JP5801391B2 - フォトマスクを乾燥させる装置および方法 - Google Patents
フォトマスクを乾燥させる装置および方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5801391B2 JP5801391B2 JP2013517236A JP2013517236A JP5801391B2 JP 5801391 B2 JP5801391 B2 JP 5801391B2 JP 2013517236 A JP2013517236 A JP 2013517236A JP 2013517236 A JP2013517236 A JP 2013517236A JP 5801391 B2 JP5801391 B2 JP 5801391B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photomask
- infrared radiation
- chamber
- gas
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B5/00—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat
- F26B5/04—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by evaporation or sublimation of moisture under reduced pressure, e.g. in a vacuum
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B21/00—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
- F26B21/14—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects using gases or vapours other than air or steam, e.g. inert gases
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B5/00—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat
- F26B5/04—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by evaporation or sublimation of moisture under reduced pressure, e.g. in a vacuum
- F26B5/048—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by evaporation or sublimation of moisture under reduced pressure, e.g. in a vacuum in combination with heat developed by electro-magnetic means, e.g. microwave energy
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B7/00—Drying solid materials or objects by processes using a combination of processes not covered by a single one of groups F26B3/00 and F26B5/00
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
- G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
Description
γSV=γLVcosθ+γSL
ここで、γSVは、固体と気体との間の表面張力、
γLVは、液体と気体との間の表面張力、
γSLは、固体と液体との間の表面張力、
θは、液体滴とフォトマスク表面との間の接触角の値である。
− 少なくとも1つのフォトマスクを含んでいる密閉チャンバと、
− 前記チャンバの内部を真空に設定し、保持するポンプユニットと、
− 前記チャンバの内部に設置されているフォトマスクの支持体と、
− 前記チャンバの内部に設置されている赤外線放射手段と、
− 前記チャンバの中に気体を注入するためのシステムとを備えており、
前記赤外線放射手段は、前記フォトマスクの平面に平行な平面上に分散して配置されている複数の赤外線放射源を備え、前記フォトマスクから前記赤外線放射手段までの距離は、
D=1.5×d
で与えられ、Dは、前記複数の赤外線放射源を含む平面と前記フォトマスクを含む平面との間の距離であり、dは、2つの近接する赤外線放射源の中心点の間の距離であり、
前記赤外線放射手段は、前記赤外線放射源を少なくとも3つ有し、そのうち2つの赤外線放射源が、これらを含む前記平面上において、前記フォトマスクの両側の各々に対向する位置に配置され、さらに少なくとも1つの赤外線放射源が、これを含む前記平面上において、前記フォトマスクの中央部に対向する位置に配置されており、
前記気体注入システムは、前記フォトマスクの前記平面に平行な平面上に分散して配置されている複数の気体注入器を備え、前記複数の気体注入器は、前記フォトマスクの中心点の周りに、90度回転に対する不変性を維持しており、
前記複数の気体注入器のうち、前記フォトマスクの中心部に対向するように設置された気体注入器の開口部の直径は、他の気体注入器の開口部の直径より大きいことを特徴とする。
− 大気圧における密閉チャンバの中に、フォトマスクを設置するステップ。
− フォトマスクを、最大値60℃以下の決められた温度に加熱するステップ。
− 密閉チャンバに含まれる気体をポンプによって排気することにより、密閉チャンバの内部を低い圧力に設定するステップ。
− ある決められた継続時間の間、密閉チャンバを低い圧力と、決められた温度とに保持するステップ。
− フォトマスクの加熱を停止するステップ。
− 中性気体をチャンバの内部に注入することにより、チャンバの内部を大気圧に戻すステップ。
− フォトマスクをチャンバから取り出す前に、フォトマスクの温度が約30℃〜35℃であることを確認するステップ。
− フォトマスク13を、洗浄装置から乾燥装置1のチャンバ2まで、ロボットによって運び、ロボットは、フォトマスク13を穴あきフレーム40の上に載せる。
− 転送バルブを閉じる。
2 密閉チャンバ
3 ポンプユニット
4 セカンダリポンプ
5 プライマリポンプ
6 赤外線放射源
6a 赤外線放射源の中の2つ
6b 残りの赤外線放射源
7 圧力センサ
8 遠隔超音波センサ
9 パイロメータ
10 気体注入システム
12 フォトマスク支持体
13 フォトマスク
20、21、22、23 赤外線放射
30 気体注入器
40 フレーム
41 支柱
42 ピン
42a ピンの第1の部分
42b ピンの第2の部分
60 クロムの曲線
61 石英の曲線
62 ルテニウムの曲線
63 窒化タンタルの曲線
64 珪化モリブデンの曲線
65 洗浄操作
66 乾燥ステップ後
67 乾燥ステップ前
Claims (8)
- フォトマスクを乾燥させる装置であって、
− 少なくとも1つのフォトマスク(13)を含む密閉チャンバ(2)と、
− 前記チャンバ(2)の内部の真空を設定し、維持するポンプユニット(3)と、
− 前記チャンバ(2)の内部に設置されたフォトマスク(13)の支持体(12)と、
− 前記チャンバ(2)の内部に設置された赤外線放射手段(6)と、
− 前記チャンバ(2)の内部に気体を注入するシステム(10)とを備えている乾燥装置において、
前記赤外線放射手段は、前記フォトマスク(13)の平面に平行な平面上に分散して配置されている複数の赤外線放射源(6)を備え、前記フォトマスク(13)から前記赤外線放射手段までの距離は、
D=1.5×d
で与えられ、Dは、前記複数の赤外線放射源(6)を含む平面と前記フォトマスク(13)を含む平面との間の距離であり、dは、2つの近接する赤外線放射源(6)の中心点の間の距離であり、
前記赤外線放射手段は、前記赤外線放射源(6)を少なくとも3つ有し、そのうち2つの赤外線放射源(6)が、これらを含む前記平面上において、前記フォトマスク(13)の両側の各々に対向する位置に配置され、さらに少なくとも1つの赤外線放射源(6)が、これを含む前記平面上において、前記フォトマスク(13)の中央部に対向する位置に配置されており、
前記気体注入システム(10)は、前記フォトマスク(13)の前記平面に平行な平面上に分散して配置されている複数の気体注入器(30)を備え、前記複数の気体注入器(30)は、前記フォトマスク(13)の中心点の周りに、90度回転に対する不変性を維持しており、
前記複数の気体注入器(30)のうち、前記フォトマスク(13)の中心部に対向するように設置された気体注入器(30)の開口部の直径は、他の気体注入器(30)の開口部の直径より大きいことを特徴とする乾燥装置。 - 前記複数の赤外線放射源(6)は、前記フォトマスク(13)の活性表面に垂直に赤外線照射を行うように設置されていることを特徴とする、請求項1に記載の乾燥装置。
- パイロメータを有し、前記フォトマスク(13)の端部における温度を測定するように設置されている温度測定手段(9)を備えていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の乾燥装置。
- 前記支持体(12)は、前記フォトマスク(13)を受容し、位置決めする手段を備えており、この手段は、前記密閉チャンバ(2)の内部で吊架される、開穴されたフレーム(40)を備えていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の乾燥装置。
- 遠隔超音波センサ(8)を備えていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の乾燥装置。
- 圧力(7)、温度(9)及び距離(8)のそれぞれに対応する各測定手段と、これらの各測定手段から情報を受信することができ、受信した前記情報に基づいて、前記赤外線放射手段(6)及び前記気体注入システム(10、30)を作動させることができる制御及び命令装置とを備えていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載の乾燥装置。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の乾燥装置によってフォトマスクを乾燥させる方法であって、
− 大気圧における密閉チャンバ(2)の内部に、フォトマスク(13)を配置するステップと、
− 前記フォトマスク(13)を、最大値60℃以下の、ある決められた温度に加熱するステップと、
− 前記密閉チャンバ(2)が含む気体をポンプによって排気することにより、前記密閉チャンバ(2)の内部を低圧に設定するステップと、
− ある決められた継続時間に亘って、前記密閉チャンバ(2)を、低圧および前記決められた温度に保持するステップと、
− 前記フォトマスク(13)の前記加熱を停止するステップと、
− 中性気体を注入することにより、前記密閉チャンバ(2)の中を大気圧に戻すステップと、
− 前記密閉チャンバ(2)から前記フォトマスク(13)を取り出す前に、前記フォトマスク(13)の温度が、30℃〜35℃の間にあることを確認するステップとを備えていることを特徴とする方法。 - 前記フォトマスク(13)の配置は、少なくとも3つの遠隔超音波センサ(8)によって確認されることを特徴とする、請求項7に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1002765 | 2010-06-30 | ||
FR1002765A FR2962198B1 (fr) | 2010-06-30 | 2010-06-30 | Dispositif de sechage d'un photomasque |
PCT/EP2011/060750 WO2012000951A1 (fr) | 2010-06-30 | 2011-06-27 | Dispositif et procédé de séchage d'un photomasque |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013536453A JP2013536453A (ja) | 2013-09-19 |
JP5801391B2 true JP5801391B2 (ja) | 2015-10-28 |
Family
ID=43480763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013517236A Active JP5801391B2 (ja) | 2010-06-30 | 2011-06-27 | フォトマスクを乾燥させる装置および方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8724078B2 (ja) |
EP (1) | EP2588823B1 (ja) |
JP (1) | JP5801391B2 (ja) |
KR (1) | KR101847226B1 (ja) |
FR (1) | FR2962198B1 (ja) |
SG (1) | SG186346A1 (ja) |
TW (1) | TWI473959B (ja) |
WO (1) | WO2012000951A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107917598A (zh) * | 2017-11-02 | 2018-04-17 | 东台市苏泰饲料有限公司 | 一种小型高效稻谷烘干机 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01225120A (ja) * | 1988-03-03 | 1989-09-08 | Nec Corp | プレベーク装置 |
JPH1197508A (ja) * | 1997-09-18 | 1999-04-09 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2004047515A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-02-12 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 石英基板の乾燥方法及び石英基板 |
JP2006183934A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Seiko Epson Corp | 溶媒除去装置および溶媒除去方法 |
JP4723285B2 (ja) | 2005-05-24 | 2011-07-13 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板乾燥方法 |
TW200729292A (en) * | 2005-12-22 | 2007-08-01 | Qimonda Ag | Apparatus for preserving and using at least one photolithograph projection photo mask and the method using the same in the exposure apparatus |
EP1832353A3 (fr) * | 2006-03-08 | 2009-05-06 | St Microelectronics S.A. | Nettoyage de masques de photolithographie |
EP1925909A1 (fr) * | 2006-11-21 | 2008-05-28 | Alcatel Lucent | Dispositif de nettoyage et de dépollution d'un objet à environnement confiné non étanche limité par une paroi à membrane souple |
JP2009200423A (ja) * | 2008-02-25 | 2009-09-03 | Asahi Glass Co Ltd | Euvリソグラフィ用反射型マスクの製造方法 |
CN101925860B (zh) * | 2008-03-05 | 2012-12-12 | 阿尔卡特朗讯公司 | 用于制造光掩膜的方法和实现该方法的设备 |
JP2009250514A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-29 | Nippon Steel Corp | 加熱装置およびその制御方法 |
JP5469852B2 (ja) * | 2008-11-21 | 2014-04-16 | 株式会社ニコン | 搬送装置、搬送方法、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
-
2010
- 2010-06-30 FR FR1002765A patent/FR2962198B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-06-24 TW TW100122233A patent/TWI473959B/zh active
- 2011-06-27 SG SG2012091989A patent/SG186346A1/en unknown
- 2011-06-27 US US13/805,155 patent/US8724078B2/en active Active
- 2011-06-27 JP JP2013517236A patent/JP5801391B2/ja active Active
- 2011-06-27 KR KR1020127034279A patent/KR101847226B1/ko active IP Right Grant
- 2011-06-27 WO PCT/EP2011/060750 patent/WO2012000951A1/fr active Application Filing
- 2011-06-27 EP EP11730931.0A patent/EP2588823B1/fr active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8724078B2 (en) | 2014-05-13 |
TWI473959B (zh) | 2015-02-21 |
JP2013536453A (ja) | 2013-09-19 |
US20130094007A1 (en) | 2013-04-18 |
SG186346A1 (en) | 2013-01-30 |
FR2962198B1 (fr) | 2014-04-11 |
WO2012000951A1 (fr) | 2012-01-05 |
KR20130124177A (ko) | 2013-11-13 |
EP2588823A1 (fr) | 2013-05-08 |
EP2588823B1 (fr) | 2016-05-18 |
FR2962198A1 (fr) | 2012-01-06 |
KR101847226B1 (ko) | 2018-04-09 |
TW201224379A (en) | 2012-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101347009B1 (ko) | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체 | |
JP5065082B2 (ja) | 基板の処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム | |
US7867926B2 (en) | Substrate processing apparatus and method | |
KR101006800B1 (ko) | 기판의 처리막의 표면 거침을 개선하는 방법 및 기판 처리장치 | |
US20110117492A1 (en) | Photoresist coating and developing apparatus, substrate transfer method and interface apparatus | |
JP6802667B2 (ja) | 熱処理装置、基板処理装置、熱処理方法および基板処理方法 | |
JP2010500762A (ja) | トラックリソグラフィツールにおける臨界寸法の制御方法およびシステム | |
US11087983B2 (en) | Thermal treatment apparatus, thermal treatment method, and non-transitory computer storage medium | |
TWI536120B (zh) | 基板台總成,浸潤式微影裝置及器件製造方法 | |
JP6634429B2 (ja) | リソグラフィ装置 | |
US20170052460A1 (en) | Mask container and mask container storing system | |
JP6525628B2 (ja) | インプリント装置及び物品の製造方法 | |
KR20180049312A (ko) | 기판 지지 장치 및 이를 가지는 기판 처리 설비, 그리고 기판 처리 방법 | |
JP6845058B2 (ja) | 露光装置、基板処理装置、基板の露光方法および基板処理方法 | |
JP5801391B2 (ja) | フォトマスクを乾燥させる装置および方法 | |
JP2008103409A (ja) | 露光装置 | |
KR20190004494A (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR20190012965A (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
KR102308377B1 (ko) | 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 | |
JPH04208551A (ja) | 露光装置 | |
JP2018180256A (ja) | 露光装置、基板処理装置、基板の露光方法および基板処理方法 | |
US6643604B1 (en) | System for uniformly heating photoresist | |
JP6081904B2 (ja) | 現像処理装置、現像処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
CN209729870U (zh) | 基板处理系统 | |
KR20180058465A (ko) | 기판 가열 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140605 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150318 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150324 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150624 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150804 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150826 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5801391 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |