JP5826665B2 - Substrate groove processing tool and groove processing apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、溝加工ツール、特に、ホルダに保持され、加工対象である基板上をホルダとともに相対的に移動させて基板に溝を形成するための基板の溝加工ツールに関する。また、本発明は、以上の溝加工ツールを備えた溝加工装置に関する。   The present invention relates to a grooving tool, and more particularly, to a grooving tool for a substrate for forming a groove in a substrate by being moved relative to the substrate to be processed together with the holder. Moreover, this invention relates to the groove processing apparatus provided with the above groove processing tool.

薄膜太陽電池は、例えば以下に示すような方法で製造される。すなわち、まず、ガラス等の基板上にMo膜からなる下部電極膜が形成され、その後、下部電極膜に溝が形成されることによって短冊状に分割される。次に、下部電極膜上にCIGS膜等のカルコパイライト構造化合物半導体膜を含む化合物半導体膜が形成される。そして、これらの半導体膜の一部が溝加工によりストライプ状に除去されて短冊状に分割され、これらを覆うように上部電極膜が形成される。最後に、上部電極膜の一部が溝加工によってストライプ状に剥離されて短冊状に分割される。   A thin film solar cell is manufactured by the method as shown below, for example. That is, first, a lower electrode film made of a Mo film is formed on a substrate such as glass, and then a groove is formed in the lower electrode film so that the film is divided into strips. Next, a compound semiconductor film including a chalcopyrite structure compound semiconductor film such as a CIGS film is formed on the lower electrode film. Then, a part of these semiconductor films is removed in stripes by groove processing and divided into strips, and an upper electrode film is formed so as to cover them. Finally, a part of the upper electrode film is peeled off into stripes by groove processing and divided into strips.

以上のような方法において使用される溝加工ツールが、特許文献１に示されている。この特許文献１に示される溝加工ツールは、ホルダに保持されるツール本体と、ツール本体の先端部に形成され溝加工用の刃を有する刃先部と、を有している。   A grooving tool used in the above method is disclosed in Patent Document 1. The grooving tool shown in Patent Document 1 includes a tool main body held by a holder, and a cutting edge portion that is formed at the tip of the tool main body and has a grooving blade.

特開２０１１−１４２２３５号公報JP 2011-142235 A

特許文献１の図３等から明らかなように、従来の溝加工装置に用いられるツールは、ツールの移動方向と直交する幅方向の中央部にのみ刃が形成されている。すなわち、ツールのホルダへの装着面と刃との間には間隔が存在する。この間隔は、ツール自体の加工誤差によって変化する。   As is clear from FIG. 3 and the like of Patent Document 1, the tool used in the conventional grooving apparatus has a blade formed only at the center in the width direction orthogonal to the moving direction of the tool. That is, there is a gap between the mounting surface of the tool on the holder and the blade. This interval varies depending on machining errors of the tool itself.

このような状況において、ツールの摩耗等によってツールを交換した場合、前述の加工誤差によって、ホルダのツール装着面からツールの刃までの距離が変化する場合がある。この距離が変化すると、精度よく溝を加工することができない。したがって、ツールを交換するたびに加工位置を調整する必要がある。   In such a situation, when the tool is replaced due to tool wear or the like, the distance from the tool mounting surface of the holder to the tool blade may change due to the above-described processing error. If this distance changes, the groove cannot be machined with high accuracy. Therefore, it is necessary to adjust the machining position each time the tool is changed.

本発明の課題は、ツールを交換した場合であっても、加工位置の調整が不要で、精度よく溝加工を行うことができるようにすることにある。   An object of the present invention is to make it possible to accurately perform grooving without adjusting the machining position even when the tool is replaced.

第１発明に係る基板の溝加工ツールは、ホルダに保持され、加工対象である基板上をホルダとともに相対的に移動させて基板に溝を形成するためのツールであって、ツール本体と刃先部とを備えている。ツール本体は、ホルダに当接する当接面を有し、ホルダに保持される。刃先部は、ツール本体の先端部に形成され、当接面から連続して当接面と面一に形成された基準面を有するとともに、基準面から所定の幅を有している。   A substrate grooving tool according to a first aspect of the present invention is a tool for forming a groove in a substrate by being moved relative to the substrate to be processed together with the holder, the tool main body and the blade edge portion. And. The tool body has a contact surface that contacts the holder, and is held by the holder. The cutting edge portion is formed at the tip portion of the tool body, has a reference surface that is continuous with the contact surface and is flush with the contact surface, and has a predetermined width from the reference surface.

ここでは、刃先部は、ツール本体のホルダに装着される当接面と面一の基準面を有しており、この基準面から所定の幅で形成される。したがって、ツール本体の当接面と刃との間の距離が加工誤差によってツール毎に異なることはない。このため、ツール交換時に加工位置の調整をする必要がなく、精度よく溝を加工することができる。   Here, the blade edge portion has a reference surface that is flush with the contact surface to be mounted on the holder of the tool body, and is formed with a predetermined width from this reference surface. Therefore, the distance between the contact surface of the tool body and the blade does not vary from tool to tool due to processing errors. For this reason, it is not necessary to adjust the machining position when changing the tool, and the groove can be machined with high accuracy.

第２発明に係る基板の溝加工ツールは、第１発明の溝加工ツールにおいて、刃先部の先端には刃が形成されており、刃を含む刃先部の先端部は移動方向から視て方形である。   A grooving tool for a substrate according to a second invention is the grooving tool of the first invention, wherein a blade is formed at the tip of the blade tip, and the tip of the blade tip including the blade is square when viewed from the moving direction. is there.

ここでは、刃を含む刃先部が方形であるので、ツールの刃が摩耗しても、加工される溝幅が一定になる。   Here, since the blade edge portion including the blade is rectangular, even if the blade of the tool is worn, the processed groove width is constant.

第３発明に係る基板の溝加工ツールは、第２発明の溝加工ツールにおいて、刃先部の刃が形成された側部には、刃から離れるにしたがって移動方向上流側に傾斜する掬い面が形成されている。   The substrate grooving tool according to a third aspect of the present invention is the grooving tool of the second aspect, wherein a scooping surface that is inclined toward the upstream side in the moving direction as the distance from the blade is formed on the side portion where the blade of the blade edge portion is formed. Has been.

ここでは、刃が形成されたツールの側部には掬い面が形成されているので、除去された基板の一部の排出性が良好になる。したがって、溝周辺の膜等が剥離するのを抑えることができる。   Here, since the scooping surface is formed in the side part of the tool in which the blade was formed, the discharge property of a part of the removed substrate is improved. Therefore, it is possible to suppress peeling of the film around the groove.

第４発明に係る基板の溝加工ツールは、第１又は第２発明の溝加工ツールにおいて、ホルダは往復移動するものである。また、刃先部は、移動方向の往動側の先端に形成された第１刃と、復動側の先端に形成された第２刃と、を有している。そして、第１刃が形成された刃先部の第１側部と、第２刃が形成された刃先部の第２側部には、各刃から離れるにしたがって移動方向上流側に傾斜する掬い面が形成されている。   A substrate groove processing tool according to a fourth aspect of the present invention is the groove processing tool according to the first or second aspect, wherein the holder reciprocates. In addition, the blade edge portion has a first blade formed at the forward end in the moving direction and a second blade formed at the backward end. And the scooping surface which inclines in the moving direction upstream as it leaves | separates from each blade in the 1st side part of the blade edge part in which the 1st blade was formed, and the 2nd side part of the blade edge part in which the 2nd blade was formed. Is formed.

ここでは、ホルダを往復移動させることによって、往動時にはツールの第１刃で、復動時にはツールの第２刃で、それぞれ溝加工をすることができる。また、第３発明と同様に、各刃が形成されたツールの両側部には掬い面が形成されているので、除去された基板の一部の排出性が良好になる。したがって、溝周辺の膜等が剥離するのを抑えることができる。   Here, by reciprocating the holder, grooving can be performed with the first blade of the tool during forward movement and with the second blade of the tool during backward movement. Moreover, since the scooping surface is formed in the both sides of the tool in which each blade was formed similarly to 3rd invention, the discharge | emission characteristic of a part of removed board | substrate becomes favorable. Therefore, it is possible to suppress peeling of the film around the groove.

第５発明に係る基板の溝加工装置は、基板のパターニングラインに沿って溝を形成する装置であって、基板が載置されるテーブルと、第１から第４発明のいずれかにの溝加工ツールが装着されるヘッドと、テーブルとヘッドとを水平面内で相対的に移動させるための移動機構と、を備えている。そして、ヘッドは、上下移動可能なホルダと、ホルダに保持された溝加工ツールを基板に対して所定の押圧力で押圧する押圧部材と、を有している。   A substrate groove processing apparatus according to a fifth aspect of the present invention is an apparatus for forming a groove along a patterning line of a substrate, the table on which the substrate is placed, and the groove processing according to any one of the first to fourth aspects of the present invention. A head on which the tool is mounted; and a moving mechanism for relatively moving the table and the head in a horizontal plane. The head includes a holder that can move up and down, and a pressing member that presses the groove processing tool held by the holder against the substrate with a predetermined pressing force.

この装置では、溝加工ツールは、押圧部材によって基板に所定の押圧力で押圧され、往復移動される。そして、往動時と復動時の両方において基板上に溝が形成される。   In this apparatus, the grooving tool is pressed against the substrate by the pressing member with a predetermined pressing force, and is reciprocated. A groove is formed on the substrate both during forward movement and during backward movement.

第６発明に係る基板の溝加工装置は、第５発明の装置において、ホルダは、溝加工ツールを保持し、移動方向と直交する揺動軸を支点として揺動し、往動位置と復動位置とを取り得る揺動部材を有している。   A substrate grooving apparatus according to a sixth aspect of the present invention is the apparatus according to the fifth aspect of the present invention, wherein the holder holds the grooving tool and oscillates about an oscillating shaft orthogonal to the moving direction as a fulcrum. It has a rocking member that can be positioned.

以上のような本発明では、ツールを交換した場合であっても、加工位置の調整が不要になり、精度よく溝加工を行うことができる。   In the present invention as described above, even when the tool is replaced, it is not necessary to adjust the processing position, and the groove processing can be performed with high accuracy.

本発明の一実施形態による溝加工ツールが装着された溝加工装置の外観斜視図。1 is an external perspective view of a grooving apparatus equipped with a grooving tool according to an embodiment of the present invention. 溝加工装置のヘッドの正面図。The front view of the head of a groove processing apparatus. 溝加工ツールの側面、正面を示す図。The figure which shows the side and front of a groove processing tool. 溝加工時の動作を説明するための模式図。The schematic diagram for demonstrating the operation | movement at the time of a groove process.

本発明の一実施形態による溝加工ツールが装着された溝加工装置の外観斜視図を図１に示す。   FIG. 1 shows an external perspective view of a grooving apparatus equipped with a grooving tool according to an embodiment of the present invention.

［溝加工装置の全体構成］
この装置は、基板Ｗが載置されるテーブル１と、溝加工ツール（以下、単にツールと記す）２が装着されたヘッド３と、それぞれ２つのカメラ４及びモニタ５と、を備えている。 [Overall configuration of groove processing equipment]
This apparatus includes a table 1 on which a substrate W is placed, a head 3 on which a groove processing tool (hereinafter simply referred to as a tool) 2 is mounted, and two cameras 4 and a monitor 5 respectively.

テーブル１は水平面内において図１のＹ方向に移動可能である。また、テーブル１は水平面内で任意の角度に回転可能である。なお、図１では、ヘッド３の概略の外観を示しており、ヘッド３の詳細は後述する。   The table 1 is movable in the Y direction in FIG. 1 in a horizontal plane. The table 1 can be rotated at an arbitrary angle within a horizontal plane. FIG. 1 shows a schematic appearance of the head 3, and details of the head 3 will be described later.

ヘッド３は、移動支持機構６によって、テーブル１の上方においてＸ，Ｙ方向に移動可能である。なお、Ｘ方向は、図１に示すように、水平面内でＹ方向に直交する方向である。移動支持機構６は、１対の支持柱７ａ，７ｂと、１対の支持柱７ａ，７ｂ間にわたって設けられたガイドバー８と、ガイドバー８に形成されたガイド９を駆動するモータ１０と、を有している。ヘッド３は、ガイド９に沿って、前述のようにＸ方向に移動可能である。   The head 3 can be moved in the X and Y directions above the table 1 by the moving support mechanism 6. The X direction is a direction orthogonal to the Y direction in the horizontal plane, as shown in FIG. The moving support mechanism 6 includes a pair of support columns 7a and 7b, a guide bar 8 provided between the pair of support columns 7a and 7b, a motor 10 that drives a guide 9 formed on the guide bar 8, and have. The head 3 is movable in the X direction along the guide 9 as described above.

２つのカメラ４はそれぞれ台座１２に固定されている。各台座１２は支持台１３に設けられたＸ方向に延びるガイド１４に沿って移動可能である。２つのカメラ４は上下動が可能であり、各カメラ４で撮影された画像が対応するモニタ５に表示される。   The two cameras 4 are each fixed to a pedestal 12. Each base 12 is movable along a guide 14 provided in the support base 13 and extending in the X direction. The two cameras 4 can move up and down, and an image photographed by each camera 4 is displayed on a corresponding monitor 5.

［ヘッド］
図２にヘッド３を抽出して示している。ヘッド３は、板状のベース１６と、ホルダ１７と、エアシリンダ１９と、を有している。 [head]
FIG. 2 shows the head 3 extracted. The head 3 has a plate-like base 16, a holder 17, and an air cylinder 19.

ホルダ１７は、図示しないレールを介して、ベース１６に対して上下方向にスライド自在に支持されている。ホルダ１７は、ホルダ本体２２と、ホルダ本体２２の表面に固定された支持部材２３と、揺動部材１８と、を有している。   The holder 17 is supported so as to be slidable in the vertical direction with respect to the base 16 via a rail (not shown). The holder 17 has a holder main body 22, a support member 23 fixed to the surface of the holder main body 22, and a swing member 18.

ホルダ本体２２は、板状に形成され、上部に開口２２ａを有している。支持部材２３は横方向に長い矩形状の部材であり、内部に揺動部材１８が挿通する貫通孔２３ａが形成されている。   The holder main body 22 is formed in a plate shape and has an opening 22a at the top. The support member 23 is a rectangular member that is long in the lateral direction, and a through hole 23a through which the swing member 18 is inserted is formed.

揺動部材１８は、ホルダ本体２２及び支持部材２３に揺動自在に支持されている。揺動部材１８は、下部のツール装着部２４と、ツール装着部２４から上方に延びて形成された延長部２５と、を有している。   The swing member 18 is supported by the holder body 22 and the support member 23 so as to be swingable. The swing member 18 has a lower tool mounting portion 24 and an extension portion 25 formed to extend upward from the tool mounting portion 24.

ツール装着部２４には溝が形成され、この溝にツール２が挿入され、さらに固定プレート２４ａによってツール２が溝内に固定されている。   A groove is formed in the tool mounting portion 24, the tool 2 is inserted into the groove, and the tool 2 is fixed in the groove by a fixing plate 24a.

延長部２５の下部には、水平方向で、かつ溝形成方向と直交する方向に貫通する孔２５ａが形成されている。そして、この孔２５ａを貫通するピン２６を中心に揺動部材１８は揺動自在となっている。ピン２６はホルダ本体２２と支持部材２３によって支持されている。   A hole 25a that penetrates in a horizontal direction and in a direction orthogonal to the groove forming direction is formed in the lower portion of the extension portion 25. The swing member 18 is swingable around a pin 26 that passes through the hole 25a. The pin 26 is supported by the holder body 22 and the support member 23.

延長部２５の上端部２５ｂの左右両側には、１対の規制部材２７ａ，２７ｂが設けられている。各規制部材２７ａ，２７ｂは、図４に示すように、ホルダ本体２２に固定された筒状部材２８ａ，２８ｂと、筒状部材２８ａ，２８ｂの内部に挿入されたスプリング２９ａ，２９ｂと、を有している。そして、各スプリング２９ａ，２９ｂの先端が延長部２５の上端部２５ｂに当接することにより、揺動部材１８は図２及び図４（ｂ）に示すような中立位置に維持されている。また、揺動部材１８が揺動していずれかのスプリング２９ａ，２９ｂを押し、延長部２５の上端部２５ｂが筒状部材２８ａ，２８ｂに当接することにより、揺動角度が規制されるようになっている。   A pair of restricting members 27 a and 27 b are provided on both the left and right sides of the upper end portion 25 b of the extension portion 25. As shown in FIG. 4, each regulating member 27a, 27b has cylindrical members 28a, 28b fixed to the holder body 22, and springs 29a, 29b inserted into the cylindrical members 28a, 28b. doing. The tip of each spring 29a, 29b abuts on the upper end 25b of the extension 25, so that the swinging member 18 is maintained in the neutral position as shown in FIGS. Further, the swinging member 18 swings and pushes any one of the springs 29a and 29b, and the upper end portion 25b of the extension portion 25 comes into contact with the cylindrical members 28a and 28b so that the swinging angle is regulated. It has become.

エアシリンダ１９はシリンダ支持部材３０の上面に固定されている。シリンダ支持部材３０は、ホルダ１７の上部に配置され、ベース１６に固定されている。シリンダ支持部材３０には上下方向に貫通する孔が形成されており、エアシリンダ１９のピストンロッド（図示せず）がこの貫通孔を貫通し、ロッド先端がホルダ１７に連結されている。   The air cylinder 19 is fixed to the upper surface of the cylinder support member 30. The cylinder support member 30 is disposed on the upper portion of the holder 17 and is fixed to the base 16. A hole penetrating in the vertical direction is formed in the cylinder support member 30, and a piston rod (not shown) of the air cylinder 19 penetrates the through hole, and the rod tip is connected to the holder 17.

また、ベース１６の上部にはスプリング支持部材３１が設けられている。スプリング支持部材３１とホルダ１７との間にはスプリング３２が設けられており、スプリング３２によってホルダ１７は上方に付勢されている。このスプリング３２によって、ホルダ１７の自重をほぼキャンセルすることができる。   A spring support member 31 is provided on the upper portion of the base 16. A spring 32 is provided between the spring support member 31 and the holder 17, and the holder 17 is biased upward by the spring 32. By the spring 32, the weight of the holder 17 can be almost canceled.

ホルダ１７の左右両側には、１対のエア供給部３４ａ，３４ｂが設けられている。１対のエア供給部３４ａ，３４ｂはともに同じ構成であり、それぞれジョイント３５とエアノズル３６とを有している。   A pair of air supply portions 34 a and 34 b are provided on the left and right sides of the holder 17. The pair of air supply units 34 a and 34 b have the same configuration, and each have a joint 35 and an air nozzle 36.

［ツール］
図３にツール２の詳細を示している。図３（ａ）はツール２を移動方向から視た側面図であり、同図（ｂ）はその正面図である。図３（ｂ）にツール２の移動方向Ｍを示している。 [tool]
FIG. 3 shows details of the tool 2. FIG. 3A is a side view of the tool 2 viewed from the moving direction, and FIG. 3B is a front view thereof. FIG. 3B shows the moving direction M of the tool 2.

ツール２は、ホルダ１７に保持されるツール本体３６と、ツール本体３６の先端部に形成された刃先部３７と、を有している。図３（ａ）において、ツール本体３６の一方の面３６ａは、ツール装着部２４に当接する当接面となっている。   The tool 2 has a tool main body 36 held by the holder 17 and a blade edge portion 37 formed at the tip of the tool main body 36. In FIG. 3A, one surface 36 a of the tool main body 36 is a contact surface that contacts the tool mounting portion 24.

刃先部３７は、ツール本体３６の先端部において、高さｈ（図３（ｂ）参照）の範囲に形成されている。図３（ａ）から明らかなように、刃先部３７の一方の面３７ａは、ツール本体３６の当接面３６ａと連続し、面一に形成された基準面となっている。刃先部３７は、この基準面３７ａから所定の幅に形成されており、移動方向から視て方形に形成されている。   The blade edge portion 37 is formed in the range of the height h (see FIG. 3B) at the distal end portion of the tool main body 36. As apparent from FIG. 3A, one surface 37 a of the blade edge portion 37 is continuous with the contact surface 36 a of the tool main body 36 and serves as a reference surface formed flush with the tool body 36. The blade edge portion 37 is formed with a predetermined width from the reference surface 37a, and is formed in a square shape when viewed from the moving direction.

刃先部３７の先端において、移動方向の両側には第１刃３８ａ及び第２刃３８ｂが形成されている。ここでは、第１刃３８ａが往動時に溝加工をするための刃であり、第２刃３８ｂが復動時に溝加工をするための刃である。   A first blade 38a and a second blade 38b are formed on both sides in the movement direction at the tip of the blade edge portion 37. Here, the first blade 38a is a blade for grooving when moving forward, and the second blade 38b is a blade for grooving when returning.

また、図３（ａ）で示すように、刃先部３７において、移動方向と直交する方向の幅Ｗはツール本体３６の同方向の幅に比較して狭く形成されている。前述のように、刃先部３７は方形に形成されているので、この方向の刃先部３７の幅は全長にわたって同じ幅Ｗである。さらに、ツール本体３６の刃先部３７側の部分は、図３（ａ）から明らかなように、移動方向と直交する方向の幅が刃先部３７に近づくにしたがって狭くなるように、角度Ｄで傾斜している。 Further, as shown in FIG. 3A, the width W in the direction perpendicular to the moving direction is formed narrower than the width in the same direction of the tool body 36 in the blade edge portion 37. As described above, since the blade edge portion 37 is formed in a square shape , the width of the blade edge portion 37 in this direction is the same width W over the entire length. Further, as is apparent from FIG. 3A, the portion of the tool body 36 on the blade edge portion 37 side is inclined at an angle D so that the width in the direction orthogonal to the moving direction becomes narrower as the blade edge portion 37 is approached. doing.

ツール２は、刃先部３７を含む下端部の側面に、掬い面が形成されている。より詳細には、図３（ｂ）に示すように、ツール２を正面（移動方向と直交する方向）から視て、第１刃３８ａが形成された刃先部３７を含む第１側部と、第２刃３８ｂが形成された刃先部３７を含む第２側部には、各刃３８ａ，３８ｂから上方に行くにしたがって内部側（各刃において移動方向上流側）に傾斜する掬い面４０ａ，４０ｂが形成されている。   As for the tool 2, the scooping surface is formed in the side surface of the lower end part containing the blade edge | tip part 37. FIG. More specifically, as shown in FIG. 3B, when the tool 2 is viewed from the front (direction orthogonal to the moving direction), a first side including a blade edge portion 37 on which a first blade 38a is formed; On the second side portion including the blade edge portion 37 on which the second blade 38b is formed, scooping surfaces 40a, 40b that incline toward the inner side (upstream in the moving direction in each blade) as they go upward from the blades 38a, 38b. Is formed.

［溝加工動作］
以上のような装置を用いて薄膜太陽電池基板に溝加工を行う場合は、移動機構６によりヘッド３を移動させるとともにテーブル１を移動させ、カメラ４及びモニタ５を用いて、ツール２を、溝を形成する予定ライン上に位置させる。 [Grooving operation]
When the groove processing is performed on the thin-film solar cell substrate using the apparatus as described above, the head 3 is moved by the moving mechanism 6 and the table 1 is moved. The camera 4 and the monitor 5 are used to move the tool 2 to the groove. On the planned line to form.

以上のような位置合わせを行った後、エアシリンダ１９を駆動してホルダ１７及び揺動部材１８を下降させて、ツール２の先端を薄膜に当てる。このときの、ツール２の薄膜に対する加圧力は、エアシリンダ１９に供給されるエア圧によって調整される。   After the alignment as described above, the air cylinder 19 is driven to lower the holder 17 and the swinging member 18, and the tip of the tool 2 is applied to the thin film. At this time, the pressure applied to the thin film of the tool 2 is adjusted by the air pressure supplied to the air cylinder 19.

次にモータ１０を駆動して、ヘッド３を溝加工予定ラインに沿って走査する。このときの揺動部材１８及びツール２の姿勢を、図４に模式的に示している。   Next, the motor 10 is driven to scan the head 3 along the groove processing scheduled line. The postures of the swing member 18 and the tool 2 at this time are schematically shown in FIG.

往動時（図４において右側への移動時）は、図４（ａ）に示すように、第１刃３８ａと基板上の薄膜との接触抵抗によって、揺動部材１８はピン２６を中心に時計回りに揺動する。この揺動は、揺動部材１８の上端部２５ｂが右側の筒状部材２８ａに当接することによって、規制される。したがって、ツール２は図４（ａ）に示すような傾斜姿勢のまま、第１刃３８ａが基板上の薄膜に当接し、第２刃３８ｂが基板の表面に当接していない状態で＋M方向に移動され、溝が形成される。   At the time of forward movement (when moving to the right in FIG. 4), as shown in FIG. 4A, the swing member 18 is centered on the pin 26 due to the contact resistance between the first blade 38a and the thin film on the substrate. Swings clockwise. This swinging is restricted by the upper end portion 25b of the swinging member 18 coming into contact with the right cylindrical member 28a. Therefore, the tool 2 remains in the inclined posture as shown in FIG. 4A, and the first blade 38a is in contact with the thin film on the substrate and the second blade 38b is not in contact with the surface of the substrate in the + M direction. It is moved and a groove is formed.

この後、ヘッド３を基板に対して相対的に移動させて、ツール２を次に下降すべき溝加工予定ライン上に移動させる。そして、前記同様に、ツール２を基板上の薄膜に押し付けて、前記とは逆方向にヘッド３を移動させる。   Thereafter, the head 3 is moved relative to the substrate, and the tool 2 is moved onto the groove processing scheduled line to be lowered next. In the same manner as described above, the tool 2 is pressed against the thin film on the substrate, and the head 3 is moved in the opposite direction.

この復動時（図４において左側への移動時）においては、図４（ｃ）に示すように、第２刃３８ｂと基板上の薄膜との接触抵抗によって、揺動部材１８はピン２６を中心に反時計回りに揺動する。この揺動は、揺動部材１８の上端部２５ｂが左側の筒状部材２８ｂに当接することによって、規制される。したがって、ツール２は図４（ｃ）に示すような傾斜姿勢のまま、第２刃３８ｂが基板上の薄膜に当接し、第１刃３８ａが基板の表面に当接していない状態で−M方向に移動され、溝が形成される。   At the time of this backward movement (when moving to the left side in FIG. 4), as shown in FIG. 4 (c), the rocking member 18 causes the pin 26 to move by the contact resistance between the second blade 38b and the thin film on the substrate. Swings counterclockwise about the center. This swing is restricted by the upper end 25b of the swing member 18 coming into contact with the left tubular member 28b. Accordingly, the tool 2 remains in the inclined posture as shown in FIG. 4C, the second blade 38b is in contact with the thin film on the substrate, and the first blade 38a is not in contact with the surface of the substrate in the −M direction. And a groove is formed.

以上のような溝加工中においては、ツール２の刃先部３７を含む先端部分には、掬い面４０ａ，４０ｂが形成されているので、各刃３８ａ，３８ｂによって除去された膜を基板の上方にスムーズに逃がすことができる。したがって、溝周辺部の膜剥離を抑えることができる。   During the grooving as described above, the scooping surfaces 40a and 40b are formed at the tip portion including the cutting edge portion 37 of the tool 2, so that the film removed by the blades 38a and 38b is placed above the substrate. You can escape smoothly. Therefore, film peeling at the periphery of the groove can be suppressed.

なお、溝加工中あるいは溝加工終了時において、各エア供給部３４ａ，３４ｂのエアノズル３６からエアが噴出され、基板から剥離された膜が除去される。   Note that air is ejected from the air nozzles 36 of the air supply portions 34a and 34b during the groove processing or at the end of the groove processing, and the film peeled off from the substrate is removed.

ツール２の刃先部３７が摩耗してきた場合は、ツール２を交換する必要がある。このツール２の交換時においては、ツール本体３６の当接面３６ａをホルダ本体２２の表面に当接して装着するだけでよい。刃先部３７は当接面３６ａと同一面である基準面から所定の幅で形成されているので、各刃３８ａ，３８ｂの位置がツール毎に変わることがない。したがって、ツール２の交換時に交換前後で刃３８ａ，３８ｂの位置が変わることがなく、ツール交換時にツールの取付位置の調整が不要になる。   When the blade edge portion 37 of the tool 2 is worn, it is necessary to replace the tool 2. At the time of exchanging the tool 2, it is only necessary to attach the contact surface 36 a of the tool main body 36 to the surface of the holder main body 22. Since the blade edge portion 37 is formed with a predetermined width from a reference surface that is the same surface as the contact surface 36a, the position of each blade 38a, 38b does not change for each tool. Therefore, the position of the blades 38a, 38b does not change before and after the replacement when the tool 2 is replaced, and the adjustment of the mounting position of the tool becomes unnecessary when the tool is replaced.

［特徴］
（１）刃先部３７が、ツール本体３６のホルダ１７に装着される当接面３６ａと面一の基準面３７ａから所定の幅で形成されている。したがって、ホルダ１７に対する各刃３８ａ，３８ｂの位置がツール毎に異なることはなく、ツール交換時に加工位置の調整をする必要がない。 [Feature]
(1) The blade edge portion 37 is formed with a predetermined width from the reference surface 37a flush with the contact surface 36a attached to the holder 17 of the tool body 36. Therefore, the positions of the blades 38a and 38b with respect to the holder 17 are not different for each tool, and it is not necessary to adjust the processing position when changing the tool.

（２）刃先部３７が移動方向から視て方形であるので、刃３８ａ，３８ｂが摩耗しても、加工される溝幅が一定になる。   (2) Since the blade edge portion 37 is square when viewed from the moving direction, the processed groove width is constant even when the blades 38a and 38b are worn.

（３）刃先部３７を含むツール２の側部には掬い面４０ａ，４０ｂが形成されているので、除去された膜の排出性が良好になり、溝周辺の膜剥離を抑えることができる。   (3) Since the scooping surfaces 40a and 40b are formed on the side portion of the tool 2 including the blade edge portion 37, the removed film can be easily discharged, and film peeling around the groove can be suppressed.

［他の実施形態］
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。 [Other Embodiments]
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes or modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

刃先部の形状は種々の変更が可能である。例えば、図３（ａ）に示した幅Ｗを、ツール本体３６の幅と同じにしてもよく、またツール本体３６の幅より大きくしてもよい。また、刃の側部を任意の角度で形成してもよい。   Various changes can be made to the shape of the cutting edge. For example, the width W shown in FIG. 3A may be the same as the width of the tool body 36 or may be larger than the width of the tool body 36. Further, the side portion of the blade may be formed at an arbitrary angle.

１ テーブル
２ ツール
３ ヘッド
６ 移動支持機構
１７ ホルダ
１８ 揺動部材
１９ エアシリンダ
２２ ホルダ本体
３６ ツール本体
３７ 刃先部
３８ａ，３８ｂ 刃
４０ａ，４０ｂ 掬い面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Table 2 Tool 3 Head 6 Movement support mechanism 17 Holder 18 Swing member 19 Air cylinder 22 Holder main body 36 Tool main body 37 Cutting edge part 38a, 38b Blade 40a, 40b

Claims (6)

ホルダに保持され、加工対象である基板上を前記ホルダとともに相対的に移動させて基板に溝を形成するための溝加工ツールであって、
前記ホルダに当接する当接面を有し、前記ホルダに保持されるツール本体と、
前記ツール本体の先端部に形成され、前記当接面から連続して前記当接面と面一に形成された基準面を有するとともに、前記基準面から所定の幅を有する刃先部と、
を備え、
前記刃先部の移動方向と直交する方向の幅は前記ツール本体の同方向の幅に比較して狭く形成されており、
前記ツール本体の刃先部側の部分は、移動方向と直交する方向の幅が前記刃先部に行くにしたがって狭くなるように所定の角度で傾斜している、
基板の溝加工ツール。 A groove processing tool for forming a groove in a substrate by being moved relative to the substrate to be processed together with the holder, held by a holder,
A tool body that has a contact surface that contacts the holder and is held by the holder;
A cutting edge portion formed at the tip of the tool body, having a reference surface formed flush with the contact surface continuously from the contact surface, and having a predetermined width from the reference surface;
Equipped with a,
The width in the direction perpendicular to the direction of movement of the cutting edge is formed narrower than the width in the same direction of the tool body,
The part on the blade edge part side of the tool body is inclined at a predetermined angle so that the width in the direction orthogonal to the moving direction becomes narrower as it goes to the blade edge part,
Substrate grooving tool. 前記刃先部の先端には刃が形成されており、前記刃を含む前記刃先部の先端部は移動方向から視て方形である、請求項１に記載の基板の溝加工ツール。   2. The substrate grooving tool according to claim 1, wherein a blade is formed at a tip of the blade tip portion, and a tip portion of the blade tip portion including the blade is square when viewed from a moving direction. 前記刃先部の刃が形成された側部には、前記刃から離れるにしたがって移動方向上流側に傾斜する掬い面が形成されている、請求項２に記載の溝加工ツール。   The grooving tool according to claim 2, wherein a scooping surface that inclines toward the upstream side in the moving direction as the distance from the blade is formed on a side portion on which the blade of the blade edge portion is formed. 前記ホルダは往復移動するものであり、
前記刃先部は、移動方向の往動側の先端に形成された第１刃と、復動側の先端に形成された第２刃と、を有し、
前記第１刃が形成された前記刃先部の第１側部と、前記第２刃が形成された前記刃先部の第２側部には、前記各刃から離れるにしたがって移動方向上流側に傾斜する掬い面が形成されている、
請求項１又は２に記載の溝加工ツール。 The holder is reciprocating;
The blade edge portion has a first blade formed at the forward end of the moving direction, and a second blade formed at the backward end of the moving direction,
The first side portion of the blade edge portion where the first blade is formed and the second side portion of the blade edge portion where the second blade is formed are inclined toward the upstream side in the movement direction as they are separated from the blades. An ugly surface is formed,
The grooving tool according to claim 1 or 2. 基板のパターニングラインに沿って溝を形成する基板の溝加工装置であって、
基板が載置されるテーブルと、
請求項１から４のいずれかに記載の溝加工ツールが装着されるヘッドと、
前記テーブルと前記ヘッドとを水平面内で相対的に移動させるための移動機構と、
を備え、
前記ヘッドは、
上下移動可能なホルダと、
前記ホルダに保持された溝加工ツールを基板に対して所定の押圧力で押圧する押圧部材と、
を有している、基板の溝加工装置。 A substrate groove processing apparatus for forming a groove along a patterning line of a substrate,
A table on which a substrate is placed;
A head to which the grooving tool according to any one of claims 1 to 4 is mounted;
A moving mechanism for relatively moving the table and the head in a horizontal plane;
With
The head is
A vertically movable holder;
A pressing member that presses the groove processing tool held by the holder against the substrate with a predetermined pressing force; and
A substrate groove processing apparatus. 前記ホルダは、前記溝加工ツールを保持し、前記移動方向と直交する揺動軸を支点として揺動し、往動位置と復動位置とを取り得る揺動部材を有している、
請求項５に記載の基板の溝加工装置。 The holder has a rocking member that holds the groove processing tool, rocks around a rocking shaft orthogonal to the moving direction, and can take a forward movement position and a backward movement position.
The substrate groove processing apparatus according to claim 5.
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