JP5808242B2 - スパッタリングターゲット剥離装置およびスパッタリングターゲットの剥離方法 - Google Patents

Description

本発明は、薄膜形成等に用いられる板状スパッタリングターゲットをバッキングプレートから剥離する装置およびその剥離方法に関する。

薄膜形成等に使用された板状のスパッタリングターゲットは、スパッタリングターゲット材とバッキングプレートに分離され、スパッタリングターゲット材は、回収精製された後に原材料等として利用され、バッキングプレートはブラスト処理等を施して再利用される。

そのために、スパッタリングターゲット材をバッキングプレートから剥離する作業があり、その剥離作業のためには、ボンディング処理された板状スパッタリングターゲットをホットプレート等の熱源の上に配置し、Ｉｎ等のボンディング用接合材を溶融させる必要がある。そのボンディング用接合材が溶融したことを確認するには、板状スパッタリングターゲット材とバッキングプレートが動くかを手の感覚で確認している。

ボンディング用接合材は、バッキングプレートと板状スパッタリングターゲット材の間に最適な量で使用されているため、ボンディング用接合材が溶融したことを目視で確認することは難しい。

また、ボンディング用接合材が溶融したことを目視するまでの時間はバッキングプレートと板状スパッタリングターゲット材の寸法や材質によっても異なるため、ボンディング用接合材が溶融したことを一定時間ごとに確認する必要がある。

さらに、ボンディング用接合材が溶融後、バッキングプレートから板状スパッタリングターゲット材を剥離する際に、ハンマー等で衝撃を与える場合があり、その際にバッキングプレートを傷つけることがある。

そこで本発明は、先端に押圧部を形成した押圧板をステージの一側に後方からばねで押圧して移動可能に設置し、上記ステージ上に、バッキングプレートにボンディングされているスパッタリングターゲット材を配置し、そのスパッタリングターゲット材の周囲側面に、上記押圧板の押圧部を当接させてスパッタリングターゲット材に自動的に押圧力がかかるようにしたスパッタリングターゲットの剥離装置を構成した。

上記の剥離装置において、バッキングプレートにボンディングされているスパッタリングターゲット材を配置したステージをホットプレート上に載置して加熱することにより、ボンディング用接合材が溶融し、これによって、押圧板がばねの発力によって自動的に移動し、押圧部によって押圧されているスパッタリングターゲット材がバッキングプレート上を自動的に移動してスパッタリングターゲット材をバッキングプレートから剥離できるようにした。

以上の本発明によると、バッキングプレートにボンディング処理されたスパッタリングターゲット材を載置したステージをホットプレート上で加熱することにより、接合材が溶融し、押圧部によって押圧されているスパッタリングターゲット材がバッキングプレート上を自動的に移動してスパッタリングターゲット材を剥離するために、その剥離作業時に治具等によってバッキングプレートに傷を付けることがなく、しかも、スパッタリングターゲットのバッキングプレートからの剥離を確認する必要がなくなり、自動的にスパッタリングターゲットを剥離することができるという効果を有する。

実施例を示す平面図 同側面図 作動状態を示す側面図 スパッタリングターゲット材の他の形状における実施例を示す平面図 押圧部の他の形状を示す平面図 スパッタリングターゲット材の他の形状における実施例を示す平面図 押圧部の他の形状を示す平面図 押圧部の他の形状を示す平面図

本発明の実施例を説明する。

先端に凹部８を設けて２つの押圧部１を形成し、中程に複数の移動用の長孔２を形成してステンレス等製で押圧板３を形成する。

上記押圧板３の先端に形成した押圧部１は、後述するバッキングプレート１０の厚さより高い位置とするために押圧板３の下面より浮いた位置となるようにして突出形成されている。

また、押圧部１の内側端部にはＲを付けておくとスパッタリングターゲット材との当接部に傷を付けるようなことがない。

このようにした押圧板３を、ステージ４の一側に後方からばね５で押圧するようにして設置し、上記長孔２を通す支持ピン６をステージ４に立てて押圧板３がステージ４上を移動可能となるようにする。

なお、上記押圧部１の形状は上記の形状に限るものではなく、例えば、図５、図６に示す如く、両押圧部１の間の凹部８を挟んで形成し、その両押圧部１の外側を左右が一直線となるように延長した形状でもよい。

スパッタリングターゲットの形状は、円形、矩形、多角形等があり、押圧板３の先端に形成した押圧面１の形状を上記した形状にしておくことによりどのような形状のスパッタリングターゲットの外周形状にも対応することができるが、剥離するスパッタリングターゲット１１それぞれの外周形状の一部に合った形状にしておいてもよいもので、例えば、図７、図８に示すような、円弧状、直線状等でもよい。

また、長孔と支持ピンとの構造は上記構造に限るものではなく、例えば、押圧板の両側に支持ピンを立てたりガイドを設けて押圧板を挟むようにして押圧板が移動できるようにしてもよいもので、要するに押圧板が直線移動できる構造であればどのような構造でもよい。

以下に上記装置の作動例を説明する。

図１、図２、図３に示す如く、バッキングプレート１０（材質９９．９質量％Ｃｕ、φ２５０ｍｍ×板厚３ｍｍ、段付きφ２００ｍｍ×高さ１．５ｍｍ）にスパッタリングターゲット材１１（材質９９．９９質量％Ａｇ、φ２００ｍｍ×板厚５ｍｍ）がＩｎのボンディング用接合材によってボンディング処理されたものを用意した。

そこで、図１に示すように、バッキングプレート上にボンディング処理されたスパッタリングターゲット材１１をステージ４の上に配置し、ステージ４に設けた固定部７によってバッキングプレート１０の端部を固定し、押圧板３の押圧部１端面をスパッタリングターゲット材１１の側面に当て、これによってばね５の発力により押圧力を作用させる。

このような状態にしたステージ４を、図示しないホットプレート上に載せて加熱することにより、ボンディング用接合材９であるＩｎが溶融する。この溶融によって、押圧板３がばね５の発力によって長孔２に沿って矢印方向に自動的に移動し、これによって、図３に示す如く、スパッタリングターゲット材１１はバッキングプレート１０上を移動してスパッタリングターゲット材１１は剥離する。

剥離後のバッキングプレート１０には、傷等の発生は見られなかった。

以上の説明は、円板状のスパッタリングターゲット材１１の場合で説明したが、図４に示す如く、矩形のスパッタリングターゲット材１１においても同様にして行うことができ、さらに図示しない他の形状のスパッタリングターゲット材においても同じである。

また、図示する他の押圧板３の押圧部１においても、上記と同様の作用でスパッタリングターゲット材１１をバッキングプレート１０から剥離させることができる。

１ 押圧部
２ 長孔
３ 押圧板
４ ステージ
５ ばね
６ 支持ピン
７ 固定部
８ 凹部
９ ボンディング用接合材
１０ バッキングプレート
１１ スパッタリングターゲット材

Claims (3)

1. 先端に押圧部を形成した押圧板をステージの一側に後方からばねで押圧して移動可能に設置し、上記ステージ上に、バッキングプレートにボンディングされているスパッタリングターゲット材を配置し、そのスパッタリングターゲット材の周囲側面に、上記押圧板の押圧部を当接させてスパッタリングターゲット材に自動的に押圧力がかかるようにしたことを特徴とするスパッタリングターゲットの剥離装置。
2. 請求項１において、押圧板の先端に凹部を設けて２つの押圧部を形成したことを特徴とするスパッタリングターゲットの剥離装置。
3. 請求項１の剥離装置において、バッキングプレートにボンディングされているスパッタリングターゲット材を配置したステージをホットプレート上に載置して、加熱することにより、ボンディング用接合材が溶融し、これによって、押圧板がばねの発力によって自動的に移動し、押圧部によって押圧されているスパッタリングターゲット材がバッキングプレート上を自動的に移動してスパッタリングターゲット材が剥離することを特徴とするスパッタリングターゲットの剥離方法。