JP5772499B2 - Euvリソグラフィ(euvl)用反射型マスクブランクの製造方法およびeuvl用反射層付基板の製造方法 - Google Patents
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Description
また、本発明は、EUVリソグラフィ(EUVL)用反射層付基板の製造方法に関する。EUVL用反射層付基板は、EUVマスクブランクの前駆体として、あるいは、EUVリソグラフィ用反射型ミラー(以下、本明細書において、「EUVミラー」という。)として、用いられる。
多層反射膜および吸収層を成膜する際、ガラス基板は保持部によって保持される。ガラス基板の保持部として、機械的チャックおよび静電チャックがあるが、発塵性の問題から、静電チャックによる吸着保持が好ましく用いられる。
ガラス基板は誘電率および導電率が低いため、十分なチャック力を得るには高電圧を印加する必要があるため、絶縁破壊を生じる危険性がある。そのため、ガラス基板よりも高い誘電率および高い導電率を有する材料の膜(導電膜)を、ガラス基板の成膜面に対する裏面(以下、本明細書において、「ガラス基板の裏面」という。)に形成して、ガラス基板のチャック力を高めることが通常行われている(特許文献1参照)。
ガラス基板の両方の面に形成された膜間で導通が生じていると、EUVマスクブランクをパターニングして反射型フォトマスクを作製する際に実施する電子線描画において、既存技術である透過型のマスクブランクと等価回路が変化してしまうために、既存の電子線描画装置で設計通りのパターンを描画できなくなる。
このような不導通部を形成する方法として、特許文献2では、(1)遮蔽部材を用いて不導通部が形成されるようにチャック層、または、反射層および吸収層を成膜する方法、(2)基板全面にチャック層、または、反射層および吸収層を成膜した後、形成された層の一部を除去することにより不導通部を形成する方法が提案されている。
これらの方法のうち、(2)の方法は、除去された層がパーティクル源となる可能性を潜在的にもつため、(1)のほうが好ましい。
但し、特許文献2には、上記(1)の方法で使用する遮蔽部材に関する詳細な記載は示されていない。
ここで、遮蔽板には、膜材料が付着することが常である。したがって、このような方法を実施した場合、遮蔽板に付着していた膜材料が、該遮蔽板と接触または近接する基板に付着することによって、基板側面への膜材料の付着を生じたり、製造されるマスクブランクに欠陥を生じさせるおそれがある。
また、遮蔽板として、弾力性のある材料を使用した場合、形状変化(例えば、温度変化による遮蔽板の膨張や収縮)によって、遮蔽板に付着していた膜材料が、該遮蔽板と接触または近接する基板に付着することによって、基板側面への膜材料の付着を生じさせたり、製造されるマスクブランクに欠陥を生じさせたりするおそれがある。
このように、特許文献3に記載の方法では、使用する遮蔽板自体が、基板側面への膜材料の付着の原因となったり、製造されるマスクブランクにおける欠陥の発生源となるおそれがある。
しかしながら、スパッタリング法の実施時には、ガラス基板の周囲に配置した側面保護板および遮蔽板にも膜材料が付着すること、および、製造後のEUVマスクブランクを取り出す際には、ガラス基板の周囲に配置した側面保護板および遮蔽板を移動させる必要があることに留意する必要がある。
特許文献5に記載の方法では、ガラス基板の側面の全周を覆うように側面保護板を配置し、かつ、該ガラス基板の成膜面の外縁部を覆うように遮蔽板を配置しているため、製造後のEUVマスクブランクを取り出す際には、側面保護板および遮蔽板を移動させる必要がある。例えば、特許文献5に図示した態様の、製造後のEUVマスクブランクを取り出す際には、側面保護板20および遮蔽板30の全体を製造後のEUVマスクブランク(図1,2ではガラス基板10)に対し上方に移動させる必要があるが、このような操作を実施すると、側面保護板20および遮蔽板30に付着した膜材料が剥離して、製造後のEUVマスクブランクや、ガラス基板10の保持手段(図示されていない)に付着するおそれがある。
ガラス基板の保持手段に膜材料が付着した場合、膜材料が付着した部位によっては、該保持手段によって保持されるガラス基板に転写されるおそれがある。
特に、同一の保持手段を用いて、EUVマスクブランクを複数製造する場合は、EUVマスクブランクの製造過程で該保持手段に蓄積された膜材料がガラス基板に転写されるおそれがあるので問題となる。
また、本発明は、製造後の反射層付基板の取出し時の膜材料の付着や、ガラス基板保持部に付着した膜材料のガラス基板への転写を抑制できるEUVL用反射層付基板の製造方法の提供を目的とする。
前記ガラス基板の裏面側を保持する基板保持部と、前記ガラス基板の側面全周、前記基板保持部の側面全周のうち、該基板保持部の上端を含めた高さ方向における少なくとも一部、および、前記ガラス基板の成膜面の外縁部を覆うことができ、かつ、下記(1)〜(7)を満たす遮蔽部と、ガラス基板または製造後のEUVL用反射層付基板の搬出入用のアームと、を有するスパッタリング装置を用いて、前記ガラス基板上に前記反射層を少なくとも成膜することを特徴とするEUVL用反射層付基板の製造方法を提供する。
(1)前記遮蔽部は、ガラス基板またはEUVL用反射層付基板の搬出入用の開口部を、前記ガラス基板の側面と対向する側の面に有する。
(2)前記遮蔽部は、搬出入時の位置と、成膜時の位置と、の間を、上下方向に移動可能である。
(3)前記搬出入時の位置において、前記遮蔽部の下端が前記基板保持部の上端よりも下方に位置する。
(4)前記遮蔽部は、前記成膜時の位置において、前記搬出入用の開口部の上端が前記基板保持部の上端よりも下方に位置する。
(5)前記遮蔽部は、前記搬出入時の位置において、前記搬出入用の開口部の上端が、前記ガラス基板の上端または製造後のEUVL用反射層付基板の上端よりも上方に位置し、前記搬出入用の開口部の下端が、前記搬出入用のアームの下端よりも下方に位置する。
(6)前記遮蔽部は、前記搬出入用の開口部の長さが、前記ガラス基板の長さよりも0.5mm以上長い。
(7)前記遮蔽部は、前記搬出入用の開口部の幅が、前記ガラス基板および前記搬出入用のアームの厚さの和よりも0.5mm以上大きい。
前記ガラス基板の裏面側を保持する基板保持部と、前記ガラス基板の側面全周、前記基板保持部の側面全周のうち、該基板保持部の上端を含めた高さ方向における少なくとも一部、および、前記ガラス基板の成膜面の外縁部を覆うことができ、かつ、下記(1)〜(7)を満たす遮蔽部と、ガラス基板または製造後のEUVL用反射型マスクブランクの搬出入用のアームと、を有するスパッタリング装置を用いて、前記ガラス基板上に前記反射層および前記吸収層を少なくともこの順に成膜することを特徴とするEUVL用反射型マスクブランク(EUVマスクブランク)の製造方法を提供する。
(1)前記遮蔽部は、ガラス基板またはEUVL用反射型マスクブランクの搬出入用の開口部を、前記ガラス基板の側面と対向する側の面に有する。
(2)前記遮蔽部は、搬出入時の位置と、成膜時の位置と、の間を、上下方向に移動可能である。
(3)前記搬出入時の位置において、前記遮蔽部の下端が前記基板保持部の上端よりも下方に位置する。
(4)前記遮蔽部は、前記成膜時の位置において、前記搬出入用の開口部の上端が前記基板保持部の上端よりも下方に位置する。
(5)前記遮蔽部は、前記搬出入時の位置において、前記搬出入用の開口部の上端が、前記ガラス基板の上端または製造後のEUVL用反射型マスクブランクの上端よりも上方に位置し、前記搬出入用の開口部の下端が、前記搬出入用のアームの下端よりも下方に位置する。
(6)前記遮蔽部は、前記搬出入用の開口部の長さが、前記ガラス基板の長さよりも0.5mm以上長い。
(7)前記遮蔽部は、前記搬出入用の開口部の幅が、前記ガラス基板および前記搬出入用のアームの厚さの和よりも0.5mm以上大きい。
本発明のEUVマスクブランクの製造方法によれば、製造後のEUVマスクブランクの取出し時の膜材料の付着や、ガラス基板保持部に付着した膜材料のガラス基板への転写を抑制できる。
本発明のEUVL用反射層付基板またはEUVマスクブランクの製造方法では、以下に述べる所定の基板保持部、遮蔽部および搬出入用のアームを有するスパッタリング装置を用いて、ガラス基板上にEUV光を反射する反射層を成膜するかまたは、該反射層および、EUV光を吸収する吸収層を少なくともこの順に成膜することを特徴とする。
図1,2は、本発明のEUVL用反射層付基板またはEUVマスクブランクの製造方法の実施時におけるガラス基板、ガラス基板保持部および遮蔽部の位置関係を示した側断面図である。図1において、遮蔽部30は成膜時の位置で示されている。図2において、遮蔽部30は搬出入時の位置で示されている。図3は、本発明のEUVL用反射層付基板またはEUVマスクブランクの製造方法の実施時におけるガラス基板と、遮蔽部と、の位置関係を示した平面図である。
以下、本発明のEUVマスクブランクの製造方法を例に説明する。
基板保持部20としては、発塵の問題が起こりにくいことから静電チャック機構によってガラス基板10を保持するものが好ましいが、機械的チャック機構によってガラス基板を保持するものであってもよい。
図1,2において、ガラス基板10よりも基板保持部20のほうが水平方向における寸法が小さくなっているがこれに限定されず、ガラス基板10よりも基板保持部20のほうが水平方向における寸法が大きくてもよい。
また、本発明の基板保持部20は、ガラス基板10の保持や、基板保持部20からのガラス基板10の着脱にとって必要な各種構造物(例えば、ガラス基板10の着脱のためのリフトアップ機構や、基板保持部を固定するための治具)を有してもよい。
なお、詳しくは後述するが、基板保持部20は、その上端を含めた高さ方向における少なくとも一部において、遮蔽部30によって、その側面全周が覆われていればよい。
また、図3に示すように、遮蔽部30の上面には成膜用の開口部31が存在する。ここで、開口部31は、その大きさがガラス基板10の成膜面11よりも小さいため、ガラス基板10の成膜面11の外縁部は、遮蔽部30によって覆われた状態となる。
なお、ガラス基板10の側面全周を遮蔽部30で覆うのも成膜時にガラス基板10の側面に膜材料が付着することを防止するためである。
本発明では、さらに、基板保持部20への膜材料の付着を防止するため、基板保持部20の側面全周を遮蔽部30で覆う。ここで、基板保持部20として、静電チャック機構を使用する場合は、静電引力によって基板を吸着保持する原理上、静電引力に引き付けられた膜材料が静電チャックに付着しやすいので、とくに基板保持部20への膜材料の付着を防止する必要がある。
基板保持部20に膜材料が付着した場合、膜材料が付着した部位によっては、基板保持部20によって保持されるガラス基板10に転写されるおそれがある。特に、基板保持部20を用いて、EUVマスクブランクを複数製造する場合は、EUVマスクブランクの製造過程で基板保持部20に蓄積された膜材料がガラス基板10に転写されるおそれがある。
そのため、遮蔽部30で覆うことによって、基板保持部20への膜材料の付着を防止する。
遮蔽部30の側面、別の言い方をすると、ガラス基板10の側面と対向する側の遮蔽部30の面には、アーム40、および、該アーム40によって搬入されるガラス基板、または、該アームによって搬出される製造後のEUVマスクブランクがそこを通過する搬出入用の開口部32が設けられている。
詳しくは後述するが、成膜時においては、ガラス基板10の成膜面11と、遮蔽部30と、が接触せず、かつ、遮蔽部30に付着した膜材料の成膜面11への付着を防止できる程度に、成膜面11と遮蔽部30との間隔d4が小さいほうが、成膜面11の外縁部の成膜を最小限に抑えるうえで好ましい。
しかしながら、搬出入時においては、アーム40によりガラス基板10を基板保持部20から持ち上げた状態で移動させるため、遮蔽部30も上方向に移動させる必要がある。
このため、図1に示す成膜時の位置から図2に示す搬出入時の位置に変更する際は、遮蔽部30を基板保持部20に対して上方向に移動させる。一方、図2に示す搬出入時の位置から図1に示す成膜時の位置に変更する際は、遮蔽部30を基板保持部20に対して下方向に移動させる。
成膜時においては、遮蔽部30にも膜材料が付着する。図1に示す成膜時の位置から図2に示す搬出入時の位置へと、基板保持部20に対して遮蔽部30を上方向に移動させる際には、遮蔽部30に付着した膜材料が剥離するおそれがある。図2に示す搬出入時の位置において、遮蔽部30の下端が基板保持部20の上端よりも上方に位置していると、遮蔽部30から剥離した膜材料が、基板保持部20に保持されるガラス基板10や該基板保持部20の上端付近、すなわち、基板保持部20の基板保持面やその周辺に付着するおそれがある。
図2に示す搬出入時の位置において、遮蔽部30の下端と、基板保持部20の上端と、の距離d1は、0.5mm以上が好ましく、2mm以上がより好ましく、5mm以上がさらに好ましい。
搬出入時において、ガラス基板10または製造後のEUVマスクブランクが開口部32の上端または下端に接触したり、該開口部32周辺に付着した膜材料がガラス基板10または製造後のEUVマスクブランクに付着することを防止するためには、搬出入用の開口部32の長さは、ガラス基板10の長さL+0.5mm以上が好ましく、L+1mm以上がより好ましく、L+2mm以上がさらに好ましい。
但し、搬出入用の開口部32の長さが、ガラス基板10の長さよりも長すぎると、成膜時において、膜材料が侵入しやすくなるので好ましくない。このため、搬出入用の開口部32の長さは、ガラス基板10の長さL+5mm以下が好ましく、L+4mm以下がより好ましく、L+3mm以下がさらに好ましい。
一方、成膜時において、膜材料の侵入を防止するためには、搬出入用の開口部32の幅wは、ガラス基板10の厚さt1および搬出入用のアーム40の厚さt2の和+10mm以下が好ましく、t1およびt2の和+8mm以下がより好ましく、t1およびt2の和+6mm以下がさらに好ましい。
図1に示す成膜時の位置において、搬出入用の開口部32の上端と、基板保持部20の上端と、の距離d2は、0.5mm以上が好ましく、2mm以上がより好ましく、3mm以上がさらに好ましい。
なお、上述したように、図2に示す搬出入時の位置において、遮蔽部30の下端は基板保持部20の上端よりも下方に位置しているので、遮蔽部30を基板保持部20に対して下方向に移動させた図1に示す成膜時の位置では、遮蔽部30の下端は基板保持部20の上端よりも下方に位置している。
また、図1に示す成膜時の位置における遮蔽部30の下端と基板保持部20の上端との距離は、上述した図2に示す搬出入時の位置における遮蔽部30の下端と基板保持部20の上端との距離d1よりも大きくなる。
また、成膜時における膜材料の侵入や、開口部32周辺への膜材料の付着を防止するために、開口部32の上方にひさし状の構造物を設けてもよい。
遮蔽部30と、ガラス基板10の側面と、の距離d3が1mm未満の場合、両者の間隔が小さすぎるため、成膜時において、ガラス基板10の側面が遮蔽部30に接触して、該側面が損傷し異物が発生するおそれがある。
一方、遮蔽部30と、ガラス基板10の側面と、の距離d3が10mm超の場合、両者の間隔が大きすぎるため、ガラス基板10の側面側への膜材料の廻り込みが起こり、ガラス基板10の側面への膜材料の付着するおそれがある。
遮蔽部30と、ガラス基板10の側面と、の距離d3は1.5mm以上がより好ましい。
ガラス基板10の成膜面11と遮蔽部30との間隔d4が1mm未満の場合、両者の間隔が小さすぎるため、成膜時において、成膜面11に遮蔽部30が接触して、成膜面11を損傷するおそれがある。
また、遮蔽部30に付着していた膜材料が、ガラス基板10の成膜面11の側に付着することによって、ガラス基板10の側面への膜材料の付着を生じたり、製造されるEUVマスクブランクに欠陥を生じさせるおそれがある。
一方、ガラス基板10の成膜面11と遮蔽部30との間隔d4が8mm超の場合、両者の間隔が大きすぎるため、成膜面11の外縁部への成膜を最小限に抑えられず、ガラス基板10の側面への膜材料の付着を抑制できないおそれがある。また、成膜面の外縁部に面取り部やノッチマークが設けられている場合、面取り部やノッチマークへの成膜を抑制できないおそれがある。
ガラス基板10の成膜面11と遮蔽部30との間隔d4は2〜5mmがより好ましい。
成膜面遮蔽長lが1mm未満だと、成膜面11の外縁部への成膜を最小限に抑えられず、ガラス基板10の側面への膜材料の付着を抑制できないおそれがある。また、成膜面の外縁部に面取り部やノッチマークが設けられている場合、面取り部やノッチマークへの成膜を抑制できないおそれがある。
成膜面遮蔽長lが9mm超だと、製造後のEUVマスクブランクにおいて、レジスト膜が形成される領域付近まで遮蔽部30で覆われるため、ガラス基板10の成膜面11上への反射層および吸収層の成膜に影響を及ぼし、製造されるEUVマスクブランクの特性、例えば、EUV光線反射率の低下、EUV反射率分布の不均質化等を引き起こすおそれがある。
成膜面遮蔽長lは3〜7mmがより好ましく、4〜6mmがさらに好ましい。
特許文献3に記載の方法では、基板のうち、面取り部を主として遮蔽するために、遮蔽板の下面が面取り部の上面(面取り面)と平行になっているが、このような形状の遮蔽板を使用した場合、遮蔽板と重なる面取り部の面積は非常に小さいため、ガラス基板10の成膜面11と遮蔽部30との間隔d4が上述した条件を満たすような位置制御が困難になる。
これに対し、ガラス基板10の成膜面11と、該成膜面11と対向する遮蔽部30の面と、が平行である場合は、上記のような問題を生じるおそれがない。
また、図1に示す成膜時の位置と、図2に示す搬出入時の位置と、の間で、遮蔽部30を上下方向に移動する際においても、遮蔽部30が形状変化すると、遮蔽部30に付着した膜材料が剥離する原因となることからも望ましくない。
これらの理由から、遮蔽部30として用いられる材料は、剛性が高く、熱膨張係数が小さい金属材料で作製されていることが好ましい。
また、使用する遮蔽部30として用いられる材料は、取扱い性の観点から軽量であることが望ましい。
また、使用する遮蔽部30として用いられる材料は、該遮蔽部30に付着した膜材料が剥離しにくくするために、例えば溶射やブラスト処理などにより、表面粗さ加工ができるような材料が望ましい。
これらの理由から、遮蔽部30として用いられる材料は、5000番台のアルミニウム、チタン、ステンレス等の金属材料や、これらの金属を含む合金材料で作製されていることが好ましい。これらの中でも、アルミニウムやステンレスが安価であることから、より好ましい。
具体的には、22℃における熱膨張係数が0±0.1×10-7/℃が好ましく、より好ましくは0±0.05×10-7/℃、さらに好ましくは0±0.03×10-7/℃)である。このため、EUVマスクブランク用のガラス基板には、低熱膨張係数を有するガラス、例えばSiO2−TiO2系ガラスや、β石英固溶体を析出した結晶化ガラスや石英ガラス等が用いられる。
また、EUVマスクブランク用のガラス基板は、平滑性および平坦度に優れることが要求される。具体的には、表面粗さ(rms)が0.15nm以下の平滑な表面と100nm以下の平坦度を有していることがパターン形成後のフォトマスクにおいて高反射率および高転写精度が得られるために好ましい。
また、EUVマスクブランク用のガラス基板は、マスクブランクまたはパターン形成後のフォトマスクの洗浄等に用いる洗浄液への耐性に優れることが要求される。
EUVマスクブランク用のガラス基板の大きさや厚さなどはマスクの設計値等により適宜決定される。
上記の特性を達成するため、EUV光の吸収係数が高い材料で構成されることが好ましく、タンタル(Ta)を主成分とする材料で形成されていることが好ましい。
このような吸収層としては、Ta、B、Siおよび窒素(N)を以下に述べる比率で含有するもの(TaBSiN膜)が挙げられる。
Bの含有率 1at%以上5at%未満、好ましくは1〜4.5at%、より好ましくは1.5〜4at%
Siの含有率 1〜25at%、好ましくは1〜20at%、より好ましくは2〜12at%
TaとNとの組成比(Ta:N) 8:1〜1:1
Taの含有率 好ましくは50〜90at%、より好ましくは60〜80at%
Nの含有率 好ましくは5〜30at%、より好ましくは10〜25at%
上記組成の吸収層は、表面粗さが0.5nm rms以下である。吸収層表面の表面粗さが大きいと、吸収層に形成されるパターンのエッジラフネスが大きくなり、パターンの寸法精度が悪くなる。パターンが微細になるに従いエッジラフネスの影響が顕著になるため、吸収層表面は平滑であることが要求される。
吸収層表面の表面粗さが0.5nm rms以下であれば、吸収層表面が十分平滑であるため、エッジラフネスの影響によってパターンの寸法精度が悪化するおそれがない。吸収層表面の表面粗さは0.4nm rms以下がより好ましく、0.3nm rms以下がさらに好ましい。
エッチング選択比
=(吸収層のエッチング速度)/(反射層(反射層上にバッファ層が形成されている場合はバッファ層)のエッチング速度)
エッチング選択比は、10以上が好ましく、11以上が好ましく、12以上がさらにより好ましい。
(1)Taターゲット、BターゲットおよびSiターゲットを使用し、Arで希釈した窒素(N2)雰囲気中でこれらの個々のターゲットを同時に放電させることによって吸収層を成膜する。
(2)TaB化合物ターゲットおよびSiターゲットを用いて、これらのターゲットをArで希釈したN2雰囲気中で同時放電させて吸収層を成膜する。
(3)TaBSi化合物ターゲットを用いて、この3元素が一体化されたターゲットをArで希釈したN2雰囲気中で放電させて吸収層を成膜する。
なお、上述した方法のうち、2以上のターゲットを同時に放電させる方法((1)、(2))では、各ターゲットの投入電力を調節して、成膜する吸収層の組成を制御できる。
上記の中でも(2)および(3)の方法が、放電の不安定化や膜の組成や膜厚のばらつきを回避できる点で好ましく、(3)の方法が特に好ましい。TaBSi化合物ターゲットは、その組成がTa=50〜94at%、Si=5〜30at%、B=1〜20at%であることが、放電の不安定化や膜の組成や膜厚のばらつきを回避できる点で特に好ましい。
TaB化合物ターゲットおよびSiターゲットを使用する方法(2)
スパッタガス:ArとN2の混合ガス(N2ガス濃度3〜80vol%、好ましくは5〜30vol%、より好ましくは8〜15vol%。ガス圧1.0×10-1Pa〜10×10-1Pa、好ましくは1.0×10-1Pa〜5×10-1Pa、より好ましくは1.0×10-1Pa〜3×10-1Pa。)
投入電力(各ターゲットについて):30〜1000W、好ましくは50〜750W、より好ましくは80〜500W
成膜速度:2.0〜60nm/sec、好ましくは3.5〜45nm/sec、より好ましくは5〜30nm/sec
TaBSi化合物ターゲットを使用する方法(3)
スパッタガス:ArとN2の混合ガス(N2ガス濃度3〜80vol%、好ましくは5〜30vol%、より好ましくは8〜15vol%。ガス圧1.0×10-1Pa〜10×10-1Pa、好ましくは1.0×10-1Pa〜5×10-1Pa、より好ましくは1.0×10-1Pa〜3×10-1Pa)
投入電力:30〜1000W、好ましくは50〜750W、より好ましくは80〜500W
成膜速度:2.0〜60nm/sec、好ましくは3.5〜45nm/sec、より好ましくは5〜30nm/sec
また、バッファ層中には、TaおよびCrを含まないことが、膜応力が大きくなるのを防ぐという理由で好ましい。保護層中のTa、Crの含有率は、それぞれ5at%以下、特に3at%以下が好ましく、さらにはTaおよびCrを含まないことが好ましい。
バッファ層の厚さは1〜60nm、特に1〜10nmが好ましい。
吸収層上に検査光の波長域における低反射層を成膜することにより、検査時のコントラストが良好となる、別の言い方をすると、検査光の波長域における光線反射率が極めて低くなる。このような目的で形成する低反射層は、該低反射層表面に検査光の波長域の光線を照射した際に、該検査光の波長域における最大光線反射率が、15%以下が好ましく、10%以下がより好ましく、5%以下がさらに好ましい。
検査光の波長域における最大光線反射率が15%以下であれば、該検査時のコントラストが良好である。具体的には、反射層表面(または反射層上に成膜したバッファ層表面)での反射光(検査光の波長域における反射光)と、低反射層表面での反射光(検査光の波長域における反射光)と、のコントラストが、40%以上となる。
コントラスト(%)=((R2−R1)/(R2+R1))×100
ここで、R2は反射層表面(または反射層上に成膜したバッファ層表面)での反射率(検査光の波長における反射率)であり、R1は低反射層表面での反射率(検査光の波長における反射率)である。
本発明において、上記式で表されるコントラストは、45%以上がより好ましく、60%以上がさらに好ましく、80%以上が特に好ましい。
このような低反射層の具体例としては、Ta、B、Siおよび酸素(O)を以下に述べる比率で含有するもの(低反射層(TaBSiO))が挙げられる。
Bの含有率 1at%以上5at%未満、好ましくは1〜4.5at%、より好ましくは1.5〜4at%
Siの含有率 1〜25at%、好ましくは1〜20at%、より好ましくは2〜10at%
TaとOとの組成比(Ta:O) 7:2〜1:2、好ましくは7:2〜1:1、より好ましくは2:1〜1:1
Bの含有率 1at%以上5at%未満、好ましくは1〜4.5at%、より好ましくは2〜4.0at%
Siの含有率 1〜25at%、好ましくは1〜20at%、より好ましくは2〜10at%
TaとO及びNの組成比(Ta:(O+N)) 7:2〜1:2、好ましくは7:2〜1:1、より好ましくは2:1〜1:1
上記したように、エッジラフネスの影響によってパターンの寸法精度の悪化が防止するため、吸収層表面は平滑であることが要求される。低反射層は、吸収層上に形成されるため、同様の理由から、その表面は平滑であることが要求される。
低反射層表面の表面粗さが0.5nm rms以下であれば、低反射層表面が十分平滑であるため、エッジラフネスの影響によってパターンの寸法精度が悪化するおそれがない。低反射層表面の表面粗さは0.4nm rms以下がより好ましく、0.3nm rms以下がさらに好ましい。
(1)Taターゲット、BターゲットおよびSiターゲットを使用し、アルゴン(Ar)で希釈した酸素(O2)雰囲気中でこれらの個々のターゲットを同時に放電させて低反射層(TaBSiO)を成膜する。
(2)TaB化合物ターゲットおよびSiターゲットを用いて、これらのターゲットをアルゴンで希釈した酸素雰囲気中で同時放電させて低反射層(TaBSiO)を成膜する。
(3)TaBSi化合物ターゲットを用いて、この3元素が一体化されたターゲットをアルゴンで希釈した酸素雰囲気中で放電させて低反射層(TaBSiO)を成膜する。
なお、上述した方法のうち、2以上のターゲットを同時に放電させる方法((1)、(2))では、各ターゲットの投入電力を調節することによって、成膜する低反射層(TaBSiO)の組成を制御できる。
上記の中でも(2)および(3)の方法が、放電の不安定化や膜の組成や膜厚のばらつきを回避できる点で好ましく、(3)の方法が特に好ましい。TaBSi化合物ターゲットは、その組成がTa=50〜94at%、Si=5〜30at%、B=1〜20at%であることが、放電の不安定化や膜の組成や膜厚のばらつきを回避できる点で特に好ましい。
低反射層(TaBSiON)を成膜する場合、アルゴンで希釈した酸素雰囲気の代わりにアルゴンで希釈した酸素・窒素混合ガス雰囲気で、上記と同様の手順を実施すればよい。
TaB化合物ターゲットおよびSiターゲットを使用する方法(2)
スパッタガス:ArとO2の混合ガス(O2ガス濃度3〜80vol%、好ましくは5〜30vol%、より好ましくは8〜15vol%。ガス圧1.0×10-1Pa〜10×10-1Pa、好ましくは1.0×10-1Pa〜5×10-1Pa、より好ましくは1.0×10-1Pa〜3×10-1Pa。)
投入電力(各ターゲットについて):30〜1000W、好ましくは50〜750W、より好ましくは80〜500W
成膜速度:2.0〜60nm/sec、好ましくは3.5〜45nm/sec、より好ましくは5〜30nm/sec
TaBSi化合物ターゲットを使用する方法(3)
スパッタガス:ArとO2の混合ガス(O2ガス濃度3〜80vol%、好ましくは5〜30vol%、より好ましくは8〜15vol%。ガス圧1.0×10-1Pa〜10×10-1Pa、好ましくは1.0×10-1Pa〜5×10-1Pa、より好ましくは1.0×10-1Pa〜3×10-1Pa。)
投入電力:30〜1000W、好ましくは50〜750W、より好ましくは80〜500W
成膜速度:2.0〜50nm/sec、好ましくは2.5〜35nm/sec、より好ましくは5〜25nm/sec
TaB化合物ターゲットおよびSiターゲットを使用する方法(2)
スパッタガス:ArとO2とN2の混合ガス(O2ガス濃度5〜30体積%、N2ガス濃度5〜30体積%、好ましくはO2ガス濃度6〜25体積%、N2ガス濃度6〜25体積%、より好ましくはO2ガス濃度10〜20体積%、N2ガス濃度15〜25体積%。ガス圧1.0×10-2Pa〜10×10-2Pa、好ましくは1.0×10-2Pa〜5×10-2Pa、より好ましくは1.0×10-2Pa〜3×10-2Pa。)
投入電力(各ターゲットについて):30〜1000W、好ましくは50〜750W、より好ましくは80〜500W
成膜速度:2.0〜50nm/sec、好ましくは2.5〜35nm/sec、より好ましくは5〜25nm/sec
TaBSi化合物ターゲットを使用する方法(3)
スパッタガス:ArとO2とN2の混合ガス(O2ガス濃度5〜30体積%、N2ガス濃度5〜30体積%、好ましくはO2ガス濃度6〜25体積%、N2ガス濃度6〜25体積%、より好ましくはO2ガス濃度10〜20体積%、N2ガス濃度15〜25体積%。ガス圧1.0×10-2Pa〜10×10-2Pa、好ましくは1.0×10-2Pa〜5×10-2Pa、より好ましくは1.0×10-2Pa〜3×10-2Pa。)
投入電力:30〜1000W、好ましくは50〜750W、より好ましくは80〜500W
成膜速度:2.0〜50nm/sec、好ましくは2.5〜35nm/sec、より好ましくは5〜25nm/sec
導電膜の厚さは、例えば10〜1000nmとすることができる。
導電膜は、公知の成膜方法、例えば、マグネトロンスパッタリング法、イオンビームスパッタリング法といったスパッタリング法、CVD法、真空蒸着法、電解メッキ法を用いて形成できる。
EUVL用反射層付基板は、上述した構成のEUVマスクブランクの吸収層を成膜する前の状態に相当し、ガラス基板の成膜面上に少なくとも反射層を成膜したものである。本発明におけるEUVL用反射層付基板には、ガラス基板の成膜面上に反射層のみを成膜したものに加えて、該反射層としての多層反射膜の最上層をキャップ層としたものや、該反射層上にバッファ層を成膜したものも含まれる。また、ガラス基板の裏面側に導電膜を形成したものも含まれる。
上述したように、本発明のEUVL用反射層付基板の製造方法では、上述した所定の基板保持部、遮蔽部および搬出入用のアームを有するスパッタリング装置を用いて、ガラス基板の成膜面上に反射層を少なくとも成膜する。本発明のEUVL用反射層付基板の製造方法の場合、搬出入用のアームは、ガラス基板の搬入、または製造後のEUVL用反射層付基板の搬出に用いられる。本発明のEUVL用反射層付基板の製造方法の場合、図2に示す搬出入時の位置において、搬出入用の開口部の上端が、ガラス基板の上端または製造後の反射層付基板の上端よりも上方に位置している。
また、後述する本発明のEUVマスクブランクによる効果の記載中、製造後のEUVマスクブランクと記載されている個所は、製造後のEUVL用反射層付基板と読み替える。
ガラス基板10の搬入時あるいは製造後のEUVマスクブランクの搬出時において、ガラス基板10あるいは製造後のEUVマスクブランクが搬出入用の開口部32に接触したり、該開口部32周辺に付着した膜材料がガラス基板10あるいは製造後のEUVマスクブランクに付着することが防止されている。
また、成膜時において、搬出入用の開口部32から侵入した膜材料が基板保持部20に保持されるガラス基板10や基板保持部20の基板保持面やその周辺に付着することを抑制できる。
基板保持部20の基板保持面やその周辺へ膜材料が付着した場合、該基板保持部20によって保持されるガラス基板に転写されるおそれがある。特に、同一の基板保持部20を用いて、EUVマスクブランクを複数製造する場合は、EUVマスクブランクの製造過程で該基板保持部20に蓄積された膜材料がガラス基板に転写されるおそれがあるので問題となる。本発明のEUVマスクブランクの製造方法によれば、このような問題が解消される。
本発明のEUVマスクブランクの製造方法によれば、成膜時のガラス基板側面への膜材料の付着を抑制できるので、製造されるEUVマスクブランクにおいて、ガラス基板の両方の面に形成された膜間での導通を防止できる。ガラス基板の両方の面に形成された膜間で導通が生じていないことは、ガラス基板側面のシート抵抗値を測定することで確認できる。本発明の方法により製造されるEUVマスクブランクは、ガラス基板側面のシート抵抗値が、ガラス基板側面の全ての部位において、100MΩ/□以上が好ましく、300MΩ/□以上より好ましく、500MΩ/□以上がさらに好ましい。
ガラス基板側面のシート抵抗値は、例えば市販の4探針測定器を用いて測定できる。
膜材料の付着によって、ガラス基板側面の吸光度が増加すると、ガラス基板側面から光学的に基板を検知する自動搬送機構において、ガラス基板の検知が妨げられることがしばしばあるので問題である。
本発明の方法により製造されるEUVマスクブランクは、下記手順で測定されるマスクブランクの製造前後でのガラス基板側面の吸光度増加量が350nm〜800nmにわたり0.5以下が好ましく、0.45以下がより好ましく、0.4以下がさらに好ましい。
吸光度の測定方法
EUVマスクブランクを所定の寸法に切断し、市販の分光光度計に、基板側面部分が表面になるようにセットし、350〜800nmの反射率を測定して吸光度を計算する。
本発明の方法により製造されるEUVマスクブランクは、市販の欠陥検査装置にて70nm以上の欠陥数を、検査領域142mm角として測定した場合に、70nm以上の欠陥数は、30個以下が好ましく、10個以下がより好ましく、5個以下がさらに好ましい。
実施例1では、ガラス基板10に対して、図1〜3に示す位置関係となる基板保持部20、遮蔽部30、および、搬出入用のアーム40を有するスパッタリング装置を用いて、以下の手順を実施してEUVL用反射層付基板を得た。
ガラス基板10は、主成分をSiO2としたゼロ膨張ガラスであり、22℃における熱膨張係数が0/℃である。ガラス基板10の寸法は、152mm角であり(L=152mm)、厚さt1=6.35mmである。
基板保持部20は、静電チャック機構を有しており、該静電チャック機構により、ガラス基板10は裏面12の側を吸着保持した。なお、ガラス基板10の裏面12の側には、導電膜として、シート抵抗率90Ω/□、厚さ70nmの窒化クロム(CrN)膜が形成されている。
遮蔽部30は、5000番台のアルミニウム合金製であり、ガラス基板10または基板保持部20との位置関係は以下のとおりであった。
成膜時の位置(図1)
搬出入用の開口部32の上端と、基板保持部20の上端と、の距離d2:3mm
遮蔽部30と、ガラス基板10の側面と、の距離d3:2mm
ガラス基板10の成膜面11と、遮蔽部材30と、の間隔d4:2mm
成膜面遮蔽長l:2mm
搬出入時の位置(図2)
遮蔽部30の下端と、基板保持部20の上端と、の距離d1:6.5mm
搬出入用の開口部32
長さ:156mm
幅w:20mm(ガラス基板の厚さt1とアームの厚さt2との合計は17mm)
搬出入用のアーム40
厚さt2:3.5mm
Mo膜およびSi膜の成膜条件は以下のとおりである。
Mo膜の成膜条件
ターゲット:Moターゲット
スパッタガス:Arガス(ガス圧0.02Pa)
電圧:700V
成膜速度:0.064nm/sec
膜厚:2.3nm
Si膜の成膜条件
ターゲット:Siターゲット(ホウ素ドープ)
スパッタガス:Arガス(ガス圧0.02Pa)
電圧:700V
成膜速度:0.077nm/sec
膜厚:4.5nm
成膜時の位置(図1)における搬出入用の開口部32の上端と、基板保持部20の上端と、の距離d2を0.5mmとし、搬出入時の位置(図2)における遮蔽部30の下端と、基板保持部20の上端と、の距離d1を4mmとした以外は実施例1と同様の手順を実施した。
100枚の反射層付基板を製造した後、基板保持部20への成膜材料の付着をレーザ反射センサによる反射率の変化により確認した結果、基板保持部20の上端よりも下方にのみ成膜材料が付着していることが確認された。また、当該成膜材料が付着した部位からの膜剥がれの有無を目視により確認したが、膜剥がれが認められなかった。また、製造後の反射層付基板の搬出時において、開口部32への反射層付基板の接触の有無を目視により確認したが、開口部32への反射層付基板の接触は認められなかった。
搬出入用の開口部32の幅wを18mm(ガラス基板の厚さt1とアームの厚さt2との合計は17mm)とした以外、実施例1と同様の手順を実施した。
100枚の反射層付基板を製造した後、基板保持部20への成膜材料の付着をレーザ反射センサによる反射率の変化により確認した結果、基板保持部20の上端よりも下方にのみ成膜材料が付着していることが確認された。成膜材料が付着している部位の範囲は基板保持部20の高さ方向において、実施例1よりも2mm狭かった。また、当該成膜材料が付着した部位からの膜剥がれの有無を目視により確認したが、膜剥がれが認められなかった。また、製造後の反射層付基板の搬出時において、開口部32への反射層付基板の接触の有無を目視により確認したが、開口部32への反射層付基板の接触は認められなかった。
搬出入用の開口部32の幅wを25.5mm(ガラス基板の厚さt1とアームの厚さt2との合計は17mm)とした以外、実施例1と同様の手順を実施した。
100枚の反射層付基板を製造した後、基板保持部20への成膜材料の付着をレーザ反射センサによる反射率の変化により確認した結果、基板保持部20の上端から2.5mm以上下方にのみ成膜材料が付着していることが確認された。成膜材料が付着している部位の範囲は基板保持部20の高さ方向において、実施例1よりも約1.5倍広かった。また、当該成膜材料が付着した部位からの膜剥がれの有無を目視により確認したが、膜剥がれが認められなかった。また、製造後の反射層付基板の搬出時において、開口部32への反射層付基板の接触の有無を目視により確認したが、開口部32への反射層付基板の接触は認められなかった。
成膜時の位置(図1)における搬出入用の開口部32の上端と、基板保持部20の上端と、の距離d2を0mmとし、搬出入時の位置(図2)における遮蔽部30の下端と、基板保持部20の上端と、の距離d1を3.5mmとした以外は実施例1と同様の手順を実施した。
100枚の反射層付基板を製造した後、基板保持部20への成膜材料の付着をレーザ反射センサによる反射率の変化により確認した結果、基板保持面を含んだ基板保持部20の上端にも成膜材料が付着していることが確認された。また、当該成膜材料が付着した部位からの膜剥がれの有無を目視により確認したが、膜剥がれが認められた。製造後の反射層付基板を目視により確認したところ、膜剥がれにより生じた異物の一部が該反射層付基板に転写されていることが確認された。また、製造後の反射層付基板の搬出時において、開口部32への反射層付基板の接触の有無を目視により確認したが、開口部32への反射層付基板の接触は認められなかった。
搬出入用の開口部32の幅wを17.5mm(ガラス基板の厚さt1とアームの厚さt2との合計は17mm)とした以外、実施例1と同様の手順を実施した。
100枚の反射層付基板を製造した後、基板保持部20への成膜材料の付着をレーザ反射センサによる反射率の変化により確認した結果、基板保持部20の上端よりも下方にのみ成膜材料が付着していることが確認された。成膜材料が付着している部位の範囲は基板保持部20の高さ方向において、実施例1と同程度であった。また、当該成膜材料が付着した部位からの膜剥がれの有無を目視により確認したが、膜剥がれが認められなかった。また、製造後の反射層付基板の搬出時において、開口部32への反射層付基板の接触の有無を目視により確認したところ、開口部32への反射層付基板の接触が認められ、反射層付基板にキズが生じた。
搬出入用の開口部32の幅wを34mm(ガラス基板の厚さt1とアームの厚さt2との合計は17mm)とした以外、実施例1と同様の手順を実施した。
100枚の反射層付基板を製造した後、基板保持部20への成膜材料の付着をレーザ反射センサによる反射率の変化により確認した結果、基板保持部20の広い範囲に成膜材料が多く付着していることが確認された。また、当該成膜材料が付着した部位からの膜剥がれの有無を目視により確認したところ、70枚を処理するまでは膜剥がれが認められなかったが、100枚目の時点では膜剥がれが認められた。また、製造後の反射層付基板の搬出時において、開口部32への反射層付基板の接触の有無を目視により確認したが、開口部32への反射層付基板の接触は認められなかった。
11:成膜面
12:裏面
20:基板保持部
30:遮蔽部
31:開口部(成膜用)
32:開口部(搬出入用)
40:搬出入用のアーム
Claims (22)
- スパッタリング法により、ガラス基板上に、EUV光を反射する反射層を少なくとも成膜するEUVリソグラフィ(EUVL)用反射層付基板の製造方法であって、
前記ガラス基板の裏面側を保持する基板保持部と、前記ガラス基板の側面全周、前記基板保持部の側面全周のうち、該基板保持部の上端を含めた高さ方向における少なくとも一部、および、前記ガラス基板の成膜面の外縁部を覆うことができ、かつ、下記(1)〜(7)を満たす遮蔽部と、ガラス基板または製造後のEUVL用反射層付基板の搬出入用のアームと、を有するスパッタリング装置を用いて、前記ガラス基板上に前記反射層を少なくとも成膜するEUVL用反射層付基板の製造方法。
(1)前記遮蔽部は、ガラス基板またはEUVL用反射層付基板の搬出入用の開口部を、前記ガラス基板の側面と対向する側の面に有する。
(2)前記遮蔽部は、搬出入時の位置と、成膜時の位置と、の間を、上下方向に移動可能である。
(3)前記搬出入時の位置において、前記遮蔽部の下端が前記基板保持部の上端よりも下方に位置する。
(4)前記遮蔽部は、前記成膜時の位置において、前記搬出入用の開口部の上端が前記基板保持部の上端よりも下方に位置する。
(5)前記遮蔽部は、前記搬出入時の位置において、前記搬出入用の開口部の上端が、前記ガラス基板の上端または製造後のEUVL用反射層付基板の上端よりも上方に位置し、前記搬出入用の開口部の下端が、前記搬出入用のアームの下端よりも下方に位置する。
(6)前記遮蔽部は、前記搬出入用の開口部の長さが、前記ガラス基板の長さよりも0.5mm以上長い。
(7)前記遮蔽部は、前記搬出入用の開口部の幅が、前記ガラス基板および前記搬出入用のアームの厚さの和よりも0.5mm以上大きい。 - 前記搬出入用の開口部の長さが、前記ガラス基板の長さ+5mm以下である、請求項1に記載のEUVL用反射層付基板の製造方法。
- 前記搬出入用の開口部の幅が、前記ガラス基板および前記搬出入用のアームの厚さの和+10mm以下である、請求項1または2に記載のEUVL用反射層付基板の製造方法。
- 前記搬出入用の開口部が開閉可能なシャッター機構を有する、請求項1〜3のいずれかに記載のEUVL用反射層付基板の製造方法。
- 前記成膜時の位置における前記搬出入用の開口部の上端が、前記基板保持部の上端よりも0.5mm以上下方に位置する請求項1〜4のいずれかに記載のEUVL用反射膜付基板の製造方法。
- 前記成膜時の位置における前記遮蔽部と、前記ガラス基板の側面と、の距離が1〜10mmである、請求項1〜5のいずれかに記載のEUVL用反射層付基板の製造方法。
- 前記成膜時の位置において、前記遮蔽部で覆われる前記ガラス基板の成膜面の外縁部の長さが1〜9mmである、請求項1〜6のいずれかに記載のEUVL用反射層付基板の製造方法。
- 前記成膜時の位置において、前記遮蔽部と、前記ガラス基板の成膜面と、の間隔が1〜8mmである、請求項1〜7のいずれかに記載のEUVL用反射層付基板の製造方法。
- 前記基板保持部が、静電チャック機構を有する、請求項1〜8のいずれかに記載のEUVL用反射層付基板の製造方法。
- 製造されるEUVL用反射層付基板において、前記ガラス基板側面のシート抵抗値が前記ガラス基板側面の全ての部位において100MΩ/□以上である請求項1〜9のいずれかに記載のEUVL用反射層付基板の製造方法。
- 製造されるEUVL用反射層付基板において、EUVL用反射層付基板の製造前後での前記ガラス基板側面の吸光度増加量が350nm〜800nmにわたり0.5以下である請求項1〜10のいずれかに記載のEUVL用反射層付基板の製造方法。
- スパッタリング法により、ガラス基板上に、EUV光を反射する反射層、および、EUV光を吸収する吸収層を少なくともこの順に成膜するEUVリソグラフィ(EUVL)用反射型マスクブランクの製造方法であって、
前記ガラス基板の裏面側を保持する基板保持部と、前記ガラス基板の側面全周、前記基板保持部の側面全周のうち、該基板保持部の上端を含めた高さ方向における少なくとも一部、および、前記ガラス基板の成膜面の外縁部を覆うことができ、かつ、下記(1)〜(7)を満たす遮蔽部と、ガラス基板または製造後のEUVL用反射型マスクブランクの搬出入用のアームと、を有するスパッタリング装置を用いて、前記ガラス基板上に前記反射層および前記吸収層を少なくともこの順に成膜するEUVL用反射型マスクブランクの製造方法。
(1)前記遮蔽部は、ガラス基板またはEUVL用反射型マスクブランクの搬出入用の開口部を、前記ガラス基板の側面と対向する側の面に有する。
(2)前記遮蔽部は、搬出入時の位置と、成膜時の位置と、の間を、上下方向に移動可能である。
(3)前記搬出入時の位置において、前記遮蔽部の下端が前記基板保持部の上端よりも下方に位置する。
(4)前記遮蔽部は、前記成膜時の位置において、前記搬出入用の開口部の上端が前記基板保持部の上端よりも下方に位置する。
(5)前記遮蔽部は、前記搬出入時の位置において、前記搬出入用の開口部の上端が、前記ガラス基板の上端または製造後のEUVL用反射型マスクブランクの上端よりも上方に位置し、前記搬出入用の開口部の下端が、前記搬出入用のアームの下端よりも下方に位置する。
(6)前記遮蔽部は、前記搬出入用の開口部の長さが、前記ガラス基板の長さよりも0.5mm以上長い。
(7)前記遮蔽部は、前記搬出入用の開口部の幅が、前記ガラス基板および前記搬出入用のアームの厚さの和よりも0.5mm以上大きい。 - 前記搬出入用の開口部の長さが、前記ガラス基板の長さ+5mm以下である、請求項12に記載のEUVL用反射型マスクブランクの製造方法。
- 前記搬出入用の開口部の幅が、前記ガラス基板および前記搬出入用のアームの厚さの和+10mm以下である、請求項12または13に記載のEUVL用反射型マスクブランクの製造方法。
- 前記搬出入用の開口部が開閉可能なシャッター機構を有する、請求項12〜14のいずれかに記載のEUVL用反射型マスクブランクの製造方法。
- 前記成膜時の位置における前記搬出入用の開口部の上端が、前記基板保持部の上端よりも0.5mm以上下方に位置する請求項12〜15のいずれかに記載のEUVL用反射型マスクブランクの製造方法。
- 前記成膜時の位置における前記遮蔽部と、前記ガラス基板の側面と、の距離が1〜10mmである、請求項12〜16のいずれかに記載のEUVL用反射型マスクブランクの製造方法。
- 前記成膜時の位置において、前記遮蔽部で覆われる前記ガラス基板の成膜面の外縁部の長さが1〜9mmである、請求項12〜17のいずれかに記載のEUVL用反射型マスクブランクの製造方法。
- 前記成膜時の位置において、前記遮蔽部と、前記ガラス基板の成膜面と、の間隔が1〜8mmである、請求項12〜18のいずれかに記載のEUVL用反射型マスクブランクの製造方法。
- 前記基板保持部が、静電チャック機構を有する、請求項12〜19のいずれかに記載のEUVL用反射型マスクブランクの製造方法。
- 製造されるEUVL用反射型マスクブランクにおいて、前記ガラス基板側面のシート抵抗値が前記ガラス基板側面の全ての部位において100MΩ/□以上である請求項12〜20のいずれかに記載のEUVL用反射型マスクブランクの製造方法。
- 製造されるEUVL用反射型マスクブランクにおいて、マスクブランクの製造前後での前記ガラス基板側面の吸光度増加量が350nm〜800nmにわたり0.5以下である請求項12〜21のいずれかに記載のEUVL用反射型マスクブランクの製造方法。
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