JP5825143B2 - EDM machine - Google Patents

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本発明は、放電加工中の加工部からスラッジ等を効率良く排出することで加工効率を高めることができる放電加工装置に関する。   The present invention relates to an electric discharge machining apparatus capable of increasing machining efficiency by efficiently discharging sludge and the like from a machining portion during electric discharge machining.

放電加工は、電極10と被加工物Wとの間隔を常に放電発生に適した間隔(極間距離)に保持されている間、加工が進行する。放電加工には、極間距離内である放電状態と、電極10と被加工物Wの間隔が極間距離より大きい開放状態、電極10が被加工物Wに接触している短絡状態の3状態があり、その3状態のうち、放電状態のみ加工が進展し、放電状態の時間割合を増加させることが高能率化につながる。   In the electric discharge machining, the machining proceeds while the distance between the electrode 10 and the workpiece W is always maintained at an interval suitable for the generation of electric discharge (distance between the electrodes). For electric discharge machining, there are three states: a discharge state within the distance between the electrodes, an open state in which the distance between the electrode 10 and the workpiece W is greater than the distance between the electrodes, and a short-circuit state in which the electrode 10 is in contact with the workpiece W Among these three states, machining progresses only in the discharge state, and increasing the time ratio of the discharge state leads to higher efficiency.

放電状態の時間割合が低い要因の一つとして、気泡の発生や加工屑(スラッジ)の滞留により、被加工物Wへの放電が生じにくくなることが挙げられる。特に、図1に示すような微細孔(50〜300μm)の放電加工では、放電加工によって生成される気泡の発生や加工屑が加工部に残留しやすく排出されにくい。加工屑は電極10と被加工物の間隔(一例として5μm程度)に多量に介在すると、加工する必要のない箇所で放電現象が発生したり、連続的にアーク現象を生じさせて加工に異常を生じさせたり、工具電極10と被加工物Wが短絡して加工が進まなくなったりして、加工が進展しなくなる。従って、加工により発生する加工屑を迅速に加工部より排出することが加工速度の上昇、加工精度の向上を図る有効な手段となる。   One of the factors that cause the low time ratio of the discharge state is that the discharge to the workpiece W is less likely to occur due to the generation of bubbles and the retention of machining waste (sludge). In particular, in the electric discharge machining of fine holes (50 to 300 μm) as shown in FIG. 1, the generation of bubbles generated by electric discharge machining and the processing scraps are likely to remain in the processed portion and are difficult to be discharged. If a large amount of machining waste is present in the gap between the electrode 10 and the workpiece (for example, about 5 μm), a discharge phenomenon occurs at a place where machining is not necessary, or an arc phenomenon occurs continuously, causing abnormal machining. Or the tool electrode 10 and the workpiece W are short-circuited so that the processing does not proceed, so that the processing does not progress. Accordingly, it is an effective means for increasing the processing speed and improving the processing accuracy to quickly discharge the processing waste generated by the processing from the processing portion.

また、図2に示すように、気泡が表面張力により滞留することがある。気泡の浮力が表面張力より大きくなると、気泡がスラッジとともに排出される。しかしながら、このような気泡は一定の浮力を持つまでは滞留し続けることから、排出性を悪化させることになる。   Also, as shown in FIG. 2, bubbles may stay due to surface tension. When the buoyancy of the bubbles becomes larger than the surface tension, the bubbles are discharged together with the sludge. However, since such bubbles continue to stay until they have a certain buoyancy, the discharge performance is deteriorated.

上記加工屑の排出性を高める技術としては、パイプ状の加工電極の利用、加工電極を振動させる、加工電極を回転させる、外部から加工部に加工液を吹きつける等の方法を挙げることができる。しかしながら、パイプ状の加工電極を利用する方法には、微細孔加工部を作製する際に次のような問題が生じるおそれがある。ここで、パイプ状の加工電極とはパイプ内に加工液注入路を設けた加工電極を示しており、この加工液注入路から加工液を加工部に対し注入することにより、加工部のスラッジを吹き飛ばすことができるよう構成されている。微細な加工部を加工するためには加工電極の径を細くする必要があり、これに伴って加工液注入路の径も細くならざるを得ない。従って、加工液の注入に非常に高い圧力が必要となり、加工液注入が困難となるおそれがある。しかも、このような微細な加工電極の作製は非常に困難であり、高コストである。   Examples of the technology for improving the discharge efficiency of the processing waste include a method of using a pipe-shaped processing electrode, vibrating the processing electrode, rotating the processing electrode, and spraying a processing liquid on the processing portion from the outside. . However, in the method using a pipe-shaped machining electrode, there is a possibility that the following problems may occur when producing a micro-hole machining portion. Here, the pipe-shaped machining electrode indicates a machining electrode in which a machining liquid injection path is provided in the pipe. By injecting the machining liquid from the machining liquid injection path into the machining part, sludge in the machining part is formed. It is configured so that it can be blown away. In order to process a fine processed portion, it is necessary to reduce the diameter of the processing electrode, and accordingly, the diameter of the processing liquid injection path must also be reduced. Therefore, a very high pressure is required for injecting the machining liquid, and there is a possibility that the infusion of the machining liquid may be difficult. Moreover, it is very difficult and expensive to produce such a fine processed electrode.

一方、加工電極を振動させる方法については、加工電極を振動させることでポンプ効果を生じせしめ、加工液を加工部より噴出させることでスラッジの排出効率を高めることができる。しかし、加工電極の径が細く、剛性が低い場合には、加工電極が損傷しやすくなるおそれがある。また、剛性の低い加工電極を振動させることで加工電極にブレや撓みが生じ、加工精度が低下したり、被加工物Wと接触しやすくなって短絡発生の頻度が増大するおそれがある。   On the other hand, with respect to the method of vibrating the machining electrode, the pumping effect is produced by vibrating the machining electrode, and the sludge discharge efficiency can be increased by ejecting the machining liquid from the machining portion. However, when the diameter of the machining electrode is thin and the rigidity is low, the machining electrode may be easily damaged. Further, when the machining electrode having low rigidity is vibrated, the machining electrode is shaken or bent, and the machining accuracy may be lowered, or the workpiece electrode may be easily brought into contact with the workpiece W to increase the frequency of occurrence of a short circuit.

また、加工電極を回転させる方法においては、加工電極を回転させることで加工液を攪拌し、加工液中に流れを生じせしめることでスラッジの排出効率を高めることができる。しかし、加工電極の径が細い場合には加工液を撹拌する力が弱いため、充分なスラッジ排出効果を得ることが難しい。以上説明した問題点は、加工部の径が200μmより小さい場合にしばしば発生する問題であり、加工部の径が100μmよりも小さい場合に特に顕著に発生する。   Further, in the method of rotating the machining electrode, the machining liquid is agitated by rotating the machining electrode, and a flow is generated in the machining liquid, so that the sludge discharge efficiency can be increased. However, when the diameter of the machining electrode is small, the force for stirring the machining liquid is weak, and it is difficult to obtain a sufficient sludge discharge effect. The problem described above is a problem that often occurs when the diameter of the processed portion is smaller than 200 μm, and particularly occurs when the diameter of the processed portion is smaller than 100 μm.

近年、気中放電加工が注目されてきており、特許文献1には、外部周辺からミスト供給を行う気中放電加工が開示されている。しかし、このようなミスト供給によっても図3、4に見られるように、微細孔加工時に外部周辺から吹きつけようとすると、排出気流の流れを阻害したり、ミストによる水滴が電極に付着したりして、電極の底部にミストが供給できなかったり、逆に過剰な量が供給されるなどの懸念が生じていた。   In recent years, air discharge machining has attracted attention, and Patent Document 1 discloses air discharge machining in which mist is supplied from the outside. However, as can be seen in FIGS. 3 and 4 even when such mist is supplied, if it is attempted to blow from the outside periphery during micro-hole processing, the flow of the exhaust air flow may be hindered or water droplets from the mist may adhere to the electrode. As a result, there has been a concern that mist cannot be supplied to the bottom of the electrode or that an excessive amount is supplied.

特開2006−102828号公報JP 2006-102828 A

本発明は、上記問題に鑑み、放電加工中の加工部からスラッジ等を効率良く排出することで加工効率を高めることができる放電加工装置を提供するものである。   In view of the above problems, the present invention provides an electric discharge machining apparatus capable of increasing machining efficiency by efficiently discharging sludge and the like from a machining portion during electric discharge machining.

上記課題を解決するために、請求項1の発明は、棒状の加工電極(10)と、前記加工電極(10)を前記加工電極(10)の軸心方向に沿ってガイドする電極ガイド(4)と、前記加工電極(10)と被加工物(W)との間に間歇的な電圧パルスを印加して繰り返し放電を発生するパルス電源ユニット(11)とを具備し、被加工物(W)に微小孔又は所定形状のキャビティを加工する放電加工装置において、前記電極ガイド(4)に、加工液をミスト化したミストを供給するミスト供給流路部を設置し、前記ミスト供給流路部は、前記電極ガイドの内周面において、前記軸心方向に沿って設けられた2以上のミスト流路溝(21−1、21−2)から構成され、放電加工する被加工物の微小孔(2a)に、前記軸心と同心状に前記ミストを供給し、さらに、帰還流路(21−3)が、前記2以上のミスト流路溝(21−1、21−2)の間に設けられ、前記2以上のミスト流路溝(21−1、21−2)と連通するようにした放電加工装置である。 In order to solve the above-mentioned problems, the invention of claim 1 includes a rod-shaped machining electrode (10) and an electrode guide (4) for guiding the machining electrode (10) along the axial direction of the machining electrode (10). ) And a pulse power supply unit (11) that repeatedly generates a discharge by applying intermittent voltage pulses between the machining electrode (10) and the workpiece (W). In the electric discharge machining apparatus for machining a microhole or a cavity of a predetermined shape, a mist supply flow path section for supplying a mist obtained by misting a machining liquid is installed in the electrode guide (4), and the mist supply flow path section Is composed of two or more mist channel grooves (21-1, 21-2) provided along the axial direction on the inner peripheral surface of the electrode guide, and is a microhole of a workpiece to be subjected to electric discharge machining. (2a), the mist concentrically with the axis Fed, further, the feedback channel (21-3) is provided between the two or more mist flow grooves (21-1, 21-2), the two or more mist flow grooves (21-1 , 21-2) .

なお、上記に付した符号は、後述する実施形態に記載の具体的実施態様との対応関係を示す一例である。   In addition, the code | symbol attached | subjected above is an example which shows a corresponding relationship with the specific embodiment as described in embodiment mentioned later.

従来技術による放電加工の説明図である。It is explanatory drawing of the electrical discharge machining by a prior art. 従来技術による放電加工の説明図である。It is explanatory drawing of the electrical discharge machining by a prior art. 従来技術による気中放電加工の説明図である。It is explanatory drawing of the air discharge machining by a prior art. 従来技術による気中放電加工の説明図である。It is explanatory drawing of the air discharge machining by a prior art. 本発明の一実施形態における放電加工装置の全体構成を説明する概念図である。It is a conceptual diagram explaining the whole structure of the electric discharge machining apparatus in one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態における放電加工の説明図である。It is explanatory drawing of the electrical discharge machining in one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態における放電加工におけるミスト供給の説明図(平面断面)である。It is explanatory drawing (plane cross section) of the mist supply in the electric discharge machining in one Embodiment of this invention. 形態における放電加工の説明図(正面断面)である。 It is explanatory drawing (front cross section) of the electrical discharge machining in one form. 形態における放電加工の説明図(平面断面)である。 It is explanatory drawing (plane cross section) of the electrical discharge machining in one form.

以下、図5〜8を参照して、本発明の一実施形態を説明する。各実施態様について、同一構成の部分には、同一の符号を付してその説明を省略する。
気中放電加工においては、加工液を適量供給することで、気化爆発の効果を活かし、かつ、加工孔内の対流停滞を抑制することで加工屑の排出性を向上させることが求められる。スラッジの排出性を向上させる点から考えると、孔全周において全周が水で浸っていないことが適切である。このような気中放電加工における加工液の適量供給を行う手段として、ミスト供給による加工が挙げられる。ミストの供給方法は、電極と同軸で供給する方法とノズルから供給する方法の2つがある。本実施形態は、前者であり、電極ガイド部にミストの流路を設け、同軸で供給する。流路形状は、加工孔への供給時に加工孔への流入位置と流出位置を区別できる構造であれば良い。本実施形態では、ミスト供給流路部として、ガイド内周面23(図7)に、電極の軸心Oに沿って、ミストの供給流路を溝21−1、21−2として設けたものである。この溝は単数でも良いが、軸心に対して相対するように対で設置すると、その間での排出流れが効果的に発生する。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. About each embodiment, the same code | symbol is attached | subjected to the part of the same structure, and the description is abbreviate | omitted.
In the air discharge machining, it is required to improve the discharge efficiency of the machining waste by supplying an appropriate amount of the machining fluid to take advantage of the effect of vaporization explosion and to suppress the convection stagnation in the machining hole. From the viewpoint of improving the sludge discharge performance, it is appropriate that the entire circumference of the hole is not immersed in water. As a means for supplying an appropriate amount of machining fluid in such an in-air electric discharge machining, machining by mist supply can be mentioned. There are two methods for supplying the mist: a method for supplying the mist coaxially with the electrode and a method for supplying from the nozzle. The present embodiment is the former, in which a mist flow path is provided in the electrode guide portion and supplied coaxially. The flow path shape may be a structure that can distinguish the inflow position and the outflow position into the processing hole when supplied to the processing hole. In the present embodiment, as the mist supply flow path portion, the mist supply flow path is provided as grooves 21-1 and 21-2 along the axial center O of the electrode on the guide inner peripheral surface 23 (FIG. 7). It is. This groove may be single, but if it is installed in pairs so as to be opposed to the shaft center, an exhaust flow between them is effectively generated.

先ず、本実施形態の放電加工装置について説明する。図5に示すように、加工電極10は、電極ガイド4を介して電極送りヘッド8に回転可能に取り付けられている。電極送りヘッド8は、加工電極10を把持する保持部6と、加工電極10をモータの中心軸廻りに回転させる回転駆動部(モータ)7とを搭載している。これにより、回転駆動部7によって、加工電極10と保持部6とは一緒になって回転する。保持部6及び加工電極10を回転可能に取り付けた電極送りヘッド8は、上下方向に移動可能な第1のNC軸9に取り付けられ、この第1のNC軸9による加工電極10の送り量は、制御部13によって一括制御される。回転駆動部7も制御部13によって制御されている。ここで、加工電極10が回転するようにして加工するものとして記載したが、加工時に回転しない場合であっても良く、回転駆動部(モータ)7は、必ずしも必須のものではない。   First, the electric discharge machining apparatus of this embodiment will be described. As shown in FIG. 5, the processing electrode 10 is rotatably attached to the electrode feed head 8 via the electrode guide 4. The electrode feed head 8 includes a holding unit 6 that holds the machining electrode 10 and a rotation drive unit (motor) 7 that rotates the machining electrode 10 around the central axis of the motor. Thereby, the processing electrode 10 and the holding unit 6 are rotated together by the rotation driving unit 7. The electrode feed head 8 to which the holding unit 6 and the machining electrode 10 are rotatably attached is attached to a first NC shaft 9 that is movable in the vertical direction. The feed amount of the machining electrode 10 by the first NC shaft 9 is as follows. The control unit 13 performs batch control. The rotation drive unit 7 is also controlled by the control unit 13. Here, although it described as what is processed so that the process electrode 10 may rotate, it may be a case where it does not rotate at the time of a process, and the rotation drive part (motor) 7 is not necessarily essential.

加工電極10を案内する電極ガイド4も、電極送りヘッド8と同様に電極ガイド調整機構5によって、上下方向に移動可能となっている。電極ガイド調整機構5は、電極ガイド4を取り付けるヘッド部5aと、このヘッド部5aが取り付けられる第2のNC軸5bとよりなり、この第2のNC軸5bによる電極ガイド4の移動量は、電極送りヘッド8と同様に制御部13によって制御される。被加工物Wに加工される貫通穴の穴径が小さくなる程、それに合わせて加工電極10の直径も小さくなり、加工電極10の剛性が低下する。電極ガイド4は、この加工電極10の剛性の低下を防止するために設けられる。   Similarly to the electrode feed head 8, the electrode guide 4 that guides the processing electrode 10 can also be moved in the vertical direction by the electrode guide adjustment mechanism 5. The electrode guide adjusting mechanism 5 includes a head portion 5a to which the electrode guide 4 is attached and a second NC shaft 5b to which the head portion 5a is attached. The amount of movement of the electrode guide 4 by the second NC shaft 5b is as follows. It is controlled by the control unit 13 in the same manner as the electrode feed head 8. As the diameter of the through-hole processed in the workpiece W decreases, the diameter of the processing electrode 10 decreases accordingly, and the rigidity of the processing electrode 10 decreases. The electrode guide 4 is provided to prevent the rigidity of the machining electrode 10 from being lowered.

被加工物Wは、加工テーブル3上に載置して固定される。加工テーブル3は、X軸、Y軸及びZ軸方向の移動のみならず、Z軸回りのθ角度方向への回転、更にはX−Y平面に対してα角度の傾斜が可能であるようなX−Y−Z−θ−α方向への移動・傾斜可能なテーブルであり、制御部13によって制御される。この加工テーブル3は、図示しない装置本体上に載置され、固定されている。   The workpiece W is placed and fixed on the processing table 3. The machining table 3 can be rotated not only in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions, but also in the θ-angle direction around the Z-axis, and can be inclined at an α angle with respect to the XY plane. The table is movable and tiltable in the XYZ-θ-α direction, and is controlled by the control unit 13. The processing table 3 is placed and fixed on an apparatus main body (not shown).

符号11は、加工中に加工電極10と被加工物Wとの間に電圧を印加するためのパルス電源ユニットである。例えば、加工電極10と被加工物Wとの間にパルス電源ユニット11から電圧パルスが印加される。放電加工による被加工物Wへの穴2aの形成中において、加工屑等が生成される。ヘッド部5aに取り付けられた電極ガイド4には、ミスト供給部12からエアと冷却液とが供給されるように、エア供給管12−1と冷却液(加工液)供給管12−2が、可撓性ホースなどで連結している。電極ガイド4内部でエアによりミストが形成され、被加工物Wの穴2aへミスト供給を行う。ミスト供給部12は、供給量、供給圧、供給時期などが制御されるように、制御部13によって適宜制御される。
以上説明した放電加工装置は、一例であり、その他の全体構成の放電加工装置においても、本実施形態は適用可能である。ワイヤーカット放電は除外される。
Reference numeral 11 denotes a pulse power supply unit for applying a voltage between the machining electrode 10 and the workpiece W during machining. For example, a voltage pulse is applied from the pulse power supply unit 11 between the machining electrode 10 and the workpiece W. During the formation of the hole 2a in the workpiece W by electric discharge machining, machining scraps and the like are generated. An air supply pipe 12-1 and a cooling liquid (processing liquid) supply pipe 12-2 are supplied to the electrode guide 4 attached to the head part 5 a so that air and cooling liquid are supplied from the mist supply part 12. It is connected with a flexible hose. A mist is formed in the electrode guide 4 by air, and the mist is supplied to the hole 2a of the workpiece W. The mist supply unit 12 is appropriately controlled by the control unit 13 so that the supply amount, supply pressure, supply timing, and the like are controlled.
The electric discharge machining apparatus described above is an example, and the present embodiment can be applied to an electric discharge machining apparatus having another overall configuration. Wire cut discharge is excluded.

図6、7を参照して、ミスト供給についての詳細を説明する。
電極ガイド4内部でエアによりミストが形成される。電極ガイド部4には、電極ガイド4の内周面23に、ミスト供給流路部として、軸心Oに沿って細長いミスト流路溝21−1、21−2が設けられている。ミストは、ミスト流路溝21−1、21−2に沿って、同軸で加工電極10の表面を、被加工物Wの穴2aに供給される。ここで重要な点は、ミストは加工電極10の全周に亘って供給されるのではなく、図7に示すように、排出するための帰還流路21−3が、ミスト流路溝21−1、21−2の間に設けられている点である。
Details of the mist supply will be described with reference to FIGS.
Mist is formed by air inside the electrode guide 4. The electrode guide part 4 is provided with elongated mist channel grooves 21-1 and 21-2 along the axis O as a mist supply channel part on the inner peripheral surface 23 of the electrode guide 4. The mist is coaxially supplied to the hole 2a of the workpiece W along the surface of the machining electrode 10 along the mist channel grooves 21-1 and 21-2. The important point here is that the mist is not supplied over the entire circumference of the machining electrode 10, but as shown in FIG. 7, the return flow path 21-3 for discharging is a mist flow path groove 21-. It is a point provided between 1 and 21-2.

ミスト流路溝21−1、21−2に沿って下方に供給されたミスト流は、加工屑を排出するように、帰還流路21−3において、上昇するのである。これにより、加工により発生する加工屑を、迅速に加工部より排出することができるので、加工速度の上昇、加工精度の向上を図ることができる。流路形状は、加工孔への供給時に加工孔への流入方向と流出方向を区別できる構造であれば良い。このミスト流路溝21−1、21−2は、単数でも良いが、軸心Oに対して相対するように対で設置すると排出流れが容易になる。3つミスト流路溝を120度間隔で設置することも可能である。余りミスト流路溝が多すぎると、帰還流路が確保できなくなるので、ミスト流路溝は、軸心Oに対して2、3が好適である。図7に示すように、帰還流路に、排出方向に吸引装置や磁石(永久磁石や電磁石)22を設けて、スラッジの排出を促進しても良い。   The mist flow supplied downward along the mist channel grooves 21-1 and 21-2 rises in the return channel 21-3 so as to discharge the processing waste. Thereby, since the processing waste generated by the processing can be quickly discharged from the processing portion, it is possible to increase the processing speed and improve the processing accuracy. The flow path shape may be any structure as long as it can distinguish the inflow direction and the outflow direction into the processing hole when supplied to the processing hole. The mist flow channel grooves 21-1 and 21-2 may be single, but if the mist flow channel grooves 21-1 and 21-2 are installed in pairs so as to face the axis O, the discharge flow becomes easy. It is also possible to install three mist channel grooves at intervals of 120 degrees. If there are too many mist channel grooves, a return channel cannot be secured. Therefore, the number of mist channel grooves is preferably 2 or 3 with respect to the axis O. As shown in FIG. 7, a suction device or a magnet (permanent magnet or electromagnet) 22 may be provided in the discharge direction in the return flow path to promote sludge discharge.

次に、ミストの供給量について述べる。ミストは、放電により蒸発する量を供給するように、ミスト供給部で制御する。ミスト供給量Mが、蒸発量Gより大であると、水分が底に溜まり、スラッジの滞留が発生してしまうので、加工能率が低下する。その逆(M<G)であると、放電が飛びにくくやはり能率低下を引き起こす。ミスト供給量M=蒸発量Gとなるように、加熱量から試算することによって、ミスト供給部を制御する。
これにより、加工能率を向上させることができるとともに、ミストが加工電極10に沿って同軸に加工電極の底部にまで充分供給され、かつ良好に上方に排出されるので、スラッジの滞留を促進することができる。
Next, the amount of mist supplied will be described. The mist is controlled by the mist supply unit so as to supply the amount evaporated by the discharge. If the mist supply amount M is larger than the evaporation amount G, water accumulates at the bottom and sludge stays, so that the processing efficiency is lowered. If the opposite is true (M <G), the discharge is difficult to fly and the efficiency is lowered. The mist supply unit is controlled by calculating from the heating amount so that the mist supply amount M = the evaporation amount G.
As a result, the machining efficiency can be improved, and the mist is sufficiently supplied coaxially along the machining electrode 10 to the bottom of the machining electrode and is discharged well upward, thereby promoting sludge retention. Can do.

他の一形態として次のようなものがある。この形態では、加工電極10の進行方向前方側に、ミストを管により供給するミスト供給流路部31を、電極ガイド4に設置し、加工電極10の後方側に、スラッジを吸引する吸引管又は磁石からなる吸引部32を、電極ガイド4に設置したものである。図9の場合では、円形の底を持つ溝部を加工する一例である。これに限定されることなく、様々な形状加工、所定形状のキャビティ加工に適用することができる。円形の底の中心周りに、加工電極10、ミスト供給流路部31、吸引部32を、電極ガイド4と一体的に移動させることができるので、加工電極10が傾斜、揺動しても最適な場所にミストを供給することができ、また、スラッジを良好に排出することができる。 Another form is as follows. In this embodiment , a mist supply channel 31 for supplying mist by a tube is provided on the electrode guide 4 on the front side in the traveling direction of the machining electrode 10, and a suction pipe for sucking sludge on the rear side of the machining electrode 10 or A suction part 32 made of a magnet is installed on the electrode guide 4. In the case of FIG. 9, it is an example which processes the groove part with a circular bottom. Without being limited thereto, the present invention can be applied to various shape processing and cavity processing of a predetermined shape. Since the machining electrode 10, the mist supply flow path portion 31, and the suction portion 32 can be moved integrally with the electrode guide 4 around the center of the circular bottom, it is optimal even if the machining electrode 10 is tilted or swung. Mist can be supplied to a proper place, and sludge can be discharged well.

4 電極ガイド
10 加工電極
11 パルス電源ユニット
4 Electrode guide 10 Processing electrode 11 Pulse power unit

Claims (3)

棒状の加工電極(10)と、前記加工電極(10)を前記加工電極(10)の軸心方向に沿ってガイドする電極ガイド(4)と、前記加工電極(10)と被加工物(W)との間に間歇的な電圧パルスを印加して繰り返し放電を発生するパルス電源ユニット(11)とを具備し、被加工物(W)に微小孔又は所定形状のキャビティを加工する放電加工装置において、前記電極ガイド(4)に、加工液をミスト化したミストを供給するミスト供給流路部を設置し、
前記ミスト供給流路部は、前記電極ガイドの内周面において、前記軸心方向に沿って設けられた2以上のミスト流路溝(21−1、21−2)から構成され、放電加工する被加工物の微小孔(2a)に、前記軸心と同心状に前記ミストを供給し、さらに、帰還流路(21−3)が、前記2以上のミスト流路溝(21−1、21−2)の間に設けられ、前記2以上のミスト流路溝(21−1、21−2)と連通するようにした放電加工装置。
A rod-shaped machining electrode (10), an electrode guide (4) for guiding the machining electrode (10) along the axial direction of the machining electrode (10), the machining electrode (10) and a workpiece (W And a pulse power supply unit (11) that repeatedly generates a discharge by applying intermittent voltage pulses to the workpiece (W) to process a microhole or a cavity of a predetermined shape in the workpiece (W). In the electrode guide (4), a mist supply flow path section for supplying a mist obtained by misting the machining liquid is installed ,
The mist supply flow path portion is composed of two or more mist flow path grooves (21-1, 21-2) provided along the axial direction on the inner peripheral surface of the electrode guide, and is subjected to electric discharge machining. The mist is supplied to the minute hole (2a) of the workpiece so as to be concentric with the axis, and the return channel (21-3) further includes the two or more mist channel grooves (21-1, 21). -2), and is connected to the two or more mist channel grooves (21-1, 21-2) .
前記2以上のミスト流路溝相互間の前記電極ガイドの内周面に、磁石(22)を設置して、加工屑の排出を促進したことを特徴とする請求項に記載の放電加工装置。 2. The electric discharge machining apparatus according to claim 1 , wherein a magnet (22) is installed on an inner circumferential surface of the electrode guide between the two or more mist flow channel grooves to promote discharge of machining waste. . 放電加工中の前記ミストの供給量を、前記ミストが蒸発する量になるように供給調整したことを特徴とする請求項1又は2に記載の放電加工装置。 The supply amount of the mist in the discharge machining, electrical discharge machining apparatus according to claim 1 or 2 wherein the mist is characterized in that the supplied adjusted to the amount of evaporation.
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