JP5817211B2 - 形状検査装置 - Google Patents
形状検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5817211B2 JP5817211B2 JP2011111306A JP2011111306A JP5817211B2 JP 5817211 B2 JP5817211 B2 JP 5817211B2 JP 2011111306 A JP2011111306 A JP 2011111306A JP 2011111306 A JP2011111306 A JP 2011111306A JP 5817211 B2 JP5817211 B2 JP 5817211B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- incident
- hologram master
- test object
- interference
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
また、本発明の実施形態に係る形状検査装置は、ホログラム原器、結像手段及び検査データ取得手段を備える。ホログラム原器は、被検物体の理想形状に対応する再生光を再生する。また、ホログラム原器は、記録された干渉縞が、前記被検物体に斜め方向に入射する光を生成するための回折格子又は前記再生光を干渉用に分波するための回折格子のピッチと異なるピッチとなるように配置される。結像手段は、前記被検物体に所要の入射角で前記斜め方向に光を入射する一方、前記ホログラム原器に光を入射することによって、前記被検物体に反射した反射光又は前記被検物体を経由した透過光と前記ホログラム原器からの前記再生光との干渉光により変位させた干渉画像を取得する。検査データ取得手段は、前記変位させた干渉画像に基づいて前記被検物体の形状に対応する連続的な検査データを求める。
また、本発明の実施形態に係る形状検査方法は、被検物体に所要の入射角で斜め方向に光を入射する一方、前記被検物体の理想形状に対応する再生光を再生するホログラム原器であって、記録された干渉縞が、前記被検物体に前記斜め方向に入射する光を生成するための回折格子又は前記再生光を干渉用に分波するための回折格子のピッチと異なるピッチとなるように配置された前記ホログラム原器に光を入射するステップと、前記被検物体に反射した反射光又は前記被検物体を経由した透過光と前記ホログラム原器からの前記再生光との干渉光により変位させた干渉画像を取得するステップと、前記変位させた干渉画像に基づいて前記被検物体の形状に対応する連続的な検査データを求めるステップとを有する。
(構成および機能)
図1は本発明の第1の実施形態に係る形状検査装置の構成図である。
p sin(π/2-θ) = p cos θ = λ (1)
但し式(1)において、pは分波回折格子15のピッチ、θは被検物体Oへの入射光L1の入射角、λは分波回折格子15に入射する平行ビームL0の波長である。
(AC+CB)-AB = 2h(1-sinθ)/cosθ (2)
但し式(2)において、hは分波回折格子15からホログラム原器3への直進ビームL2の中心線となる光線ABから被検物体Oの表面までの距離である。
(CD+DG)-CF = 2Δh(x, y)cosθ (3)
Δδ(x, y) = 4πΔh(x, y)cosθ/λ (4)
4πΔh(x, y)cosθ/λ = 2π (5)
よって式(5)から式(6)が導かれる。
Δh(x, y) =λ/(2cosθ) (6)
I(x, y) = a1+a2cos{φ(x, y)+Δφ} (7)
但し式(7)において、a1及びa2は係数を、φ(x, y)は位置(x, y)に対応する干渉光L4の位相を、Δφは位相変調量を、それぞれ示す。
次に形状検査装置1の動作および作用について説明する。
形状検査装置1によれば、被検物体Oへの入射光L1の入射角をθとすると、実効的な光の波長を1/cosθ倍に拡大することができる。すなわち、凹凸の高さが大きく非球面度の高い被検物体Oであっても表面形状の誤差を検査することが可能である。加えて、被検物体Oに斜め方向に光が照射されるため、従来よりも広い範囲の表面を検査することが可能である。
図4は本発明の第2の実施形態に係る形状検査装置の構成図である。
図5は本発明の第3の実施形態に係る形状検査装置の構成図である。
図6は本発明の第4の実施形態に係る形状検査装置の構成図である。
図7は本発明の第5の実施形態に係る形状検査装置の構成図である。
以上、特定の実施形態について記載したが、記載された実施形態は一例に過ぎず、発明の範囲を限定するものではない。ここに記載された新規な方法及び装置は、様々な他の様式で具現化することができる。また、ここに記載された方法及び装置の様式において、発明の要旨から逸脱しない範囲で、種々の省略、置換及び変更を行うことができる。添付された請求の範囲及びその均等物は、発明の範囲及び要旨に包含されているものとして、そのような種々の様式及び変形例を含んでいる。
2 光源
3、3A、3B ホログラム原器
4 光学素子
5 光学素子移動機構
6 CCDカメラ
7 データ処理装置
8 表示装置
9 ノードフィルタ
10 レンズ
11 第1のピンホール
12 第1の反射鏡
13 第2の反射鏡
14 コリメータレンズ
15 分波回折格子
16 結像レンズ
17 第2のピンホール
20A、20B 凹レンズ
21 凸レンズ
30 第3の反射鏡
L0 平行ビーム
L1、L1' 入射光
L2 直進ビーム
L3、L3' 反射光
L4 干渉光
L5 +1次再生光
L6 0次再生光
L7 非平行ビーム
L8 透過光
O 被検物体
Claims (4)
- 被検物体の理想形状に対応する再生光を再生するホログラム原器と、
平行でない光を前記被検物体に所要の入射角で斜め方向に入射する一方、前記ホログラム原器に光を入射することによって、前記被検物体に反射した反射光又は前記被検物体を経由した透過光と前記ホログラム原器からの前記再生光との干渉光による干渉画像を取得する結像手段と、
を備え、
前記結像手段は、
前記被検物体に入射する光の幅を拡大又は収縮し、かつ前記ホログラム原器に入射する光又は前記再生光の幅を拡大又は収縮する第1のレンズと、
前記第1のレンズを経由した、前記ホログラム原器に入射する光又は前記再生光の幅を拡大又は収縮する第2のレンズと、
前記被検物体に反射した反射光又は前記被検物体を経由した透過光を拡大又は収縮し、かつ前記第2のレンズを経由した、前記ホログラム原器に入射する光又は前記再生光の幅を拡大又は収縮する第3のレンズと、
を有する形状検査装置。 - 被検物体の理想形状に対応する再生光を再生するホログラム原器であって、記録された干渉縞が、前記被検物体に斜め方向に入射する光を生成するための回折格子又は前記再生光を干渉用に分波するための回折格子のピッチと異なるピッチとなるように配置された前記ホログラム原器と、
前記被検物体に所要の入射角で前記斜め方向に光を入射する一方、前記ホログラム原器に光を入射することによって、前記被検物体に反射した反射光又は前記被検物体を経由した透過光と前記ホログラム原器からの前記再生光との干渉光により変位させた干渉画像を取得する結像手段と、
前記変位させた干渉画像に基づいて前記被検物体の形状に対応する連続的な検査データを求める検査データ取得手段と、
を備える形状検査装置。 - 平行でない光を被検物体に所要の入射角で斜め方向に入射する一方、前記被検物体の理想形状に対応する再生光を再生するホログラム原器に光を入射するステップと、
前記被検物体に反射した反射光又は前記被検物体を経由した透過光と前記ホログラム原器からの前記再生光との干渉光による干渉画像を取得するステップと、
を有し、
前記被検物体に入射する光の幅を第1のレンズで拡大又は収縮し、
前記ホログラム原器に入射する光又は前記再生光の幅を前記第1のレンズで拡大又は収縮し、
前記第1のレンズを経由した、前記ホログラム原器に入射する光又は前記再生光の幅を第2のレンズで拡大又は収縮し、
前記被検物体に反射した反射光又は前記被検物体を経由した透過光を第3のレンズで拡大又は収縮し、
前記第2のレンズを経由した、前記ホログラム原器に入射する光又は前記再生光の幅を前記第3のレンズで拡大又は収縮する形状検査方法。 - 被検物体に所要の入射角で斜め方向に光を入射する一方、前記被検物体の理想形状に対応する再生光を再生するホログラム原器であって、記録された干渉縞が、前記被検物体に前記斜め方向に入射する光を生成するための回折格子又は前記再生光を干渉用に分波するための回折格子のピッチと異なるピッチとなるように配置された前記ホログラム原器に光を入射するステップと、
前記被検物体に反射した反射光又は前記被検物体を経由した透過光と前記ホログラム原器からの前記再生光との干渉光により変位させた干渉画像を取得するステップと、
前記変位させた干渉画像に基づいて前記被検物体の形状に対応する連続的な検査データを求めるステップと、
を有する形状検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011111306A JP5817211B2 (ja) | 2011-05-18 | 2011-05-18 | 形状検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011111306A JP5817211B2 (ja) | 2011-05-18 | 2011-05-18 | 形状検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012242207A JP2012242207A (ja) | 2012-12-10 |
JP5817211B2 true JP5817211B2 (ja) | 2015-11-18 |
Family
ID=47464073
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011111306A Expired - Fee Related JP5817211B2 (ja) | 2011-05-18 | 2011-05-18 | 形状検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5817211B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0599639A (ja) * | 1991-10-09 | 1993-04-23 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 平面状物の緩やかな凹凸検査装置 |
JPH08313205A (ja) * | 1995-05-23 | 1996-11-29 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 斜入射干渉計装置 |
JP2005156446A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Nikon Corp | 非球面形状測定方法、及び投影光学系の製造方法 |
-
2011
- 2011-05-18 JP JP2011111306A patent/JP5817211B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012242207A (ja) | 2012-12-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3829219A (en) | Shearing interferometer | |
JP5856727B2 (ja) | 光ビームの波面を解析するための方法、位相格子および装置 | |
US20060274325A1 (en) | Method of qualifying a diffraction grating and method of manufacturing an optical element | |
JP5394317B2 (ja) | 回転対称非球面形状測定装置 | |
US7242464B2 (en) | Method for characterizing optical systems using holographic reticles | |
JP7231946B2 (ja) | 表面形状計測装置および表面形状計測方法 | |
US7349102B2 (en) | Methods and apparatus for reducing error in interferometric imaging measurements | |
JPH10512955A (ja) | 光学装置、及び該装置を物体の光学的検査に用いる方法 | |
JP4921775B2 (ja) | 記録媒体変形測定装置、変形量解析装置及び記録媒体変形測定方法 | |
KR20170023363A (ko) | 디지털 홀로그래피 마이크로스코프를 이용한 고단차 측정 방법 | |
JP2012145361A (ja) | デジタルホログラフィ装置 | |
JP6385779B2 (ja) | 光学的距離計測装置 | |
JP4025878B2 (ja) | 物体の再生像を得る装置、位相シフトデジタルホログラフィ変位分布計測装置及びパラメータを同定する方法 | |
JP5817211B2 (ja) | 形状検査装置 | |
Vishnyakov et al. | Automated Interference Tools of the All-Russian Research Institute for Optical and Physical Measurements | |
CN110763686B (zh) | 一种透明样品的缺陷检测装置和检测方法 | |
TW202232475A (zh) | 光學測定系統及光學測定方法 | |
RU2536764C1 (ru) | Способ интерференционной микроскопии | |
JP2022162306A (ja) | 表面形状計測装置および表面形状計測方法 | |
Chang | Diffraction wavefront analysis of computer-generated holograms | |
JPH0575246B2 (ja) | ||
EP1301830A2 (en) | Method for characterizing optical systems using holographic reticles | |
JP6886124B2 (ja) | 光学素子特性測定装置 | |
KR20170079441A (ko) | 진동 환경에서 큰 단차를 갖는 샘플의 높낮이 측정을 위한 디지털 홀로그램 기록재생장치 및 기록재생방법 | |
JP3715955B2 (ja) | 軟x線干渉計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140516 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150223 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150303 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150501 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150608 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150806 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150901 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150914 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5817211 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |