JP5800293B2 - クリーンルーム用設備及びクリーンルームの空調方法 - Google Patents
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即ち、本発明のクリーンルーム用設備は、クリーンルームへの給気風量と前記クリーンルーム内の圧力を制御するクリーンルーム用設備であって、前記クリーンルームへの給気風量を制御する風量制御手段と、前記クリーンルーム内の圧力を制御する圧力制御手段と、前記風量制御手段と前記圧力制御手段とを制御する演算部と、を備え、前記クリーンルームには、前記クリーンルームに給気されるエアが流通する給気ダクトと、前記クリーンルームから排気されたエアが流通する排気ダクトと、が接続され、前記風量制御手段は、前記給気ダクトと前記排気ダクトとにそれぞれ備えられ、前記圧力制御手段は、前記給気ダクトと前記排気ダクトとにそれぞれ備えられ、前記クリーンルーム内の圧力を上昇させる場合には、前記演算部が、前記給気ダクトを流通して給気される前記エアの流量を増加させるとともに前記排気ダクトを流通して排気される前記エアの流量を減少させるように前記2つの圧力制御手段を制御し、前記クリーンルーム内の圧力を低下させる場合には、前記演算部が、前記給気ダクトを流通して給気される前記エアの流量を減少させるとともに前記排気ダクトを流通して排気される前記エアの流量を増加させるように前記2つの圧力制御手段を制御することを特徴とする。
また、本発明のクリーンルームの空調方法は、クリーンルームに対する給気風量、及び、前記クリーンルーム内の圧力を制御するクリーンルームの空調方法であって、前記クリーンルームへの給気風量を増加させる場合には、前記クリーンルームに給気されるエアの流量と、前記クリーンルームから排気されるエアの流量と、の両方を増加させ、前記クリーンルームへの給気風量を減少させる場合には、前記クリーンルームに給気される前記エアの流量と、前記クリーンルームから排気される前記エアの流量と、の両方を減少させ、前記クリーンルーム内の圧力を上昇させる場合には、前記クリーンルームに給気される前記エアの流量を増加させるとともに、前記クリーンルームから排気される前記エアの流量を減少させ、前記クリーンルーム内の圧力を低下させる場合には、前記クリーンルームに給気される前記エアの流量を減少させるとともに、前記クリーンルームから排気される前記エアの流量を増加させることを特徴とする。
はじめに、本実施形態に係るクリーンルーム用設備100の構成について、図1を参照しながら説明する。図1中、破線は電気信号線を表している。また、破線の矢印は、信号の伝達される向きを表している。
次に、本実施形態に係るクリーンルーム用設備100、並びに、従来のクリーンルーム用設備の具体例として図9に示すクリーンルーム用設備300を挙げて、各設備における制御を図2〜図4を参照しながら説明する。
図1に示すクリーンルーム用設備100や図9に示すクリーンルーム用設備300において用いられる通常のダンパ(モータダンパ)は、図2に示すように、開度と抵抗係数とが非線形の関係にある。即ち、図2に示す例えば開度aと開度bとでは、ダンパ操作量に対する抵抗係数の変化量(図2中、太矢印の傾き)が大きく異なる。具体的には、例えば開度aの状態からは、開度を少し大きくしただけで抵抗係数は大きく減少する。一方、開度bの状態からは、開度を少し大きくしても、抵抗係数の減少量は小さい。
クリーンルーム用設備100における、具体的な制御方法を説明する。図1に示すクリーンルーム用設備100においては、前記のように、風量制御手段としての給気側風量制御ダンパ3及び排気側風量制御ダンパ9、並びに、圧力制御手段としての給気側圧力制御ダンパ4及び排気側圧力制御ダンパ10が備えられている。さらには、これらを制御する風量コントローラ14及び圧力コントローラ15が備えられている。即ち、クリーンルーム6の給気側と排気側とのそれぞれに、給気風量を制御する一組のダンパ及びクリーンルーム6内の圧力を制御する一組のダンパが備えられている。そして、それぞれの一組のダンパの開度を制御する2つのコントローラが備えられている。
次に、図5〜図7を参照しながら、本発明により奏される効果を説明する。
本実施形態に係るクリーンルーム用設備は、任意の用途に適用することができる。図8に、本実施形態に係るクリーンルーム用設備を適用した一例を示す。なお、図8において、図1と同じ符号を付すものは図1に示すものと同じものを示すものとし、その詳細な説明を省略する。また、図示の簡略化のために、図8においては風量コントローラ14、圧力コントローラ15、操作部16及び操作部17、並びにそれらを接続する電気信号線は図示していない。
以上、具体的な実施形態を挙げて本発明を説明したが、本実施形態は前記の内容に何ら制限されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で任意に変更して実施可能である。
4 給気側圧力制御ダンパ(圧力制御手段)
6 クリーンルーム
9 排気側風量制御ダンパ(風量制御手段)
10 排気側圧力制御ダンパ(圧力制御手段)
12 給気ダクト
13 排気ダクト
14 風量コントローラ(演算部)
15 圧力コントローラ(演算部)
100,200 クリーンルーム用設備
Claims (5)
- クリーンルームへの給気風量と前記クリーンルーム内の圧力を制御するクリーンルーム用設備であって、
前記クリーンルームへの給気風量を制御する風量制御手段と、
前記クリーンルーム内の圧力を制御する圧力制御手段と、
前記風量制御手段と前記圧力制御手段とを制御する演算部と、
を備え、
前記クリーンルームには、前記クリーンルームに給気されるエアが流通する給気ダクトと、前記クリーンルームから排気されたエアが流通する排気ダクトと、が接続され、
前記風量制御手段は、前記給気ダクトと前記排気ダクトとにそれぞれ備えられ、
前記圧力制御手段は、前記給気ダクトと前記排気ダクトとにそれぞれ備えられ、
前記クリーンルーム内の圧力を上昇させる場合には、前記演算部が、前記給気ダクトを流通して給気される前記エアの流量を増加させるとともに前記排気ダクトを流通して排気される前記エアの流量を減少させるように前記2つの圧力制御手段を制御し、
前記クリーンルーム内の圧力を低下させる場合には、前記演算部が、前記給気ダクトを流通して給気される前記エアの流量を減少させるとともに前記排気ダクトを流通して排気される前記エアの流量を増加させるように前記2つの圧力制御手段を制御する
ことを特徴とする、クリーンルーム用設備。 - 前記クリーンルームへの給気風量を増加させる場合には、前記演算部が、前記給気ダクトを流通して給気される前記エアの流量と、前記排気ダクトを流通して排気される前記エアの流量と、の両方を増加させるように前記2つの風量制御手段を制御し、
前記クリーンルームへの給気風量を減少させる場合には、前記演算部が、前記給気ダクトを流通して給気される前記エアの流量と、前記排気ダクトを流通して排気される前記エアの流量と、の両方を減少させるように前記2つの風量制御手段を制御する
ことを特徴とする、請求項1に記載のクリーンルーム用設備。 - 前記給気ダクトには、前記風量制御手段としての第一風量制御手段と、前記第一風量制御手段とは別体に設けられた、前記圧力制御手段としての第一圧力制御手段とが備えられ、
前記排気ダクトには、前記風量制御手段としての第二風量制御手段と、前記第二風量制御手段とは別体に設けられた、前記圧力制御手段としての第二圧力制御手段とが備えられ、
前記演算部は、
前記クリーンルーム内の圧力を上昇させる場合には、前記第一圧力制御手段を制御することで、前記給気ダクトを流通して給気される前記エアの流量を増加させるとともに、前記第二圧力制御手段を制御することで、前記排気ダクトを流通して排気される前記エアの流量を減少させ、
前記クリーンルーム内の圧力を低下させる場合には、前記第一圧力制御手段を制御することで、前記給気ダクトを流通して給気される前記エアの流量を減少させるとともに、前記第二圧力制御手段を制御することで、前記排気ダクトを流通して排気される前記エアの流量を増加させ、
前記クリーンルームへの給気風量を増加させる場合には、前記第一風量制御手段を制御することで、前記給気ダクトを流通して給気される前記エアの流量を増加させるとともに、前記第二風量制御手段を制御することで、前記排気ダクトを流通して排気される前記エアの流量を増加させ、
前記クリーンルームへの給気風量を減少させる場合には、前記第一風量制御手段を制御することで、前記給気ダクトを流通して給気される前記エアの流量を減少させるとともに、前記第二風量制御手段を制御することで、前記排気ダクトを流通して排気される前記エアの流量を減少させる
ことを特徴とする、請求項1又は2に記載のクリーンルーム用設備。 - クリーンルームに対する給気風量、及び、前記クリーンルーム内の圧力を制御するクリーンルームの空調方法であって、
前記クリーンルームへの給気風量を増加させる場合には、前記クリーンルームに給気されるエアの流量と、前記クリーンルームから排気されるエアの流量と、の両方を増加させ、
前記クリーンルームへの給気風量を減少させる場合には、前記クリーンルームに給気される前記エアの流量と、前記クリーンルームから排気される前記エアの流量と、の両方を減少させ、
前記クリーンルーム内の圧力を上昇させる場合には、前記クリーンルームに給気される前記エアの流量を増加させるとともに、前記クリーンルームから排気される前記エアの流量を減少させ、
前記クリーンルーム内の圧力を低下させる場合には、前記クリーンルームに給気される前記エアの流量を減少させるとともに、前記クリーンルームから排気される前記エアの流量を増加させる
ことを特徴とする、クリーンルームの空調方法。 - 前記クリーンルームへの給気ダクトには、給気風量を制御する第一風量制御手段と、前記第一風量制御手段とは別体に設けられた、前記クリーンルーム内の圧力を制御する第一圧力制御手段とが備えられ、
前記クリーンルームからの排気ダクトには、排気風量を制御する第二風量制御手段と、前記第二風量制御手段とは別体に設けられた、前記クリーンルーム内の圧力を制御する第二圧力制御手段とが備えられ、
前記第一風量制御手段、前記第一圧力制御手段、前記第二風量制御手段、及び、前記第二圧力制御手段を制御する演算部は、
前記クリーンルーム内の圧力を上昇させる場合には、前記第一圧力制御手段を制御することで、前記給気ダクトを流通して給気される前記エアの流量を増加させるとともに、前記第二圧力制御手段を制御することで、前記排気ダクトを流通して排気される前記エアの流量を減少させ、
前記クリーンルーム内の圧力を低下させる場合には、前記第一圧力制御手段を制御することで、前記給気ダクトを流通して給気される前記エアの流量を減少させるとともに、前記第二圧力制御手段を制御することで、前記排気ダクトを流通して排気される前記エアの流量を増加させ、
前記クリーンルームへの給気風量を増加させる場合には、前記第一風量制御手段を制御することで、前記給気ダクトを流通して給気される前記エアの流量を増加させるとともに、前記第二風量制御手段を制御することで、前記排気ダクトを流通して排気される前記エアの流量を増加させ、
前記クリーンルームへの給気風量を減少させる場合には、前記第一風量制御手段を制御することで、前記給気ダクトを流通して給気される前記エアの流量を減少させるとともに、前記第二風量制御手段を制御することで、前記排気ダクトを流通して排気される前記エアの流量を減少させる
ことを特徴とする、請求項4に記載のクリーンルームの空調方法。
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