JP5814173B2 - 電気化学測定用カーボン電極およびその製造方法 - Google Patents
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以下、実施例1について説明する。はじめに、電極形成について説明する。まず、板厚0.5mmの石英基板を用意する。石英基板は絶縁材料からなる基板である。この石英基板の上に、高分子薄膜をスピンコート法により塗布し、高温処理を行い、高分子薄膜より導電性カーボン膜を形成する。例えば、表面抵抗100Ω以下、厚さ1.2−1.3μmの導電性カーボン膜を、石英基板の上に形成する。
次に、実施例2について説明する。はじめに、電極形成について説明する。実施例2においても、上述した実施例1と同様に、板厚0.5mmの石英基板上に導電性カーボン層を形成した。次に、この導電性カーボン層の上に、CVD法により作製したグラフェンを転写する。CVD法によるグラフェンの作製は、次のように行った。
Claims (6)
- 絶縁層の上に導電性カーボン層を形成する工程と、
前記導電性カーボン層の上にグラフェンからなる炭素層を形成する工程と、
前記導電性カーボン層および前記炭素層をパターニングし、交互に入り込んで対向配置された2つの櫛形電極を形成する工程と
を少なくとも備えることを特徴とする電気化学測定用カーボン電極の製造方法。 - 請求項1記載の電気化学測定用カーボン電極の製造方法において、
酸化グラフェン還元体からなる複数の小片を分散させて前記炭素層を形成することを特徴とする電気化学測定用カーボン電極の製造方法。 - 請求項2記載の電気化学測定用カーボン電極の製造方法において、
酸化グラフェンからなる複数の小片が分散した分散溶液を前記導電性カーボン層の上に塗布して前記導電性カーボン層の上に酸化グラフェンからなる複数の小片を分散させる工程と、
前記導電性カーボン層の上に分散させた酸化グラフェンからなる複数の小片を還元することで、酸化グラフェン還元体からなる複数の小片を分散させて前記炭素層を形成する工程と
を備えることを特徴とする電気化学測定用カーボン電極の製造方法。 - 請求項1記載の電気化学測定用カーボン電極の製造方法において、
前記炭素層は、化学的気相成長法により金属基板上に形成したグラフェンを前記導電性カーボン層に転写することで形成することを特徴とする電気化学測定用カーボン電極の製造方法。 - 請求項1記載の電気化学測定用カーボン電極の製造方法において、
前記炭素層は、SiC基板を加熱することで前記SiC基板の表面に形成したグラフェンを前記導電性カーボン層に転写することで形成することを特徴とする電気化学測定用カーボン電極の製造方法。 - 導電性カーボン層と、前記導電性カーボン層の上に形成されたグラフェンからなる炭素層とから構成され、絶縁層の上に形成されて交互に入り込んで対向配置された2つの櫛形電極を備えることを特徴とする電気化学測定用カーボン電極。
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