JP5786933B2 - 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 - Google Patents
有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5786933B2 JP5786933B2 JP2013500956A JP2013500956A JP5786933B2 JP 5786933 B2 JP5786933 B2 JP 5786933B2 JP 2013500956 A JP2013500956 A JP 2013500956A JP 2013500956 A JP2013500956 A JP 2013500956A JP 5786933 B2 JP5786933 B2 JP 5786933B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- light emitting
- emitting layer
- shaped element
- organic light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 42
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 title claims description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 40
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 39
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 8
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 73
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 23
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 23
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 9
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 9
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 4
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000779 smoke Substances 0.000 description 1
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/02—Details
- H05B33/04—Sealing arrangements, e.g. against humidity
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/842—Containers
- H10K50/8426—Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/851—Division of substrate
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
有機EL素子は、ガラスや樹脂などのロール状または板状の支持基板上に、有機化合物の発光層(以下「有機発光層」という。)をアノードとカソードとの2つの電極で挟持した構成の有機EL構造体を配置し、電極間に電圧を印加することにより有機発光層に電子及び正孔を注入して、有機発光層内にて再結合させることにより励起子(エキシトン)を生成させ、このエキシトンが失活する際の光の放出(蛍光・燐光)を利用して発光をおこなう素子であり、数V〜数十V程度の駆動電圧で発光が可能である。更に自己発光型であるために視野角に富み、視認性が高いといった特徴を有する。
この場合に、電極や有機発光層は水分や酸素等の不純物による影響を受けやすく、大気中に放置されると、発光寿命が短命化するなど素子自体の品質の劣化を招くため、有機EL素子の製造では、さまざまな工夫がなされている。
特許文献2の技術によれば、有機発光層(有機EL層22)を所定パターンに形成するとともに、その表面をガラス製の封止基板(40)で封止しかつその側面を接着剤(接着材シート30)で封止し、そのパターン間の接着剤にレーザーを照射して変質させてからパターン間の隙間に沿って基板を切断するように構成し、有機発光層の外気への接触を防止している(特許文献2の段落0053,0058〜0062や図2〜図4参照)。
したがって、本発明の主な目的は、切断位置の制約を受けずに、水分や酸素による影響を抑制したり電極間でショートするのを防止したりすることができる有機EL素子の製造方法を提供することにある。
基材上にアノード、カソード及び有機発光層が積層され、前記有機発光層が前記アノードと前記カソードとの間に形成された有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、
前記基材、前記アノード、前記カソード及び前記有機発光層の積層体は帯状パターンを有し、
不活性ガス雰囲気環境下で、
前記積層体を、前記帯状パターンの延在する方向と直交する方向に切断し、その後、前記積層体の切断面の前記有機発光層に空隙を形成し、その空隙に封止材を充填することにより前記積層体の切断面を封止することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法が提供される。
図2に示すとおり、有機EL素子100は支持体となる支持基板2を有している。支持基板2は基材の一例である。支持基板2上にはアノード4、有機発光層6およびカソード8がこの順に積層された状態で形成されている。有機発光層6はアノード4とカソード8との間に形成され、これら電極間に電圧が印加されると、有機発光層6が発光するようになっている。カソード8上には封止基板10が接着され、カソード8を含む電極や有機発光層6が封止(保護)されている。アノード4とカソード8との左右の端部間には絶縁層12が形成され、電極間でショートするのが防止されている。
この場合、不活性ガス雰囲気環境下で切断を行う。不活性ガスとしては、例えばアルゴンや窒素が挙げられ、好ましくは窒素である。ここでは、例えば、窒素雰囲気環境下としたグローブボックス内で、ロール状素子20を搬送しながら切断する。
(1)シャーカット
図5に示すとおり、シャーカット(シェアカット)方式の切断装置30では、互いに逆方向に回転可能な上刃32および下刃34が具備されており、上刃32の一部が下刃34に重なっている。上刃32および下刃34はともに、刃先の材質が超微粒子超硬または超々微粒子超硬となっている。通常は上刃32の材質をSKHとし、下刃34の材質を超硬刃とする組み合わせが多いが、本実施形態によれば、上刃32および下刃34の双方を超硬刃とするから、刃先の面粗度を向上させることができる。
ロール状素子20を切断する場合には、上刃32と下刃34との間の位置にロール状素子20を配置し、上刃32と下刃34とを、擦り合わせた状態で回転させながら、ロール状素子20の搬送方向Aとほぼ直交する方向に移動させる。
この場合、上刃32の回転速度を、下刃34の回転速度と同期させるか(下刃34の回転速度と同速度とするか)、または下刃34の回転速度より10%程度増速する。これにより、ロール状素子20の切断を容易にすることができる。
またこの場合、ロール状素子20を搬送しながら切断の処理を実行するため、図4Aに示すとおり、ロール状素子20の搬送方向Aに対し前側から後側に傾斜した方向(C)に上刃32と下刃34とを移動させる。これにより、ロール状素子20が搬送中であっても、ロール状素子20の搬送方向Aと直交する方向Bに切断することができる。
図6に示すとおり、スコアーカット方式の切断装置40では、回転可能な丸刃42と、特殊なゴムで構成されたアンビルロール44とが、具備されている。丸刃42も刃先の材質が超微粒子超硬または超々微粒子超硬となっている。丸刃42は刃先の両側が鋭角をなした鋭角刃である。アンビルロール44は丸刃42と対向配置されている。
ロール状素子20を切断する場合には、丸刃42とアンビルロール44との間の位置にロール状素子20を配置し、丸刃42を、アンビルロール44に押し付けた状態で回転させながら、ロール状素子20の搬送方向Aに対し前側から後側に傾斜した方向Cに移動させる。
図7に示すとおり、ギャングカット方式の切断装置50では、互いに逆方向に回転可能な上刃52および下刃54が具備されている。上刃52および下刃54はともに円筒状を呈した直角刃となっている。
ロール状素子20を切断する場合には、上刃52と下刃54との間の位置にロール状素子20を配置し、上刃52と下刃54とを回転させながら、上刃52を下刃54に対し一定の圧力(側圧)で押し付け、上刃52と下刃54とをロール状素子20の搬送方向Aに対し前側から後側に傾斜した方向Cに移動させる。
図8に示すとおり、クロス切断方式の切断装置60では、昇降可能な上刃62と、下降した状態の上刃62と重なり合う下刃64とが、具備されている。クロス切断方式とはいわゆるギロチンによる切断方式である。上刃62は刃先の片側が鋭角をなした鋭角刃であり、下刃64は刃先が直角をなした直角刃である。下刃64はホルダ66に装備され、所定位置に固定されている。
ロール状素子20を切断する場合には、上刃62と下刃64との間の位置にロール状素子20を配置し、上刃62を、ロール状素子20の搬送方向Aと直交する方向Bに沿って下降させる。
この場合、スリット切断方式による切断とは異なり、好ましくはロール状素子20の搬送を停止させ、ロール状素子20を静止させた状態で切断する。その結果、ロール状素子20を搬送方向Aと直交する方向Bに切断することができる。
クロス切断方式は上刃62が下刃64に衝突しないように上刃62を下降させる構造上、上刃62と下刃64とでクリアランス(隙間)を5μmから50μm確保することが必要であり、このクリアランス(隙間)の分だけ切断時に、ロール状素子20の変形量が大きくなり切断品質が低下してしまう可能性がある。
これに対して、スリット切断方式は例えば図5に示すとおりに上刃32と下刃34は常時接触しており、クロス切断方式よりも切断時のロール状素子20の変形量は少ないので、良好な切断面が得られ好ましい。
図9に示すとおり、レーザー切断方式の切断装置70は、いわゆる炭酸ガスレーザーを使用して対象物を切断するものであり、3次元的に(左右,前後,上下に)移動可能なレーザーヘッド72が具備されている。レーザーヘッド72の中央部にはレーザーを出射する出射口74が形成されている。出射口74の周囲にはガスノズル76が形成され、アシストガスが出射される。アシストガスとしては酸素ガス(O2)や窒素ガス(N2)、アルゴンガス(Ar)などが使用される。
ロール状素子20を切断する場合には、レーザーヘッド72の出射口74に対向する位置にロール状素子20を配置し、出射口74からはレーザーを、ガスノズル76からはアシストガスをそれぞれ出射・噴出した状態で、レーザーヘッド72を、ロール状素子20の搬送方向Aとほぼ直交する方向に移動させる。
ロール状素子20では、支持基板2の上にアノード4やカソード8、有機発光層6が形成され、その上に封止基板10や絶縁層12が構成されるため、その表面には湾曲やそり、うねりなどがあることがあり、焦点深度が狭いレーザー加工では、焦点深度がずれてしまうケースがある。この対策として、レーザーヘッド72を左右,前後,上下の3次元的に動かして(特に上下に昇降動作させて)、ロール状素子20の表面に湾曲やそり、うねりがあってもレーザーヘッド72を追従させ、焦点深度を維持する。
ただし、有機EL素子100を構成する支持基板2の種類により、レーザーヘッド72の光源を使い分ける必要がある。
支持基板2がガラスや樹脂フィルムである場合には、炭酸ガスレーザーを使用するのがよい。この場合、支持基板2が樹脂フィルムであったり封止基板10や絶縁層12が樹脂フィルムであるときは、アシストガスとして酸素ガスを利用すると、支持基板2などの部材が燃焼して黒煙やすすが発生することがあるため、このときのアシストガスとしては好ましくは窒素ガスを利用する。
支持基板2が樹脂フィルムである場合には、微細加工レーザーを使用するのもよい。
支持基板2がアルミニウム(Al)である場合は、炭酸ガスレーザーを使用するとレーザー光を反射してしまうため、反射が少ないYAGレーザーを使用するのがよい。
YAGレーザーやファイバーレーザーによれば、支持基板2がステンレス(SUS)、アルミニウム(Al)である場合の双方に対応可能であり、支持基板2の種類が変更になった場合でも光源を交換することなく、ロール状素子20を切断することができる。
微細加工レーザーによれば、ロール状素子20の切断面の周囲への熱の影響を抑制できるなどのメリットがある。
また、支持基板2が樹脂フィルムである場合、当該樹脂フィルム上にガスバリア膜等を設けて、水分や酸素等の不純物を通しにくくすることが好ましい。
有機発光層6の空隙16に樹脂を充填するには、たとえば、あらかじめ樹脂を恒温槽に入れておきロール状素子20の素子温度(アノード4、カソード8及び有機発光層6が積層された支持基板2の切断面の常温での温度)と異なる温度に温調し、その樹脂中にロール状素子20の切断面を浸漬すればよい。恒温槽の温調温度は好ましくは素子温度より高く設定(たとえば+5℃)する。ロール状素子20と封止用の樹脂との間で温度差があれば、ロール状素子20の樹脂浸漬部で膨張または収縮が起こり、アノード4とカソード8との分離性が向上し、有機発光層6に空隙16を形成しやすい。
この場合、図11Aに示すとおり、1枚の封止用シート18を折り畳むようにして貼り付けてもよいし、図11Bに示すとおり、2枚の封止用シート18を互いに重ね合わせるようにして貼り付けてもよいし、図11Cに示すとおり、2枚の封止用シート18を互いに重ね合わせるようにして貼り付けてその端部を折り返してもよい。
封止用シートは、封止機能を有するシート状のものであれば特に限定されないが、例えば、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート、ポリスチレン、ナイロン、ポリ塩化ビニル等のプラスチック、およびこれらの複合物に、アルミニウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、窒化ケイ素等のガスバリア層を積層したものを用いることができる。
なお、ロール状素子20に代えて、図4Bの板状素子80を使用し、板状素子80に対しても、ロール状素子20を切断・封止したのと同様にして切断・封止することができ、同様に発光が観察される。
特に、ロール状素子20(または板状素子80)を切断する工程では、ロール状素子20(または板状素子80)を、窒素雰囲気環境下のグローブボックス内で搬送しながら切断するから、電極の腐食を防止することができるとともに、有機発光層6が大気中の水分や酸素の影響を受けるのを防止することができ、ひいては発光寿命が短命化するなど有機EL素子自体の品質が劣化するのを抑制することができる。
また、切断方式として、スリット切断方式やクロス切断方式、レーザー切断方式といった方式を採用するから、有機発光層6にダメージを与えずに切断することができるし、アノード4とカソード8とが接触しないように切断することもできる(電極間でショートするのを防止することもできる。)。
特に、図10に示すとおり、有機発光層6に空隙16を形成し樹脂を充填すれば、樹脂自体の接着性や電極間の絶縁性を高めることができる。図11A〜図11Cに示すとおり、封止層14上に封止用シート18を貼り付ければ、封止層14が有機EL素子100の端面(切断面)から剥離するのを防止することができる。
4 アノード
6 有機発光層
8 カソード
10 封止基板
12 絶縁層
14 封止層
16 空隙
18 封止用シート
20 ロール状素子
22 帯状パターン
24 スリット
26 ロール
30 切断装置(スリット切断方式のシャーカット)
32 上刃
34 下刃
40 切断装置(スリット切断方式のスコアーカット)
42 丸刃
44 アンビルロール
50 切断装置(スリット切断方式のギャングカット)
52 上刃
54 下刃
60 切断装置(クロス切断方式)
62 上刃
64 下刃
66 ホルダ
70 切断装置(レーザー切断方式)
72 レーザーヘッド
74 出射口
76 ガスノズル
80 板状素子
100 有機EL素子
Claims (3)
- 基材上にアノード、カソード及び有機発光層が積層され、前記有機発光層が前記アノードと前記カソードとの間に形成された有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、
前記基材、前記アノード、前記カソード及び前記有機発光層の積層体は帯状パターンを有し、
不活性ガス雰囲気環境下で、
前記積層体を、前記帯状パターンの延在する方向と直交する方向に切断し、その後、前記積層体の切断面の前記有機発光層に空隙を形成し、その空隙に封止材を充填することにより前記積層体の切断面を封止することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 - 請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、
前記有機発光層に前記空隙を形成する際、前記積層体を、その温度とは異なる温度の封止材に浸漬し、前記空隙を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 - 請求項1または2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、
前記積層体の切断面を封止材を用いて封止した後に、前記積層体の切断面の封止材上に封止用シートを形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013500956A JP5786933B2 (ja) | 2011-02-23 | 2012-02-10 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011036547 | 2011-02-23 | ||
JP2011036547 | 2011-02-23 | ||
PCT/JP2012/053079 WO2012114906A1 (ja) | 2011-02-23 | 2012-02-10 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
JP2013500956A JP5786933B2 (ja) | 2011-02-23 | 2012-02-10 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012114906A1 JPWO2012114906A1 (ja) | 2014-07-07 |
JP5786933B2 true JP5786933B2 (ja) | 2015-09-30 |
Family
ID=46720690
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013500956A Expired - Fee Related JP5786933B2 (ja) | 2011-02-23 | 2012-02-10 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5786933B2 (ja) |
WO (1) | WO2012114906A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6484786B2 (ja) * | 2014-12-03 | 2019-03-20 | 株式会社Joled | 表示装置および表示装置の製造方法、並びに電子機器 |
GB2533185B (en) * | 2014-12-10 | 2017-01-04 | Eight19 Ltd | A flexible, thin film electronic device |
KR102206858B1 (ko) * | 2015-09-22 | 2021-01-22 | 코오롱인더스트리 주식회사 | 유연소자 및 이의 제조방법 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004103337A (ja) * | 2002-09-06 | 2004-04-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置およびその作製方法 |
JP2007317671A (ja) * | 2007-07-19 | 2007-12-06 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置及び有機エレクトロルミネッセンス表示素子の封止方法 |
JP2010045337A (ja) * | 2008-07-15 | 2010-02-25 | Tokai Rubber Ind Ltd | 発光体 |
WO2010067721A1 (ja) * | 2008-12-10 | 2010-06-17 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス素子 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02101496U (ja) * | 1989-01-30 | 1990-08-13 |
-
2012
- 2012-02-10 WO PCT/JP2012/053079 patent/WO2012114906A1/ja active Application Filing
- 2012-02-10 JP JP2013500956A patent/JP5786933B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004103337A (ja) * | 2002-09-06 | 2004-04-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置およびその作製方法 |
JP2007317671A (ja) * | 2007-07-19 | 2007-12-06 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置及び有機エレクトロルミネッセンス表示素子の封止方法 |
JP2010045337A (ja) * | 2008-07-15 | 2010-02-25 | Tokai Rubber Ind Ltd | 発光体 |
WO2010067721A1 (ja) * | 2008-12-10 | 2010-06-17 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2012114906A1 (ja) | 2014-07-07 |
WO2012114906A1 (ja) | 2012-08-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5608754B2 (ja) | 薄膜デバイスを個別のセルに分割するための方法および装置 | |
JP5528904B2 (ja) | サファイアウェーハの分割方法 | |
JP5786933B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 | |
KR102152743B1 (ko) | 톱 에미션형 유기 일렉트로루미네센스 표시 장치의 제조 방법, 및 톱 에미션형 유기 일렉트로루미네센스 표시 장치 형성용 덮개재 | |
JP2011243875A (ja) | サファイアウェーハの分割方法 | |
JP5573678B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP6334077B1 (ja) | フレキシブルoledデバイスの製造方法および製造装置 | |
JP6334080B1 (ja) | フレキシブルoledデバイスの製造方法および製造装置 | |
US20090189151A1 (en) | Method for separating a non-emission region from a light emission region within an organic light emitting diode (oled) | |
KR102152744B1 (ko) | 톱 에미션형 유기 일렉트로루미네센스 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
WO2015030124A1 (ja) | トップエミッション型有機エレクトロルミネッセンス表示装置およびその製造方法 | |
JPWO2019082355A1 (ja) | フレキシブルoledデバイスの製造方法および製造装置 | |
US20200058886A1 (en) | Method for preparing flexible oled display panel and motherboard structure thereof | |
WO2019167131A1 (ja) | フレキシブルoledデバイスの製造方法及び支持基板 | |
WO2012114907A1 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 | |
JP6899477B2 (ja) | フレキシブルoledデバイス、その製造方法及び支持基板 | |
JPWO2019167130A1 (ja) | フレキシブルoledデバイス、その製造方法及び支持基板 | |
WO2015129892A1 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法と製造装置 | |
JP2007294519A (ja) | El照明パネル | |
JP4696832B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 | |
JP2011071023A (ja) | 有機el素子の製造方法 | |
KR101216498B1 (ko) | 유기발광소자용 접착층 부착 장치 및 방법 | |
JP2015222730A (ja) | トップエミッション型有機エレクトロルミネッセンス表示装置 | |
JP2011171128A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスパネル及び有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 | |
JP6772348B2 (ja) | フレキシブルoledデバイス、その製造方法及び支持基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150123 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150421 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150604 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150630 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150713 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5786933 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |