JP5816583B2 - Cu薄板の製造方法及びCu薄板 - Google Patents
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Description
Cu製又はCu基合金製の薄板基材表面に粒子状の機能材料を供給し、該粒子状の機能材料を供給した薄板基材表面に向けてレーザーを照射し前記薄板基材表面を溶融させて溶融部を形成し、前記粒子状の機能材料が前記溶融部に沈降した状態で前記溶融部を固化させて前記薄板基材の所定部分に前記粒子状の機能材料を直接埋め込む埋込工程、
を備えたものである。
Cu製又はCu基合金製の薄板基材表面に粒子状の機能材料を供給し、該粒子状の機能材料を供給した薄板基材表面の所定領域に向けて、出力時間0.5〜20ミリ秒、周波数0.1〜50Hz、照射時間0.1〜1.0秒の条件でレーザーを照射するものである。
Cu製又はCu基合金製の母材からなる薄板基材と、
前記薄板基材表面の所定部分に形成され、前記母材が溶融して固化した組織である固化部及び該固化部に直接埋め込まれた粒子状の機能材料を備えた埋込部と、
を備えたものである。
[実施例1]
厚さ0.250mm、幅10mm、長さ50mmのCu−1.8%Be−0.25%Co合金(質量%)の薄板基材を用意した。この薄板基材は、溶体化処理後、時効硬化処理前のもの、すなわち、ソルトバス中にて850℃で5分熱処理後に水冷されたものである。また、機能材料として、Zr基金属ガラス(粒径150μm,以下同じ)を用意した。
機能材料を、Co基系合金(Cr:約28%、W:約4%、Fe:約3%,粒径40〜50μm,以下同じ)とした以外は、実施例1と同様に実施例2のCu薄板を作製した。また、機能材料を、WC(粒径45μm)とした以外は、実施例1と同様に実施例3のCu薄板を作製した。また、機能材料を、ZrB2(粒径3.0〜5.0μm)とした以外は、実施例1と同様に実施例4のCu薄板を作製した。また、機能材料を、WC(粒径1μm)とした以外は、実施例1と同様に実施例5のCu薄板を作製した。また、機能材料を、TiB2(粒径2.85μm)とした以外は、実施例1と同様に実施例6のCu薄板を作製した。また、機能材料を、TiC(粒径1.85μm)とした以外は、実施例1と同様に実施例7のCu薄板を作製した。また、機能材料を、VC(粒径1.44μm)とした以外は、実施例1と同様に実施例8のCu薄板を作製した。
機能材料としてのZr基金属ガラスにかえて、薄板基材と反応しやすいNiCr粉末(80Ni−20Cr(質量%),粒径20〜53μm)を用いた以外は、実施例1と同様に比較例1のCu薄板を作製した。
NiCr粉末とともに、機能材料としてのZr基金属ガラスを用いた以外は、比較例1と同様に比較例2のCu薄板を作製した。なお、NiCr粉末と機能材料との比率は、質量比で約1:1とした。また、機能材料を表2に示すものとした以外は、比較例2と同様に比較例3,4のCu薄板を作製した。
レーザーの照射条件のうち、出力電流値を90A、平均出力値を10.8Wとした以外は、実施例1と同様に比較例5のCu薄板を作製した。また、機能材料を表2に示すものとした以外は、比較例5と同様に比較例6,7のCu薄板を作製した。
機能材料の埋め込み、すなわち、機能材料を散布したセロハンテープを薄板基材に貼り付けてレーザー照射を行う処理を行わなかった以外は、実施例1と同様に比較例8のCu薄板を作製した。
埋込部について、光学顕微鏡を用いて、表面及び断面の観察を行った。なお、断面の観察に際しては、観察用樹脂に薄板基材の厚み方向が表面から見えるような向きに埋め込んだ後、機械研磨装置で埋込部の観察できる内部まで研磨したものを用いた。
エネルギー分散型X線分析装置(EDX)を用いて、埋込部表面の定量分析を行った。
ビッカース硬さの測定は、JIS Z 2244:2009(ビッカース硬さ試験−試験方法)に準じて行った。埋込部、境界、薄板基材について、試験力500gfでビッカース硬さを測定した。この際、埋込部が形成された側の面から圧子を押しつけた。なお、埋込部のビッカース硬さは、基材の幅方向に0.25mm間隔で5点測定しこれの平均値とした。また、境界のビッカース硬さは、基材の長さ方向に0.25mm間隔で5点測定しこれの平均値とした。また、薄板基材のビッカース硬さは、薄板基材の幅方向に0.25mm間隔で5点測定し、これの平均値とした。
加工後の最厚部の板厚T1は、埋込部の全体について板厚をマイクロメーターで測定し、得られた板厚のうち最大のものとした。また、加工後の最厚部の板厚T1−加工前の板厚T0(=0.250mm)を算出した。
応力緩和率測定はJCBA T309:2001(仮)(銅及び銅合金薄板条の曲げによる応力緩和試験方法)に準じて行った。ここでは、試験片の初期応力値600MPa,試験温度200℃,試験時間1000時間とした。また、スパン長さlSは20mmとした。
Claims (5)
- 時効硬化型Cu基合金製の薄板基材表面に粒子状の機能材料を供給し、該粒子状の機能材料を供給した薄板基材表面に向けてレーザーを照射し前記薄板基材表面を溶融させて最大深さが0.15mm以下の溶融部を形成し、前記粒子状の機能材料が前記溶融部に沈降した状態で前記溶融部を固化させて前記薄板基材の所定部分に前記粒子状の機能材料を直接埋め込む埋込工程と、
前記埋込工程の後に時効硬化処理を行う時効硬化処理工程と、
を備え、
加工前の板厚をT0、加工後の最厚部の板厚をT1とすると、T1−T0≦0.04mmを満たし、前記溶融部が固化した固化部及び該固化部に直接埋め込まれた粒子状の機能材料を備えた埋込部の硬度が前記薄板基材の硬度よりも低いCu薄板を得る、
Cu薄板の製造方法。 - 前記機能材料は、炭化物系金属化合物、窒化物系金属化合物及びホウ化物系金属化合物から選ばれた1種以上である、請求項1に記載のCu薄板の製造方法。
- 前記埋込工程では、前記粒子状の機能材料を供給した薄板基材表面の所定領域に向けて、出力時間0.5〜20ミリ秒、周波数0.1〜50Hz、照射時間0.1〜1.0秒の条件でレーザーを照射する、請求項1又は2に記載のCu薄板の製造方法。
- 時効硬化型Cu基合金製の薄板基材表面に粒子状の機能材料を供給し、該粒子状の機能材料を供給した薄板基材表面の所定領域に向けて、出力時間0.5〜20ミリ秒、周波数0.1〜50Hz、照射時間0.1〜1.0秒の条件でレーザーを照射し前記薄板基材表面を溶融させて溶融部を形成し、前記粒子状の機能材料が前記溶融部に沈降した状態で前記溶融部を固化させて前記薄板基材の所定部分に前記粒子状の機能材料を直接埋め込む埋込工程と、
前記埋込工程の後に時効硬化処理を行う時効硬化処理工程と、
を備え、
前記溶融部が固化した固化部及び該固化部に直接埋め込まれた粒子状の機能材料を備えた埋込部の硬度が前記薄板基材の硬度よりも低いCu薄板を得る、
Cu薄板の製造方法。 - 時効硬化型Cu基合金製の母材からなる薄板基材と、
前記薄板基材表面の所定部分に形成され、前記母材が溶融して固化した組織である固化部及び該固化部に直接埋め込まれた粒子状の機能材料を備えた埋込部と、
を備え、
加工前の板厚をT0、加工後の最厚部の板厚をT1とすると、T1−T0≦0.04mmを満たし、加工前の前記薄板基材の表面から前記埋込部の最も深い部分までの深さが0.15mm以下であり、時効硬化処理を経たものであり、前記埋込部の硬度が前記薄板基材の硬度よりも低い、Cu薄板。
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