JP5777152B2 - Adsorption device - Google Patents

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和峻 渕上
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  • Hooks, Suction Cups, And Attachment By Adhesive Means (AREA)

Description

本発明は、吸着装置に関する。   The present invention relates to an adsorption device.

物体(ワーク)を運搬する運搬機構や、物体を壁面などに固定させる用途に、吸着装置が利用される。吸着装置としては、磁石を用いたもの、粘性を用いたものの他、特許文献1や2に記載される真空吸着パッドを用いたものが知られている。   The suction device is used for a transport mechanism for transporting an object (work) or for fixing an object to a wall surface or the like. As a suction device, a device using a vacuum suction pad described in Patent Documents 1 and 2 is known in addition to a device using a magnet and a device using viscosity.

真空吸着パッドを用いた吸着装置は、円錐形状の弾性体で形成される吸着パッドを有し、吸着パッドを対象物と接触させた状態で変形させることにより、吸着パッドと対象物との間に生ずる空間を膨張させることにより減圧し、それにより吸着パッドと対象物の間に吸着力を発生させる。   The suction device using the vacuum suction pad has a suction pad formed of a conical elastic body, and deforms the suction pad while being in contact with the target object, so that the suction pad is placed between the target pad and the target object. The resulting space is depressurized by expanding it, thereby generating a suction force between the suction pad and the object.

特開2003−94370号公報JP 2003-94370 A 特開2003−191191号公報JP 2003-191191 A

こうした従来の真空吸着パッドは、平坦な対象物に対しては有効であるが、凹凸を有する対象物に対する吸着力が弱いという問題がある。   Such a conventional vacuum suction pad is effective for a flat object, but has a problem that the suction force for an object having irregularities is weak.

本発明は係る課題に鑑みてなされたものであり、そのある態様の例示的な目的のひとつは、凹凸を有する対象物に対しても吸着可能な吸着装置の提供にある。   The present invention has been made in view of such problems, and one of the exemplary purposes of an aspect thereof is to provide an adsorption device capable of adsorbing even an object having irregularities.

本発明のある態様は、複数の吸着部を有する吸着装置に関する。吸着装置は、その内部空間がポンプと連通された弾性中空体を備える。弾性中空体は、(1)外部からの圧力に応じて変形可能であり、かつ(2)内部空間に負圧が供給された状態において、弾性中空体の複数の吸着部それぞれに対応する吸着部分が内側に変形し、各吸着部分を囲む部分が実質的に内側に変形しないように拘束されている。   An embodiment of the present invention relates to an adsorption device having a plurality of adsorption units. The adsorption device includes an elastic hollow body whose internal space communicates with a pump. The elastic hollow body can be deformed in accordance with (1) pressure from the outside, and (2) an adsorption portion corresponding to each of the plurality of adsorption portions of the elastic hollow body in a state where negative pressure is supplied to the internal space. Is deformed inward, and the portion surrounding each adsorbing portion is constrained so as not to be substantially deformed inward.

この態様によれば、弾性中空体を、凹凸を有する対象物に対して押しつけることにより、弾性中空体は対象物の表面形状に沿うように変形し、接触面積が増加する。この状態で、弾性中空体の内部空間に負圧を与えることにより、対象物と接触・近接する少なくともひとつの吸着部が内側に変形し、吸着部と対象物の間の空間の体積を膨張させ、吸着力を発生させることができる。その結果、対象物の表面に接触もしくは近接する吸着部の数を増やすことができ、吸着力を高めることができる。   According to this aspect, the elastic hollow body is deformed so as to follow the surface shape of the object by pressing the elastic hollow body against the uneven object, and the contact area increases. In this state, by applying a negative pressure to the internal space of the elastic hollow body, at least one suction part in contact with or close to the object is deformed inward, and the volume of the space between the suction part and the object is expanded. Adsorption force can be generated. As a result, it is possible to increase the number of suction portions that are in contact with or close to the surface of the object, and increase the suction force.

ある態様の吸着装置は、弾性中空体の内壁に固着され、弾性中空体を拘束する拘束部材をさらに備えてもよい。
拘束部材は、複数の吸着部ごとに設けられ、それぞれの底部が弾性中空体の内壁に固着された、複数の環状部材を含んでもよい。
The adsorption device according to an aspect may further include a restraining member that is fixed to the inner wall of the elastic hollow body and restrains the elastic hollow body.
The restraining member may include a plurality of annular members that are provided for each of the plurality of adsorbing portions and whose bottoms are fixed to the inner wall of the elastic hollow body.

ある態様において、吸着装置は、内部空間に充填された複数の粒体をさらに備えてもよい。
弾性中空体が対象物に適合して変形した際に、粒体によって、弾性体の復元力に対する抗力を発生させることができ、弾性中空体が変形後の形状を維持しやすくなり、吸着力を高めることができる。
In an embodiment, the adsorption device may further include a plurality of particles filled in the internal space.
When the elastic hollow body conforms to the object and deforms, the granule can generate a resistance against the restoring force of the elastic body, and the elastic hollow body can easily maintain the shape after deformation, and the adsorption force can be reduced. Can be increased.

弾性中空体の表面は、粘着性を有してもよい。これにより、弾性中空体が対象物と接触した際に、粘着力により仮吸着させることができる。さらに仮吸着によって、内部空間に負圧を供給する前段階において、弾性中空体の変形後の形状を維持することができる。   The surface of the elastic hollow body may have adhesiveness. Thereby, when an elastic hollow body contacts with a target object, it can be made to temporarily adsorb | suck with adhesive force. Further, by temporary adsorption, the deformed shape of the elastic hollow body can be maintained before the negative pressure is supplied to the internal space.

弾性中空体は、熱可塑性エラストマーで形成されてもよい。熱可塑性エラストマー(TPE)は、粘着性と弾性を併せ持つため、弾性中空体の材料として好適である。   The elastic hollow body may be formed of a thermoplastic elastomer. A thermoplastic elastomer (TPE) is suitable as a material for an elastic hollow body because it has both adhesiveness and elasticity.

本発明のある態様に係る吸着装置によれば、凹凸を有する対象物に対する吸着力を高めることができる。   According to the suction device according to an aspect of the present invention, it is possible to increase the suction force with respect to an object having irregularities.

図1(a)は、実施の形態に係る吸着装置の外観を示す図であり、図1(b)は、吸着装置の基本的な構成を示す断面図である。Fig.1 (a) is a figure which shows the external appearance of the adsorption | suction apparatus based on Embodiment, FIG.1 (b) is sectional drawing which shows the fundamental structure of an adsorption | suction apparatus. 図2(a)〜(d)は、吸着装置の吸着動作を示す図である。FIGS. 2A to 2D are diagrams illustrating an adsorption operation of the adsorption device. 図3(a)は、吸着装置の断面図であり、図3(b)は、吸着装置の弾性中空体の内壁を示す図である。Fig.3 (a) is sectional drawing of an adsorption | suction apparatus, FIG.3 (b) is a figure which shows the inner wall of the elastic hollow body of an adsorption | suction apparatus. 吸着装置を利用した投擲式吸着装置を示す図である。It is a figure which shows the throwing type adsorption | suction apparatus using an adsorption | suction apparatus. 変形例に係る拘束部材を示す図である。It is a figure which shows the restraint member which concerns on a modification.

以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。   The present invention will be described below based on preferred embodiments with reference to the drawings. The same or equivalent components, members, and processes shown in the drawings are denoted by the same reference numerals, and repeated descriptions are omitted as appropriate. The embodiments do not limit the invention but are exemplifications, and all features and combinations thereof described in the embodiments are not necessarily essential to the invention.

図1(a)は、実施の形態に係る吸着装置100の外観を示す図であり、図1(b)は、吸着装置100の基本的な構成を示す断面図である。
はじめに図1(a)を参照して吸着装置100の機能を説明する。吸着装置100は、その表面に複数の吸着部10を有する。吸着装置100は、基本的には球体形状を有し、吸着の対象物の形状に適合するように変形自在となっている。吸着装置100は、吸着部10において、対象物との間に吸着力を発生させる。吸着部10による吸着を、「本吸着」という。弾性中空体12の個数や大きさは特に限定されず、吸着装置100の用途に応じて設計すればよい。
FIG. 1A is a diagram illustrating an appearance of the adsorption device 100 according to the embodiment, and FIG. 1B is a cross-sectional view illustrating a basic configuration of the adsorption device 100.
First, the function of the adsorption device 100 will be described with reference to FIG. The adsorption device 100 has a plurality of adsorption units 10 on the surface thereof. The suction device 100 basically has a spherical shape, and is freely deformable so as to conform to the shape of the object to be suctioned. The suction device 100 generates a suction force between the suction unit 10 and the object. The adsorption by the adsorption unit 10 is referred to as “main adsorption”. The number and size of the elastic hollow bodies 12 are not particularly limited, and may be designed according to the use of the adsorption device 100.

好ましくは、吸着装置100の表面は粘着性を有することが好ましい。この場合、吸着装置100は、その表面の粘着力によっても、対象物との間に吸着力を発生させることができる。これを「仮吸着」という。   It is preferable that the surface of the adsorption device 100 has adhesiveness. In this case, the adsorption device 100 can generate an adsorption force between the adsorption device 100 and the object even by the adhesive force of the surface. This is called “temporary adsorption”.

続いて、図1(b)を参照し、吸着装置100の基本的な構成を説明する。
吸着装置100は、その内部に内部空間14を有する弾性中空体12を備える。弾性中空体12の内部空間14は、チューブ30を介して外部のポンプ(不図示)と連通され、圧力が制御可能となっている。弾性中空体12には、内部空間14とチューブ30を接続するためのジョイント部32が設けられる。
Next, the basic configuration of the adsorption device 100 will be described with reference to FIG.
The adsorption device 100 includes an elastic hollow body 12 having an internal space 14 therein. The internal space 14 of the elastic hollow body 12 communicates with an external pump (not shown) via the tube 30 so that the pressure can be controlled. The elastic hollow body 12 is provided with a joint portion 32 for connecting the internal space 14 and the tube 30.

弾性中空体12の材料としては、熱可塑性エラストマー(TPE:Thermoplastic Elastomer)やウレタンゲルが好適である。TPEやウレタンゲルは、コンクリート、ガラス、アルミニウム等に対して高い粘着性を有するとともに、対象物の形状に適合するように自在に変形可能である。   As a material of the elastic hollow body 12, a thermoplastic elastomer (TPE) or urethane gel is suitable. TPE and urethane gel have high adhesion to concrete, glass, aluminum and the like, and can be freely deformed so as to conform to the shape of the object.

弾性中空体12は、(1)外部からの圧力に応じて変形可能であるという性質を有する。また弾性中空体12は、(2)外部ポンプによって内部空間14に負圧が供給された状態において、弾性中空体12の複数の吸着部10それぞれに対応する部分16(ハッチングで示す、吸着部分ともいう)が内側に変形し、少なくとも吸着部分16を囲む部分18(白抜きで示す、非変形部分ともいう)が実質的に内側に変形しないように拘束されている。   The elastic hollow body 12 has the property that (1) it can be deformed according to the pressure from the outside. In addition, the elastic hollow body 12 includes (2) portions 16 (indicated by hatching) corresponding to the plurality of suction portions 10 of the elastic hollow body 12 in a state where negative pressure is supplied to the internal space 14 by the external pump. ) Is deformed inward, and at least a portion 18 (also referred to as a non-deformed portion shown in white) surrounding the adsorbing portion 16 is constrained so as not to be substantially deformed inward.

以上が吸着装置100の基本構成である。続いてその動作原理を説明する。   The above is the basic configuration of the adsorption device 100. Next, the operation principle will be described.

図2(a)〜(d)は、吸着装置100の吸着動作を示す図である。ここでは吸着の対象物102は、直角に折れ曲がった形状を有する場合を説明する。図2(a)は、吸着前の状態を示す。吸着装置100を、対象物102に接触させて圧力を加えると、図2(b)に示すように、弾性中空体12が、対象物102の形状に沿うように変形し、弾性中空体12と対象物102の接触面積が増加する。図2(b)には、吸着装置100に設けられた複数の吸着部10のうち、3つの吸着部10a〜10cが対象物102と接触している状態を示す。この状態では、吸着装置100の表面の粘着力によって、吸着装置100と対象物102は仮吸着している。   2A to 2D are diagrams illustrating the suction operation of the suction device 100. FIG. Here, a case will be described in which the adsorption object 102 has a shape bent at a right angle. FIG. 2A shows a state before adsorption. When the suction device 100 is brought into contact with the object 102 and pressure is applied, the elastic hollow body 12 is deformed to conform to the shape of the object 102 as shown in FIG. The contact area of the object 102 increases. FIG. 2B shows a state in which three suction units 10 a to 10 c are in contact with the object 102 among the plurality of suction units 10 provided in the suction device 100. In this state, the adsorption device 100 and the object 102 are temporarily adsorbed by the adhesive force of the surface of the adsorption device 100.

吸着装置100が対象物102と接触して仮吸着した直後に、本吸着を行うために、内部空間14に負圧が供給される。本吸着について各吸着部10に着目するして説明する。図2(c)、(d)には、ひとつの吸着部10が拡大して示される。   Immediately after the adsorption device 100 comes into contact with the object 102 and temporarily adsorbs, a negative pressure is supplied to the internal space 14 in order to perform the main adsorption. The main suction will be described by paying attention to each suction portion 10. 2 (c) and 2 (d), the single suction portion 10 is shown enlarged.

図2(c)に示すように、負圧供給前においては、弾性中空体12の吸着部10に対応する吸着部分16と対象物102との間には、わずかな空間40が生じている。外部真空ポンプのバルブを開き、内部空間14に負圧を供給すると、図2(d)に示すように、非変形部分18は上述の拘束によって実質的に変形せず、弾性中空体12の吸着部分16のみが内側に変形し、吸着部分16と対象物102の間の空間40の体積が膨張する。これにより空間40が減圧され、吸着部分16と対象物102とが大気圧で押しつけられることになり、吸着装置100と対象物102の間に、吸着力が発生する。   As shown in FIG. 2C, a slight space 40 is generated between the suction portion 16 corresponding to the suction portion 10 of the elastic hollow body 12 and the object 102 before the negative pressure is supplied. When the valve of the external vacuum pump is opened and negative pressure is supplied to the internal space 14, as shown in FIG. 2 (d), the non-deformable portion 18 is not substantially deformed by the above-mentioned restraint, and the elastic hollow body 12 is adsorbed. Only the portion 16 is deformed inward, and the volume of the space 40 between the suction portion 16 and the object 102 expands. As a result, the space 40 is depressurized, and the suction portion 16 and the target object 102 are pressed at atmospheric pressure, and a suction force is generated between the suction device 100 and the target object 102.

以上が吸着装置100の動作である。
このように、実施の形態に係る吸着装置100によれば、弾性中空体12を利用することにより、凹凸を有する対象物102と接触したときの接触面積を増加させることができる。その結果、対象物102との間で吸着力を発揮できる吸着部10の個数を増やすことができ、凹凸形状を有する対象物102に対する吸着力を高めることができる。
The above is the operation of the adsorption device 100.
Thus, according to adsorption device 100 concerning an embodiment, by using elastic hollow body 12, it is possible to increase the contact area when contacting object 102 having irregularities. As a result, it is possible to increase the number of suction portions 10 that can exert a suction force with the object 102, and to increase the suction force with respect to the target object 102 having an uneven shape.

また粘着性にともなう仮吸着によって、内部空間14に負圧を供給する前段階において、弾性中空体12の対象物102に適合した形状を維持することができるという利点が得られる。   In addition, the temporary adsorption accompanying the adhesiveness has an advantage that the shape suitable for the object 102 of the elastic hollow body 12 can be maintained before the negative pressure is supplied to the internal space 14.

続いて図3(a)、(b)を参照し、吸着装置100の具体的な構成例を説明する。図3(a)は、吸着装置100の断面図であり、図3(b)は、吸着装置100の弾性中空体12の内壁を示す図である。   Next, a specific configuration example of the adsorption device 100 will be described with reference to FIGS. 3A is a cross-sectional view of the adsorption device 100, and FIG. 3B is a diagram illustrating an inner wall of the elastic hollow body 12 of the adsorption device 100. FIG.

吸着装置100は、弾性中空体12の内壁に固着された拘束部材20を備える。拘束部材20は、弾性中空体12を(2)内部空間14に負圧が供給された状態において、弾性中空体12の複数の吸着部分16が内側に変形し、非変形部分18が実質的に内側に変形しないように、拘束する。   The adsorption device 100 includes a restraining member 20 fixed to the inner wall of the elastic hollow body 12. The restraining member 20 has the elastic hollow body 12 (2) in a state where negative pressure is supplied to the internal space 14, the plurality of suction portions 16 of the elastic hollow body 12 are deformed inward, and the non-deformed portion 18 is substantially Restrain it so that it does not deform inward.

図3(a)、(b)に示すように、拘束部材20は、複数の吸着部10ごとに設けられた複数の環状部材22を含む。図3(b)に示すように、好ましくは環状部材22は円筒形状を有する。環状部材22は、真空ポンプによる加減圧によって変形しない程度の剛性を有している。各環状部材22の底部は、弾性中空体12の吸着部分16を囲むようにして、弾性中空体12の内壁に固着されている。環状部材22の上面には、気体を通す一方、後述の粒体26を通さないフィルタ24が貼られている。フィルタ24は布などが利用できる。この構成によって、吸着部分16は、環状部材22の内側壁およびフィルタ24で囲まれた空間内において変形可能となる。また弾性中空体12が環状部材22の底面と接触する部分は、負圧を与えても変形しない非変形部分18となる。すなわち環状部材22によって、弾性中空体12を好適に拘束できる。   As shown in FIGS. 3A and 3B, the restraining member 20 includes a plurality of annular members 22 provided for each of the plurality of suction portions 10. As shown in FIG. 3B, the annular member 22 preferably has a cylindrical shape. The annular member 22 has such a rigidity that it is not deformed by pressure increase / decrease by the vacuum pump. The bottom of each annular member 22 is fixed to the inner wall of the elastic hollow body 12 so as to surround the adsorption portion 16 of the elastic hollow body 12. On the upper surface of the annular member 22, a filter 24 that allows gas to pass but does not pass through a particle 26 described later is attached. The filter 24 can be a cloth. With this configuration, the adsorption portion 16 can be deformed in a space surrounded by the inner wall of the annular member 22 and the filter 24. Further, the portion where the elastic hollow body 12 is in contact with the bottom surface of the annular member 22 becomes an undeformed portion 18 that does not deform even when a negative pressure is applied. That is, the elastic hollow body 12 can be suitably restrained by the annular member 22.

弾性中空体12の内部空間14には、複数の粒体26が密に充填されている。粒体26の材料は特に限定されず、市販されるビーズなどを用いてもよい。
弾性中空体12が対象物102に適合して変形した際に、変形に応じて粒体26の配置が変化する。弾性中空体12は、それ自身の変形に対する復元力を有するところ、粒体26はその復元力に対する抗力を発生させる。すなわち、粒体26を充填することにより、弾性中空体12が変形後の形状を維持しやすくなり、吸着力を高めることができる。
The inner space 14 of the elastic hollow body 12 is filled with a plurality of particles 26 densely. The material of the granule 26 is not particularly limited, and commercially available beads may be used.
When the elastic hollow body 12 conforms to the object 102 and is deformed, the arrangement of the particles 26 changes according to the deformation. Where the elastic hollow body 12 has a restoring force against its own deformation, the granule 26 generates a resistance against the restoring force. That is, by filling the particles 26, the elastic hollow body 12 can easily maintain the shape after deformation, and the adsorption force can be increased.

エネルギーの利用効率の観点から、理想的には負圧供給時に、吸着部分16のみが内側に変形し、それ以外の部分は変形しないことが好ましい。なぜなら吸着部分16以外の部分(図1(b)の符号19の部分)が変形すると、ポンプからの負圧が、吸着部分16のみでなく、吸着力に寄与しないその他の部分19にも作用するからである。この点において、複数の粒体26は負圧供給時に、弾性中空体12のうち吸着部10以外の部分19が内側に変形しようとするのを妨げるように機能するため、効率を高めることができる。   From the viewpoint of energy utilization efficiency, it is ideal that only the adsorption portion 16 is deformed inward and the other portions are not deformed when supplying negative pressure. This is because if the portion other than the suction portion 16 (the portion indicated by reference numeral 19 in FIG. 1B) is deformed, the negative pressure from the pump acts not only on the suction portion 16 but also on the other portion 19 that does not contribute to the suction force. Because. In this respect, the plurality of particles 26 function to prevent the portion 19 other than the adsorbing portion 10 of the elastic hollow body 12 from deforming inward during the supply of negative pressure, so that the efficiency can be increased. .

図3(a)、(b)の吸着装置100によれば、凹凸を有する対象物102に対しても、高い吸着力を発揮できる。   According to the suction device 100 of FIGS. 3A and 3B, a high suction force can be exerted even on the object 102 having irregularities.

続いて、吸着装置100の用途を説明する。
図4は、吸着装置100を利用した投擲式吸着装置200を示す図である。
Next, the application of the adsorption device 100 will be described.
FIG. 4 is a diagram illustrating a throwing type adsorption device 200 using the adsorption device 100.

投擲式吸着装置200は、吸着装置100、投擲装置42、ロープ44、チューブ30、真空ポンプ48を備える。吸着装置100と投擲装置42は、ロープ44を介して接続される。投擲装置42は、吸着装置100を対象物102に対して投擲する発射装置である。吸着装置100と真空ポンプ48は、ロープ44に沿ったチューブ30およびバルブ50を介して接続される。   The throwing type suction device 200 includes a suction device 100, a throwing device 42, a rope 44, a tube 30, and a vacuum pump 48. The suction device 100 and the anchoring device 42 are connected via a rope 44. The throwing device 42 is a launching device that throws the suction device 100 against the object 102. The suction device 100 and the vacuum pump 48 are connected via a tube 30 and a valve 50 along the rope 44.

以上が投擲式吸着装置200の構成である。
投擲式吸着装置200は、たとえば危険建物内などにおいて、人命探索等に利用できる。レスキュー隊員は、投擲装置42から建物の壁面やガラス窓などを対象物102として、吸着装置100を発射する。
The above is the configuration of the throwing type adsorption device 200.
The throwing-type suction device 200 can be used for searching for human life in a dangerous building, for example. The rescue crew launches the suction device 100 from the anchoring device 42 using the wall surface of the building or the glass window as the object 102.

吸着装置100は、対象物102との衝突によって圧力を受け、対象物102の表面形状に沿った形に変形し、表面の粘着性によって仮吸着される。衝突の直後、バルブ50が開けられると、吸着装置100の内部空間14に負圧が供給され、吸着装置100が対象物102に本吸着する。吸着装置100には、衝突を検知するセンサが設けられており、センサの出力に応じてバルブ50が制御されるようにしてもよい。この場合、バルブ50は吸着装置100側に設けてもよい。   The suction device 100 receives pressure due to a collision with the object 102, is deformed into a shape along the surface shape of the object 102, and is temporarily adsorbed by the adhesiveness of the surface. Immediately after the collision, when the valve 50 is opened, a negative pressure is supplied to the internal space 14 of the suction device 100, and the suction device 100 is finally attracted to the object 102. The suction device 100 may be provided with a sensor that detects a collision, and the valve 50 may be controlled according to the output of the sensor. In this case, the valve 50 may be provided on the adsorption device 100 side.

レスキュー隊員は、たとえばロープ44に沿って、カメラを移動させることにより、レスキュー隊員自身が進入できない建物の内部の様子を知ることができる。あるいは、ロープ44に沿ってゴンドラを移動させることにより、必要な物資をロープ44に沿って運搬することが可能となる。   The rescue crew can know the state inside the building where the rescue crew cannot enter by moving the camera along the rope 44, for example. Alternatively, by moving the gondola along the rope 44, it becomes possible to transport necessary supplies along the rope 44.

以上、本発明について、実施の形態をもとに説明した。この実施の形態は例示であり、それらの各構成要素や各処理プロセスの組み合わせにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。以下、こうした変形例について説明する。   The present invention has been described based on the embodiments. This embodiment is an exemplification, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications can be made to combinations of the respective constituent elements and processing processes, and such modifications are within the scope of the present invention. is there. Hereinafter, such modifications will be described.

図3(a)、(b)の構成例では、環状部材22によって弾性中空体12を拘束する場合を説明したが、本発明はそれに限定されない。すなわち拘束部材20の形状は特に限定されず、別の部材を用いてもよい。図5は、変形例に係る拘束部材20aを示す図である。拘束部材20aは格子形状を有する。このような拘束部材20aを弾性中空体12の内壁に固着することにより、格子形状に沿って非変形部分18が形成され、すべての、あるいは一部の開口部分を吸着部分16として変形自在とすることができる。図2(b)に示すように、拘束部材20aに厚みを持たせ、その上面をフィルタ24で覆ってもよい。   In the configuration examples of FIGS. 3A and 3B, the case where the elastic hollow body 12 is restrained by the annular member 22 has been described, but the present invention is not limited thereto. That is, the shape of the restraining member 20 is not particularly limited, and another member may be used. FIG. 5 is a view showing a restraining member 20a according to a modification. The restraining member 20a has a lattice shape. By fixing such a restraining member 20 a to the inner wall of the elastic hollow body 12, non-deformable portions 18 are formed along the lattice shape, and all or a part of the opening portions can be deformed as the adsorbing portions 16. be able to. As shown in FIG. 2 (b), the restraining member 20 a may have a thickness and the upper surface thereof may be covered with a filter 24.

あるいは弾性中空体12を拘束するために、拘束部材20を設けるのではなく、弾性中空体12自体の材料を、吸着部分16と非変形部分18において異ならしめてもよい。   Alternatively, in order to restrain the elastic hollow body 12, the restraining member 20 is not provided, but the material of the elastic hollow body 12 itself may be made different between the adsorption portion 16 and the non-deformable portion 18.

実施の形態では、弾性中空体12が、単一の内部空間14を有する場合を説明したが、弾性中空体12の内部は、隔壁によって複数の空間に分割されてもよい。   In the embodiment, the case where the elastic hollow body 12 has a single internal space 14 has been described. However, the inside of the elastic hollow body 12 may be divided into a plurality of spaces by partition walls.

実施の形態では、弾性中空体12の表面が粘着性を有する場合を説明したが、粘着性を有しなくてもよい。内部空間14に対して負圧を供給するタイミングを、高精度で制御可能な場合、すなわち弾性中空体12が対象物102に適合するように変形した後、直ちに負圧を供給できる場合には、仮吸着を経ずに本吸着を行ってもよい。   In the embodiment, the case where the surface of the elastic hollow body 12 has adhesiveness has been described, but the adhesive may not have adhesiveness. When the timing for supplying the negative pressure to the internal space 14 can be controlled with high accuracy, that is, when the negative pressure can be supplied immediately after the elastic hollow body 12 is deformed to fit the object 102, You may perform this adsorption | suction without going through temporary adsorption | suction.

実施の形態では、吸着装置100の用途として投擲式吸着装置を説明したが、その用途は特に限定されない。たとえば吸着装置100は、ガラス基板をはじめとする種々のワークを運搬するハンドラにも好適に利用することができる。   In the embodiment, the throwing type adsorption device has been described as the application of the adsorption device 100, but the application is not particularly limited. For example, the suction device 100 can be suitably used for a handler that carries various workpieces including a glass substrate.

実施の形態にもとづき、具体的な用語を用いて本発明を説明したが、実施の形態は、本発明の原理、応用を示しているにすぎず、実施の形態には、請求の範囲に規定された本発明の思想を逸脱しない範囲において、多くの変形例や配置の変更が認められる。   Although the present invention has been described using specific terms based on the embodiments, the embodiments only illustrate the principles and applications of the present invention, and the embodiments are defined in the claims. Many variations and modifications of the arrangement are permitted without departing from the spirit of the present invention.

100…吸着装置、10…吸着部、12…弾性中空体、14…内部空間、16…吸着部分、18…非変形部分、20…拘束部材、22…環状部材、24…フィルタ、26…粒体、30…チューブ、32…ジョイント部、34…真空ポンプ、40…空間、102…対象物、42…投擲装置、44…ロープ、46…チューブ、48…真空ポンプ、200…投擲式吸着装置。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Adsorption apparatus, 10 ... Adsorption part, 12 ... Elastic hollow body, 14 ... Internal space, 16 ... Adsorption part, 18 ... Non-deformation part, 20 ... Restraint member, 22 ... Ring member, 24 ... Filter, 26 ... Granule , 30 ... Tube, 32 ... Joint part, 34 ... Vacuum pump, 40 ... Space, 102 ... Object, 42 ... Throwing device, 44 ... Rope, 46 ... Tube, 48 ... Vacuum pump, 200 ... Throwing type adsorption device.

Claims (6)

複数の吸着部を有する吸着装置であって、
その内部空間がポンプと連通された弾性中空体を備え、
前記弾性中空体は、(1)吸着の対象物と接して圧力を加えることにより、前記対象物の表面形状に沿うように変形可能であり、かつ(2)前記内部空間に負圧が供給された状態において、前記弾性中空体の前記複数の吸着部それぞれに対応する吸着部分が内側に変形し、各吸着部分を囲む部分が実質的に内側に変形しないように拘束されていることを特徴とする吸着装置。
An adsorption device having a plurality of adsorption parts,
It has an elastic hollow body whose internal space communicates with the pump,
The elastic hollow body can be deformed along the surface shape of the object by (1) applying pressure in contact with the object to be adsorbed , and (2) negative pressure is supplied to the internal space. In this state, the adsorbing portion corresponding to each of the plurality of adsorbing portions of the elastic hollow body is deformed inward, and the portion surrounding each adsorbing portion is constrained so as not to be substantially deformed inward. Adsorbing device.
前記弾性中空体の内壁に固着され、前記弾性中空体を拘束する拘束部材をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の吸着装置。   The adsorption device according to claim 1, further comprising a restraining member that is fixed to an inner wall of the elastic hollow body and restrains the elastic hollow body. 前記拘束部材は、前記複数の吸着部ごとに設けられ、それぞれの底部が前記弾性中空体の内壁に固着された、複数の環状部材を含むことを特徴とする請求項2に記載の吸着装置。   The adsorption device according to claim 2, wherein the restraining member includes a plurality of annular members that are provided for each of the plurality of adsorption portions, and each bottom portion is fixed to the inner wall of the elastic hollow body. 前記内部空間に充填された複数の粒体と、
前記拘束部材の上面を覆い、気体を通す一方、前記粒体を通さないフィルタと、
さらに備え
前記吸着部分は、前記拘束部材の内側壁および前記フィルタで囲まれた空間内において変形可能であることを特徴とする請求項2に記載の吸着装置。
A plurality of granules filled in the internal space ;
A filter that covers the upper surface of the restraining member and allows gas to pass, but does not pass the granules,
Further comprising a,
The suction device according to claim 2 , wherein the suction portion is deformable in a space surrounded by an inner wall of the restraining member and the filter .
前記弾性中空体の表面は、粘着性を有することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の吸着装置。   The adsorption device according to any one of claims 1 to 4, wherein the surface of the elastic hollow body has adhesiveness. 前記弾性中空体は、熱可塑性エラストマーで形成されることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の吸着装置。   The adsorbing device according to claim 1, wherein the elastic hollow body is formed of a thermoplastic elastomer.
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