JP5840018B2 - 圧力緩衝装置、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧力緩衝装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は液体の圧力変動を緩和させる圧力緩衝装置、これを用いた液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧力緩衝装置の製造方法に関する。

近年、記録紙等にインク滴を吐出して文字、図形を描画する、或いは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜を形成するインクジェット方式の液体噴射ヘッドが利用されている。この方式は、インクや液体材料を液体タンクから供給管を介して液体噴射ヘッドに供給し、チャンネルに充填したインクや液体材料をチャンネルに連通するノズルから吐出させて被記録媒体に記録する。液体の吐出の際には、液体噴射ヘッドや噴射した液体を記録する被記録媒体を移動させて、文字や図形を描画する、或いは所定形状の機能性薄膜を形成する。

図９及び図１０は、この種の液体噴射ヘッドであるインクジェットヘッド１２０に接続される圧力緩衝装置１００の構成図及び部分ｈｈ’の断面図を表す（特許文献１の図４及び図５）。圧力緩衝装置１００は、本体１１２に形成される凹部１１４と、側壁１１７により構成されるインク流路１０７と、インク流路１０７に連通するインク流出口１０８と、凹部１１４とインク流路１０７の開口を塞ぐ可撓膜１１１から構成される。インク流路１０７とチャンバ１１５は隔壁１１０により分離される。インク流入口１０２から流入するインクはチャンバ１１５で圧力変動が緩和され、開口部１０１、インク流路１０７を介してインク流出口１０８からインクジェットヘッド１２０に供給される。

インクジェットヘッド１２０と圧力緩衝装置１００は液体を吐出しながら移動する。そのために、圧力緩衝装置１００に充填されるインクや液体タンクとインク流入口１０２をつなぐチューブに保持されるインクには慣性に伴う圧力変動が発生する。可撓膜１１１はインクの圧力変動を膜の伸縮により緩和させ、インク流出路１０８から流出するインクの圧力変動を減少させる。これにより、インクジェットヘッド１２０のノズルに形成されるメニスカス１０４を一定形状に保つことができ、ノズルから一定量のインク滴を一定速度で吐出させることができる。

特開２００８−１１０５９９号公報

圧力緩衝装置１００は、合成樹脂を型成形して本体１１２に凹部１１４等を形成し、次に合成樹脂の可撓膜１１１を本体１１２の上端面に熱溶着により接合する。図１１は、圧力緩衝装置の説明図であり、本体１１２に可撓膜１１１を熱溶着して接合する様子を表す。図１１（ａ）は、上端面が平坦な凹部１１４の上端面に可撓膜１１１を熱溶着する状態を表す断面模式図である。本体１１２には凹部１１４とインク流路１０７とネジ穴１２２が形成される。ネジ穴１２２は、図１１（ｃ）に示すように、可撓膜１１１の上部に設置する金属蓋１２５をネジ１２３によりビス止めするために設けられている。本体１１２の上端面に可撓膜１１１を設置し、加熱定盤１２４を可撓膜１１１の全面に当接させて加熱することにより可撓膜１１１を本体１１２に熱溶着する。

しかし、図１１（ａ）に示すように、本体１１２の上端面の全面を可撓膜１１１を熱溶着すると、ネジ穴１２２の開口部に本体１１２の材料が溶けだして薄いバリが形成される。薄いバリには厚さや長さのむらが存在し、その状態でネジ穴１２２にネジ１２３を通し、金属蓋１２５を本体１１２にビス止め固定すると、本体１１２のネジ穴１２２近傍からクラックが発生し、チャンバ１１５に充填される液体が漏れ出す原因となる。

この問題を解決するために、図１１（ｂ）に示すように、凹部１１４の開口端の近傍に凹部１１４の上端面よりも突出する土手１２６を形成し、この土手１２６の上端面に可撓膜１１１を熱溶着する。このように可撓膜１１１と本体１１２を熱溶着すれば、ネジ穴１２２の開口部にバリが発生することが無い。しかし、図１１（ｃ）に示すように、可撓膜１１１の上部に金属蓋１２５を載置すると、可撓膜１１１を挟んだ金属蓋１２５と本体１１２との間に隙間Δが生じ、この状態でネジ穴１２２にネジ１２３を通して金属蓋１２５を本体１１２にビス止めすると、隙間Δの存在により本体１１２に曲げ応力が加わってクラックが発生し、液漏れの原因となる。

本発明は、上記の課題を解決し、液漏れの発生しない信頼性の高い圧力緩衝装置を提供することを目的とする。

本発明の圧力緩衝装置は、周囲の上端面が平坦な凹部と、前記上端面に開口するネジ孔と、前記凹部の内面に外部領域と連通する連通口とを有する基体と、前記上端面に接合し、前記凹部の開口を閉塞する可撓性膜と、を備え、前記可撓性膜と前記上端面とは、前記ネジ孔の周囲の領域を除いて接合されることとした。

また、前記可撓性膜と前記上端面とは前記凹部の開口端から前記開口端の周辺部にかけて熱溶着により接合されることとした。

また、前記基体はポリエチレンから成り、前記可撓性膜はポリエチレンを含む多層膜から成ることとした。

また、前記可撓性膜の上部に設置される蓋体を備え、前記蓋体は前記ネジ孔に固定されることとした。

本発明の液体噴射ヘッドは、上記の圧力緩衝装置と、前記圧力緩衝装置から供給される液体を吐出する吐出部と、を備えることとした。

本発明の液体噴射装置は、上記の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。

本発明の圧力緩衝装置の製造方法は、基体の一方の表面に凹部と、前記基体の上端面に開口するネジ孔とを形成する凹部形成工程と、前記凹部の上端面に可撓性膜を設置する可撓性膜設置工程と、前記ネジ孔の周囲を除き、前記凹部の開口端から前記開口端の周辺部に対応する領域に凸部が形成される定盤を加熱し、前記凸部を前記可撓性膜に当接させて熱溶着する熱溶着工程と、を備えることとした。

また、前記熱溶着工程において、前記凸部は前記開口端の内側にはみ出すように前記可撓性膜に当接して熱溶着することとした。

また、前記熱溶着工程において、前記周辺部の外縁に対応する前記凸部の上端角部は面取りされ、前記凸部が前記可撓性膜に当接したときに前記上端角部は前記可撓性膜の表面に傾斜して当接することとした。

本発明の圧力緩衝装置は、周囲の上端面が平坦な凹部と、上端面に開口するネジ孔と、凹部の内面に外部領域と連通する連通口とを有する基体と、凹部の上端面に接合し、凹部の開口を閉塞する可撓性膜と、を備える。可撓性膜と上端面とは、上端面に開口するネジ孔の周囲の領域を除いて接合される。これにより、基体の上端面に開口するネジ孔に溶けた基体や可撓性膜、或いは接着剤が流入することが無く、更に、凹部の上端面が平坦なので蓋体を可撓性膜の上部にビス止めしたときに基体が変形することが無く、基体にクラックが発生することを防止することができる。

本発明に第一実施形態に係る圧力緩衝装置の説明図である。 本発明に第二実施形態に係る圧力緩衝装置の説明図である。 本発明の第三実施形態に係る圧力緩衝装置の説明図である。 本発明に第四実施形態に係る圧力緩衝装置の製造方法を説明するための図である。 本発明の第五実施形態に係る圧力緩衝装置の製造方法を説明するための図である。 本発明の第六実施形態に係る圧力緩衝装置の製造方法を説明するための図である。 本発明の第七実施形態に係る液体噴射ヘッドの構成図である。 本発明の第八実施形態に係る液体噴射装置の模式的な斜視図である。 従来から公知のインクジェットヘッドとその上に設置される圧力緩衝装置の模式図である。 従来から公知の圧力緩衝装置の断面図を表す。 従来から公知の圧力緩衝装置の説明図である。

（第一実施形態）
図１は本発明の第一実施形態に係る圧力緩衝装置１の説明図であり、図１（ａ）が圧力緩衝装置１の可撓性膜４を除去した基体５の平面模式図であり、図１（ｂ）が部分ＡＡの断面模式図である。圧力緩衝装置１は基体５と基体５の上端面ＴＳに接合される可撓性膜４をと備える。基体５は、周囲の上端面ＴＳが平坦な凹部２と、この上端面に開口するネジ孔２２と、凹部２の内面に開口し、液体を流入する流入連通口３ａと、液体と流出する流出連通口３ｂとを備える。可撓性膜４は、凹部２の上端面ＴＳに接合し凹部２の開口を閉塞する。可撓性膜４と上端面ＴＳとは、ネジ孔２２の周囲の領域を除いて接合される。つまり、ネジ孔２２が開口する開口部の周囲は可撓性膜４と上端面ＴＳとは接合しない非接合領域１３であり、それ以外は可撓性膜４と上端面ＴＳが接合する接合領域１２である。

可撓性膜４と凹部２の上端面ＴＳとの間を熱溶着により接合することができる。この場合に、ネジ孔２２の周囲を非接合領域１３とするので、ネジ孔２２の開口部に熱溶着により溶けた基体５が流入することが無い。また、凹部２の上端面ＴＳが平坦なので、ネジ孔２２にネジを通して図示しない蓋体を基体５にビス止めする際に可撓性膜４を挟んだ蓋体と上端面ＴＳ間に隙間が無い、又は隙間が小さいので、ビス止めしたときに基体５に加わる曲げ応力が無くなり、或いは小さくなり、基体５にクラックが発生することが無い。

なお、基体５として金属材料、ガラス、セラミックス、その他の無機材料や合成樹脂材料等を使用することができる。可撓性膜４として、金属材料や合成樹脂材料等を使用することができる。基体５として例えばポリエチレンを使用し、可撓性膜４としてポリエチレンを含む多層膜から構成することができる。ポリエチレンを使用すれば、略１５０℃の温度で基体５と可撓性膜４とを熱溶着することができる。また、熱溶着に代えて、接着剤により可撓性膜４と基体５の上端面ＴＳとを接合することができる。この場合に、ネジ孔２２の周囲の領域は接着剤が無い非接合領域１３なので、ネジ孔２２に接着剤が流入することが無い。

（第二実施形態）
図２は本発明の第二実施形態に係る圧力緩衝装置１の説明図であり、図２（ａ）が圧力緩衝装置１の可撓性膜４を除去した基体５の平面模式図であり、図２（ｂ）が部分ＢＢの断面模式図である。第一実施形態と異なる部分は、接合領域１２が上端面ＴＳの開口端ＫＴの近傍領域のみである点であり、その他は第一実施形態と同様である。従って、以下第一実施形態と異なる部分について説明し、同一の部分については説明を省略する。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付した。

図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、可撓性膜４と凹部２の上端面ＴＳとは凹部２の開口端ＫＴからその周辺部にかけて熱溶着により接合する接合領域１２であり、その他の上端面ＴＳの領域は熱溶着されない非接合領域１３である。ネジ孔２２の開口部は非接合領域１３に含まれるので、熱溶着の際に溶けた基体５や可撓性膜４がネジ孔２２に流入することが無い。そして、凹部２の上端面ＴＳは平坦なので、ネジ孔２２にネジを通して図示しない蓋体を基体５にビス止めする際に基体５に対して加わる曲げ応力は十分小さいので、基体５にクラックが発生することが無い。また、開口端ＫＴ近傍の接合領域１２のみを接合すればよいので、接合時間を短縮することができる。

（第三実施形態）
図３は、本発明の第三実施形態に係る圧力緩衝装置１の説明図であり、図３（ａ）が圧力緩衝装置１の可撓性膜４及び蓋体６を除去した基体５の平面模式図であり、図３（ｂ）が圧力緩衝装置１の部分ＣＣの断面模式図であり、図３（ｃ）が可撓性膜４の上部に蓋体６をビス止めした断面模式図である。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。

圧力緩衝装置１は、凹部２を有する基体５と、凹部２の上端面ＴＳに接合し、凹部２の開口を閉塞する可撓性膜４と、可撓性膜４の上部に設置する蓋体６とを備える。基体５は、凹部２と、凹部２の上端面ＴＳに開口するネジ孔２２と、凹部２の内面である底面ＢＳ又は内側面ＳＳに外部領域と連通する流入連通口３ａ及び流出連通口３ｂとを有する。可撓性膜４は、凹部２の上端面ＴＳに接合し、凹部２の開口を閉塞する。蓋体６は、ネジ孔２２に挿入される図示しないネジにより可撓性膜４を挟んで基体５にビス止め固定される。

より具体的に説明する。凹部２は、流入連通口３ａから流入する液体を保持するチャンバ１５と、チャンバ１５から流出する液体を流出口１７に導く流路１１とを備える。凹部２の上端面ＴＳは、平坦な表面を有し、凹部２の開口の開口端ＫＴからその周辺部にかけて可撓性膜４と上端面ＴＳとが熱溶着する接合領域１２と、可撓性膜４と上端面ＴＳが熱溶着されない非接合領域１３とを備え、ネジ孔２２はこの非接合領域１３に開口する。

凹部２は、チャンバ１５の底面ＢＳに設置され、可撓性膜４を上方に付勢するバネ部材９を収納する。基体５は、外側面ＧＳに外部から液体を流入する流入接続部７ａと外部に液体を流出する流出接続部７ｂとを備える。流入接続部７ａは凹部２の底面ＢＳに形成した流入連通口３ａに連通する。流出接続部７ｂは、凹部２の底面ＢＳ、つまり流路１１の底面ＢＳに形成した流出口１７と連通し、流路１１はチャンバ１５に開口する流出連通口３ｂに連通する。

液体は、流入接続部７ａから流入連通口３ａを介してチャンバ１５に流入し、流出連通口３ｂ及び流路１１を介して流出接続部７ｂから流出する。バネ部材９として板バネを使用している。板バネの端部に設けた穴が凹部２の底面ＢＳに設けた突起１６に嵌合し、バネ部材９が基体５に係合される。バネ部材９の上端面は可撓性膜４に当接し、チャンバ１５が大きな負圧となった場合でも可撓性膜４が底面ＢＳに吸着して流入連通口３ａや流出連通口３ｂが塞がれるのを防止する。蓋体６は、チャンバ１５が大きな正圧となった場合に可撓性膜４の膨張を抑え、可撓性膜４が破裂することを防止する。チャンバ１５に充填された液体に圧力変動が生じると可撓性膜４が伸縮し、ｙ方向（図３（ａ））に変位して液体の圧力変動が緩和される。

図３（ａ）において、基体５の上辺を重力ｇに対して上方（＋ｚ方向）に、下辺を重力ｇに対して下方（−ｚ方向）に向けて圧力緩衝装置１を立設すれば、液体に混入する気泡はチャンバ１５の上方に集まる。そのため、液体に混入した気泡を流路１１から容易に排出することができ、液交換やクリーニングが容易となる。

なお、本実施形態においては、基体５としてポリエチレンを使用し、可撓性膜４としてポリエチレンとナイロンの２層構造のフィルムを使用し、基体５と可撓性膜４とはポリエチレンどうしを熱溶着し、蓋体６は金属材料を使用している。なお、本発明はこれらの材料に限定されない。

本実施形態では、可撓性膜４と凹部２の上端面ＴＳとは接合領域１２において熱溶着され、ネジ孔２２が開口する非接合領域１３では熱溶着されない。そのため、ネジ孔２２の開口部に熱溶着の際にバリが形成されることが無い。更に、上端面ＴＳが平坦なので蓋体６を基体５にビス止め固定したときに基体５に加わる曲げ応力は十分小さく、基体５にクラックが発生することが無い。

（第四実施形態）
図４は、本発明の第四実施形態に係る圧力緩衝装置１の製造方法を説明するための図である。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。

図４（ａ）は、凹部形成工程により形成した基体５の断面模式図である。凹部形成工程において、基体材料を型成形して凹部２及びネジ孔２２を形成する。凹部２の周囲の上端面ＴＳは平坦に形成する。次に、可撓性膜設置工程において、凹部２の上端面ＴＳに可撓性膜４を載置する。なお、本実施形態では基体材料としてポリエチレン樹脂を使用しているが、本発明はこの材料に限定されない。

図４（ｂ）は、熱溶着工程において可撓性膜４と基体５とを熱溶着する状態を表す断面模式図である。定盤１８は、ネジ孔２２の周囲を除き、凹部２の開口端ＫＴから開口端ＫＴの周辺部に対応する領域に凸部１９を備える。定盤１８を予め加熱し、凸部１９を凹部２に位置合わせし、定盤１８を相対的に降下し、凸部１９を可撓性膜４の上面に当接させて基体５の上端面ＴＳと可撓性膜４とを熱溶着する。これにより、可撓性膜４と基体５の上端面ＴＳとは、凹部２の開口端ＫＴから開口端ＫＴの周辺部の接合領域１２のみが熱溶着され、ネジ孔２２の開口部や開口部周辺が含まれる非接合領域１３は熱溶着されない。

図４（ｃ）は、蓋体取り付け工程により蓋体６を基体５に固定した圧力緩衝装置１の断面模式図である。蓋体６を可撓性膜４の上部に載置し、ネジ孔２２にネジ２３を挿入して蓋体６を基体５にビス止め固定する。

その結果、ネジ孔２２に溶けた樹脂が流入してバリが形成されることが無く、上端面ＴＳが平坦なので蓋体６を基体５にビス止め固定しても基体５に加わる応力は十分小さく、基体５にクラックが発生することが無い。また、凹部２の開口端ＫＴから開口端ＫＴの周辺部のみを熱溶着するので、熱容量が小さく、短時間で熱溶着することができる。更に、上端面ＴＳの全面に対して接合領域１２の面積を小さくできるので、基体５の熱による反りや厚みむらが低減し、蓋体６を基体５にビス止め固定したときの基体５に加わる応力を一層低減させることができる。

（第五実施形態）
図５は、本発明の第五実施形態に係る圧力緩衝装置１の製造方法を説明するための部分Ｒ（図４（ｂ））の断面模式図である。図５に示すように、熱溶着工程において、定盤１８の凸部１９は開口端ＫＴの内側に距離Δｄはみ出すように可撓性膜４に当接して熱溶着する。可撓性膜４は内側面ＳＳの位置、つまり開口端ＫＴまで溶着される。チャンバ１５に充填される液体には圧力変動が伝達され、この圧力変動に基づいて可撓性膜４は上下に変動するが、可撓性膜４を開口端ＫＴまで熱溶着することにより可撓性膜４のこの上下動に対する剥離強度を向上させることができる。

（第六実施形態）
図６は、本発明の第六実施形態に係る圧力緩衝装置１の製造方法を説明するための図である。図６（ａ）は部分Ｒ（図４（ｂ））の断面模式図であり、図６（ｂ）は熱溶着後の部分Ｒの断面模式図であり、図６（ｃ）は上端角部２４に面取りを形成しないで熱溶着したときの部分Ｒの断面模式図である。図６（ａ）に示すように、開口端ＫＴの周辺部の外縁、即ち接合領域１２の外縁に対応する凸部１９の上端角部２４は面取りされ、熱溶着工程において上端角部２４は可撓性膜４の表面に傾斜面を成して当接する。

その結果、図６（ｂ）に示すように、熱溶着後は上端面ＴＳに形成される溶融バリ２５は傾斜構造を有し、その高さがｈ１となる。一方、図６（ｃ）に示すように上端角部２４を面取りしないで可撓性膜４に熱溶着した場合は、凸部１９の上端角部２４に形成される溶融バリ２５はｈ１よりも高いｈ２となる。つまり、上端角部２４を面取りした方が溶融バリ２５の高さを低く抑えることができる。その結果、蓋体６を基体５にビス止め固定する際に、蓋体６又は可撓性膜４と基体５との間の隙間が小さくなり、蓋体６を基体５にビス止め固定する際に基体５に加わる曲げ応力が低減し、基体５にクラックが発生することを防止することができる。

（第七実施形態）
図７は、本発明の第七実施形態に係る液体噴射ヘッド１０の構成図である。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。

図７に示すように、液体噴射ヘッド１０は圧力緩衝装置１とヘッドチップ２０とヘッドチップ２０を固定するための固定部材２１とを備える。液体噴射ヘッド１０は、重力ｇ方向に対して圧力緩衝装置１を上方にヘッドチップ２０を下方にして立設する。圧力緩衝装置１は、基体５の上方に固定される流入接続部７ａから液体を流入し、圧力変動が緩和された液体を流出接続部７ｂから流出してヘッドチップ２０に供給される。ヘッドチップ２０は図示しない多数のノズルから下方に液滴を吐出して、図示しない被記録媒体に記録する。圧力緩衝装置１は上記第三実施形態において説明したものを使用しているが、第一又は第二実施形態の圧力緩衝装置１を使用することができる。

（第八実施形態）
図８は本発明の第八実施形態に係る液体噴射装置３０の模式的な斜視図である。液体噴射装置３０は、液体噴射ヘッド１０、１０’を往復移動させる移動機構４０と、液体噴射ヘッド１０、１０’に液体を供給する流路部３５、３５’と、流路部３５、３５’に液体を供給する液体ポンプ３３、３３’及び液体タンク３４、３４’とを備えている。各液体噴射ヘッド１０、１０’は複数の吐出溝を備え、各吐出溝に連通するノズルから液滴を吐出する。各液体噴射ヘッド１０、１０’は第七実施形態において説明した液体噴射ヘッドを使用する。

液体噴射装置３０は、紙等の被記録媒体４４を主走査方向に搬送する一対の搬送手段４１、４２と、被記録媒体４４に液体を吐出する液体噴射ヘッド１０、１０’と、液体噴射ヘッド１０、１０’を載置するキャリッジユニット４３と、液体タンク３４、３４’に貯留した液体を流路部３５、３５’に押圧して供給する液体ポンプ３３、３３’と、液体噴射ヘッド１０、１０’を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構４０とを備えている。図示しない制御部は液体噴射ヘッド１０、１０’、移動機構４０、搬送手段４１、４２を制御して駆動する。

一対の搬送手段４１、４２は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体４４を主走査方向に搬送する。移動機構４０は、副走査方向に延びた一対のガイドレール３６、３７と、一対のガイドレール３６、３７に沿って摺動可能なキャリッジユニット４３と、キャリッジユニット４３を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト３８と、この無端ベルト３８を図示しないプーリを介して周回させるモータ３９とを備えている。

キャリッジユニット４３は、複数の液体噴射ヘッド１０、１０’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類の液滴を吐出する。液体タンク３４、３４’は対応する色の液体を貯留し、液体ポンプ３３、３３’、流路部３５、３５’を介して液体噴射ヘッド１０、１０’に供給する。各液体噴射ヘッド１０、１０’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド１０、１０’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット４３を駆動するモータ３９の回転及び被記録媒体４４の搬送速度を制御することにより、被記録媒体４４上に任意のパターンを記録することできる。

１ 圧力緩衝装置
２ 凹部
３ａ 流入連通口、３ｂ 流出連通口
４ 可撓性膜
５ 基体
６ 蓋体
７ａ 流入接続部、７ｂ 流出接続部
９ バネ部材
１０ 液体噴射ヘッド
１１ 流路１１
１２ 接合領域
１３ 非接合領域
１５ チャンバ
１７ 流出口
１８ 定盤
１９ 凸部
２０ ヘッドチップ
３０ 液体噴射装置
ＴＳ 上端面
ＫＴ 開口端

Claims (9)

1. 周囲の上端面が平坦な凹部と、前記上端面に開口するネジ孔と、前記凹部の内面に外部領域と連通する連通口とを有する基体と、
   前記上端面に接合し、前記凹部の開口を閉塞する可撓性膜と、を備え、
   前記可撓性膜と前記上端面とは、前記ネジ孔の周囲の領域を除いて接合される圧力緩衝装置。
2. 前記可撓性膜と前記上端面とは前記凹部の開口端から前記開口端の周辺部にかけて熱溶着により接合される請求項１に記載の圧力緩衝装置。
3. 前記基体はポリエチレンから成り、前記可撓性膜はポリエチレンを含む多層膜から成る請求項１又は２に記載の圧力緩衝装置。
4. 前記可撓性膜の上部に設置される蓋体を備え、
   前記蓋体は前記ネジ孔に固定される請求項１〜３のいずれか一項に記載の圧力緩衝装置。
5. 請求項１に記載の圧力緩衝装置と、
   前記圧力緩衝装置から供給される液体を吐出する吐出部と、を備える液体噴射ヘッド。
6. 請求項５に記載の液体噴射ヘッドと、
   前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動機構と、
   前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
   前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。
7. 基体の一方の表面に凹部と、前記基体の上端面に開口するネジ孔とを形成する凹部形成工程と、
   前記上端面に可撓性膜を設置する可撓性膜設置工程と、
   前記ネジ孔の周囲を除き、前記凹部の開口端から前記開口端の周辺部に対応する領域に凸部が形成される定盤を加熱し、前記凸部を前記可撓性膜に当接させて熱溶着する熱溶着工程と、を備える圧力緩衝装置の製造方法。
8. 前記熱溶着工程において、前記凸部は前記開口端の内側にはみ出すように前記可撓性膜に当接して熱溶着する請求項７に記載の圧力緩衝装置の製造方法。
9. 前記熱溶着工程において、前記周辺部の外縁に対応する前記凸部の上端角部は面取りされ、前記凸部が前記可撓性膜に当接したときに前記上端角部は前記可撓性膜の表面に傾斜して当接する請求項７又は８に記載の圧力緩衝装置の製造方法。

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