JP5781006B2 - WIRING BOARD FOR LIGHT EMITTING ELEMENT AND LIGHT EMITTING DEVICE - Google Patents

WIRING BOARD FOR LIGHT EMITTING ELEMENT AND LIGHT EMITTING DEVICE Download PDF

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Description

本発明は、照明装置(例えば、LED照明または信号灯など)または表示装置(例えば、LEDディスプレイなど)などに使用される発光素子用配線基板、およびそれを備えた発光装置に関するものである。   The present invention relates to a wiring board for a light emitting element used for a lighting device (for example, LED lighting or a signal lamp) or a display device (for example, an LED display), and a light emitting device including the same.

従来、照明装置や表示装置に使用される発光装置として、発光素子を発光素子用配線基板に実装したものが用いられている。   2. Description of the Related Art Conventionally, a light-emitting device in which a light-emitting element is mounted on a wiring board for a light-emitting element is used as a light-emitting device used in a lighting device or a display device.

この発光素子用配線基板としては、例えば、特許文献1に開示されたもののように、発光素子が実装される上面は、樹脂材料からなる絶縁層によって構成されたものが知られている。   As this light emitting element wiring board, for example, as disclosed in Patent Document 1, the upper surface on which the light emitting element is mounted is configured by an insulating layer made of a resin material.

ところで、発光素子用配線基板に発光素子が実装された発光装置には、例えば、発光素子を保護するためのカバー部材が設けられており、発光素子から放出された可視光の一部が、カバー部材で反射して発光素子用配線基板の上面に到達することがある。ここで、一般的に可視光を吸収しやすい樹脂材料からなる絶縁層によって発光素子用配線基板の上面が構成されている場合には、発光素子用配線基板の上面において可視光が反射されにくいことから、カバー部材で反射された可視光は、発光素子用配線基板の上面において吸収される。すなわち、発光素子が発する可視光の一部は損失することから、発光装置の明るさが低下しやすいという問題が生じる。   By the way, a light emitting device in which a light emitting element is mounted on a light emitting element wiring board is provided with, for example, a cover member for protecting the light emitting element, and a part of visible light emitted from the light emitting element is covered. It may be reflected by the member and reach the upper surface of the light emitting element wiring board. Here, when the upper surface of the wiring substrate for light emitting elements is generally constituted by an insulating layer made of a resin material that easily absorbs visible light, visible light is not easily reflected on the upper surface of the wiring substrate for light emitting elements. Therefore, the visible light reflected by the cover member is absorbed on the upper surface of the light emitting element wiring substrate. That is, since a part of visible light emitted from the light emitting element is lost, there arises a problem that the brightness of the light emitting device is easily lowered.

特開2004−39691号公報JP 2004-39691 A

本発明は、発光装置の明るさを向上させることができる発光素子用配線基板およびそれを用いた発光装置を提供することを目的とするものである。   An object of this invention is to provide the wiring board for light emitting elements which can improve the brightness of a light-emitting device, and a light-emitting device using the same.

本発明の一実施形態にかかる発光素子用配線基板は、上方に向かって発光する発光部を備えた発光素子が実装される発光素子用配線基板であって、上面を構成する、第1樹脂層と該第1樹脂層に積層された第1無機絶縁層とを有する第1絶縁層を備え、前記第1無機絶縁層は、可視光の波長の下限値よりも粒径が小さい、互いの一部で接続した複数の第1無機絶縁粒子と、可視光の波長の下限値よりも粒径が大きい、前記複数の第1無機絶縁粒子に囲まれた球状の複数の第2無機絶縁粒子とを具備するとともに、複数の前記第1無機絶縁粒子と複数の前記第2無機絶縁粒子とで囲まれた間隙が形成されており、かつ前記第1絶縁層の上面から該第1絶縁層の内部に進入する可視光が到達する深さに位置していることを特徴とするものである。   A light-emitting element wiring board according to an embodiment of the present invention is a light-emitting element wiring board on which a light-emitting element including a light-emitting portion that emits light upward is mounted, and includes a first resin layer constituting an upper surface And a first inorganic insulating layer laminated on the first resin layer, wherein the first inorganic insulating layer has a particle size smaller than the lower limit of the wavelength of visible light, A plurality of first inorganic insulating particles connected at a portion, and a plurality of spherical second inorganic insulating particles surrounded by the plurality of first inorganic insulating particles having a particle size larger than the lower limit of the wavelength of visible light. And a gap surrounded by the plurality of first inorganic insulating particles and the plurality of second inorganic insulating particles is formed, and from the upper surface of the first insulating layer to the inside of the first insulating layer It is characterized by being located at a depth to which the entering visible light reaches.

本発明の一実施形態にかかる発光素子用配線基板によれば、発光素子用配線基板の上面を構成する第1絶縁層は第1無機絶縁層を有しており、この第1無機絶縁層は第1絶縁層の上面からこの第1絶縁層の内部に進入する可視光が到達する深さに位置していることから、発光素子用配線基板の上面に到達した可視光は、第1無機絶縁層に到達することにな
る。そして、第1無機絶縁層における第1無機絶縁粒子の粒径が可視光の波長よりも小さいことから、第1無機絶縁層に到達した可視光は、第1無機絶縁粒子によって反射されにくく、良好に第2無機絶縁粒子に到達することになり、さらに第2無機絶縁粒子に到達した可視光は、可視光の波長よりも大きい球状の第2無機絶縁粒子によって、入射してきた方向と同じ方向に可視光が反射(再帰性反射)されやすい。その結果、発光素子用配線基板の上面に到達した可視光は上方へ反射することから、この発光素子用配線基板の上面に発光素子が実装されて構成される発光装置の明るさを向上させることができる。
According to the light emitting element wiring substrate according to the embodiment of the present invention, the first insulating layer constituting the upper surface of the light emitting element wiring substrate has the first inorganic insulating layer, and the first inorganic insulating layer is Since the visible light entering the inside of the first insulating layer reaches the depth from the upper surface of the first insulating layer, the visible light reaching the upper surface of the wiring board for light emitting elements is Will reach the layer. And since the particle diameter of the 1st inorganic insulating particle in a 1st inorganic insulating layer is smaller than the wavelength of visible light, the visible light which reached the 1st inorganic insulating layer is hard to be reflected by the 1st inorganic insulating particle, and is favorable The visible light that has reached the second inorganic insulating particle and the second inorganic insulating particle is further directed in the same direction as the incident direction by the spherical second inorganic insulating particle that is larger than the wavelength of visible light. Visible light is easily reflected (recursive reflection). As a result, visible light that reaches the upper surface of the wiring board for light emitting elements is reflected upward, so that the brightness of the light emitting device configured by mounting the light emitting elements on the upper surface of the wiring board for light emitting elements is improved. Can do.

図1は、本発明の実施の形態の一例における発光装置を示す、厚み方向(Z方向)に切断した断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view taken along the thickness direction (Z direction) showing a light emitting device according to an example of an embodiment of the present invention. 図2は、図1のR1部分を拡大して示した、厚み方向(Z方向)に切断した断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the thickness direction (Z direction) showing the R1 portion of FIG. 1 in an enlarged manner. 図3は、図2のR2部分を拡大して示した、厚み方向(Z方向)に切断した断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the thickness direction (Z direction) showing an enlarged R2 portion of FIG. (a)〜(d)は、図1に示す発光装置の製造工程を説明する、工程毎に厚み方向(Z方向)に切断した断面図である。(A)-(d) is sectional drawing cut | disconnected in the thickness direction (Z direction) for every process explaining the manufacturing process of the light-emitting device shown in FIG. 図5は、図1とは異なる本発明の発光装置の実施の形態の他の例を示す、厚み方向(Z方向)に切断した断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the thickness direction (Z direction) showing another example of the embodiment of the light emitting device of the present invention different from FIG. 図6は、図1および図5とは異なる本発明の発光装置の実施の形態の他の例を示す、厚み方向(Z方向)に切断した断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view cut in the thickness direction (Z direction) showing another example of the embodiment of the light emitting device of the present invention different from FIGS. 1 and 5.

<第1実施形態>
(発光装置)
以下に、本発明の実施の形態の第1の例(第1実施形態)にかかる発光素子用配線基板を含む発光装置を、図面を参照しつつ詳細に説明する。
<First Embodiment>
(Light emitting device)
Hereinafter, a light-emitting device including a wiring board for a light-emitting element according to a first example (first embodiment) of an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1に示した発光装置1は、例えば、LED照明または信号灯などの照明装置またはLEDディスプレイなどの表示装置などに使用されるものである。この発光装置1は、上方へ光を発する発光素子2と、発光素子2が上面に実装された発光素子用配線基板3と、発光素子2が発する光を上方に反射するために発光素子2の周囲に配された反射板4と、発光素子2および発光素子用配線基板3を保護するために反射板4に両端部が支持された透光性のカバー部材5とを含む。   The light-emitting device 1 shown in FIG. 1 is used for, for example, an illumination device such as an LED illumination or a signal lamp, or a display device such as an LED display. The light emitting device 1 includes a light emitting element 2 that emits light upward, a light emitting element wiring substrate 3 on which the light emitting element 2 is mounted, and a light emitting element 2 for reflecting light emitted from the light emitting element 2 upward. It includes a reflecting plate 4 disposed around and a translucent cover member 5 having both ends supported by the reflecting plate 4 in order to protect the light emitting element 2 and the light emitting element wiring substrate 3.

なお、以下では、発光装置1の厚み方向(図におけるZ方向)において、発光装置1の発光方向を上方とし、その反対を下方とする。   In the following, in the thickness direction of the light emitting device 1 (Z direction in the drawing), the light emitting direction of the light emitting device 1 is defined as upward, and the opposite is defined as downward.

(発光素子)
発光素子2は、発光素子用配線基板3の上面に実装され、例えばボンディングワイヤを介して発光素子用配線基板3と接続されている。この発光素子2は、例えば、上面で発光部7を支持するとともにボンディングワイヤとの接続を行なうためのベース部6と、ガリウム砒素リン、窒化ガリウムまたは炭化ケイ素などの半導体材料から形成された発光部7と、この発光部7を囲うレンズ部8とを含んでいる。
(Light emitting element)
The light emitting element 2 is mounted on the upper surface of the light emitting element wiring substrate 3 and connected to the light emitting element wiring substrate 3 through, for example, bonding wires. The light emitting element 2 includes, for example, a base portion 6 for supporting the light emitting portion 7 on the upper surface and connecting to a bonding wire, and a light emitting portion formed of a semiconductor material such as gallium arsenide phosphorus, gallium nitride, or silicon carbide. 7 and a lens portion 8 surrounding the light emitting portion 7.

発光素子2の厚みは、例えば0.05mm以上0.9mm以下に設定されている。なお、発光素子2の厚みは、発光素子2を平面方向(XY平面方向)に研摩することによって露出した、発光部7を含んだ断面を光学顕微鏡で観察し、ベース部6の下面からレンズ部8の上面までの厚み方向(Z方向)に沿った長さを10箇所以上測定し、その平均値を算出することで測定される。   The thickness of the light emitting element 2 is set to 0.05 mm or more and 0.9 mm or less, for example. The thickness of the light-emitting element 2 is determined by observing a cross section including the light-emitting part 7 exposed by polishing the light-emitting element 2 in the planar direction (XY plane direction) with an optical microscope. It measures by measuring 10 or more lengths along the thickness direction (Z direction) to the upper surface of 8, and calculating the average value.

(発光素子用配線基板)
発光素子用配線基板3は、発光素子用配線基板3の上面を構成する第1絶縁層9と、第1絶縁層9の上面に部分的に配されて第1絶縁層9とともに発光素子用配線基板3の上面を構成する第1導電層10と、第1絶縁層9の下面に配された第2絶縁層11と、第1絶縁層9と第2絶縁層11との間に部分的に配された第2導電層12と、第1絶縁層9あるいは第2絶縁層11を厚み方向(Z方向)に貫通して第1導電層10と第2導電層12とを電気的に接続したビア導体13と、第2絶縁層11の下面に配された金属板14とを含む。
(Light-emitting element wiring board)
The light emitting element wiring substrate 3 includes a first insulating layer 9 constituting the upper surface of the light emitting element wiring substrate 3 and a light emitting element wiring that is partially disposed on the upper surface of the first insulating layer 9 together with the first insulating layer 9. Partially between the first conductive layer 10 constituting the upper surface of the substrate 3, the second insulating layer 11 disposed on the lower surface of the first insulating layer 9, and the first insulating layer 9 and the second insulating layer 11. The first conductive layer 10 and the second conductive layer 12 are electrically connected through the second conductive layer 12 and the first insulating layer 9 or the second insulating layer 11 in the thickness direction (Z direction). A via conductor 13 and a metal plate 14 disposed on the lower surface of the second insulating layer 11 are included.

発光素子用配線基板3の厚みは、例えば0.1mm以上2mm以下に設定されており、発光素子2と同様に測定される。   The thickness of the light emitting element wiring board 3 is set to, for example, 0.1 mm or more and 2 mm or less, and is measured in the same manner as the light emitting element 2.

(第1絶縁層)
第1絶縁層9は、第1導電層10と第2導電層12との間の絶縁を図るものである。この第1絶縁層9は、第1樹脂層15と、第1樹脂層15の上面に積層された第1無機絶縁層16と、第1無機絶縁層16の上面に積層された表面樹脂層17とを含み、第1絶縁層9内において、第1無機絶縁層16の上面は、第1絶縁層9の上面から第1絶縁層9の内部に進入する可視光が到達する深さに位置している。
(First insulation layer)
The first insulating layer 9 is intended to insulate between the first conductive layer 10 and the second conductive layer 12. The first insulating layer 9 includes a first resin layer 15, a first inorganic insulating layer 16 stacked on the top surface of the first resin layer 15, and a surface resin layer 17 stacked on the top surface of the first inorganic insulating layer 16. In the first insulating layer 9, the upper surface of the first inorganic insulating layer 16 is located at a depth at which visible light entering the inside of the first insulating layer 9 reaches from the upper surface of the first insulating layer 9. ing.

なお、「可視光が到達する深さ」とは、発光素子用配線基板3の上面を構成する第1絶縁層9における発光素子2の搭載領域を除く領域において、第1絶縁層9の上面から、第1絶縁層9内に進入した可視光の少なくとも80%が到達する地点までの距離をいう。すなわち、本実施形態においては、第1無機絶縁層16の上面には表面樹脂層17が積層されていることから、表面樹脂層17において、可視光の透過率が80%となる表面樹脂層17の厚みが、「可視光が到達する深さ」の最大値となる。   The “depth at which visible light reaches” refers to the area from the upper surface of the first insulating layer 9 in the region of the first insulating layer 9 that constitutes the upper surface of the light emitting element wiring substrate 3 except the mounting region of the light emitting element 2. The distance to the point where at least 80% of the visible light that has entered the first insulating layer 9 arrives. That is, in this embodiment, since the surface resin layer 17 is laminated on the upper surface of the first inorganic insulating layer 16, the surface resin layer 17 in which the visible light transmittance is 80% in the surface resin layer 17. Is the maximum value of “depth at which visible light reaches”.

また、表面樹脂層17の可視光の透過率は、発光素子用配線基板3の上下面を研磨することによって第1絶縁層9を取り出し、その後、表面樹脂層17の樹脂材料を分析して、表面樹脂層17と同様の樹脂層を試作し、例えば透過率計で、その試作体の透過率を測定することによって、測定することできる。   Further, the visible light transmittance of the surface resin layer 17 is obtained by polishing the upper and lower surfaces of the light emitting element wiring substrate 3 to take out the first insulating layer 9, and then analyzing the resin material of the surface resin layer 17, A resin layer similar to the surface resin layer 17 is manufactured as a prototype, and can be measured, for example, by measuring the transmittance of the prototype with a transmittance meter.

また、可視光が到達する深さは、可視光の波長によって異なるが、全波長の可視光が到達する必要はなく、発光素子2から発する波長の可視光のみ到達すれば十分である。すなわち、例えば、発光素子2が、紫色の可視光を発する場合には、可視光の最小値の波長が到達すれば十分であり、赤色の可視光を発する場合には、可視光の最大値の波長が到達すれば十分である。   Further, the depth at which the visible light reaches differs depending on the wavelength of the visible light, but it is not necessary for the visible light of all wavelengths to reach, and it is sufficient to reach only the visible light of the wavelength emitted from the light emitting element 2. That is, for example, when the light emitting element 2 emits violet visible light, it is sufficient that the wavelength of the minimum visible light reaches, and when the light emitting element 2 emits red visible light, the maximum value of visible light is reached. It is sufficient if the wavelength reaches.

第1絶縁層9の厚みは、例えば20μm以上100μm以下に設定されている。また、第1絶縁層9のヤング率は、例えば20GPa以上45GPa以下に設定されており、平面方向(XY平面方向)への熱膨張率は、例えば13ppm/℃以上19ppm/℃以下に設定されている。なお、第1絶縁層9の厚みは、発光素子2と同様に測定される。また第1絶縁層9のヤング率は、例えばナノインデンターを用いて、ISO 527−1:1993に準じた測定方法によって測定できる。そして、第1絶縁層9の熱膨張率は、例えば市販のTMA(熱機械分析)装置を用いて、JIS K7197−1991に準じた測定方法によって測定される。   The thickness of the first insulating layer 9 is set to, for example, 20 μm or more and 100 μm or less. The Young's modulus of the first insulating layer 9 is set to, for example, 20 GPa or more and 45 GPa or less, and the coefficient of thermal expansion in the plane direction (XY plane direction) is set to, for example, 13 ppm / ° C. or more and 19 ppm / ° C. or less. Yes. The thickness of the first insulating layer 9 is measured in the same manner as the light emitting element 2. The Young's modulus of the first insulating layer 9 can be measured by a measuring method according to ISO 527-1: 1993, for example, using a nanoindenter. And the thermal expansion coefficient of the 1st insulating layer 9 is measured by the measuring method according to JISK7197-1991, for example using a commercially available TMA (thermomechanical analysis) apparatus.

(第1樹脂層)
第1樹脂層15は、第1絶縁層9の主要部をなすものであり、例えば、エポキシ樹脂、ビルマレイミドトリアジン樹脂またはシアネート樹脂などの樹脂材料からなる第1樹脂部
18と、フィラー粒子19aとを含んでいる。
(First resin layer)
The first resin layer 15 is a main part of the first insulating layer 9, and includes, for example, a first resin portion 18 made of a resin material such as an epoxy resin, a virmaleimide triazine resin, or a cyanate resin, and filler particles 19a. Is included.

第1樹脂層15の厚みは、例えば3μm以上20μm以下に設定されている。また、第1樹脂層15のヤング率は、例えば1GPa以上10GPa以下に設定されている。また、第1樹脂層15の平面方向(XY平面方向)への熱膨張率は、例えば20ppm/℃以上70ppm/℃以下に設定されている。そして、第1樹脂層15の熱伝導率は、例えば0.1W/m・K以上1.5W/m・K以下に設定されている。   The thickness of the first resin layer 15 is set to 3 μm or more and 20 μm or less, for example. The Young's modulus of the first resin layer 15 is set to, for example, 1 GPa or more and 10 GPa or less. The coefficient of thermal expansion in the plane direction (XY plane direction) of the first resin layer 15 is set to 20 ppm / ° C. or more and 70 ppm / ° C. or less, for example. The thermal conductivity of the first resin layer 15 is set to, for example, 0.1 W / m · K to 1.5 W / m · K.

なお、第1樹脂層15の厚み、ヤング率および熱膨張率は、第1絶縁層9と同様に測定される。また、第1樹脂層15の熱伝導率は、JIS C2141−1992に準じた測定方法により、例えばレーザフラッシュ法で測定される。   The thickness, Young's modulus, and thermal expansion coefficient of the first resin layer 15 are measured in the same manner as the first insulating layer 9. The thermal conductivity of the first resin layer 15 is measured by, for example, a laser flash method by a measurement method according to JIS C2141-1992.

また、第1樹脂層15におけるフィラー粒子19aの体積比率(体積%)は、例えば10体積%以上70体積%以下に設定されている。なお、フィラー粒子19aの体積比率(体積%)の測定方法は、まず、第1樹脂層15の研摩によって露出した断面を走査型電子顕微鏡または透過型電子顕微鏡で撮影し、撮影した画像から画像解析装置などを用いて面積比率(面積%)を測定する。次に、これらの測定値から算出された平均値を、フィラー粒子19aの体積比率とみなすことによって、フィラー粒子19aの体積比率(体積%)は測定される。   The volume ratio (volume%) of the filler particles 19a in the first resin layer 15 is set to, for example, 10 volume% or more and 70 volume% or less. The volume ratio (volume%) of the filler particles 19a is measured by first taking a cross-section exposed by polishing the first resin layer 15 with a scanning electron microscope or a transmission electron microscope, and performing image analysis from the taken image. The area ratio (area%) is measured using an apparatus or the like. Next, the volume ratio (volume%) of the filler particles 19a is measured by regarding the average value calculated from these measured values as the volume ratio of the filler particles 19a.

(フィラー粒子)
フィラー粒子19aは、第1樹脂層15中に分散しており、第1樹脂層15の熱膨張率を低減するとともに、第1樹脂層15のヤング率を向上させるものである。このフィラー粒子19aは、例えば、酸化チタン、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、水酸化アルミニウムまたは炭酸カルシウムなどの無機絶縁材料からなる。
(Filler particles)
The filler particles 19 a are dispersed in the first resin layer 15, and reduce the thermal expansion coefficient of the first resin layer 15 and improve the Young's modulus of the first resin layer 15. The filler particles 19a are made of, for example, an inorganic insulating material such as titanium oxide, silicon oxide, aluminum oxide, aluminum nitride, aluminum hydroxide, or calcium carbonate.

フィラー粒子19aの平均粒径は、例えば0.3μm以上5μm以下に設定されている。なお、フィラー粒子19aの平均粒径は、第1樹脂層15の断面を走査型電子顕微鏡または透過型電子顕微鏡で観察し、20個以上50個以下の粒子を含むように拡大した断面を撮影し、この拡大した断面にて各粒子の最大径を測定し、その平均値を算出することによって測定される。   The average particle diameter of the filler particles 19a is set to, for example, 0.3 μm or more and 5 μm or less. The average particle diameter of the filler particles 19a is obtained by observing the cross section of the first resin layer 15 with a scanning electron microscope or a transmission electron microscope and photographing an enlarged cross section so as to include 20 or more and 50 or less particles. The maximum diameter of each particle is measured in this enlarged cross section, and the average value is calculated.

(第1無機絶縁層)
第1無機絶縁層16は、第1絶縁層9の熱膨張率を低減するものである。第1無機絶縁層16の厚みは、例えば3μm以上100μm以下に設定されている。また、第1無機絶縁層16のヤング率は、例えば20GPa以上50GPa以下に設定されている。また、第1無機絶縁層16の平面方向(XY平面方向)への熱膨張率は、例えば0.6ppm/℃以上10ppm/℃以下に設定されている。そして、第1無機絶縁層16の熱伝導率は、例えば0.2W/m・K以上3W/m・K以下に設定されている。なお、第1無機絶縁層16の厚み、ヤング率、熱膨張率および熱伝導率は、第1樹脂層15と同様に測定される。
(First inorganic insulating layer)
The first inorganic insulating layer 16 reduces the coefficient of thermal expansion of the first insulating layer 9. The thickness of the first inorganic insulating layer 16 is set to, for example, 3 μm or more and 100 μm or less. The Young's modulus of the first inorganic insulating layer 16 is set to, for example, 20 GPa or more and 50 GPa or less. The coefficient of thermal expansion in the plane direction (XY plane direction) of the first inorganic insulating layer 16 is set to, for example, 0.6 ppm / ° C. or more and 10 ppm / ° C. or less. The thermal conductivity of the first inorganic insulating layer 16 is set to, for example, 0.2 W / m · K or more and 3 W / m · K or less. The thickness, Young's modulus, thermal expansion coefficient, and thermal conductivity of the first inorganic insulating layer 16 are measured in the same manner as the first resin layer 15.

このような第1無機絶縁層16は、複数の第1無機絶縁粒子20と、第1無機絶縁粒子20よりも粒径が大きい複数の第2無機絶縁粒子21とを含む。それゆえ、無機絶縁材料は樹脂材料に比べて熱膨張率が小さいものとなることから、第1無機絶縁層16の熱膨張率は小さい。その結果、第1無機絶縁層16は、第1樹脂層15の熱膨張量を低減することができる。   Such a first inorganic insulating layer 16 includes a plurality of first inorganic insulating particles 20 and a plurality of second inorganic insulating particles 21 having a particle diameter larger than that of the first inorganic insulating particles 20. Therefore, since the inorganic insulating material has a smaller coefficient of thermal expansion than the resin material, the first inorganic insulating layer 16 has a smaller coefficient of thermal expansion. As a result, the first inorganic insulating layer 16 can reduce the amount of thermal expansion of the first resin layer 15.

そして、無機絶縁材料は樹脂材料に比べてヤング率が大きいことから、第1無機絶縁層16のヤング率は大きい。その結果、第1無機絶縁層16は、第1樹脂層15の熱膨張に
起因した変形を抑制することができ、第1樹脂層15の熱膨張量を低減することができる。
Since the inorganic insulating material has a higher Young's modulus than the resin material, the Young's modulus of the first inorganic insulating layer 16 is large. As a result, the first inorganic insulating layer 16 can suppress deformation due to the thermal expansion of the first resin layer 15, and can reduce the thermal expansion amount of the first resin layer 15.

さらに、図2および図3に示すように、複数の第1無機絶縁粒子20同士は互いに接続し、また複数の第1無機絶縁粒子20と第2無機絶縁粒子21とも互いに接続している。その結果、複数の第1無機絶縁粒子20同士、および複数の第1無機絶縁粒子20と第2無機絶縁粒子21とは互いに拘束し合っていることから、第1無機絶縁層16のヤング率が向上し、第1無機絶縁層16は、第1樹脂層15の熱膨張に起因した変形をさらに良好に抑制することができる。   Further, as shown in FIGS. 2 and 3, the plurality of first inorganic insulating particles 20 are connected to each other, and the plurality of first inorganic insulating particles 20 and the second inorganic insulating particles 21 are also connected to each other. As a result, since the plurality of first inorganic insulating particles 20 and the plurality of first inorganic insulating particles 20 and the second inorganic insulating particles 21 are bound to each other, the Young's modulus of the first inorganic insulating layer 16 is increased. As a result, the first inorganic insulating layer 16 can more effectively suppress deformation due to the thermal expansion of the first resin layer 15.

また、図3に示すように、複数の第1無機絶縁粒子20同士、または複数の第1無機絶縁粒子20と第2無機絶縁粒子21とが互いの一部で接続していることから、第1無機絶縁層16には、複数の第1無機絶縁粒子20と第2無機絶縁粒子21とに囲まれた間隙Gが形成されて、間隙Gには第1樹脂層15の第1樹脂部18の一部が充填されている。その結果、アンカー効果によって、第1無機絶縁層16と第1樹脂層15との接着強度が向上することから、第1無機絶縁層16は、第1樹脂層15の熱膨張量を良好に低減することができる。   Further, as shown in FIG. 3, since the plurality of first inorganic insulating particles 20 or between the plurality of first inorganic insulating particles 20 and the second inorganic insulating particles 21 are connected to each other, A gap G surrounded by a plurality of first inorganic insulating particles 20 and second inorganic insulating particles 21 is formed in the first inorganic insulating layer 16, and the first resin portion 18 of the first resin layer 15 is formed in the gap G. Part of it is filled. As a result, the anchor effect improves the adhesive strength between the first inorganic insulating layer 16 and the first resin layer 15, so that the first inorganic insulating layer 16 favorably reduces the thermal expansion amount of the first resin layer 15. can do.

したがって、第1無機絶縁層16は、第1樹脂層15の熱膨張および熱膨張に起因した変形を低減し、ひいては、第1絶縁層9の熱膨張率を低減することができる。   Therefore, the first inorganic insulating layer 16 can reduce the thermal expansion of the first resin layer 15 and deformation due to the thermal expansion, and consequently the thermal expansion coefficient of the first insulating layer 9 can be reduced.

第1無機絶縁層16における、第1無機絶縁粒子20と第2無機絶縁粒子21とを含めた体積比率(体積%)は、例えば62体積%以上75体積%以下に設定されており、そのうち、第1無機絶縁粒子20の体積比率(体積%)は、例えば20体積%以上90体積%以下に設定されており、第2無機絶縁粒子21の体積比率(体積%)は、10体積%以上80体積%以下に設定されている。なお、第1無機絶縁粒子20および第2無機絶縁粒子21の体積比率(体積%)は、フィラー粒子19aと同様に測定される。   The volume ratio (volume%) including the first inorganic insulating particles 20 and the second inorganic insulating particles 21 in the first inorganic insulating layer 16 is set to, for example, 62 volume% or more and 75 volume% or less. The volume ratio (volume%) of the first inorganic insulating particles 20 is set to, for example, 20 volume% to 90 volume%, and the volume ratio (volume%) of the second inorganic insulating particles 21 is 10 volume% to 80 volume%. It is set to not more than volume%. In addition, the volume ratio (volume%) of the 1st inorganic insulating particle 20 and the 2nd inorganic insulating particle 21 is measured similarly to the filler particle 19a.

また、間隙Gの体積比率(体積%)は、例えば25体積%以上38体積%以下に設定されている。そして、間隙Gにおける第1樹脂層15の樹脂材料の一部の体積比率は、例えば99.5体積%以上100体積%以下に設定されている。また、間隙Gの幅は、10nm以上300nm以下に設定されている。なお、間隙Gの体積比率はフィラー粒子19aと同様に測定される、また間隙Gの幅は、まず、第1無機絶縁層16の研摩によって露出した断面を走査型電子顕微鏡または透過型電子顕微鏡で観察し、数で20箇所以上50箇所以下の間隙Gを含むように拡大した断面を撮影し、この拡大した断面にて各間隙Gの最大径の平均値を算出し、この平均値を間隙Gの幅と見なすことによって、測定される。   The volume ratio (volume%) of the gap G is set to, for example, 25 volume% or more and 38 volume% or less. And the volume ratio of a part of resin material of the 1st resin layer 15 in the gap | interval G is set to 99.5 volume% or more and 100 volume% or less, for example. The width of the gap G is set to 10 nm or more and 300 nm or less. The volume ratio of the gap G is measured in the same manner as the filler particles 19a. The width of the gap G is determined by first scanning a cross section exposed by polishing the first inorganic insulating layer 16 with a scanning electron microscope or a transmission electron microscope. Observe and photograph a cross section enlarged so as to include a gap G of 20 or more and 50 or less in number, and calculate an average value of the maximum diameters of the gaps G in the enlarged cross section. Measured by considering the width of.

(第1無機絶縁粒子)
第1無機絶縁粒子20は、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウムまたは酸化カルシウムなどの無機絶縁材料からなる。中でも、酸化ケイ素を用いることが望ましい。また、第1無機絶縁粒子20は、非晶質体を用いることが望ましい。第1無機絶縁粒子20を非晶質体とすることで、結晶構造に起因した熱膨張率の異方性を低減することができ、第1無機絶縁層16におけるクラックの発生を低減できる。
(First inorganic insulating particles)
The first inorganic insulating particles 20 are made of an inorganic insulating material such as silicon oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, or calcium oxide, for example. Among these, it is desirable to use silicon oxide. The first inorganic insulating particles 20 are preferably made of an amorphous material. By making the first inorganic insulating particles 20 amorphous, the anisotropy of the coefficient of thermal expansion due to the crystal structure can be reduced, and the occurrence of cracks in the first inorganic insulating layer 16 can be reduced.

第1無機絶縁粒子20の平均粒径は、例えば3nm以上110nm以下に設定されており、可視光の波長の下限値よりも小さい。なお、可視光の波長とは、JIS Z8120−2001に準じ、その波長範囲が360nm以上830nm以下のものを指し、可視光の下限値とは360nmをいう。また、第1無機絶縁粒子20の平均粒径は、フィラー粒子19aと同様に測定される。   The average particle diameter of the first inorganic insulating particles 20 is set to, for example, 3 nm or more and 110 nm or less, and is smaller than the lower limit value of the wavelength of visible light. In addition, the wavelength of visible light refers to that whose wavelength range is 360 nm or more and 830 nm or less according to JIS Z8120-2001, and the lower limit value of visible light means 360 nm. Moreover, the average particle diameter of the 1st inorganic insulating particle 20 is measured similarly to the filler particle 19a.

(第2無機絶縁粒子)
第2無機絶縁粒子21は、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウムまたは酸化カルシウムなどの無機絶縁材料からなり、第1無機絶縁粒子20と第2無機絶縁粒子21との接続強度の観点から、第1無機絶縁粒子20と同じ材料からなることが望ましい。
(Second inorganic insulating particles)
The second inorganic insulating particle 21 is made of, for example, an inorganic insulating material such as silicon oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, or calcium oxide. From the viewpoint of the connection strength between the first inorganic insulating particle 20 and the second inorganic insulating particle 21, It is desirable that the first inorganic insulating particle 20 is made of the same material.

また、第2無機絶縁粒子21は、非晶質体を用いることが望ましい。その結果、第2無機絶縁粒子21の結晶構造に起因した第2無機絶縁層23のクラックの発生を低減することができる。   The second inorganic insulating particles 21 are preferably made of an amorphous material. As a result, the occurrence of cracks in the second inorganic insulating layer 23 due to the crystal structure of the second inorganic insulating particles 21 can be reduced.

第2無機絶縁粒子21の平均粒径は、例えば0.5μm以上5μm以下に設定されており、可視光の波長の下限値よりも大きい。なお、第2無機絶縁粒子21の平均粒径は、フィラー粒子19aと同様に測定される。   The average particle diameter of the second inorganic insulating particles 21 is set to, for example, not less than 0.5 μm and not more than 5 μm, and is larger than the lower limit value of the wavelength of visible light. In addition, the average particle diameter of the 2nd inorganic insulating particle 21 is measured similarly to the filler particle 19a.

(表面樹脂層)
表面樹脂層17は、第1絶縁層9の表面に配された樹脂層であり、例えば第1絶縁層9と第1導電層10との接着強度を向上させるものである。この表面樹脂層17は、例えばエポキシ樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂、シアネート樹脂、ポリイミド樹脂またはポリアミド樹脂などの樹脂材料からなる。
(Surface resin layer)
The surface resin layer 17 is a resin layer disposed on the surface of the first insulating layer 9 and improves, for example, the adhesive strength between the first insulating layer 9 and the first conductive layer 10. The surface resin layer 17 is made of a resin material such as epoxy resin, bismaleimide triazine resin, cyanate resin, polyimide resin or polyamide resin.

表面樹脂層17の厚みは、例えば、0.5μm以上5μm以下に設定されている。なお、表面樹脂層17の厚みは、発光素子2と同様に測定される。   The thickness of the surface resin layer 17 is set to, for example, 0.5 μm or more and 5 μm or less. The thickness of the surface resin layer 17 is measured in the same manner as the light emitting element 2.

ここで、表面樹脂層17の厚みが5μm以下に設定されていることから、表面樹脂層17は、発光素子用配線基板3の上面に到達した可視光を良好に透過することができる。また、表面樹脂層17の厚みが5μm以下と薄く設定されていることから、表面樹脂層17の可視光の透過率は80%以上となる。その結果、フィラー粒子19bによって、可視光が吸収されることを低減し、表面樹脂層17の下面に配された第1無機絶縁層12に良好に可視光が到達することになる。   Here, since the thickness of the surface resin layer 17 is set to 5 μm or less, the surface resin layer 17 can satisfactorily transmit visible light that has reached the upper surface of the wiring board 3 for light emitting element. Further, since the thickness of the surface resin layer 17 is set as thin as 5 μm or less, the visible light transmittance of the surface resin layer 17 is 80% or more. As a result, the absorption of visible light by the filler particles 19b is reduced, and the visible light reaches the first inorganic insulating layer 12 disposed on the lower surface of the surface resin layer 17 satisfactorily.

また、表面樹脂層17がフィラー粒子19bを含んでも構わない。その場合、表面樹脂層17におけるフィラー粒子19bの体積比率(体積%)は、例えば2体積%以上3体積%以下に設定されている。ここで、フィラー粒子19bの体積比率(体積%)が3体積%以下と少なく設定されていることから、表面樹脂層17は、発光素子用配線基板3の上面に到達した可視光を良好に透過することができる。また、表面接着層16に含まれるフィラー粒子19bの平均粒径は、可視光の波長の下限値よりも小さく設定されていることが望ましい。その結果、表面樹脂層17は、可視光を良好に透過させることができる。   Further, the surface resin layer 17 may include filler particles 19b. In that case, the volume ratio (volume%) of the filler particles 19b in the surface resin layer 17 is set to, for example, 2 volume% or more and 3 volume% or less. Here, since the volume ratio (volume%) of the filler particles 19b is set to be as small as 3 volume% or less, the surface resin layer 17 transmits the visible light that has reached the upper surface of the light-emitting element wiring substrate 3 satisfactorily. can do. The average particle diameter of the filler particles 19b included in the surface adhesive layer 16 is desirably set smaller than the lower limit value of the wavelength of visible light. As a result, the surface resin layer 17 can transmit visible light satisfactorily.

(第1導電層)
第1導電層10は、発光素子2とボンディングワイヤなどを介して電気的に接続されるもの、および外部の回路基板(不図示)と導電性の金属線をはんだ付けするなどして電気的に接続されるものである。この第1導電層10は、例えば、銅、銀、金またはアルミニウムなどの導電材料からなる。
(First conductive layer)
The first conductive layer 10 is electrically connected to the light emitting element 2 via a bonding wire or the like, and electrically connected to an external circuit board (not shown) and a conductive metal wire. To be connected. The first conductive layer 10 is made of a conductive material such as copper, silver, gold, or aluminum.

第1導電層10の厚みは、例えば3μm以上20μm以下に設定されている。また、第1導電層10のヤング率は、例えば50GPa以上200GPa以下に設定されている。そして、第1導電層10の平面方向(XY平面方向)への熱膨張率は、例えば16ppm/℃以上18ppm/℃以下に設定されている。なお、第1導電層10の厚み、ヤング率および熱膨張率は、第1絶縁層9と同様に測定される。   The thickness of the first conductive layer 10 is set to 3 μm or more and 20 μm or less, for example. The Young's modulus of the first conductive layer 10 is set to, for example, 50 GPa or more and 200 GPa or less. And the thermal expansion coefficient to the plane direction (XY plane direction) of the 1st conductive layer 10 is set to 16 ppm / degrees C or more and 18 ppm / degrees C or less, for example. The thickness, Young's modulus, and thermal expansion coefficient of the first conductive layer 10 are measured in the same manner as the first insulating layer 9.

(第2絶縁層)
第2絶縁層11は、発光素子用配線基板3の主要部となるものであり、第2樹脂層22と、第2樹脂層22の上面に積層された第2無機絶縁層23と、第2無機絶縁層23の上面に積層された表面樹脂層17とを含んでいる。
(Second insulation layer)
The second insulating layer 11 is a main part of the light emitting element wiring substrate 3, and includes a second resin layer 22, a second inorganic insulating layer 23 laminated on the upper surface of the second resin layer 22, and a second layer. And a surface resin layer 17 laminated on the upper surface of the inorganic insulating layer 23.

第2絶縁層11の厚みは、例えば20μm以上100μm以下に設定されている。また、第2絶縁層11のヤング率は、例えば20GPa以上45GPa以下に設定されている。そして、第2絶縁層11の平面方向(XY平面方向)への熱膨張率は、例えば13ppm/℃以上19ppm/℃以下に設定されている。なお、第2絶縁層11の厚み、ヤング率および熱膨張率は、第1絶縁層9と同様に測定される。   The thickness of the second insulating layer 11 is set to, for example, 20 μm or more and 100 μm or less. The Young's modulus of the second insulating layer 11 is set to 20 GPa or more and 45 GPa or less, for example. And the thermal expansion coefficient to the plane direction (XY plane direction) of the 2nd insulating layer 11 is set to 13 ppm / degrees C or more and 19 ppm / degrees C or less, for example. The thickness, Young's modulus, and thermal expansion coefficient of the second insulating layer 11 are measured in the same manner as the first insulating layer 9.

(第2樹脂層)
第2樹脂層22は、第2絶縁層11の主要部となるものであり、第1樹脂層15と同様の構成を有する。
(Second resin layer)
The second resin layer 22 is a main part of the second insulating layer 11 and has the same configuration as the first resin layer 15.

(第2無機絶縁層)
第2無機絶縁層23は、第2絶縁層11のヤング率を向上させるものであり、第1無機絶縁層16と同様の構成を有する。
(Second inorganic insulating layer)
The second inorganic insulating layer 23 improves the Young's modulus of the second insulating layer 11 and has the same configuration as the first inorganic insulating layer 16.

(第2導電層)
第2導電層12は、信号用配線、接地用配線または電源用配線として機能するものであり、第1導電層10と同様の構成を有する。
(Second conductive layer)
The second conductive layer 12 functions as a signal wiring, a ground wiring, or a power supply wiring, and has the same configuration as the first conductive layer 10.

(ビア導体)
ビア導体13は、第1絶縁層9または第2絶縁層11を厚み方向に(Z方向)に貫通して、第1導電層10と第2導電層12とを電気的に接続するものであり、例えば、銅、銀、金またはアルミニウムなどの導電材料からなる。
(Via conductor)
The via conductor 13 penetrates the first insulating layer 9 or the second insulating layer 11 in the thickness direction (Z direction), and electrically connects the first conductive layer 10 and the second conductive layer 12. For example, made of a conductive material such as copper, silver, gold or aluminum.

ビア導体13のヤング率は、例えば50GPa以上200GPa以下に設定されている。また、ビア導体19の平面方向(XY平面方向)への熱膨張率は、例えば16ppm/℃以上18ppm/℃以下に設定されている。なお、ビア導体13のヤング率および熱膨張率は、第1無機絶縁層16と同様に測定される。   The Young's modulus of the via conductor 13 is set to, for example, 50 GPa or more and 200 GPa or less. The thermal expansion coefficient in the planar direction (XY planar direction) of the via conductor 19 is set to, for example, 16 ppm / ° C. or more and 18 ppm / ° C. or less. Note that the Young's modulus and thermal expansion coefficient of the via conductor 13 are measured in the same manner as the first inorganic insulating layer 16.

(金属板)
金属板14は、発光素子2が発する熱を放熱させるものであり、例えば、銅、アルミニウム、鉄、ニッケル、コバルトまたはこれらの合金などからなる。金属板14の厚みは、例えば0.05mm以上2mm以下に設定されている。また、金属板14のヤング率は、例えば50GPa以上200GPa以下に設定されている。また、金属板14の平面方向(XY平面方向)への熱膨張率は、例えば1ppm/℃以上20ppm/℃以下に設定されている。そして、金属板14の熱伝導率は、例えば50W/m・K以上430W/m・K以下に設定されている。
(Metal plate)
The metal plate 14 dissipates heat generated by the light emitting element 2, and is made of, for example, copper, aluminum, iron, nickel, cobalt, or an alloy thereof. The thickness of the metal plate 14 is set to 0.05 mm or more and 2 mm or less, for example. The Young's modulus of the metal plate 14 is set to, for example, 50 GPa or more and 200 GPa or less. The coefficient of thermal expansion in the plane direction (XY plane direction) of the metal plate 14 is set to, for example, 1 ppm / ° C. or more and 20 ppm / ° C. or less. The thermal conductivity of the metal plate 14 is set to, for example, 50 W / m · K or more and 430 W / m · K or less.

なお、金属板14の厚み、熱膨張率および熱伝導率は、第1絶縁層9と同様に測定される。また金属板14のヤング率は、例えば、ダイシングマシン、ナイフまたはのこぎりなどによって金属板14から矩形状の試験片を切り出し、この試験片を引張り試験機で測定して得られた単位断面積当たりの引張り応力を試験片の伸び量で割ることによって計測できる。   The thickness, thermal expansion coefficient, and thermal conductivity of the metal plate 14 are measured in the same manner as the first insulating layer 9. The Young's modulus of the metal plate 14 is, for example, per unit cross-sectional area obtained by cutting a rectangular test piece from the metal plate 14 using a dicing machine, a knife, or a saw, and measuring the test piece with a tensile tester. It can be measured by dividing the tensile stress by the amount of elongation of the test piece.

ところで、前述した通り、第1無機絶縁粒子20の粒径は、可視光の波長よりも小さい。それゆえ、可視光は、第1無機絶縁粒子20によって反射されにくく、第1無機絶縁層16の上面から、第1無機絶縁層16内に進入した可視光は、良好に第2無機絶縁粒子21に到達することになる。そして、可視光は、可視光の波長よりも大きい球状の第2無機絶縁粒子21に到達すると、入射してきた方向と同じ方向に反射(再帰性反射)しやすい。すなわち、可視光は、可視光の波長よりも大きい第2無機絶縁粒子21の外表面に達すると、一般的に透光性の高い酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウムまたは酸化カルシウム等からなる第2無機絶縁粒子21の中に入る。そして、第2無機絶縁粒子21の内外の屈折率の相違に起因して、第2無機絶縁粒子21の内表面に到達した可視光は、第2無機絶縁粒子21の内表面で反射し、第2無機絶縁粒子21の外へ出る。このとき、可視光は、第2無機絶縁粒子21の中に入る際の屈折と、第2無機絶縁粒子21の内表面における反射と、第2無機絶縁粒子21の外に出る際の屈折とによって、第2無機絶縁粒子21に対して入射してきた方向と同じ方向に可視光が反射することになり、再帰性反射が起こる。   By the way, as described above, the particle diameter of the first inorganic insulating particles 20 is smaller than the wavelength of visible light. Therefore, visible light is not easily reflected by the first inorganic insulating particles 20, and visible light that has entered the first inorganic insulating layer 16 from the upper surface of the first inorganic insulating layer 16 is satisfactorily reflected by the second inorganic insulating particles 21. Will be reached. When the visible light reaches the spherical second inorganic insulating particles 21 that are larger than the wavelength of visible light, it is likely to be reflected (recursively reflected) in the same direction as the incident direction. That is, when the visible light reaches the outer surface of the second inorganic insulating particle 21 having a wavelength longer than that of the visible light, the second light generally made of silicon oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, calcium oxide, or the like having high translucency. It enters the inorganic insulating particles 21. Then, the visible light that has reached the inner surface of the second inorganic insulating particle 21 due to the difference in refractive index between the inner and outer sides of the second inorganic insulating particle 21 is reflected by the inner surface of the second inorganic insulating particle 21, and 2 Go out of the inorganic insulating particles 21. At this time, the visible light is refracted when entering the second inorganic insulating particles 21, reflected by the inner surface of the second inorganic insulating particles 21, and refracted when going out of the second inorganic insulating particles 21. The visible light is reflected in the same direction as the incident direction with respect to the second inorganic insulating particles 21, and retroreflection occurs.

その結果、発光素子用配線基板3の上面に到達した可視光は、発光素子用配線基板3の上面を構成する第1絶縁層9に含まれた、第1無機絶縁層16によって、再び上方に放出されることになり、発光装置の明るさを向上させることができる。   As a result, the visible light reaching the upper surface of the light emitting element wiring substrate 3 is again moved upward by the first inorganic insulating layer 16 included in the first insulating layer 9 constituting the upper surface of the light emitting element wiring substrate 3. The brightness of the light emitting device can be improved.

また、前述した通り、第1無機絶縁層16は、複数の第1無機絶縁粒子20および複数の第2無機絶縁粒子21を主成分としている。その結果、従来の樹脂材料を主成分とする絶縁層と比較して、第1樹脂部18で可視光が吸収されることを低減することができ、ひいては発光装置の明るさを向上させることができる。   Further, as described above, the first inorganic insulating layer 16 includes the plurality of first inorganic insulating particles 20 and the plurality of second inorganic insulating particles 21 as main components. As a result, it is possible to reduce the absorption of visible light by the first resin portion 18 and to improve the brightness of the light emitting device as compared with an insulating layer mainly composed of a conventional resin material. it can.

また、前述した通り、第1無機絶縁層16には間隙Gが形成されているが、この間隙Gの幅は、可視光の波長の下限値よりも小さいことが望ましい。その結果、間隙Gに充填された第1樹脂部18の幅も、可視光の波長の下限値よりも小さくなることから、第1無機絶縁15の内部に進入した可視光は、第1樹脂部18に吸収されにくく、良好に第2無機絶縁粒子21に到達することになり、ひいては発光装置の明るさを向上させることができる。   As described above, the gap G is formed in the first inorganic insulating layer 16, and the width of the gap G is preferably smaller than the lower limit value of the wavelength of visible light. As a result, the width of the first resin portion 18 filled in the gap G is also smaller than the lower limit value of the wavelength of visible light, so that the visible light that has entered the first inorganic insulation 15 18, the second inorganic insulating particles 21 can be satisfactorily reached, and thus the brightness of the light emitting device can be improved.

また、第1無機絶縁粒子20は、一般的に透光性の高い酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウムまたは酸化カルシウム等からなることが好ましい。その結果、第1無機絶縁層16上面から、第1無機絶縁層16内に進入した可視光は、さらに良好に第2無機絶縁粒子21に到達することができる。   Moreover, it is preferable that the 1st inorganic insulating particle 20 consists of a silicon oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, or calcium oxide with high translucency generally. As a result, visible light that has entered the first inorganic insulating layer 16 from the upper surface of the first inorganic insulating layer 16 can reach the second inorganic insulating particles 21 more satisfactorily.

また、第1樹脂層15に含まれたフィラー粒子19aは、酸化チタンからなることが望ましい。その結果、酸化チタンは、一般的に反射率が高いことから、第1無機絶縁層16を透過した可視光が、第1樹脂層15に含まれるフィラー粒子19aの外表面によって反射されて、発光素子用配線基板3内に進入した可視光が吸収されることを低減し、ひいては発光装置の明るさを向上させることができる。   The filler particles 19a contained in the first resin layer 15 are preferably made of titanium oxide. As a result, since titanium oxide generally has a high reflectance, visible light transmitted through the first inorganic insulating layer 16 is reflected by the outer surface of the filler particles 19a included in the first resin layer 15 to emit light. It is possible to reduce the absorption of visible light that has entered the element wiring board 3, thereby improving the brightness of the light emitting device.

また、第1樹脂層15が含んだフィラー粒子19aは、第1樹脂層15の第1無機絶縁層16側に多く位置していることが望ましい。その結果、第1無機絶縁層16を透過した可視光が、第1樹脂層15に含まれるフィラー粒子19aによって、良好に反射されることから、発光素子用配線基板3内に進入した可視光が吸収されることを低減し、ひいては発光装置の明るさを向上させることができる。   Further, it is desirable that many filler particles 19 a included in the first resin layer 15 are located on the first inorganic insulating layer 16 side of the first resin layer 15. As a result, the visible light transmitted through the first inorganic insulating layer 16 is favorably reflected by the filler particles 19a included in the first resin layer 15, so that the visible light that has entered the light emitting element wiring board 3 is reflected. Absorption is reduced, and as a result, the brightness of the light-emitting device can be improved.

なお、第1樹脂層15を厚みが均等になるように二分して、第1無機絶縁層16に近い方を第1領域とし、第1無機絶縁層16から遠い方を第2領域とした場合に、フィラー粒子19aの例えば55%以上70%以上は第1領域に位置しており、例えば30%以上45%以下は第2領域に位置している。   In addition, when the 1st resin layer 15 is divided into two so that thickness may become equal, the one near the 1st inorganic insulating layer 16 is made into the 1st field, and the one far from the 1st inorganic insulating layer 16 is made into the 2nd field Furthermore, for example, 55% or more and 70% or more of the filler particles 19a are located in the first region, and for example, 30% or more and 45% or less are located in the second region.

また、金属板14の下面は、雰囲気中に露出していることが望ましい。その結果、発光素子2が発する熱を良好に放出させることができる。   The lower surface of the metal plate 14 is desirably exposed to the atmosphere. As a result, the heat generated by the light emitting element 2 can be released well.

また、熱伝導率の観点から、金属板14は、銅からなることが望ましい。その結果、発光素子2が発する熱を良好に放出させることができる。   Further, from the viewpoint of thermal conductivity, the metal plate 14 is preferably made of copper. As a result, the heat generated by the light emitting element 2 can be released well.

また、金属板14の熱膨張率は、第1樹脂層15よりも小さく、第1無機絶縁層16の熱膨張率よりも大きいことが望ましい。その結果、金属板14と第1絶縁層9との熱膨張率の差を低減することができ、発光素子用配線基板3が歪むことを低減できる。   The thermal expansion coefficient of the metal plate 14 is desirably smaller than that of the first resin layer 15 and larger than that of the first inorganic insulating layer 16. As a result, the difference in coefficient of thermal expansion between the metal plate 14 and the first insulating layer 9 can be reduced, and distortion of the light emitting element wiring substrate 3 can be reduced.

なお、金属板14が銅から成る場合には、熱膨張率の観点から、第1無機絶縁粒子20は、酸化ケイ素からなることが望ましい。その結果、金属板14と第1絶縁層9との熱膨張率の差を良好に低減することができる。   In addition, when the metal plate 14 consists of copper, it is desirable that the 1st inorganic insulating particle 20 consists of silicon oxide from a viewpoint of a thermal expansion coefficient. As a result, the difference in coefficient of thermal expansion between the metal plate 14 and the first insulating layer 9 can be reduced satisfactorily.

また、金属板14の熱膨張率は、第2樹脂層22よりも小さく、第2無機絶縁層23の熱膨張率よりも大きいことが望ましい。その結果、第2絶縁層11と金属板14との熱膨張率の差を低減することができ、第2樹脂層22と金属板14とが剥離することを良好に低減できる。   In addition, the thermal expansion coefficient of the metal plate 14 is preferably smaller than that of the second resin layer 22 and larger than that of the second inorganic insulating layer 23. As a result, the difference in coefficient of thermal expansion between the second insulating layer 11 and the metal plate 14 can be reduced, and the second resin layer 22 and the metal plate 14 can be favorably reduced.

(発光装置の作製)
次に、前述した発光装置1の製造方法を、図4を参照しつつ説明する。
(Production of light emitting device)
Next, the manufacturing method of the light-emitting device 1 mentioned above is demonstrated, referring FIG.

(積層シートの作製)
(1)第1無機絶縁粒子20および第2無機絶縁粒子21を含む固形分と、この固形分が分散した溶剤とを有する無機絶縁ゾルを準備する。
(Production of laminated sheet)
(1) An inorganic insulating sol having a solid content including the first inorganic insulating particles 20 and the second inorganic insulating particles 21 and a solvent in which the solid content is dispersed is prepared.

無機絶縁ゾルは、例えば、固形分を10体積%以上50体積%以下含み、溶剤を50%体積以上90体積%以下含む。また無機絶縁ゾルの固形分は、例えば、第1無機絶縁粒子20を20体積%以上90体積%以下含み、第2無機絶縁粒子21を10体積%以上80体積%以下含む。   The inorganic insulating sol includes, for example, a solid content of 10% to 50% by volume and a solvent of 50% to 90% by volume. Further, the solid content of the inorganic insulating sol includes, for example, the first inorganic insulating particles 20 by 20% by volume to 90% by volume and the second inorganic insulating particles 21 by 10% by volume to 80% by volume.

なお、第1無機絶縁粒子20は、例えば、ケイ酸ナトリウム水溶液(水ガラス)などのケイ酸化合物を精製し、化学的に酸化ケイ素を析出させることにより、作製することができる。この場合には、低温条件下で第1無機絶縁粒子20を作製することができるため、非晶質状態である第1無機絶縁粒子20を作製することができる。   In addition, the 1st inorganic insulating particle 20 can be produced by refine | purifying silicate compounds, such as sodium silicate aqueous solution (water glass), and depositing a silicon oxide chemically, for example. In this case, since the first inorganic insulating particles 20 can be produced under a low temperature condition, the first inorganic insulating particles 20 in an amorphous state can be produced.

一方、第2無機絶縁粒子21は、酸化ケイ素からなる場合であれば、例えば、ケイ酸ナトリウム水溶液(水ガラス)などのケイ酸化合物を精製し、化学的に酸化ケイ素を析出させた溶液を火炎中に噴霧し、凝集物の形成を低減しつつ800℃以上1500℃以下に加熱することによって、作製することができる。   On the other hand, if the second inorganic insulating particles 21 are made of silicon oxide, for example, a solution obtained by purifying a silicate compound such as an aqueous sodium silicate solution (water glass) and chemically depositing silicon oxide is used as a flame. It can be produced by spraying in and heating to 800 ° C. or higher and 1500 ° C. or lower while reducing the formation of aggregates.

また、第2無機絶縁粒子21を作製する際の加熱時間は、1秒以上180秒以下に設定されていることが望ましい。その結果、この加熱時間を短縮することにより、800℃以上1500℃以下に加熱した場合においても、第2無機絶縁粒子21の結晶化を低減し、非晶質状態を維持することができる。   Moreover, it is desirable that the heating time for producing the second inorganic insulating particles 21 is set to 1 second or more and 180 seconds or less. As a result, by shortening the heating time, the crystallization of the second inorganic insulating particles 21 can be reduced and the amorphous state can be maintained even when heated to 800 ° C. or higher and 1500 ° C. or lower.

一方、無機絶縁ゾルに含まれる溶剤は、例えば、メタノール、イソプロパノール、n−ブタノール、エチレングリコール、エチレングリコールモノプロピルエーテル、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、キシレン、プロピレングリコールモノメチルエー
テル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジメチルアセトアミドおよび/またはこれらから選択された2種以上の混合物を含んだ有機溶剤を使用することができる。
On the other hand, the solvent contained in the inorganic insulating sol is, for example, methanol, isopropanol, n-butanol, ethylene glycol, ethylene glycol monopropyl ether, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, xylene, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, dimethyl An organic solvent containing acetamide and / or a mixture of two or more selected from these may be used.

(2)一主面上に表面樹脂層17を配した、樹脂材料または金属材料からなる支持シート24を準備し、表面樹脂層17の一主面上に無機絶縁ゾルを塗布する。   (2) A support sheet 24 made of a resin material or a metal material having a surface resin layer 17 disposed on one main surface is prepared, and an inorganic insulating sol is applied on one main surface of the surface resin layer 17.

無機絶縁ゾルの塗布は、例えば、ディスペンサー、バーコーター、ダイコーターまたはスクリーン印刷を用いて行なうことができる。このとき、前述した如く、無機絶縁ゾルの固形分が50体積%以下に設定されていることから、無機絶縁ゾルの粘度が低く設定され、塗布された無機絶縁ゾルの平坦性を高くすることができる。   The inorganic insulating sol can be applied using, for example, a dispenser, a bar coater, a die coater, or screen printing. At this time, as described above, since the solid content of the inorganic insulating sol is set to 50% by volume or less, the viscosity of the inorganic insulating sol is set low, and the flatness of the coated inorganic insulating sol can be increased. it can.

なお、表面樹脂層17はフィラー粒子19bを、例えば2体積%以上3体積%以下の割合で含んでいれば、後に支持シート24を剥がす際に、良好に剥がすことができる。   In addition, if the surface resin layer 17 contains the filler particles 19b at a ratio of 2% by volume or more and 3% by volume or less, for example, the support sheet 24 can be peeled off at a later time.

(3)無機絶縁ゾルを乾燥させて溶剤を蒸発させる。   (3) The inorganic insulating sol is dried to evaporate the solvent.

無機絶縁ゾルの乾燥は、例えば、加熱および風乾によって行なわれる。乾燥温度は、例えば20℃以上溶剤の沸点(2種類以上の溶剤を混合している場合には、最も沸点の低い溶剤の沸点)未満に設定され、乾燥時間が、例えば20秒以上30分以下に設定される。その結果、溶剤の沸騰が低減され、沸騰の際に生じる気泡の圧力によって第1無機絶縁粒子20および第2無機絶縁粒子21が押し出されることが低減され、この粒子の分布をより均一にすることが可能となる。   The inorganic insulating sol is dried by, for example, heating and air drying. The drying temperature is set to, for example, 20 ° C. or higher and lower than the boiling point of the solvent (the boiling point of the lowest boiling solvent when two or more solvents are mixed), and the drying time is, for example, 20 seconds to 30 minutes. Set to As a result, the boiling of the solvent is reduced, the extrusion of the first inorganic insulating particles 20 and the second inorganic insulating particles 21 due to the pressure of bubbles generated during the boiling is reduced, and the distribution of the particles is made more uniform. Is possible.

(4)残存した無機絶縁ゾルの固形分を加熱し、複数の第1無機絶縁粒子20同士および第1無機絶縁粒子20と第2無機絶縁粒子21とが互いの一部で接続した第2無機絶縁層23を作製する。   (4) The solid content of the remaining inorganic insulating sol is heated so that the plurality of first inorganic insulating particles 20 and the first inorganic insulating particles 20 and the second inorganic insulating particles 21 are partially connected to each other. The insulating layer 23 is produced.

ここで、無機絶縁ゾルは、平均粒径が微小に設定された第1無機絶縁粒子20を有している。その結果、無機絶縁ゾルの加熱温度が比較的低温、例えば第1無機絶縁粒子20および第2無機絶縁粒子21の結晶化開始温度未満と低温であっても、第1無機絶縁粒子20同士を強固に接続することができる。   Here, the inorganic insulating sol has the first inorganic insulating particles 20 whose average particle diameter is set to be minute. As a result, even if the heating temperature of the inorganic insulating sol is relatively low, for example, lower than the crystallization start temperature of the first inorganic insulating particles 20 and the second inorganic insulating particles 21, the first inorganic insulating particles 20 are firmly bonded. Can be connected to.

無機絶縁ゾルの加熱は、温度が例えば100℃以上300℃未満に設定されて、時間が例えば0.5時間以上24時間以下に設定されることが望ましい。また、無機絶縁ゾルの加熱温度は、第1無機絶縁粒子20および第2無機絶縁粒子21の結晶化開始温度未満に設定されていることが望ましい。その結果、結晶化した粒子が相転移によって収縮することを抑制し、第2無機絶縁層23におけるクラックの発生を低減できる。   As for the heating of the inorganic insulating sol, the temperature is preferably set to, for example, 100 ° C. or more and less than 300 ° C., and the time is preferably set to, for example, 0.5 hours or more and 24 hours or less. Moreover, it is desirable that the heating temperature of the inorganic insulating sol is set to be lower than the crystallization start temperature of the first inorganic insulating particles 20 and the second inorganic insulating particles 21. As a result, the crystallized particles can be prevented from shrinking due to the phase transition, and the occurrence of cracks in the second inorganic insulating layer 23 can be reduced.

さらに、このように低温で加熱することによって、第1無機絶縁粒子20および第2無機絶縁粒子21が粒子の形状を保持しつつ、第1無機絶縁粒子20同士および第1無機絶縁粒子20と第2無機絶縁粒子21とを近接領域のみで接続させることができる。その結果、第1無機絶縁粒子20同士および第1無機絶縁粒子20と第2無機絶縁粒子21とを接続させることができ、ひいては第1無機絶縁粒子20同士の間に開気孔の間隙Gを容易に形成することができる。   Furthermore, by heating at such a low temperature in this way, the first inorganic insulating particles 20 and the first inorganic insulating particles 20 and the first inorganic insulating particles 20 and the first inorganic insulating particles 20 and the second inorganic insulating particles 21 maintain the shape of the particles. 2 The inorganic insulating particles 21 can be connected only in the proximity region. As a result, the first inorganic insulating particles 20 and the first inorganic insulating particles 20 and the second inorganic insulating particles 21 can be connected to each other. As a result, the open pore gap G can be easily formed between the first inorganic insulating particles 20. Can be formed.

(5)未硬化の樹脂材料と、樹脂材料に被覆されたフィラー粒子19aとを含む樹脂前駆体25を準備する。次いで、図4(a)に示すように、第2無機絶縁層23の表面樹脂層17と反対側の主面上に樹脂前駆体25を積層し、支持シート24、表面樹脂層17、第2無機絶縁層23および樹脂前駆体25を含む積層シート26を作製する。   (5) A resin precursor 25 including an uncured resin material and filler particles 19a coated with the resin material is prepared. Next, as shown in FIG. 4A, a resin precursor 25 is laminated on the main surface of the second inorganic insulating layer 23 opposite to the surface resin layer 17, and the support sheet 24, the surface resin layer 17, the second A laminated sheet 26 including the inorganic insulating layer 23 and the resin precursor 25 is produced.

(発光素子用配線基板の作製)
(6)金属板14を準備して、積層シート26の樹脂前駆体25が金属板14の主面上に配されるように、積層シート26を金属板14上に積層する。次いで、積層シート26および金属板14を加熱加圧することによって、樹脂前駆体25を硬化させて、樹脂前駆体25を第2樹脂層22とし、支持シート24を剥がして、第2絶縁層11を金属板14の主面上に配する。
(Preparation of wiring board for light emitting element)
(6) The metal plate 14 is prepared, and the laminate sheet 26 is laminated on the metal plate 14 so that the resin precursor 25 of the laminate sheet 26 is disposed on the main surface of the metal plate 14. Next, the resin precursor 25 is cured by heating and pressurizing the laminated sheet 26 and the metal plate 14, the resin precursor 25 is used as the second resin layer 22, the support sheet 24 is peeled off, and the second insulating layer 11 is formed. It is arranged on the main surface of the metal plate 14.

なお、積層シート26および金属板14の加熱加圧は、上下方向に加熱加圧することによって、第2無機絶縁層23の間隙Gの一部に未硬化の樹脂材料を入り込ませて、第2無機絶縁層23と樹脂前駆体25とを接着させる。なお、未硬化とは、ISO472:1999に準ずるA−ステージまたはB−ステージの状態である。   The heating and pressing of the laminated sheet 26 and the metal plate 14 are performed by heating and pressing in the vertical direction, so that an uncured resin material enters a part of the gap G of the second inorganic insulating layer 23, and the second inorganic The insulating layer 23 and the resin precursor 25 are bonded. In addition, uncured is the state of A-stage or B-stage according to ISO472: 1999.

なお、積層シート26および金属板14の加熱加圧は、樹脂前駆体25の硬化開始温度以上樹脂前駆体25の熱分解温度未満で行なう。具体的には、加熱温度は、例えば150℃以上250℃以下に設定され、圧力は、例えば2MPa以上3MPa以下に設定され、時間は例えば0.5時間以上2時間以下に設定される。なお、硬化開始温度は、樹脂が、ISO472:1999に準ずるC−ステージの状態となる温度である。   The heating and pressing of the laminated sheet 26 and the metal plate 14 are performed at a temperature not lower than the curing start temperature of the resin precursor 25 and lower than the thermal decomposition temperature of the resin precursor 25. Specifically, the heating temperature is set, for example, to 150 ° C. or more and 250 ° C. or less, the pressure is set, for example, to 2 MPa or more and 3 MPa or less, and the time is set, for example, 0.5 hours or more and 2 hours or less. The curing start temperature is a temperature at which the resin becomes a C-stage according to ISO 472: 1999.

また、ここで樹脂前駆体25に含まれるフィラー粒子19aの平均粒径は、間隙Gの幅よりも大きいことが望ましい。その結果、樹脂前駆体25の未硬化の第2樹脂材料が第1無機絶縁層16の間隙Gに入り込むことによって、複数のフィラー粒子19aが第1無機絶縁層16の表面でろ過されるように凝集し、第1無機絶縁層16に近い方の領域が第1無機絶縁層16から遠い方の領域よりもフィラー粒子19aの体積比率が大きい第1樹脂層15を形成できる。したがって、容易に第1無機絶縁層16側での熱膨張率が小さい第1樹脂層15を作製することができ、ひいては生産効率を向上させることができる。   Here, the average particle diameter of the filler particles 19 a contained in the resin precursor 25 is preferably larger than the width of the gap G. As a result, the uncured second resin material of the resin precursor 25 enters the gap G of the first inorganic insulating layer 16 so that the plurality of filler particles 19 a are filtered on the surface of the first inorganic insulating layer 16. The first resin layer 15 that aggregates and has a larger volume ratio of the filler particles 19 a in a region closer to the first inorganic insulating layer 16 than in a region farther from the first inorganic insulating layer 16 can be formed. Therefore, the first resin layer 15 having a small coefficient of thermal expansion on the first inorganic insulating layer 16 side can be easily produced, and as a result, the production efficiency can be improved.

樹脂前駆体25におけるフィラー粒子19aの体積比率は、例えば10体積%以上55体積%以下に設定され、第2樹脂層22の形成後において、第2無機絶縁層23の一主面上に形成された第2樹脂層22におけるフィラー粒子19aの体積比率は、例えば10体積%以上70体積%以下に設定される。   The volume ratio of the filler particles 19 a in the resin precursor 25 is set to, for example, 10 volume% or more and 55 volume% or less, and is formed on one main surface of the second inorganic insulating layer 23 after the formation of the second resin layer 22. The volume ratio of the filler particles 19a in the second resin layer 22 is set to, for example, 10% by volume or more and 70% by volume or less.

(7)第2絶縁層11の上面に第2導電層12を形成する。   (7) The second conductive layer 12 is formed on the upper surface of the second insulating layer 11.

第2導電層12の形成は、例えば無電解めっき法、電気めっき法、蒸着法、CVD法またはスパッタリング法等を用いて導電材料を被着させた後、例えばフォトリソグラフィー技術、エッチング法等を用いて被着した導電材料をパターニングすることにより、形成することができる。   The second conductive layer 12 is formed by depositing a conductive material using, for example, an electroless plating method, an electroplating method, a vapor deposition method, a CVD method, or a sputtering method, and then using, for example, a photolithography technique, an etching method, or the like. It can be formed by patterning the conductive material deposited.

(8)図4(c)に示すように、(1)から(6)の工程を繰り返すことによって、無機絶縁ゾルを乾燥させて作製した第1無機絶縁層16と、樹脂前駆体25を熱硬化させた第1樹脂層15とを含む第1絶縁層9を、第2絶縁層11および第2導電層12の上面に形成する。   (8) As shown in FIG. 4C, the steps (1) to (6) are repeated to dry the inorganic insulating sol and dry the first inorganic insulating layer 16 and the resin precursor 25. A first insulating layer 9 including the cured first resin layer 15 is formed on the upper surfaces of the second insulating layer 11 and the second conductive layer 12.

(9)第1絶縁層9を厚み方向(Z方向)に貫通するビア導体13を形成し、第1絶縁層9上にビア導体13と電気的に接続する第1導電層10を形成する。   (9) The via conductor 13 that penetrates the first insulating layer 9 in the thickness direction (Z direction) is formed, and the first conductive layer 10 that is electrically connected to the via conductor 13 is formed on the first insulating layer 9.

ビア導体13の形成は、まず、例えばYAGレーザー装置または炭酸ガスレーザー装置を用いて、第2絶縁層11にビア孔を形成する。次いで、例えば無電解めっき、蒸着法、CVD法またはスパッタリング法を用いて、ビア孔Vに導電材料を埋めることによって、
ビア導体13は形成される。
The via conductor 13 is formed by first forming a via hole in the second insulating layer 11 using, for example, a YAG laser device or a carbon dioxide gas laser device. Next, for example, by filling the via hole V with a conductive material using electroless plating, vapor deposition, CVD, or sputtering,
A via conductor 13 is formed.

(発光素子の実装)
(9)図4(d)に示すように、第1絶縁層9の上面に発光素子2を実装した後、発光素子2と第1導電層10とをボンディングワイヤで接続する。次いで、発光素子2の周囲に反射板4と、反射板4に蓋をするようにカバー部材5とを配する。
(Mounting of light emitting elements)
(9) As shown in FIG. 4D, after the light emitting element 2 is mounted on the upper surface of the first insulating layer 9, the light emitting element 2 and the first conductive layer 10 are connected by a bonding wire. Next, the reflection plate 4 and the cover member 5 are arranged around the light emitting element 2 so as to cover the reflection plate 4.

以上のようにして、発光素子用配線基板3の上面に発光素子2が実装された発光装置1を作製する。   As described above, the light emitting device 1 in which the light emitting element 2 is mounted on the upper surface of the light emitting element wiring substrate 3 is manufactured.

<第2実施形態>
(発光装置)
次に、本発明の発光素子用配線基板および発光装置の実施の形態の第2の例(第2実施形態)を、図5を参照しつつ詳細に説明する。なお、上述した第1実施形態と同様の構成に関しては、説明を省略する。
Second Embodiment
(Light emitting device)
Next, a second example (second embodiment) of the embodiment of the light-emitting element wiring board and the light-emitting device of the present invention will be described in detail with reference to FIG. In addition, description is abbreviate | omitted regarding the structure similar to 1st Embodiment mentioned above.

図5に示すように、第2実施形態の発光素子用配線基板3は、第1実施形態と異なり、第1無機絶縁層16は、第1絶縁層9の最上層に位置し、発光素子用配線基板3の上面を構成している。その結果、発光素子用配線基板3の上面に到達した可視光は良好に第1無機絶縁層16内に進入することができ、より多くの可視光を反射させることができることから、発光装置の明るさを向上させることができる。   As shown in FIG. 5, the light-emitting element wiring substrate 3 of the second embodiment is different from that of the first embodiment, and the first inorganic insulating layer 16 is located at the uppermost layer of the first insulating layer 9 and is used for the light-emitting element. The upper surface of the wiring board 3 is configured. As a result, the visible light that has reached the upper surface of the wiring board 3 for the light emitting element can enter the first inorganic insulating layer 16 well, and more visible light can be reflected. Can be improved.

なお、第1無機絶縁層16は、第1絶縁層9の最上層に位置することから、第1絶縁層9の上面に到達する可視光は第1無機絶縁層16の上面に到達することになる。すなわち、第1絶縁層9内において、第1無機絶縁層16の上面は、当然に「可視光が到達する深さ」に位置することになる。   Since the first inorganic insulating layer 16 is positioned at the uppermost layer of the first insulating layer 9, visible light reaching the upper surface of the first insulating layer 9 reaches the upper surface of the first inorganic insulating layer 16. Become. That is, in the first insulating layer 9, the upper surface of the first inorganic insulating layer 16 is naturally positioned at “depth at which visible light reaches”.

(発光装置の作製)
次に、上述した第2実施形態の発光装置1の製造方法を説明する。なお、上述した第1実施形態と同様の方法に関しては、説明を省略する。
(Production of light emitting device)
Next, the manufacturing method of the light-emitting device 1 of 2nd Embodiment mentioned above is demonstrated. In addition, description is abbreviate | omitted regarding the method similar to 1st Embodiment mentioned above.

前述した(2)工程において、支持シート24の主面上に直接無機絶縁ゾルを塗布し、無機絶縁ゾルを第2無機絶縁層23とした後、支持シート24と反対側の主面上に樹脂前駆体25を積層し、支持シート24、表面樹脂層17、第2無機絶縁層23および樹脂前駆体25を含む積層シート26を作製する。そして、上述した第1実施形態と同様の工程によって、発光装置1を作製することができる。   In the step (2) described above, the inorganic insulating sol is directly applied on the main surface of the support sheet 24, and the inorganic insulating sol is used as the second inorganic insulating layer 23, and then the resin is formed on the main surface opposite to the support sheet 24. The precursor 25 is laminated | stacked and the laminated sheet 26 containing the support sheet 24, the surface resin layer 17, the 2nd inorganic insulating layer 23, and the resin precursor 25 is produced. And the light-emitting device 1 is producible with the process similar to 1st Embodiment mentioned above.

<第3実施形態>
(発光装置)
次に、本発明の発光素子用配線基板および発光装置の実施の形態の第3の例(第3実施形態)を、図6を参照しつつ詳細に説明する。なお、上述した第1実施形態と同様の構成に関しては、説明を省略する。
<Third Embodiment>
(Light emitting device)
Next, a third example (third embodiment) of the embodiment of the wiring board for light emitting element and the light emitting device of the present invention will be described in detail with reference to FIG. In addition, description is abbreviate | omitted regarding the structure similar to 1st Embodiment mentioned above.

図6に示すように、第2実施形態の発光素子用配線基板3には、第1実施形態と異なり、発光素子2が収容される、第1絶縁層9を貫通する第1貫通孔T1と、第2絶縁層11を貫通する第2貫通孔T2とを含み、金属板14を底面とした凹部Dが形成されている。   As shown in FIG. 6, unlike the first embodiment, the light emitting element wiring substrate 3 of the second embodiment includes a first through hole T1 that houses the light emitting element 2 and penetrates the first insulating layer 9. And a second through hole T2 penetrating the second insulating layer 11, and a recess D having the metal plate 14 as a bottom surface is formed.

このように、凹部Dが形成されていることによって、凹部Dに収容される発光素子2は、金属板14の上面に実装される。その結果、金属材料は、樹脂材料および無機絶縁材料よりも熱伝導率が高いことから、発光素子2が発する熱を良好に放出させることができ、発光素子2の温度上昇に起因した、発光素子2における発光効率の低下や寿命の低下を防止することができる。   Thus, by forming the recess D, the light emitting element 2 accommodated in the recess D is mounted on the upper surface of the metal plate 14. As a result, since the metal material has higher thermal conductivity than the resin material and the inorganic insulating material, the heat generated by the light-emitting element 2 can be released well, and the light-emitting element caused by the temperature rise of the light-emitting element 2 2 can prevent a decrease in luminous efficiency and a decrease in lifetime.

また、第1無機絶縁層16および第2無機絶縁層23の熱伝導率は、第1樹脂層15および第2樹脂層22の熱伝導率よりも大きいことが望ましい。その結果、第1貫通孔T1および第2貫通孔T2内に収容される発光素子2は、第1無機絶縁層16と第2無機絶縁層23とに囲まれていることから、発光素子2が発する熱を良好に放出することができる。   In addition, the thermal conductivity of the first inorganic insulating layer 16 and the second inorganic insulating layer 23 is preferably larger than the thermal conductivity of the first resin layer 15 and the second resin layer 22. As a result, the light emitting element 2 accommodated in the first through hole T1 and the second through hole T2 is surrounded by the first inorganic insulating layer 16 and the second inorganic insulating layer 23. The emitted heat can be released well.

また、第1貫通孔T1の第1無機絶縁層16における内径は、第1樹脂層15における内径よりも小さいことが望ましい。その結果、第1貫通孔T1内での、第1無機絶縁層16と発光素子2との距離が小さくなり、発光素子用配線基板3の上面に到達した可視光のうち、発光素子2と、第1貫通孔T1の内壁との間に可視光が進入し、第1貫通孔T1の内壁等に吸収されて、可視光が損失することを低減することができる。   In addition, the inner diameter of the first inorganic insulating layer 16 of the first through hole T1 is desirably smaller than the inner diameter of the first resin layer 15. As a result, the distance between the first inorganic insulating layer 16 and the light emitting element 2 in the first through hole T1 is reduced, and among the visible light reaching the upper surface of the light emitting element wiring substrate 3, the light emitting element 2; Visible light enters between the inner wall of the first through-hole T1 and is absorbed by the inner wall of the first through-hole T1 and the like, and loss of visible light can be reduced.

また、第1無機絶縁層16の厚みは、第1樹脂層15の厚みよりも大きいことが望ましい。その結果、発光素子2が発する熱が放出される領域が大きくなり、発光素子2が発する熱を良好に放出することができる。   Further, the thickness of the first inorganic insulating layer 16 is desirably larger than the thickness of the first resin layer 15. As a result, the area from which the heat generated by the light emitting element 2 is released becomes large, and the heat generated by the light emitting element 2 can be released well.

また、第2貫通孔T2の第2無機絶縁層23における内径は、第2樹脂層22における内径よりも小さいことが望ましい。その結果、第2貫通孔T2内での、第2無機絶縁層23と発光素子2との距離が小さくなり、発光素子2が発する熱を良好に放出させることができる。   Moreover, it is desirable that the inner diameter of the second through hole T2 in the second inorganic insulating layer 23 is smaller than the inner diameter of the second resin layer 22. As a result, the distance between the second inorganic insulating layer 23 and the light emitting element 2 in the second through hole T2 is reduced, and the heat generated by the light emitting element 2 can be released well.

また、第2無機絶縁層23の厚みは、第2樹脂層22の厚みよりも大きいことが望ましい。その結果、発光素子2が発する熱が放出される領域が大きくなり、発光素子2が発する熱を良好に放出することができる。   The thickness of the second inorganic insulating layer 23 is desirably larger than the thickness of the second resin layer 22. As a result, the area from which the heat generated by the light emitting element 2 is released becomes large, and the heat generated by the light emitting element 2 can be released well.

また、発光素子2の発光部7は、第1無機絶縁層16の上面よりも上方に位置していることが望ましい。その結果、発光素子2が発する可視光が、第1貫通孔T1の内壁面を構成する第1無機絶縁層16において反射し、第1貫通孔T1内において可視光が損失することを低減することができる。   In addition, the light emitting portion 7 of the light emitting element 2 is desirably located above the upper surface of the first inorganic insulating layer 16. As a result, the visible light emitted from the light emitting element 2 is reflected by the first inorganic insulating layer 16 constituting the inner wall surface of the first through hole T1, and the loss of visible light in the first through hole T1 is reduced. Can do.

また、発光素子2の発光部7は、第1貫通孔T1の開口よりも上方に位置していることが望ましい。その結果、発光素子2が発する可視光が、第1貫通孔T1の内壁面において第1樹脂層15などに吸収されることを低減することができる。   Moreover, it is desirable that the light emitting portion 7 of the light emitting element 2 is located above the opening of the first through hole T1. As a result, visible light emitted from the light emitting element 2 can be reduced from being absorbed by the first resin layer 15 and the like on the inner wall surface of the first through hole T1.

(発光装置の作製)
次に、上述した第3実施形態の発光装置1の製造方法を説明する。なお、上述した第1実施形態と同様の方法に関しては、説明を省略する。
(Production of light emitting device)
Next, a method for manufacturing the light emitting device 1 according to the third embodiment will be described. In addition, description is abbreviate | omitted regarding the method similar to 1st Embodiment mentioned above.

前述した(8)工程の後、発光素子2を収容するための、第1絶縁層9を貫通する第1貫通孔T1および第2絶縁層11を貫通する第2貫通孔T2を形成する。   After the step (8) described above, the first through hole T1 penetrating the first insulating layer 9 and the second through hole T2 penetrating the second insulating layer 11 for accommodating the light emitting element 2 are formed.

第1貫通孔T1および第2貫通孔T2の形成は、例えば、レーザー加工、パンチング加工またはサンドブラスト加工によって形成することができる。   The first through hole T1 and the second through hole T2 can be formed by, for example, laser processing, punching processing, or sand blast processing.

また、第1貫通孔T1および第2貫通孔T2を形成した後に、第1貫通孔T1および第2貫通孔T2の内周面をデスミア処理することが望ましい。   In addition, after forming the first through hole T1 and the second through hole T2, it is desirable to subject the inner peripheral surfaces of the first through hole T1 and the second through hole T2 to desmear treatment.

具体的には、過マンガン酸溶液に、発光素子用配線基板3を、例えば5分以上10分以内で、含浸させることによってデスミア処理を行なう。この工程において、過マンガン酸溶液は、樹脂材料を溶かすため、第1貫通孔T1および第2貫通孔T2内が良好にデスミア処理されるだけなく、第1樹脂層15および第2樹脂層22の一部を溶かすことができる。その結果、第1貫通孔T1の第1無機絶縁層16における内径を、第1樹脂層15における内径よりも小さくでき、また第2貫通孔T2の第2無機絶縁層23における内径を、第2樹脂層22における内径よりも小さくすることができる。   Specifically, the desmear treatment is performed by impregnating the permanganic acid solution with the wiring board 3 for a light emitting element within 5 minutes to 10 minutes, for example. In this step, since the permanganic acid solution dissolves the resin material, not only the inside of the first through hole T1 and the second through hole T2 is desmeared well, but also the first resin layer 15 and the second resin layer 22 A part can be melted. As a result, the inner diameter of the first through hole T1 in the first inorganic insulating layer 16 can be made smaller than the inner diameter of the first resin layer 15, and the inner diameter of the second through hole T2 in the second inorganic insulating layer 23 can be reduced to the second. The inner diameter of the resin layer 22 can be made smaller.

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良、組合せ等が可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various changes, improvements, combinations, and the like can be made without departing from the spirit of the present invention.

また、前述した本発明の実施形態は、それぞれ金属板14を含んでいるが、金属板14を含まなくても構わない。   Moreover, although the embodiment of the present invention described above includes the metal plate 14, the metal plate 14 may not be included.

また、前述した本発明の実施形態は、第2無機絶縁層23を1層のみ含んでいるが、第2無機絶縁層23を複数層含んでいても構わない。   Moreover, although the embodiment of the present invention described above includes only one second inorganic insulating layer 23, it may include a plurality of second inorganic insulating layers 23.

また、前述した本発明の実施形態は、第2無機絶縁層23が第2無機絶縁粒子21を含んでいるが、第2無機絶縁層23は第2無機絶縁粒子21を含まなくても構わない。   In the embodiment of the present invention described above, the second inorganic insulating layer 23 includes the second inorganic insulating particles 21, but the second inorganic insulating layer 23 may not include the second inorganic insulating particles 21. .

また、前述した本発明の実施形態は、発光素子用配線基板3、反射板4およびカバー部材5に囲まれた空間には何も充填していないが、例えば蛍光物質とともに樹脂材料を充填しても構わない。   Further, in the above-described embodiment of the present invention, nothing is filled in the space surrounded by the light emitting element wiring substrate 3, the reflector 4 and the cover member 5, but for example, a resin material is filled together with a fluorescent material. It doesn't matter.

また、前述した本発明の第2実施形態は、第1貫通孔T1および第2貫通孔T2を形成していたが、第1貫通孔T1のみ形成しても構わない。その場合には、発光素子2は第2絶縁層11の上面に実装されることになる。   Moreover, although 2nd Embodiment of this invention mentioned above formed 1st through-hole T1 and 2nd through-hole T2, you may form only 1st through-hole T1. In that case, the light emitting element 2 is mounted on the upper surface of the second insulating layer 11.

1 発光装置
2 発光素子
3 発光素子用配線基板
4 反射板
5 カバー部材
6 ベース部
7 発光部
8 レンズ部
9 第1絶縁層
10 第1導電層
11 第2絶縁層
12 第2導電層
13 ビア導体
14 金属板
15 第1樹脂層
16 第1無機絶縁層
17 表面樹脂層
18 第1樹脂部
19a、19b フィラー粒子
20 第1無機絶縁粒子
21 第2無機絶縁粒子
22 第2樹脂層
23 第2無機絶縁層
24 支持シート
25 樹脂前駆体
26 積層シート
G 間隙
T1 第1貫通孔
T2 第2貫通孔
D 凹部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light-emitting device 2 Light-emitting element 3 Light-emitting-element wiring board 4 Reflector 5 Cover member 6 Base part 7 Light-emitting part 8 Lens part 9 1st insulating layer 10 1st conductive layer 11 2nd insulating layer 12 2nd conductive layer 13 Via conductor DESCRIPTION OF SYMBOLS 14 Metal plate 15 1st resin layer 16 1st inorganic insulating layer 17 Surface resin layer 18 1st resin part 19a, 19b Filler particle 20 1st inorganic insulating particle 21 2nd inorganic insulating particle 22 2nd resin layer 23 2nd inorganic insulation Layer 24 Support sheet 25 Resin precursor 26 Laminated sheet G Gap T1 First through hole T2 Second through hole D Recess

Claims (11)

上方に向かって発光する発光部を備えた発光素子が実装される発光素子用配線基板であって、
上面を構成する、第1樹脂層と該第1樹脂層に積層された第1無機絶縁層とを有する第1絶縁層を備え、
前記第1無機絶縁層は、可視光の波長の下限値よりも粒径が小さい、互いの一部で接続した複数の第1無機絶縁粒子と、可視光の波長の下限値よりも粒径が大きい、前記複数の第1無機絶縁粒子に囲まれた球状の複数の第2無機絶縁粒子とを具備するとともに、複数の前記第1無機絶縁粒子と複数の前記第2無機絶縁粒子とで囲まれた間隙が形成されており、かつ前記第1絶縁層の上面から該第1絶縁層の内部に進入する可視光が到達する深さに位置していることを特徴とする発光素子用配線基板。
A wiring board for a light emitting element on which a light emitting element having a light emitting portion that emits light upward is mounted,
A first insulating layer comprising a first resin layer and a first inorganic insulating layer laminated on the first resin layer, the upper surface forming a first resin layer;
The first inorganic insulating layer has a particle diameter smaller than the lower limit value of the wavelength of visible light, and has a particle diameter smaller than the lower limit value of the wavelength of visible light. A plurality of spherical second inorganic insulating particles surrounded by the plurality of first inorganic insulating particles, and surrounded by the plurality of first inorganic insulating particles and the plurality of second inorganic insulating particles. A wiring board for a light emitting element, wherein a gap is formed and is located at a depth at which visible light entering the inside of the first insulating layer reaches from the upper surface of the first insulating layer.
請求項1に記載の発光素子用配線基板において、
前記第1無機絶縁層は、前記発光素子用配線基板の上面を構成していることを特徴とする発光素子用配線基板。
In the wiring board for light emitting elements according to claim 1,
The first inorganic insulating layer constitutes an upper surface of the light emitting element wiring substrate.
請求項1または請求項2に記載の発光素子用配線基板において、
前記第1絶縁層に、発光素子が収容される第1貫通孔を有することを特徴とする発光素子用配線基板。
In the wiring board for light emitting elements of Claim 1 or Claim 2,
A wiring board for a light emitting element, wherein the first insulating layer has a first through hole in which the light emitting element is accommodated.
請求項3に記載の発光素子用配線基板において、
前記第1貫通孔は、内径が前記第1無機絶縁層において前記第1樹脂層よりも小さいことを特徴とする発光素子用配線基板。
In the wiring board for light emitting elements according to claim 3,
The light-emitting element wiring board, wherein the first through hole has an inner diameter smaller than that of the first resin layer in the first inorganic insulating layer.
請求項3に記載の発光素子用配線基板において、
前記第1絶縁層の下面に配された第2絶縁層をさらに有し、
該第2絶縁層は、第2樹脂層と、該第2樹脂層に積層された、互いの一部で接続した複数の前記第1無機絶縁粒子を具備する第2無機絶縁層とを有するとともに、前記発光素子が収容される、前記第1貫通孔と連なった第2貫通孔を有することを特徴とする発光素子用配線基板。
In the wiring board for light emitting elements according to claim 3,
A second insulating layer disposed on a lower surface of the first insulating layer;
The second insulating layer includes a second resin layer and a second inorganic insulating layer that is laminated on the second resin layer and includes a plurality of the first inorganic insulating particles connected to each other. A light-emitting element wiring board comprising: a second through-hole that is connected to the first through-hole and that houses the light-emitting element.
請求項1に記載の発光素子用配線基板において、
前記第1絶縁層の下方に配された金属板をさらに備え、
該金属板の熱膨張率は、前記第1無機絶縁層の熱膨張率よりも大きく、前記第1樹脂層の熱膨張率よりも小さいことを特徴とする発光素子用配線基板。
In the wiring board for light emitting elements according to claim 1,
A metal plate disposed under the first insulating layer;
The wiring board for a light-emitting element, wherein a thermal expansion coefficient of the metal plate is larger than a thermal expansion coefficient of the first inorganic insulating layer and smaller than a thermal expansion coefficient of the first resin layer.
上方に向かって発光する発光部を備えた発光素子が実装される発光素子用配線基板であって、
上面を構成する、第1樹脂層と、該第1樹脂層の上面に積層された第1無機絶縁層と、該第1無機絶縁層の上面に積層された表面樹脂層とを有する第1絶縁層を備え、
前記第1無機絶縁層は、可視光の波長の下限値よりも粒径が小さい、互いの一部で接続した複数の第1無機絶縁粒子と、可視光の波長の下限値よりも粒径が大きい、前記複数の第1無機絶縁粒子に囲まれた球状の複数の第2無機絶縁粒子とを具備するとともに、複数の前記第1無機絶縁粒子と複数の前記第2無機絶縁粒子とで囲まれた間隙が形成されており、
前記表面樹脂層の厚みは、5μm以下に設定されていることを特徴とする発光素子用配線基板。
A wiring board for a light emitting element on which a light emitting element having a light emitting portion that emits light upward is mounted,
A first insulating layer comprising a first resin layer, a first inorganic insulating layer laminated on the upper surface of the first resin layer, and a surface resin layer laminated on the upper surface of the first inorganic insulating layer. With layers,
The first inorganic insulating layer has a particle diameter smaller than the lower limit value of the wavelength of visible light, and has a particle diameter smaller than the lower limit value of the wavelength of visible light. A plurality of spherical second inorganic insulating particles surrounded by the plurality of first inorganic insulating particles, and surrounded by the plurality of first inorganic insulating particles and the plurality of second inorganic insulating particles. Gaps are formed,
The thickness of the said surface resin layer is set to 5 micrometers or less, The wiring board for light emitting elements characterized by the above-mentioned.
請求項1、請求項2、請求項6または請求項7に記載の発光素子用配線基板と、前記第
1絶縁層の上面に実装された発光素子とを備えた発光装置。
A light-emitting device comprising: the light-emitting element wiring board according to claim 1, claim 2, claim 6 or claim 7; and a light-emitting element mounted on an upper surface of the first insulating layer.
請求項3または請求項4に記載の発光素子用配線基板と、前記第1貫通孔の内部に収容された発光素子とを備えた発光装置。   A light emitting device comprising: the light emitting element wiring board according to claim 3; and a light emitting element housed in the first through hole. 請求項5に記載の発光素子用配線基板と、前記第1貫通孔および前記第2貫通孔の内部に収容された発光素子とを備えた発光装置。   A light-emitting device comprising: the light-emitting element wiring board according to claim 5; and a light-emitting element housed in the first through hole and the second through hole. 請求項9または請求項10に記載の発光装置において、
前記発光素子は、発光部が前記第1貫通孔の開口よりも上方に位置していることを特徴とする発光装置。
The light-emitting device according to claim 9 or 10,
The light emitting device is characterized in that a light emitting portion is positioned above an opening of the first through hole.
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