JP5779030B2 - 電子デバイス、発振器及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents
電子デバイス、発振器及び電子デバイスの製造方法 Download PDFInfo
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Description
本発明の電子デバイスは、蓋基板と、この蓋基板に接合し、蓋基板との間にキャビティを構成するベース基板と、このキャビティに収納される電子素子と、蓋基板又はベース基板の外表面に設置されたモールド材を備える。
図1は本発明の第一実施形態に係る電子デバイス1の縦断面模式図である。電子デバイス1は、ソーダ石灰ガラスから成る蓋基板2と、蓋基板2に接合し、蓋基板2との間に外気から密閉されるキャビティ4を構成するソーダ石灰ガラスから成るベース基板3と、キャビティ4に収納され、ベース基板3に面実装される電子素子5と、蓋基板2のキャビティ4とは反対側の外表面に設置されるモールド材6とを備える。蓋基板2とベース基板3とは金属材料8を介して接合される。キャビティ4は蓋基板2に形成した凹部9から構成される。
図2は本発明の第二実施形態に係る電子デバイス1の縦断面模式図である。電子デバイス1は、ソーダ石灰ガラスから成る蓋基板2と、蓋基板2に接合し、蓋基板2との間に外気から密閉されるキャビティ4を構成するソーダ石灰ガラスから成るベース基板3と、キャビティ4に収納され、ベース基板3に面実装される電子素子5と、蓋基板2及びベース基板3の外表面に設置されるモールド材6a、6bと、を備える。
図3及び図4は本発明の第三実施形態に係る電子デバイス1の縦断面模式図及び分解斜視図である。第二実施形態と異なる点は、電子素子5が片持ち状態でベース基板3の上に実装される点であり、その他の構成は第二実施形態とほぼ同様である。以下、主に異なる部分について説明する。同一の部分または同一の機能を有する部分については同一の符号を付している。
(第四実施形態)
図5は、本発明の第四実施形態に係る発振器40の上面模式図である。本発振器40は第三実施形態に示す単結晶水晶から成る圧電振動片11を用いた電子デバイス1を組み込んでいる。図5に示すように、発振器40は、基板43、この基板上に設置した電子デバイス1、集積回路41及び電子部品42を備える。電子デバイス1は、電極端子10a、10bに与えられる駆動信号に基づいて一定周波数の信号を生成し、集積回路41及び電子部品42は、電子デバイス1から供給される一定周波数の信号を処理して、クロック信号等の基準信号を生成する。本発明による電子デバイス1は、高信頼性でかつ小型に形成することができるので、発振器40の全体をコンパクトに構成することができる。
本発明に係る電子デバイスの製造方法は、蓋基板に凹部を形成する凹部形成工程と、ベース基板に電子素子を実装する実装工程と、蓋基板又はベース基板のいずれか一方又は両方の外表面にモールド材を設置するモールド材設置工程と、凹部に電子素子を収納して蓋基板とベース基板を接合する接合工程とを備える。
図6〜図9は、本発明の第五実施形態に係る電子デバイスの製造方法を説明するための図である。図6が電子デバイスの製造方法を表す工程図であり、図7、図8及び図9が各工程の説明図である。本実施形態においては、蓋基板2及びベース基板3としてソーダ石灰ガラスを使用し、電子素子5は水晶振動子とする。
2 蓋基板
3 ベース基板
4 キャビティ
5 電子素子
6 モールド材
7 貫通電極
8 金属材料
9 凹部
10 電極端子
11 圧電振動片
12 励振電極
13 接続電極
14 実装部
15 引回し電極
16 貫通孔
17 金属膜
Claims (11)
- 凹部を有する蓋基板と、
前記蓋基板と接合し、前記凹部によって外気から密閉されるキャビティを構成するベース基板と、
前記キャビティに収納される電子素子と、
前記ベース基板の外表面及び、前記蓋基板の前記凹部が形成された表面とは反対側である表面に設置されるモールド材と、を備え、
前記モールド材の線膨張係数が、前記ベース基板、及び前記蓋基板の線膨張係数よりも小さい電子デバイス。 - 前記ベース基板は前記キャビティ側の内表面から前記キャビティ側とは反対側の外表面にかけて貫通する貫通電極を有し、前記電子素子が前記貫通電極と電気的に接続される請求項1に記載の電子デバイス。
- 前記蓋基板と前記ベース基板とは金属材料を含む接合材を介して接合される請求項1又2に記載の電子デバイス。
- 前記電子素子は、前記ベース基板の内表面に片持ち状態で実装される水晶振動子である請求項1〜3のいずれか一項に記載の電子デバイス。
- 前記モールド材はエポキシ樹脂から成る請求項1〜4のいずれか一項に記載の電子デバイス。
- 請求項4に記載の電子デバイスと、
前記電子デバイスに駆動信号を供給する駆動回路と、を備える発振器。 - 蓋基板に凹部を形成する凹部形成工程と、
ベース基板に電子素子を実装する実装工程と、
前記ベース基板の外表面及び、前記蓋基板の前記凹部が形成された表面とは反対側の表面に、前記ベース基板及び前記蓋基板よりも線膨張係数が低いモールド材を設置するモールド材設置工程と、
前記凹部に前記電子素子を収納して前記蓋基板と前記ベース基板を接合する接合工程と、を備える電子デバイスの製造方法。 - 前記モールド材設置工程は前記接合工程の前に行う請求項7に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記モールド材設置工程は前記接合工程の後に行う請求項7に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記ベース基板に貫通電極を形成する貫通電極形成工程を更に含み、
前記モールド材設置工程は、前記ベース基板の前記電子素子が実装される側とは反対側の外表面に前記貫通電極を露出させて前記モールド材を設置する工程である請求項7〜9のいずれか一項に記載の電子デバイスの製造方法。 - 前記凹部形成工程は前記蓋基板に凹部を複数形成する工程であり、
前記実装工程は前記ベース基板に前記電子素子を複数実装する工程であり、
接合した前記蓋基板と前記ベース基板からなる積層体を切断分離する分離工程を備える請求項7〜10のいずれか一項に記載の電子デバイスの製造方法。
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