介して連なる蓋部20とを備える。
蓋部20の上面には、図1および図5に示すように、把手21が取り付けられている。また蓋部20の右側面(図1の右側)には、バーナー47の引っかけ部52を引っかけてバーナー47を保持するJ字状のバーナー保持部22が取り付けられている。
蓋部20の内側には、図4に示すように、蓋部20にはバーナー47およびホース45を保持する部材保持部23がそれぞれ設けられており、バーナー47とホース45が分解状態でケース11内に収容可能とされる。部材保持部23の構成は特に限定されないが、例えば面ファスナーや、保持される部材を嵌めこんで保持する金属製のバネ部材等により構成してもよい。
ケース本体12の底面には、図3に示すように、略円形の排気孔13が形成され、この排気孔13には、SUS等の金属製のネット14が取り付けられており、ケース11内の気体を排気可能となっている(排気部の一例)。
ケース本体12の背面(図5における右側に配される面)は、蓋部20とヒンジ19を介して連なっている。ヒンジ19は、金属製材料からなる。
ケース本体12の前側面(図4における手前側に配されている側面)には、ボンベ28から噴出される噴出物の量を制御するバルブ30を開閉する開閉操作部16が取り付けられている。開閉操作部16は、ケース本体12の前側面に形成した略円形の孔15を貫通して取り付けられており、ケース11の外側から操作が可能となっている。開閉操作部16の内部には、図6に示すように、バルブ30(詳細は後述)から前方に突出して設けられた回動軸33が挿入される軸挿入部16Aが形成されている。
ケース本体12の図3における左右の側面には、それぞれ運搬用のベルト(図示せず)を取付可能な、Dカン17が取り付けられている。
ケース本体12の右側面(図1に示す右側の面)には、略円形の孔18が形成されている。この略円形の孔18からは、ホース45を着脱可能なホース着脱部40がケース11の内側から外側に突出して設けられている。略円形の孔18にはホース着脱部を保護する樹脂製の保護筒部がはめこまれている。ホース着脱部40の詳細については後述する。
ケース本体12内には、熱伝導性材料からなる略L字状の熱伝導板材25が配置されている。熱伝導板材25が配置されていない図1における左側のスペース24には、予備のボンベ28等を収容可能とされる。
熱伝導板材25はケース本体12に対して、ネジ止めされている。熱伝導板材25の、ケース本体12の底面と略平行に配された平板状の部分は、図1に示すように、ボンベ28、圧力計37、圧力調整器36、および気化器35を保持する保持板部25Aである。保持板部25Aはケース本体12に対してねじ止めされている。
熱伝導板材25のうち、保持板部25Aから連なって略垂直下方に連なる部分25Bは、バルブ30の図1における左側方を保護する保護部25Bである。保持板部25Aおよび保護部25Bには、略L字状の保護部材26の端部がそれぞれねじ止めされている。
保護部材26は熱伝導板材25と同様の熱伝導性材料からなる。保護部材26は、熱伝導板材25の保護部25Bと略平行に配されるとともに熱伝導板材25の下面に取り付けられて、バルブ30の図1における右側方を保護する保護壁26Aを有する。また、保護部材26は、保護壁26Aから連なり、保護壁26Aに対して略垂直に配される(つまり保持板部25Aと略平行に配される)とともに、バルブ30が取り付けられるバルブ取付壁26Bを有する。このバルブ取付壁26Bには、バルブ30の下端部が貫通状態で取り付けられている。
ボンベ28は、図1及び図6に示すように、ケース本体12の内部に取り付けられている熱伝導板材25の保持板部25Aに、噴出口29Aを下方に向けた状態で保持されている。ボンベ28は、略円柱状をなしており、図示上側に配置されている側がボンベ28の底部28Aである。
ボンベ28の噴出口29Aは、詳細は図示しないが、図6における下方に突出した円柱状の取付突部29の底面に形成されている。取付突部29の側壁面には、バルブ30の上端に形成されたネジ部31Aに螺合可能なネジ部(図示せず)が形成されている。ボンベ28は、噴出口29Aのネジ部を、バルブ30のネジ部31Aに螺合させることにより、バルブ30に対して取り付けられるようになっている。
ボンベ28に収容されている混合液体(図示せず)は、固体物質Sの表面を改質して、塗装、印刷、接着などの処理を行いやすくする作用を有する液状の改質化合物と、燃料ガスを液化した液化燃料とを所定割合で混合したものであり、「改質化合物を含んだ液化燃料」ともいう。
改質化合物としては、常温(5〜35℃)で液体状のもの、または沸点が200℃以下の低沸点のものを用いるのが好ましく、具体的には、金属原子、半金属原子、または非金属原子に、1以上の有機基が結合した化合物等が用いられる。
改質化合物に含まれる金属原子としては、アルミニウム、ハフニウム、インジウム、イリジウム、鉄、ニッケル、ニオブ、鉛、ルテニウム、タンタル、スズ、チタン、バナジウム、ジルコニウム、ベリリウム、カドミウム、クロム、コバルト、金、水銀、レニウム、タリウム、および亜鉛などが挙げられる。改質化合物に含まれる半金属原子としては、ヒ素、ホウ素、ゲルマニウム、アンチモン、およびシリコン等が挙げられ、改質化合物に含まれる非金属原子としては、リンなどが挙げられる。
改質化合物に含まれる有機基としては、カルボニル基(C=O)、アシル基、アルコキシ基、アルキル基、アルケニル基、フェニル基、アルキルフェニル基、アルキルアミノ基、ポリフルオロアルキル基などが挙げられる。本発明で用いる改質化合物には、これらの有機基のうち一種または2種以上のものが含まれている。なお、改質化合物は、これらの有機基以外に、一酸化炭素、ハロゲン、リン化合物、イオウ化合物等の配位子を有していてもよい。
アシル基としては、アセチル基、アセチルアセト基などがあげられ、アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、i−プロポキシ基、n−ブトキシ基、i−ブトキシ基、secブトキシ基、tertブトキシ基、等が挙げられる。アルキル基としては、炭素数が1〜6の直鎖、分岐、環状のアルキル基、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。アルケニル基としては、アリル基、プロペニル基、シクロペンタジエニル基等が挙げられる。アルキルフェニル基としてはメチルフェニル基、エチルフェニル基、プロピルフェニル基、ブチルフェニル基などがあげられ、フェニル基に結合したアルキル基は直鎖状でも分岐状でもよい。アルキルアミノ基としてはジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基などがあげられる。ポリフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基(−CF)などのアルキル基の水素の一部又は全部をフッ素に置き換えたものが挙げられる。
本実施形態で用いられる改質化合物の具体例としては、Al(O−secC、(CHAl、(C、B(O−C、B(O−iC、(n−CB(OH)、トリシクロヘキシルボロン[(C13B]、(CBe、(CCd、Cr(C−C、Ge(O−C、Ge(O−nC、Ge(O−tertC、Hf(O−tertC、In(O−CH、エチルシクロペンタジエニル(1,5−シクロオクタジエン)イリジウム[Ir(C)(C12)]、Fe(CO)、Ni(CO)、Nb(O−C、Nb(O−secC、PO(O−CH、PO(O−C、PO(O−secC、P(O−CH、P(O−secC、Pb(O−iC、ビス(エチルシクロペンタジエニル)ルテニウム[Ru(C]、Sb(O−nC、Ta(O−C、ジアセチルアセト−ジブトキシスズ[Sn(OC(C]、Ti(O−iC、Ti(O−secC、Ti[N(CH、VO(O−C、Zr(O−tertC、ヘキサメチルジシロキサン[(CHSi−O−Si(CH]等が挙げられる。
これらの改質化合物のうち、ヘキサメチルジシロキサンが好ましい。
改質化合物の混合割合は、混合液体全体を100モル%とした場合に、1×10−5モル%〜50モル%とすることができ、0.1モル%〜5モル%とするのが好ましい。改質化合物の混合割合が上記範囲外の場合には固体物質Sの改質効果が発現しない場合がある。
燃料ガスとしては、圧縮することにより常温(5〜35℃)で液体状とすることができるガスが用いられる。具体的には、液化プロパン、液化ブタン等があげられる。これらの燃料ガスのうち、液化ブタンが好ましい。
改質ガスの燃焼により生じる火炎Fが吹き付けられる固体物質Sを構成する材料としては、例えば、シリコンゴム、フッ素ゴム、天然ゴム、ネオプレンゴム、クロロプレンゴム、ウレタンゴム、アクリルゴムなどのゴム類、各種ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、変性ポリプロピレン樹脂、ポリメチルペンテン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シアネート樹脂、尿素樹脂、グアナミン樹脂等の高分子材料、アルミニウム、マグネシウム、ステンレス、ニッケル、クロム、タングステン、金、銅、鉄、銀、亜鉛、スズ、鉛等の金属材料、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化スズ、シリカ、タルク、炭酸カルシウム、石灰、ゼオライト、金、銀、銅、亜鉛、ニッケル、スズ、鉛、半田、ガラス、セラミック等の材料等が挙げられる。固体物質Sは、一種の材料から構成されていてもよいし、二種以上の材料から構成されていてもよい。
改質ガスの燃焼により生じる火炎Fの吹付けにより改質処理される固体物質Sの形態は、例えば、板状、シート状、フィルム状、テープ状、短冊状、パネル状、紐状などの平面構造を有するものであってもよく、筒状、柱状、球状、ブロック状、チューブ状、パイプ状、凹凸状、膜状、繊維状、織物状、束状等の三次元構造を有するものであってもよく、これらに限定されない。
また、固体物質Sの形態は、上記に例示した構造のものと、金属部品、セラミック部品、ガラス部品、紙部品、木部品等とを組み合わせた複合構造体であってもよい。
バルブ30の上端部には、図8に示すように、ボンベ28の取付突部29を受け入れ可能な凹部31が形成されている。凹部31の内壁面にはボンベ28の取付突部29に形成されたネジ部に螺合するネジ部31Aが形成されている。また凹部31の底面にはボンベ28の噴出口29Aに嵌めこまれ、バルブ30から先の部材にボンベ28の噴出口29Aから噴出される噴出物(気体状態または液体状態の燃料ガスと改質化合物)を流通させる流通孔31Bが形成されている。
バルブ30の凹部31のすぐ下方には、前方(図6の右方)に突出した軸取付部32が形成されており軸取付部32には回動軸33が取り付けられている。回動軸33は開閉操作部16の軸挿入部16Aに挿入されている。
バルブ30は、開閉操作部16を回動させることにより、開閉されるようになっている。また、開閉操作部16の回動量を加減することで、ボンベ28の噴出口29Aから噴出される噴出物の量を制御することができるようになっている。
バルブ30の下端部には、ボンベ28の噴出口29Aから噴出された噴射物を気化器35に移送する第1移送管34が接続されている。
気化器35は熱伝導板材25の保持板部25Aの下面に、熱伝導性材料からなるテープ27により固定されている。このテープ27の一方の面には、粘着剤からなる層(図示せず)が形成されている。気化器35は、テープ27により固定されているキャピラリチューブ35Aと、その先に接続されたキャピラリチューブ35Aよりも内径が大きな気化パイプ35Bとを備えている。気化器35においては、キャピラリチューブ35Aの内部をボンベ28から移送されてきた混合液体が通過し気化パイプ35Bに至ることで、改質化合物および液化燃料が液体状態から気体状態に気化するようになっている。
本実施形態では、キャピラリチューブ35Aを通過した混合液体を気化させる気化パイプ35Bが、改質化合物および液化燃料の気化により生じたガスをバーナー47に移送する移送管としても機能している。
気化パイプ35Bとバーナー47との間には、気化パイプ35Bからバーナー47に移送されるガスの流量を制御する圧力調整器36と、圧力計37とが設けられている。圧力調整器36は熱伝導板材25の下側面にネジ止めされており、圧力計37は上方からその表示面が見えるように、熱伝導板材25の保持板部25Aに嵌めこまれている。
圧力調整器36には、気化器35を通すことで得られるガスをホース45やバーナー47に移送する第2移送管38が取り付けられている。第2移送管38の端部にはケース本体12の右側壁面から外側に突出するように配され、ホース45が着脱されるホース着脱部40が取り付けられている。
ホース着脱部40は略円筒状をなしている。ホース着脱部40の内壁面には、ホース45の端部45A(図9における左端部)を係止する係止突部41(係止部の一例)が形成されており、この係止突部41とホース45の係止凹部46とが係合するとホース45がホース着脱部40に係止されるようになっている。
ホース着脱部40は、第2移送管38に取り付けられている内筒部42と、内筒部42に取り付けられ、ホース着脱部40とホース45の係止状態を解除する係止解除部43と、を備える。内筒部42は第2移送管38側で径が大きくなっており(大径部42A)、係止解除部43が取り付けられている側で径が小さくなっている。
係止解除部43は、ホース45挿入方向に略平行な方向に移動可能とされ、係止解除部43がホース着脱部40の、内筒部42の大径部42Aの右端部42Bに至ると係止突部41が突出状態となり、ホース45とホース着脱部40とが係止状態に至る。ホース45とホース着脱部40とが係止状態に至ったのちに、係止解除部43を、矢線Y方向に引っ張ると、係止突部41は退避空間に退避可能となって、ホース45とホース着脱部40との係止状態が解除されるようになっている。
ホース45の端部45A(図2における右端部、図9における左端部)はホース着脱部40に対し着脱可能であるが、他端部はバーナー47のハンドル部50に取り付けられている。ホース45の端部45Aにはホース着脱部40に形成された係止突部41に係止される係止凹部46(被係止部の一例)が形成されている。
ホース45は、図2に示すように、バーナー47と一体とした状態でホース着脱部40に装着してもよいが、図4に示すような分解状態のときに、ホース着脱部40に装着してもよい。
バーナー47は、気化器35から移送されたガスを噴出させることで周囲の空気を吸引するブンゼン式のバーナー47である。バーナー47は、図2に示す左端部に配された噴射口48と、表面改質処理を行うときに握られるハンドル部50と、を備える。
噴射口48は、気化室から移送されたガスと空気とを混合してなる改質ガスの燃焼により生じる火炎Fを噴射させる機能を有する。バーナー47の噴射口48を含むパーツには空気吸引孔49が形成されている(図4参照)。
ハンドル部50には、空気吸引孔49を開閉して吸引される空気量を調整する空気調整部51と、バーナー保持部22に引っかけられる引っかけ部52が設けられている。
次に、本実施形態の表面改質処理装置10を用いた改質方法について説明する。ケース本体12の右側壁からホース着脱部40を突出させた状態で、ケース本体12内(ケース11内)に、図8に示すように各機器(気化器35、圧力調整器36、圧力計37等)を配置しておく。
次に、バルブ30の上にボンベ28を噴出口29Aを下方に向けた状態で取り付ける。具体的には、バルブ30の凹部31の流通孔31Bをボンベ28の噴出口29Aに嵌めこんで、凹部31のネジ部31Aにボンベ28の取付突部29に形成されたネジ部を螺合させると、図1に示すように、ボンベ28が取り付けられた状態となる。
次に、ホース着脱部40にホース45の端部45Aを装着する。図9に示すようにホース着脱部40にホース45の端部45Aを配置して、ホース45をホース着脱部40内に差し込む。ホース着脱部40内に差し込んだホース45を、図9における矢線Xで示す方向に押しこむことにより、ホース45とともに係止解除部43が矢線Xで示す方向に移動する。ホース45を差し込む前およびホース装着作業の途中においては、係止突部41は退避空間に退避可能な状態である。
係止解除部43を、その端部(図9における左端部)がホース着脱部40の大径部42Aの右端部42Bに到達する位置までホース45を押しこむと、係止突部41が突出状態となってホース45の係止凹部46に嵌りこむ。これによりホース45がホース着脱部40に係止され、ホース45が装着される(図10および図11参照)。
次に、ホース45から連なるバーナー47のハンドル部50にバーナー47の噴射口48を取り付けて、バーナー47とホース45とを一体化すると、表面改質処理装置10の組み立てが完了する。
このようにして組み立てた表面改質処理装置10のバーナー47の噴射口48を、固体物質Sの表面に向けて配置しておき、開閉操作部16を回動させてバルブ30を開く。すると、ボンベ28に収容されている液状の改質化合物および燃料ガスを液化した液化燃料の混合物である改質化合物を含む液化燃料が、気体状態または液体状態で第1移送管34を経て気化器35に移送される。ここで本実施形態では改質化合物および液化燃料が混合された状態でボンベ28に収容されているので、所定の混合比で混合された混合物の状態で気化器35に移送される。なお、ボンベ28から気化器35に移送される改質化合物および液化燃料(気体状および液体状)の量は開閉操作部16の回動量を変えることにより調整可能である。
ボンベ28から噴出された改質化合物を含んだ液化燃料は、キャピラリチューブ35A内を円滑に移動し、キャピラリチューブ35Aよりも内径が大きな気化パイプ35Bに至ることで気化する。その後、改質化合物を含んだ液化燃料は、気化状態で、第2移送管38、ホース着脱部40、およびホース45を通ってバーナー47に移送される。バーナー47に移送されるガスの流量は圧力調整器36により調整可能である。
バーナー47に移送されたガスは、バーナー47の空気吸引孔49から吸引された空気と混合されて改質ガスとされる。この改質ガスの燃焼により生じる火炎Fが、噴射口48から固体物質Sの表面に吹付けられて、改質処理が行われる。
本実施形態の表面改質処理装置10により改質処理を施した固体物質Sには、従来は接着に問題のあった異種材料との接着性を向上する効果、濡れ性(親水性)を向上する効果、帯電防止効果などが付与される。すなわち、本実施形態の表面改質処理装置10により改質処理を行うことにより、固体物質Sを改質し、接着、塗装、印刷などの表面処理を容易なものとすることができる。
表面改質処理が終了した後は、開閉操作部16を回動させてバルブ30を閉め、ボンベ28を取り外す。そして、バーナー47の噴射口48を取り外して蓋部20内の部材保持部23により保持する。
次に、バーナー47の引っかけ部52を蓋部20のバーナー保持部22に引っかけてバーナー47のハンドル部50を保持させ、ホース45をホース着脱部40から取り外す。ホース着脱部40の係止解除部43を、図10に示すように、矢線Y方向に引っ張る。すると、ホース着脱部40に形成した係止突部41は退避空間に退避可能となって、ホースとホース着脱部40との係止状態が解除され、ホース45をホース着脱部40から取り外すことができる。このようにして取り外したホース45を蓋部20内の部材保持部23により保持し、図4に示すような状態にした後、蓋部20を閉じると、表面改質処理装置10を構成する部材は全て、ケース11内に収容される。
次に、本実施形態の効果について説明する。
本実施形態において、液状の改質化合物と燃料ガスを液化した液化燃料とは、混合状態でボンベ28に収容されている。つまり、本実施形態においては、改質化合物および燃料ガスはともに液状なので、所定の混合比で均一に混合された状態でボンベ28から噴出させることができる。ボンベ28から噴出される改質化合物および燃料ガスは、気体状態あるいは液体状態である。液体状態の改質化合物および燃料ガス(混合液体)は気体状態のものとともに、ボンベ28から噴出された後、気化器35に通される。気化器35において混合液体は均一な混合状態のまま気化されて、気体状態で噴出されたものとともにバーナー47に供給される。その結果、本実施形態によれば、改質化合物と燃料ガスとを所定の混合比で均一に混合した状態で燃焼させた火炎Fを固体物質Sに噴射することができるので、固体物質Sの表面を均一に改質することができる。
また、本実施形態では、改質化合物と燃料ガスとが均一に混合されて1つのボンベ28に収容されているので、改質化合物や燃料ガスを別々に貯蔵した構成のものと比較してボンベ28の数を少なくすることができ、ボンベ28から噴出する噴出物の量の制御を行う装置も1つで済むので部品点数を減らすとともに装置の小型化を図ることができる。
さらに、本実施形態では、ボンベ28および気化器35を内部に保持するとともに、気化器35を通すことで得られる生成物(ボンベ28から気体状態で噴出されたものを含む)をバーナー47に供給するホース45を、外側から着脱可能なホース着脱部40が設けられているケース11を備える。つまり、本実施形態では、表面改質処理を行うときに、ケース11内にボンベ28および気化器35を保持させた状態で、ケース11のホース着脱部40にホース45を装着すればよく、表面改質処理を行わないときには、ケース11のホース着脱部40からホース45を取りはずして、ケース11内に収容したり別途梱包することもできるので、運搬の際に部材が破損するのを防止することができる。
以上より、本実施形態によれば、装置10を小型化するとともに、改質剤化合物と燃料ガスとを均一に混合した状態で燃焼させた火炎Fを噴射可能で、かつ部材の破損を防止した表面改質処理装置10を提供することができる。
また、本実施形態によれば、ボンベ28から噴出される噴出物の量を制御するバルブ30を開閉する開閉操作部16が、ケース11の外側に設けられているから、ケース11を開けずに、ボンベ28から噴出される噴出物の量を制御することができ、作業性に優れる。
また、本実施形態において、ホース45の端部にはホース着脱部40に係止される係止凹部46が設けられる一方、ホース着脱部40には、ホース45の係止凹部46を係止する係止突部41と、ホース45の装着方向と平行な方向に移動させることでホース45との係止状態を解除する係止解除部43と、が設けられている。つまり、本実施形態においては、ホース着脱部40の係止突部41にホース45の端部45Aに設けられた係止凹部46を係合させることで、ホース45がホース着脱部40に係止され、これによりホース45がホース着脱部40に装着され、ホース着脱部40の係止解除部43をホース45の装着方向と平行な方向に移動させることで、ホース45とホース着脱部40との係止状態を解除できる。その結果、本実施形態によれば、ワンタッチでホース45の取り外しができるので、ホース45の着脱を簡易な方法により行うことができる。
また、本実施形態によれば、バーナー47を保持するバーナー保持部22が、ケース11の外側に設けられているから、高温となったバーナー47が床などに接触して損傷を与えるのを防止することができる。また、本実施形態によれば、ホース45の着脱の際に、ホース45とともにケース11外に取りだしたバーナー47をケース11に保持することができるので、バーナー47の破損を防止するとともに、バーナー47をケース11に保持させた状態で他の作業を行うこともできる。
また、本実施形態によれば、ケース11内には、熱伝導性材料からなる熱伝導板材25が収容され、気化器35は、熱伝導板材25に対し、熱伝導性材料からなるテープ27により固定されているから、気化器35への熱伝導性を高めるとともに、気化器35の耐衝撃性を高めることができる。
また、本実施形態によれば、ボンベ28は、改質化合物を含んだ液化燃料が噴出される噴出口29Aを下方に向けた状態で配置されているから、噴出口29Aには、改質化合物を含んだ液化燃料(液状物)が配されるので、改質化合物と燃料ガスの沸点に差がある場合などであっても、改質化合物と燃料ガスとが均一に混合された状態で噴出され、より均一な表面処理が可能となる。
また、本実施形態によれば、気化器35は、キャピラリチューブ35Aとその先に接続したキャピラリチューブ35Aよりも内径が大きな気化パイプ35Bとから構成されているので、ボンベ28から噴出された改質化合物を含んだ液化燃料は、キャピラリチューブ35A内を円滑に移動し、キャピラリチューブ35Aよりも内径が大きな気化パイプ35Bに至ると気化するので、簡易な構成でありながらも円滑に気化を行うことができる。
また、本実施形態によれば、バーナー47は、気化器35で気化したガスを噴出させることで周囲の空気を吸引するブンゼン式のバーナー47であるから、空気の導入ならびに空気の導入量の制御を容易に行うことができ、これにより、ガスの燃焼効率の制御を容易に行うことができる。
また、本実施形態によれば、ケース11には、ホース着脱部40から取り外したホース45を収容可能であるから、ホース着脱部40から取り外したホース45をケース11に収容した状態で運搬することもでき、運搬の際にホース45を傷つけることを防止することができる。
また、本実施形態によれば、ケース11には、ケース11内の気体を排気する排気孔13が設けられているから、ケース11内にボンベ28から噴出された気体等がこもらないので安全面でも優れる。
<他の実施形態>
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
(1)上記実施形態では、バルブ30を開閉する開閉操作部16をケース11の外側に設けた例を示したが、ケース内に開閉操作部を設けてもよい。
(2)上記実施形態では、ホース45の装着方向と平行な方向に移動させることでホース45との係止状態を解除する係止解除部43を設けたホース着脱部40を示したが、例えば、回動操作によりホースとの係止状態を解除する係止解除部を備えるものであってもよい。また、係止解除部を備えず、例えば、ホースの端部およびホース着脱部にネジ構造を形成して、ホースをホース着脱部に螺合させることにより装着し、螺合解除によりホースを取り外す構造としてもよい。
(3)上記実施形態では、外側にバーナー保持部22を設けたケース11を示したが、バーナー保持部が設けられていなくてもよい。
(4)上記実施形態では、気化器35が熱伝導板材25に熱伝導性材料からなるテープ27で固定されている例を示したが、気化器は、保持板材の上に載置されているような構成等であってもよい。また、気化器として、気化を促進するヒーターを備えるものを用いてもよい。
(5)上記実施形態ではボンベ28の噴出口29Aを下方に向けて配置した例を示したが、ボンベの噴出口を上方に向けて配置したものであってもよい。
(6)上記実施形態では、気化器35とバーナー47の間に、発泡ウレタン等の多孔質材料等から構成される液除去部を備えない表面改質処理装置10を示したが、液除去部を備えるものとしてもよい。
(7)上記実施形態では、排気部が設けられているケース11を示したが、排気部がないものであってもよい。
10…表面改質処理装置(改質装置)
11…ケース
12…ケース本体
13…排気孔(排気部)
14…ネット
16…開閉操作部
20…蓋部
22…バーナー保持部
25…熱伝導板材
25A…保持板部
25B…保護部
27…テープ
28…ボンベ
29…取付突部
29A…噴出口
30…バルブ
31…凹部軸
35…気化器
35A…キャピラリチューブ
35B…気化パイプ
40…ホース着脱部
41…係止突部(係止部)
43…係止解除部
45…ホース
46…係止凹部(被係止部)
47…バーナー
48…噴射口
49…空気吸入孔
50…ハンドル部
51…空気調整部
52…引っかけ部
F…火炎
S…固体物質

Claims (10)

  1. 金属原子、半金属原子または非金属原子と、有機基と、を有する改質化合物を燃料ガスと共にバーナーにて燃焼させ、その火炎を固体物質の表面に吹き付けて前記固体物質の表面の改質を行うものにおいて、
    前記燃料ガスを液化した液化燃料と液状の前記改質化合物とを混合状態でボンベに収容し、そのボンベ中の一部の混合液体を気化器に通すことで前記改質化合物及び前記液化燃料を気化させて前記バーナーに供給するようにし、
    前記ボンベおよび前記気化器を内部に保持するとともに、
    前記気化器を通すことで得られる生成物を前記バーナーに供給するホースを、外側から着脱可能なホース着脱部が設けられているケースを備える表面改質処理装置。
  2. 前記ボンベから噴出される噴出物の量を制御するバルブを開閉する開閉操作部が、前記ケースの外側に設けられている請求項1に記載の表面改質処理装置。
  3. 前記ホースの端部には前記ホース着脱部に係止される被係止部が設けられる一方、
    前記ホース着脱部には、前記ホースの被係止部を係止する係止部と、前記ホースの装着方向に平行な方向に移動させることで前記ホースとの係止状態を解除する係止解除部と、が設けられている請求項1または請求項2に記載の表面改質処理装置。
  4. 前記バーナーを保持するバーナー保持部が、前記ケースの外側に設けられている請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の表面改質処理装置。
  5. 前記ケース内には、熱伝導性材料からなる熱伝導板材が収容され、
    前記気化器は、前記熱伝導板材に対し、熱伝導性材料からなるテープにより固定されている請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の表面改質処理装置。
  6. 前記ボンベは、前記改質化合物を含んだ前記液化燃料が噴出される噴出口を下方に向けた状態で配置されている請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の表面改質処理装置。
  7. 前記気化器は、キャピラリチューブとその先に接続したキャピラリチューブよりも内径が大きな気化パイプとから構成されている請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の表面改質処理装置。
  8. 前記バーナーは、前記気化器で気化したガスを噴出させることで周囲の空気を吸引するブンゼン式のバーナーである請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の表面改質処理装置。
  9. 前記ケースには、前記ホース着脱部から取り外した前記ホースを収容可能とされる請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の表面改質処理装置。
  10. 前記ケースには、前記ケース内の気体を排気する排気部が設けられている請求項1ないし請求項9のいずれか一項に記載の表面改質処理装置。
JP2012023087A 2012-02-06 2012-02-06 表面改質処理装置 Active JP5840518B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012023087A JP5840518B2 (ja) 2012-02-06 2012-02-06 表面改質処理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012023087A JP5840518B2 (ja) 2012-02-06 2012-02-06 表面改質処理装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013159712A JP2013159712A (ja) 2013-08-19
JP5840518B2 true JP5840518B2 (ja) 2016-01-06

Family

ID=49172244

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012023087A Active JP5840518B2 (ja) 2012-02-06 2012-02-06 表面改質処理装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5840518B2 (ja)

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0619220B2 (ja) * 1986-11-19 1994-03-16 日本炭酸瓦斯株式会社 携帯用ト−チ
JPS6433610A (en) * 1987-07-29 1989-02-03 Nippon Tansan Gas Co Ltd Pressure reduction valve
EP1629901A4 (en) * 2003-05-06 2006-06-07 Yasuhiro Mori SURFACE PREPARATION METHOD FOR SOLID SUBSTANCES AND SURFACE PREPARED SOLIDS
WO2007046468A1 (ja) * 2005-10-19 2007-04-26 Kenji Okayasu 小型気化装置を用いた燃焼装置
EP1961835A1 (de) * 2007-02-20 2008-08-27 W & H Dentalwerk Bürmoos GmbH Vorrichtung zur Modifikation der Oberflächenaktivität von insbesondere medizinischen Instrumenten
JP4904433B1 (ja) * 2011-03-23 2012-03-28 タイムオートマシン株式会社 表面改質処理装置
JP5441277B2 (ja) * 2012-03-09 2014-03-12 タイムオートマシン株式会社 表面改質処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2013159712A (ja) 2013-08-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8951478B2 (en) Ampoule with a thermally conductive coating
KR101070525B1 (ko) 화학적 증착 또는 원자 층 증착용 화학물 전달 장치
US8137468B2 (en) Heated valve manifold for ampoule
JP5298189B2 (ja) 真空蒸着方法及び装置
CN105003825B (zh) 自动再填充安瓿及其使用方法
CN101514446A (zh) 多安瓿输送系统
JP2008050629A (ja) 固体物質の表面改質装置およびそれを用いた表面改質方法
JP2008240153A (ja) 前駆体用の供給装置
JP6606547B2 (ja) 複数の液体または固体の原材料からcvdまたはpvd装置のために蒸気を生成する蒸気発生装置および蒸気発生方法
JP5451184B2 (ja) 表面改質装置および表面改質方法
JP5840518B2 (ja) 表面改質処理装置
JP4904433B1 (ja) 表面改質処理装置
JP5441277B2 (ja) 表面改質処理装置
CN103184431A (zh) 薄膜沉积设备及使用该薄膜沉积设备的薄膜沉积方法
JP5461250B2 (ja) 固体製品の表面改質法
JP2006132003A (ja) 薄膜蒸着装置
KR101372488B1 (ko) 하이브리드 밸브가 통합된 앰풀
CN106133187B (zh) 在基板支架的两个相背离的宽侧分别支承基板的基板支架
JP5436118B2 (ja) 表面改質装置及び表面改質方法
JP2796975B2 (ja) 液体原料気化装置
JP5757801B2 (ja) バーナー
KR20220090435A (ko) 전구체 캡슐, 용기 및 방법
KR20160099765A (ko) 원료 공급기 및 기판 처리 장치
KR101773038B1 (ko) 기화기를 갖는 증착장치 및 증착방법
CN211713195U (zh) 一种碳化硅沉积的进气系统

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20141107

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20151105

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20151111

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5840518

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250