JP5772170B2 - Capacitive load drive circuit and fluid ejection device - Google Patents

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Description

本発明は、駆動信号を出力することによって電気的な負荷を駆動する技術に関する。   The present invention relates to a technique for driving an electrical load by outputting a drive signal.

いわゆるD級増幅器では、電源とグランドとの間で、二つのMOSFETをプッシュ・
プル接続しておき、二つのMOSFETの間の電圧を引き出して平滑フィルターに入力し
た後、駆動信号として外部に出力する技術が用いられている。電源側のMOSFETをO
N(導通状態)として、グランド側のMOSFETをOFF(切断状態)とすれば、平滑
フィルターには電源の電圧が入力され、逆に、電源側のMOSFETをOFFとして、グ
ランド側のMOSFETをONとすれば、平滑フィルターにはグランドの電圧が入力され
る。従って、出力しようとする駆動信号の基準となる駆動波形信号をパルス変調して、得
られた変調信号に基づいて二つのMOSFETを駆動すれば、変調信号を電力増幅した電
力増幅変調信号を生成することができる。そして、この電力増幅変調信号を平滑フィルタ
ーで平滑化することで、駆動波形信号に対応する駆動信号を出力することができる。また
、この技術を利用して容量成分を有する電気負荷(容量性負荷)を駆動する技術も提案さ
れている(特許文献1)。
So-called class D amplifiers push two MOSFETs between the power supply and ground.
A technique is used in which a pull connection is made, a voltage between two MOSFETs is extracted and input to a smoothing filter, and then output to the outside as a drive signal. Power supply side MOSFET is O
If the ground side MOSFET is turned off (disconnected state) as N (conducting state), the power supply voltage is input to the smoothing filter. Conversely, the power supply side MOSFET is turned off and the ground side MOSFET is turned on. Then, the ground voltage is input to the smoothing filter. Therefore, if a drive waveform signal serving as a reference of a drive signal to be output is pulse-modulated and two MOSFETs are driven based on the obtained modulation signal, a power amplification modulation signal obtained by power amplification of the modulation signal is generated. be able to. Then, by smoothing the power amplification modulation signal with a smoothing filter, a drive signal corresponding to the drive waveform signal can be output. In addition, a technique for driving an electric load having a capacitive component (capacitive load) using this technique has been proposed (Patent Document 1).

ここで、MOSFETには、PchMOSFETと、NchMOSFETとが存在する
が、D級増幅器にはNchMOSFETが使用される。これは、電力損失が少ないという
D級増幅器の特長を活かす観点からは、導通状態での抵抗(オン抵抗)の少ないNchM
OSFETの方が、オン抵抗の大きいPchMOSFETよりも適しているためである。
Here, although PchMOSFET and NchMOSFET exist in MOSFET, NchMOSFET is used for a class D amplifier. This is because NchM has low resistance (ON resistance) in the conductive state from the viewpoint of taking advantage of the class D amplifier that power loss is small.
This is because OSFET is more suitable than PchMOSFET having a large on-resistance.

特開2007−96364号公報JP 2007-96364 A

しかし、NchMOSFETを用いてD級増幅器を構成した場合、電源側のMOSFE
Tが稀にしかOFFにならない状態が継続すると、MOSFETをONの状態にすること
ができなくなり、その結果、D級増幅器が正常に動作しなくなって、駆動信号を出力する
ことができなくなるという問題があった。
However, when a class D amplifier is configured using an Nch MOSFET, the MOSFE on the power supply side
If the state where T is rarely turned off continues, the MOSFET cannot be turned on, and as a result, the class D amplifier does not operate normally and cannot output a drive signal. was there.

この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになさ
れたものであり、電源側のMOSFETが稀にしかOFFにならない状態が継続しても、
D級増幅器を正常に動作させて、駆動信号を出力することが可能な技術の提供を目的とす
る。
The present invention has been made to solve at least a part of the above-described problems of the prior art, and even if the state where the MOSFET on the power supply side is turned off rarely continues,
An object of the present invention is to provide a technique capable of operating a class D amplifier normally and outputting a drive signal.

上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の容量性負荷駆動回路は次の
構成を採用した。すなわち、
駆動波形信号を発生する駆動波形信号発生回路と、
前記駆動波形信号をパルス変調して変調信号を生成する変調回路と、
前記変調信号を電力増幅して電力増幅変調信号を生成するデジタル電力増幅器と、
前記電力増幅変調信号を平滑化することによって駆動信号を生成する平滑フィルターと
を備え、
前記デジタル電力増幅器は、
第1の電圧発生源と、
前記第1の電圧発生源と直列接続される第1のスイッチと、
前記第1のスイッチと直列接続される第2のスイッチと、
前記第2のスイッチと直列接続され、前記第1の電圧発生源が発生させる電圧よりも
低い電圧を発生させる第2の電圧発生源と、
前記変調信号に基づいて前記第1および第2のスイッチを駆動するスイッチ駆動回路

を備え、
前記スイッチ駆動回路は、前記第2のスイッチがONの期間中に電流を蓄えるブートス
トラップコンデンサーを搭載し、前記第1のスイッチをONにする場合には、該ブートス
トラップコンデンサーに蓄えられた電流を該第1のスイッチに供給することによって前記
第1のスイッチをONにしており、
前記第1のスイッチには、NチャンネルMOSFETによるスイッチと、Pチャンネル
MOSFETによるスイッチとが並列に接続されていることを要旨とする。
In order to solve at least a part of the problems described above, the capacitive load driving circuit of the present invention employs the following configuration. That is,
A drive waveform signal generating circuit for generating a drive waveform signal;
A modulation circuit that generates a modulation signal by pulse-modulating the drive waveform signal;
A digital power amplifier that amplifies the modulated signal to generate a power amplified modulated signal;
A smoothing filter that generates a drive signal by smoothing the power amplification modulation signal,
The digital power amplifier is:
A first voltage source;
A first switch connected in series with the first voltage source;
A second switch connected in series with the first switch;
A second voltage generation source connected in series with the second switch and generating a voltage lower than a voltage generated by the first voltage generation source;
A switch driving circuit for driving the first and second switches based on the modulation signal,
The switch driving circuit includes a bootstrap capacitor that stores current while the second switch is ON. When the first switch is turned ON, the current stored in the bootstrap capacitor is Supplying the first switch with the first switch ON;
A summary of the first switch is that a switch using an N-channel MOSFET and a switch using a P-channel MOSFET are connected in parallel.

こうした構成を有する本発明の容量性負荷駆動回路においては、駆動波形信号発生回路
が発生した駆動波形信号を、変調回路で変調信号に変換した後、デジタル電力増幅器で電
力増幅して電力増幅変調信号を生成する。そして、この電力増幅変調信号を平滑フィルタ
ーで平滑化することによって駆動信号を生成する。デジタル電力増幅器には、第1の電圧
発生源と、第1の電圧発生源と直列接続される第1のスイッチと、第1のスイッチと直列
接続される第2のスイッチと、第2のスイッチと直列接続されて第1の電圧発生源が発生
させる電圧よりも低い電圧を発生させる第2の電圧発生源と、変調信号に基づいて第1お
よび第2のスイッチを駆動するスイッチ駆動回路とが設けられている。また、スイッチ駆
動回路には、第2のスイッチがONの期間中に電流を蓄えるブートストラップコンデンサ
ーが搭載されている。第1のスイッチをONにする場合には、ブートストラップコンデン
サーに蓄えられた電流を第1のスイッチに供給することによって、第1のスイッチがON
にされる。そして、第1のスイッチは、NチャンネルMOSFETによるスイッチに加え
て、PチャンネルMOSFETによるスイッチが並列に接続されている。
In the capacitive load drive circuit of the present invention having such a configuration, the drive waveform signal generated by the drive waveform signal generation circuit is converted into a modulation signal by the modulation circuit, and then the power is amplified by the digital power amplifier to obtain the power amplification modulation signal. Is generated. Then, the drive signal is generated by smoothing the power amplification modulation signal with a smoothing filter. The digital power amplifier includes a first voltage generation source, a first switch connected in series with the first voltage generation source, a second switch connected in series with the first switch, and a second switch. And a switch driving circuit for driving the first and second switches based on the modulation signal, the second voltage generating source generating a voltage lower than the voltage generated by the first voltage generating source. Is provided. In addition, the switch driving circuit is equipped with a bootstrap capacitor that stores current while the second switch is ON. When the first switch is turned on, the first switch is turned on by supplying the current stored in the bootstrap capacitor to the first switch.
To be. The first switch is connected in parallel with a switch with a P-channel MOSFET in addition to a switch with an N-channel MOSFET.

このため、ブートストラップコンデンサーに十分な電流が蓄えられていないため、第1
のスイッチを構成するNチャンネルMOSFETによるスイッチをONにすることができ
ない場合でも、このNチャンネルMOSFETのスイッチには、PチャンネルMOSFE
Tによるスイッチが並列に接続されており、このPチャンネルMOSFETによるスイッ
チをONにすることができる。その結果、変調信号をデジタル電力増幅器で電力増幅する
ことが可能となり、駆動波形信号に応じた駆動信号を出力することが可能となる。また、
NチャンネルMOSFETによるスイッチと、PチャンネルMOSFETによるスイッチ
とが並列に接続されているので、合成抵抗が小さくなって、PチャンネルMOSFETの
オン抵抗がNチャンネルMOSFETに比べて大きいことが問題となることもない。
For this reason, a sufficient current is not stored in the bootstrap capacitor.
Even when the switch by the N channel MOSFET constituting the switch of the N channel cannot be turned ON, the switch of the N channel MOSFET includes the P channel MOSFE.
The switch by T is connected in parallel, and the switch by this P channel MOSFET can be turned ON. As a result, it is possible to amplify the power of the modulation signal with the digital power amplifier, and it is possible to output a drive signal corresponding to the drive waveform signal. Also,
Since the switch by the N-channel MOSFET and the switch by the P-channel MOSFET are connected in parallel, the combined resistance becomes small, and there is a problem that the on-resistance of the P-channel MOSFET is larger than that of the N-channel MOSFET. Absent.

また、上述した本発明の容量性負荷駆動回路においては、ブートストラップコンデンサ
ーに蓄えられている電圧を検出し、検出した電圧に応じて、NチャンネルMOSFETに
よるスイッチ、またはPチャンネルMOSFETによるスイッチを駆動するようにしても
よい。
In the capacitive load driving circuit of the present invention described above, the voltage stored in the bootstrap capacitor is detected, and the switch by the N-channel MOSFET or the switch by the P-channel MOSFET is driven according to the detected voltage. You may do it.

NチャンネルMOSFETによるスイッチと、PチャンネルMOSFETによるスイッ
チとを共に駆動したのでは、何れか一方を駆動する場合よりも電力を消費する。そこで、
ブートストラップコンデンサーに蓄えられている電圧を検出して、その電圧が、Nチャン
ネルMOSFETによるスイッチを駆動可能な電圧であった場合には、NチャンネルMO
SFETによるスイッチを駆動し、それ以外の場合は、PチャンネルMOSFETによる
スイッチを駆動する。こうすれば、ブートストラップコンデンサーに蓄えられている電圧
に応じて、NチャンネルMOSFETによるスイッチを駆動する場合と、PチャンネルM
OSFETによるスイッチを駆動する場合とを切り換えることができるので、スイッチを
駆動するための電力損失を抑制することが可能となる。
Driving both the N-channel MOSFET switch and the P-channel MOSFET switch consumes more power than driving either one. there,
When the voltage stored in the bootstrap capacitor is detected and the voltage is a voltage that can drive the switch by the N-channel MOSFET, the N-channel MO
The switch by SFET is driven, and the switch by P channel MOSFET is driven in other cases. In this way, the switch by the N-channel MOSFET is driven according to the voltage stored in the bootstrap capacitor, and the P-channel M
Since it is possible to switch between the case where the OSFET switch is driven, it is possible to suppress power loss for driving the switch.

また、上述した本発明の容量性負荷駆動回路においては、NチャンネルMOSFETに
よるスイッチ、またはPチャンネルMOSFETによるスイッチの何れを駆動するかを、
駆動波形信号に基づいて切り換えても良い。
In the capacitive load driving circuit of the present invention described above, which of the switch by the N channel MOSFET or the switch by the P channel MOSFET is driven,
Switching may be performed based on the drive waveform signal.

ブートストラップコンデンサーに蓄えられている電圧が不足するか否かは、駆動波形信
号に基づいて予め判断することができる。従って、NチャンネルMOSFETによるスイ
ッチを駆動する場合と、PチャンネルMOSFETによるスイッチを駆動する場合とを、
駆動波形信号に基づいて切り換えてやれば、二つのスイッチを共に駆動する必要がないの
で、スイッチを駆動するための電力損失を抑制することができる。また、ブートストラッ
プコンデンサーに蓄えられている電圧を検出する必要もないので、簡単な回路構成で実現
することが可能となる。
Whether or not the voltage stored in the bootstrap capacitor is insufficient can be determined in advance based on the drive waveform signal. Therefore, when driving a switch by an N-channel MOSFET and when driving a switch by a P-channel MOSFET,
If switching is performed based on the drive waveform signal, it is not necessary to drive the two switches together, so that it is possible to suppress power loss for driving the switches. Further, since it is not necessary to detect the voltage stored in the bootstrap capacitor, it can be realized with a simple circuit configuration.

また、上述した本発明の容量性負荷駆動回路では、変調信号のオンデューティー比が上
限付近となるような状態が継続しても、変調信号を正常に電力増幅して、駆動信号を出力
することができる。従って、上述した本発明の容量性負荷駆動回路は、以下のような流体
噴射装置に好適に適用することができる。すなわち、流体を供給する流体供給手段(供給
ポンプなど)と、流体供給手段から供給された流体が流入する流体室と、容量性負荷であ
るアクチュエーターと、流体室に流入された流体を噴射する噴射ノズルとを有する脈動発
生部とを備え、駆動信号をアクチュエーターに印加することによって、流体室内の流体を
噴射ノズルからパルス状に噴射する流体噴射装置で、駆動信号を発生する容量性負荷駆動
回路として好適に適用することができる。
Further, in the capacitive load driving circuit of the present invention described above, even when the on-duty ratio of the modulation signal continues to be close to the upper limit, the modulation signal is normally amplified to output a drive signal. Can do. Therefore, the capacitive load driving circuit of the present invention described above can be suitably applied to the following fluid ejecting apparatus. That is, a fluid supply means (such as a supply pump) that supplies fluid, a fluid chamber into which the fluid supplied from the fluid supply means flows, an actuator that is a capacitive load, and an injection that ejects the fluid that has flowed into the fluid chamber As a capacitive load driving circuit that generates a driving signal in a fluid ejecting apparatus that ejects fluid in a fluid chamber in a pulsed manner from an ejecting nozzle by applying a driving signal to an actuator. It can be suitably applied.

第1実施例の容量性負荷駆動回路を搭載した流体噴射装置の構成を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the structure of the fluid injection apparatus carrying the capacitive load drive circuit of 1st Example. 第1実施例の容量性負荷駆動回路の回路構成を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the circuit structure of the capacitive load drive circuit of 1st Example. 第1実施例のデジタル電力増幅器の詳細な構成を示した回路図である。It is the circuit diagram which showed the detailed structure of the digital power amplifier of 1st Example. 第1実施例のスイッチ駆動回路の詳細な構成を示した回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram illustrating a detailed configuration of a switch drive circuit according to a first embodiment. 電源側に接続されたNチャンネルMOSFETをスイッチ駆動回路が駆動する動作を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the operation | movement which a switch drive circuit drives N channel MOSFET connected to the power supply side. 電源側に接続されたNチャンネルMOSFETが正常に動作できなくなる条件を例示した説明図である。It is explanatory drawing which illustrated the conditions from which N channel MOSFET connected to the power supply side cannot operate | move normally. 第2実施例のスイッチ駆動回路の詳細な構成を示した回路図である。It is the circuit diagram which showed the detailed structure of the switch drive circuit of 2nd Example. 第3実施例の容量性負荷駆動回路の構成を示した回路図である。It is the circuit diagram which showed the structure of the capacitive load drive circuit of 3rd Example. 第3実施例の容量性負荷駆動回路に搭載されたスイッチ選択回路が選択信号を出力する処理を示したフローチャートである。It is the flowchart which showed the process in which the switch selection circuit mounted in the capacitive load drive circuit of 3rd Example outputs a selection signal.

以下では、上述した本願発明の内容を明確にするために、次のような順序に従って実施
例を説明する。
A.第1実施例:
A−1.全体構成:
A−2.容量性負荷駆動回路の構成:
A−3.第1実施例のデジタル電力増幅器:
A−4.第1実施例のデジタル電力増幅器の動作:
B.第2実施例:
C.第3実施例:
Hereinafter, in order to clarify the contents of the present invention described above, examples will be described in the following order.
A. First embodiment:
A-1. overall structure:
A-2. Capacitive load drive circuit configuration:
A-3. Digital power amplifier of the first embodiment:
A-4. Operation of the digital power amplifier of the first embodiment:
B. Second embodiment:
C. Third embodiment:

A.第1実施例 :
A−1.全体構成 :
図1は、第1実施例の容量性負荷駆動回路200を搭載した流体噴射装置100の構成
を示した説明図である。図示されているように流体噴射装置100は、大きく分けると、
液体を噴射するための脈動発生部110と、脈動発生部110に向けて流体を供給する流
体供給手段120(供給ポンプ)と、脈動発生部110および流体供給手段120の動作
を制御する制御部130などから構成されている。流体噴射装置100は、パルス状の液
体を脈動発生部110から噴射することによって、生体組織を切除または切開することに
使用する手術具としてのウォータージェットメスの一例である。
A. First Example:
A-1. overall structure :
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a configuration of a fluid ejecting apparatus 100 equipped with a capacitive load driving circuit 200 of the first embodiment. As shown in the drawing, the fluid ejection device 100 is roughly divided into:
A pulsation generating unit 110 for ejecting liquid, a fluid supply unit 120 (supply pump) for supplying fluid toward the pulsation generating unit 110, and a control unit 130 for controlling operations of the pulsation generating unit 110 and the fluid supply unit 120. Etc. The fluid ejecting apparatus 100 is an example of a water jet knife as a surgical tool used for excising or incising a living tissue by ejecting a pulsed liquid from a pulsation generating unit 110.

脈動発生部110は、金属製の第2ケース113に、同じく金属製の第1ケース114
を重ねた構造となっており、第2ケース113の前面には円管形状の流体噴射管112が
立設され、流体噴射管112の先端にはノズル111が挿着されている。第2ケース11
3と第1ケース114との合わせ面には、薄い円板形状の流体室115が形成されており
、流体室115は、流体噴射管112を介してノズル111に接続されている。また、第
1ケース114の内部には、積層型の圧電素子116が設けられている。脈動発生部11
0と制御部130とは配線ケーブル150によって接続されており、制御部130内の容
量性負荷駆動回路200からは、配線ケーブル150を介して駆動信号が圧電素子116
に供給される。また、配線ケーブル150はコネクターによって脈動発生部110に取り
付けられている。
The pulsation generating unit 110 is provided on the second case 113 made of metal and the first case 114 made of metal.
A circular pipe-shaped fluid ejection pipe 112 is erected on the front surface of the second case 113, and a nozzle 111 is inserted at the tip of the fluid ejection pipe 112. Second case 11
3 and the first case 114 are formed with a thin disk-shaped fluid chamber 115, and the fluid chamber 115 is connected to the nozzle 111 via the fluid ejection pipe 112. A laminated piezoelectric element 116 is provided inside the first case 114. Pulsation generator 11
0 and the control unit 130 are connected by a wiring cable 150, and a drive signal is transmitted from the capacitive load driving circuit 200 in the control unit 130 via the wiring cable 150 to the piezoelectric element 116.
To be supplied. Further, the wiring cable 150 is attached to the pulsation generator 110 by a connector.

流体供給手段120は、噴射しようとする流体(水、生理食塩水、薬液など)が貯めら
れた流体容器123から、第1接続チューブ121を介して流体を吸い上げた後、第2接
続チューブ122を介して脈動発生部110の流体室115内に供給する。このため、流
体室115は流体で満たされた状態となっている。そして、制御部130から駆動信号を
圧電素子116に印加すると、圧電素子116が伸張して流体室115が押し縮められ、
その結果、流体室115内に充満していた流体が、ノズル111からパルス状に噴射され
る。圧電素子116の伸張量は、駆動信号として印加される電圧に依存する。また、駆動
信号は、制御部130内に搭載された容量性負荷駆動回路200によって生成されている
The fluid supply means 120 sucks up the fluid from the fluid container 123 in which the fluid to be ejected (water, physiological saline, chemical solution, etc.) is stored through the first connection tube 121, and then moves the second connection tube 122. And supplied to the fluid chamber 115 of the pulsation generator 110. For this reason, the fluid chamber 115 is in a state filled with fluid. Then, when a drive signal is applied from the control unit 130 to the piezoelectric element 116, the piezoelectric element 116 expands and the fluid chamber 115 is compressed,
As a result, the fluid filled in the fluid chamber 115 is ejected from the nozzle 111 in a pulse shape. The expansion amount of the piezoelectric element 116 depends on the voltage applied as the drive signal. The drive signal is generated by the capacitive load drive circuit 200 mounted in the control unit 130.

A−2.容量性負荷駆動回路構成の概要 :
図2は、制御部130に搭載された容量性負荷駆動回路200の回路構成を示した説明
図である。図示されているように容量性負荷駆動回路200は、駆動信号の基準となる駆
動波形信号(以下、WCOM)を出力する駆動波形信号発生回路210と、WCOMをパ
ルス変調して変調信号(以下、MCOM)に変換する変調回路230と、変調回路230
からのMCOMをデジタル的に電力増幅して電力増幅変調信号(以下、ACOM)を生成
するデジタル電力増幅器240と、デジタル電力増幅器240からACOMを受け取って
変調成分を取り除いて、駆動信号(以下、COM)として脈動発生部110の圧電素子1
16に供給する平滑フィルター250とを備えている。
A-2. Overview of capacitive load drive circuit configuration:
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a circuit configuration of the capacitive load driving circuit 200 mounted on the control unit 130. As shown in the figure, the capacitive load drive circuit 200 includes a drive waveform signal generation circuit 210 that outputs a drive waveform signal (hereinafter referred to as WCOM) serving as a reference for the drive signal, and a pulse-modulated WCOM to generate a modulation signal (hereinafter referred to as a drive signal) Modulation circuit 230 for conversion into MCOM), and modulation circuit 230
The digital power amplifier 240 that digitally amplifies the MCOM from the power to generate a power amplified modulated signal (hereinafter referred to as ACOM), receives the ACOM from the digital power amplifier 240, removes the modulation component, and drives the signal (hereinafter referred to as COM). ) As the piezoelectric element 1 of the pulsation generator 110.
16 is provided with a smoothing filter 250 to be supplied to 16.

このうち、駆動波形信号発生回路210は、WCOMのデータを記憶した波形メモリー
や、D/A変換器を備えており、波形メモリーから読み出したデータをD/A変換器でア
ナログ信号に変換することによって、WCOM(駆動波形信号)を生成する。変調回路2
30には、一定周期(変調周期)の三角波を発生する三角波発生器が搭載されており、駆
動波形信号発生回路210から受け取ったWCOMを三角波と比較することによって、パ
ルス波状のMCOM(変調信号)を生成(パルス変調)する。たとえばWCOMの方が三
角波よりも大きい期間では高電圧状態(出力が「H」)となり、WCOMの方が三角波よ
りも小さい期間では低電圧状態(出力が「L」)となるようなMCOMが出力される。尚
、MCOMが「H」となる時間比率は、「デューティー比(あるいはオンデューティー比
)」と呼ばれる。
Of these, the drive waveform signal generation circuit 210 includes a waveform memory storing WCOM data and a D / A converter, and converts data read from the waveform memory into an analog signal by the D / A converter. To generate a WCOM (drive waveform signal). Modulation circuit 2
30 is equipped with a triangular wave generator for generating a triangular wave having a constant period (modulation period), and by comparing the WCOM received from the drive waveform signal generation circuit 210 with a triangular wave, a pulse wave-like MCOM (modulated signal) is provided. (Pulse modulation). For example, the MCOM outputs a high voltage state (output is “H”) when WCOM is larger than the triangular wave, and outputs a MCOM such that the low voltage state (output is “L”) when WCOM is smaller than the triangular wave. Is done. The time ratio at which MCOM is “H” is called “duty ratio (or on-duty ratio)”.

変調回路230によって得られたMCOMは、デジタル電力増幅器240によって電力
増幅される。詳細な構成については後述するが、デジタル電力増幅器240には電源が搭
載されている。そして、MCOMの入力が「H」の場合には、電源とデジタル電力増幅器
240の出力とが、デジタル電力増幅器240の内部で接続されて、電源の電圧がデジタ
ル電力増幅器240の出力として出力され、また、MCOMの入力が「L」の場合には、
グランドとデジタル電力増幅器240の出力とが、デジタル電力増幅器240の内部で接
続されて、グランドの電圧がデジタル電力増幅器240の出力として出力される。その結
果、MCOMが、MCOMが「H」の時には電源の電圧となり、MCOMが「L」の時に
はグランドの電圧となるパルス状の信号に電力増幅される。こうして電力増幅されたAC
OM(電力増幅変調信号)は、LC回路によって構成される平滑フィルター250を通す
ことによってCOM(駆動信号)に変換され、圧電素子116に印加される。
The MCOM obtained by the modulation circuit 230 is amplified by the digital power amplifier 240. Although the detailed configuration will be described later, the digital power amplifier 240 is equipped with a power source. When the input of the MCOM is “H”, the power source and the output of the digital power amplifier 240 are connected inside the digital power amplifier 240, and the voltage of the power source is output as the output of the digital power amplifier 240. When the input of MCOM is “L”,
The ground and the output of the digital power amplifier 240 are connected inside the digital power amplifier 240, and the ground voltage is output as the output of the digital power amplifier 240. As a result, the power of MCOM is amplified to a pulsed signal that becomes a power supply voltage when MCOM is “H” and a ground voltage when MCOM is “L”. AC thus amplified
OM (power amplification modulation signal) is converted into COM (driving signal) by passing through a smoothing filter 250 constituted by an LC circuit, and is applied to the piezoelectric element 116.

A−3.第1実施例のデジタル電力増幅器 :
図3は、第1実施例のデジタル電力増幅器240の内部構成を示した回路図である。図
示されるように、第1実施例のデジタル電力増幅器240には、電源Vddと、二つのN
チャンネルMOSFET(図3では、FET1、FET3と表示)と、一つのPチャンネ
ルMOSFET(図3では、FET2と表示)、これらMOSFETを駆動するスイッチ
駆動回路242とが搭載されている。三つのMOSFETのうち、FET1およびFET
3は、電源Vddとグランドとの間でプッシュ・プル接続されている。すなわち、電源V
ddにはFET1のドレイン電極(図中でDと表示)が接続されており、FET1のソー
ス電極(図中でSと表示)にはFET3のドレイン電極が接続されている。そして、FE
T3のソース電極はグランドに接続されている。そして、FET1のソース電極と、FE
T3のドレイン電極とが接続されている部分の電圧が、ACOMとして出力される。
A-3. Digital power amplifier of the first embodiment:
FIG. 3 is a circuit diagram showing the internal configuration of the digital power amplifier 240 of the first embodiment. As shown, the digital power amplifier 240 of the first embodiment includes a power source Vdd and two N
A channel MOSFET (shown as FET1 and FET3 in FIG. 3), one P-channel MOSFET (shown as FET2 in FIG. 3), and a switch drive circuit 242 for driving these MOSFETs are mounted. Of the three MOSFETs, FET1 and FET
3 is push-pull connected between the power supply Vdd and the ground. That is, the power supply V
The drain electrode of FET1 (shown as D in the figure) is connected to dd, and the drain electrode of FET3 is connected to the source electrode of FET1 (shown as S in the figure). And FE
The source electrode of T3 is connected to the ground. And the source electrode of FET1, FE
The voltage at the portion where the drain electrode of T3 is connected is output as ACOM.

また、PチャンネルMOSFETであるFET2は、ソース電極が電源Vddに接続され、ドレイン電極がACOMの出力ラインに接続されている。従って、FET1に対して、FET2が並列に接続された状態となっている。更に、FET1、FET2、FET3のゲート電極は、スイッチ駆動回路242に接続されている。尚、本実施例では、FET1が本発明の「第1のスイッチ」に対応し、FETが本発明の「第2のスイッチ」に対応する。また、FET1はNチャンネルMOSFETであり、FET2はPチャンネルMOSFETであるから、FET1は本発明の「NチャンネルMOSDETによるスイッチ」にも対応し、FET2は本発明の「PチャンネルMOSDETによるスイッチ」にも対応している。更に、電源Vddが本発明の「第1の電圧発生源」に対応し、グランドが本発明の「第2の電圧発生源」に対応する。 The FET 2 which is a P-channel MOSFET has a source electrode connected to the power supply Vdd and a drain electrode connected to the output line of the ACOM. Therefore, the FET 2 is connected to the FET 1 in parallel. Furthermore, the gate electrodes of FET1, FET2, and FET3 are connected to the switch drive circuit 242. In this embodiment, the FET 1 corresponds to the “first switch” of the present invention, and the FET 3 corresponds to the “second switch” of the present invention. Since FET1 is an N-channel MOSFET and FET2 is a P-channel MOSFET, FET1 corresponds to the “switch by N-channel MOSDET” of the present invention, and FET2 also corresponds to “switch by P-channel MOSDET” of the present invention. It corresponds. Further, the power supply Vdd corresponds to the “first voltage generation source” of the present invention, and the ground corresponds to the “second voltage generation source” of the present invention.

図4は、第1実施例のスイッチ駆動回路242の構成を示した回路図である。尚、第1
実施例のデジタル電力増幅器240は、一般的なデジタル電力増幅器240の電源Vdd
側のFET1に対して、FET2が並列に接続された構成となっている。このことと対応
して第1実施例のスイッチ駆動回路242は、一般的なデジタル電力増幅器240のスイ
ッチ駆動回路に対して、FET2を駆動するための回路部分(図4中では242bと表示
)が追加されたものとなっている。尚、FET1を駆動するための回路部分(図4中では
242aと表示)は、一般的なデジタル電力増幅器240のスイッチ駆動回路で用いられ
ているものと同様である。また、スイッチ駆動回路242の中でFET3を駆動するため
の回路部分は本発明との関連性が低いため、図示が省略されている。このような構成を有
する本実施例のデジタル電力増幅器240は、次のように動作する。
FIG. 4 is a circuit diagram showing the configuration of the switch drive circuit 242 of the first embodiment. The first
The digital power amplifier 240 according to the embodiment includes a power source Vdd of a general digital power amplifier 240.
The FET 2 is connected in parallel to the side FET 1. Corresponding to this, the switch drive circuit 242 of the first embodiment has a circuit portion (indicated as 242b in FIG. 4) for driving the FET 2 with respect to the switch drive circuit of the general digital power amplifier 240. It has been added. The circuit portion for driving the FET 1 (shown as 242a in FIG. 4) is the same as that used in the switch drive circuit of a general digital power amplifier 240. Further, the circuit portion for driving the FET 3 in the switch driving circuit 242 is not shown because it is not related to the present invention. The digital power amplifier 240 of this embodiment having such a configuration operates as follows.

A−4.第1実施例のデジタル電力増幅器の動作 :
先ず始めに、デジタル電力増幅器240のスイッチ駆動回路242がFET1を駆動する動作(従って、図4中で242aと表示した部分の動作)について説明する。図5(a)には、MCOMの出力が「L」の場合が示されている。MCOMが「L」の場合は、電源Vdd側に接続されたFET1(およびFET2)がOFFとなり、グランド側に接続されたFETがONとなる。その結果、デジタル電力増幅器240からはグランドの電圧がACOMとして出力される。
A-4. Operation of the digital power amplifier of the first embodiment:
First, an operation in which the switch drive circuit 242 of the digital power amplifier 240 drives the FET 1 (accordingly, an operation of a portion indicated by 242a in FIG. 4) will be described. FIG. 5A shows a case where the output of MCOM is “L”. When MCOM is “L”, FET 1 (and FET 2) connected to the power supply Vdd side is turned OFF, and FET 3 connected to the ground side is turned ON. As a result, the digital power amplifier 240 outputs the ground voltage as ACOM.

ここで、図5(a)に示されるように、FET1を駆動するための回路部分242aに
はコンデンサーBSCが搭載されている。このコンデンサーBSCは、一方の端子がAC
OMの出力ラインに接続されており、他方の端子がスイッチ駆動回路242の駆動用電源
に接続されている。従って、図5(a)に示されるように、MCOMの出力が「L」にな
ってACOMの出力がグランドの電圧になると、コンデンサーBSCの両端子間に駆動用
電源の電圧が加わることになって、コンデンサーBSCが充電される。その後、図5(b
)に示されるように、MCOMの出力が「H」になると、コンデンサーBSCに蓄えられ
ていた電圧がFET1のゲート電極に印加され、その分だけ、FET1のソース電極より
もゲート電極の方が電位が高くなり、その結果、FET1がONになる。尚、このような
コンデンサーBSCはブートストラップコンデンサーと呼ばれる。ブートストラップコン
デンサーを用いれば、駆動用電源の他に、FET1のゲート電極用の電源を用いなくても
、FET1をONの状態にすることができる。
Here, as shown in FIG. 5A, a capacitor BSC is mounted on the circuit portion 242a for driving the FET1. One terminal of this capacitor BSC is AC
The other terminal is connected to the driving power source of the switch driving circuit 242. Therefore, as shown in FIG. 5A, when the output of the MCOM becomes “L” and the output of the ACOM becomes the ground voltage, the voltage of the driving power supply is applied between both terminals of the capacitor BSC. Thus, the capacitor BSC is charged. After that, FIG.
), When the output of the MCOM becomes “H”, the voltage stored in the capacitor BSC is applied to the gate electrode of the FET 1, and accordingly, the gate electrode is more potential than the source electrode of the FET 1. As a result, FET1 is turned on. Such a capacitor BSC is called a bootstrap capacitor. If the bootstrap capacitor is used, the FET 1 can be turned on without using the power source for the gate electrode of the FET 1 in addition to the driving power source.

しかし、コンデンサーBSCを用いてFET1を駆動した場合、FET1がONの状態
を続けているとコンデンサーBSCに蓄えられていた電荷が漏れ出して、コンデンサーB
SCの両端子間の電圧(従って、FET1のソース電極とゲート電極との電位差)が少し
ずつ低下していく。その結果、最終的にはFET1をONの状態に維持しておくことがで
きなくなる。
However, when the FET 1 is driven using the capacitor BSC, the charge stored in the capacitor BSC leaks if the FET 1 continues to be ON, and the capacitor BSC
The voltage between both terminals of SC (therefore, the potential difference between the source electrode and the gate electrode of FET1) gradually decreases. As a result, finally, the FET 1 cannot be maintained in the ON state.

たとえば、駆動波形信号発生回路210が上限付近のWCOMを出力する場合、変調回
路230から出力されるMCOMは、オンデューティー比がたいへんに高い(Hとなる時
間頻度がたとえば95%以上の)MCOMとなる。このようなMCOMを受け取った場合
、図6に例示したように、デジタル電力増幅器240の電源Vdd側のFET1は、ほと
んど常にONの状態となり、OFFの状態には極稀にしか切り換わらない。逆に、デジタ
ル電力増幅器240のグランド側のFET3は、ほとんど常にOFFの状態となり、ON
の状態には極稀にしか切り換わらない。
For example, when the drive waveform signal generation circuit 210 outputs WCOM in the vicinity of the upper limit, the MCOM output from the modulation circuit 230 is an MCOM having a very high on-duty ratio (the time frequency at which H becomes 95% or more, for example). Become. When such MCOM is received, as illustrated in FIG. 6, the FET 1 on the power supply Vdd side of the digital power amplifier 240 is almost always in an ON state and is switched to an OFF state only rarely. On the contrary, the FET 3 on the ground side of the digital power amplifier 240 is almost always in the OFF state, and is ON
This state can only be switched very rarely.

前述したようにコンデンサーBSCは、FET1がOFFで、FET3がONの状態の
時に充電されるから、図6に示したような状態でデジタル電力増幅器240を動作させて
いると、コンデンサーBSCに蓄えられた電圧が次第に低下して、FET1をONにする
ことができなくなる。その結果、デジタル電力増幅器240でMCOMを電力増幅するこ
とができなくなって、圧電素子116を駆動することができなくなる。もちろん、コンデ
ンサーBSCの代わりに、別途用意した電源を用いてFET1を駆動すれば、こうした問
題の発生を回避することができる。しかし、駆動用電源の他に、FET1を駆動するため
の電源を別途用意するのでは、スイッチ駆動回路242の回路サイズが大きくなり、また
回路の製造コストが増加してしまう。
As described above, since the capacitor BSC is charged when the FET 1 is OFF and the FET 3 is ON, if the digital power amplifier 240 is operated in the state shown in FIG. 6, the capacitor BSC is stored in the capacitor BSC. As a result, the voltage gradually decreases and the FET 1 cannot be turned on. As a result, the digital power amplifier 240 cannot amplify the MCOM power, and the piezoelectric element 116 cannot be driven. Of course, if the FET 1 is driven using a power supply prepared separately instead of the capacitor BSC, such problems can be avoided. However, if a power source for driving the FET 1 is separately prepared in addition to the driving power source, the circuit size of the switch driving circuit 242 increases, and the manufacturing cost of the circuit increases.

これに対して第1実施例のデジタル電力増幅器240では、図3を用いて前述したよう
に、FET1に対して並列にFET2が接続されている。また、FET1はNチャンネル
MOSFETが用いられるのに対して、FET2はPチャンネルMOSFETが用いられ
ている。周知のようにPチャンネルMOSFETは、ソース電極と比較してゲート電極の
電位が一定電圧よりも低くなるとONになる。従って、コンデンサーBSCのようなブー
トストラップコンデンサーを用いなくてもONにすることができる。このため、図6に例
示したように、MCOMが、たいへんにオンデューティー比が高い(たとえば95%以上
の)状態が長く継続するような信号であり、FET1がONにならなくなった場合でも、
FET2がONになる。その結果、デジタル電力増幅器240でMCOMを電力増幅する
ことができ、圧電素子116を駆動することができる。
On the other hand, in the digital power amplifier 240 of the first embodiment, the FET 2 is connected in parallel to the FET 1 as described above with reference to FIG. The FET 1 uses an N-channel MOSFET, while the FET 2 uses a P-channel MOSFET. As is well known, the P-channel MOSFET is turned on when the potential of the gate electrode is lower than a certain voltage compared to the source electrode. Therefore, it can be turned on without using a bootstrap capacitor such as the capacitor BSC. Therefore, as illustrated in FIG. 6, even when the MCOM is a signal in which the on-duty ratio is very high (for example, 95% or more) continues for a long time, and the FET 1 is not turned ON,
FET2 is turned on. As a result, the digital power amplifier 240 can amplify the power of MCOM and drive the piezoelectric element 116.

もちろん、FET2は、NチャンネルMOSFETよりもオン抵抗の大きなPチャンネ
ルMOSFETである。しかし、図3に示されるように、FET2はFET1と並列に接
続されており、FET2が単独でONの状態になるのは、図6を用いて前述したような特
殊な状況に過ぎない。このため、ほとんどの場合は、FET1とFET2とは共にONの
状態となるので、FET2のオン抵抗が大きいことが原因で、デジタル電力増幅器240
での電力損失が増加することはない。
Of course, the FET 2 is a P-channel MOSFET having a larger on-resistance than the N-channel MOSFET. However, as shown in FIG. 3, the FET 2 is connected in parallel with the FET 1, and the FET 2 alone is in the ON state only in a special situation as described above with reference to FIG. For this reason, in most cases, both FET1 and FET2 are in the ON state. Therefore, the digital power amplifier 240 is caused by the large on-resistance of FET2.
There is no increase in power loss.

B.第2実施例 :
上述した第1実施例では、FET1およびFET2が、並行して駆動されているものと
して説明した。しかし、FET1とFET2とを並行して駆動するためには、FET1を
単独で駆動する場合よりも多くの電力が必要となる。そこで、FET1を正常に駆動する
ことができる間はFET2は駆動せず、FET1を正常に駆動することが困難になった場
合にだけ、FET2を駆動するようにしても良い。以下では、このような第2実施例につ
いて説明する。尚、第2実施例では、特に言及しない構成については、前述した第1実施
例と同様である。そして、前述した第1実施例と同様な構成については、同じ番号を付す
ことによって、詳細な説明を省略する。
B. Second embodiment:
In the first embodiment described above, it has been described that FET1 and FET2 are driven in parallel. However, in order to drive FET1 and FET2 in parallel, more power is required than when FET1 is driven alone. Therefore, the FET 2 may not be driven while the FET 1 can be normally driven, and the FET 2 may be driven only when it is difficult to normally drive the FET 1. Hereinafter, such a second embodiment will be described. In the second embodiment, the components not particularly mentioned are the same as those in the first embodiment described above. And about the structure similar to 1st Example mentioned above, detailed description is abbreviate | omitted by attaching | subjecting the same number.

図7は、第2実施例のデジタル電力増幅器240に搭載されたスイッチ駆動回路342
の回路図である。第2実施例のスイッチ駆動回路342では、コンデンサーBSCの両端
子間の電圧が抵抗によって分圧された後に、オペアンプOP1に入力されており、オペア
ンプOP1は、入力された電圧の電圧差をオペアンプOP2に出力する。オペアンプOP
2は、オペアンプOP1から入力された電圧差を、閾値の電圧Vrefと比較して、電圧
差が電圧Vrefよりも大きければ「H」の信号を出力し、電圧差が電圧Vrefよりも
小さければ「L」の信号を出力する。このオペアンプOP2の出力は、スイッチSW1お
よびスイッチSW2に接続されている。このうち、スイッチSW1には、オペアンプOP
2の出力がそのまま接続され、スイッチSW2には、インバーターで反転された後に接続
されている。
FIG. 7 shows a switch drive circuit 342 mounted on the digital power amplifier 240 of the second embodiment.
FIG. In the switch drive circuit 342 of the second embodiment, the voltage between both terminals of the capacitor BSC is divided by a resistor and then input to the operational amplifier OP1, and the operational amplifier OP1 calculates the voltage difference between the input voltages as the operational amplifier OP2. Output to. Operational amplifier OP
2 compares the voltage difference input from the operational amplifier OP1 with the threshold voltage Vref, and outputs a signal “H” if the voltage difference is larger than the voltage Vref, and outputs “H” signal if the voltage difference is smaller than the voltage Vref. L "signal is output. The output of the operational amplifier OP2 is connected to the switch SW1 and the switch SW2. Of these, the switch SW1 has an operational amplifier OP.
2 is connected as it is, and is connected to the switch SW2 after being inverted by an inverter.

このような第2実施例のスイッチ駆動回路342では、オペアンプOP1から出力され
る電圧差が、閾値の電圧Vrefよりも大きい間は、スイッチSW1がONとなり、スイ
ッチSW2がOFFとなる。また、オペアンプOP1からの電圧差が、閾値の電圧Vre
fよりも小さくなると、スイッチSW1がOFFとなり、スイッチSW2がONとなる。
そこで、コンデンサーBSCの端子間電圧が、FET1をONにするための電圧に対して
若干の余裕を持たせた電圧よりも低くなった時に、オペアンプOP2の出力が「L」とな
るような電圧に、閾値の電圧Vrefを設定しておく。こうすれば、コンデンサーBSC
に十分な電圧が蓄えられている間は、スイッチSW1がONになるのでFET1が駆動さ
れ、コンデンサーBSCの電圧が低下してきたら、スイッチSW2がONになるのでFE
T2が駆動されるようになる。その結果、コンデンサーBSCに蓄えられている電圧に応
じて、FET1を駆動する場合と、FET2を駆動する場合とを切り換えることができる
ので、スイッチ駆動回路342を駆動するための電力を抑制することが可能となる。
In such a switch drive circuit 342 of the second embodiment, the switch SW1 is turned on and the switch SW2 is turned off while the voltage difference output from the operational amplifier OP1 is larger than the threshold voltage Vref. The voltage difference from the operational amplifier OP1 is the threshold voltage Vre.
When smaller than f, the switch SW1 is turned OFF and the switch SW2 is turned ON.
Therefore, when the voltage between the terminals of the capacitor BSC becomes lower than a voltage having a slight margin with respect to the voltage for turning on the FET 1, the output of the operational amplifier OP2 is set to a voltage that becomes “L”. The threshold voltage Vref is set in advance. In this way, the capacitor BSC
Since the switch SW1 is turned ON while the sufficient voltage is stored in the FET 1, the FET 1 is driven, and when the voltage of the capacitor BSC decreases, the switch SW2 is turned ON, so the FE.
T2 is driven. As a result, it is possible to switch between the case where the FET 1 is driven and the case where the FET 2 is driven according to the voltage stored in the capacitor BSC, so that the power for driving the switch drive circuit 342 can be suppressed. It becomes possible.

C.第3実施例 :
また、上述した第2実施例のスイッチ駆動回路342では、二つのオペアンプが必要と
なる。しかし、次のようにすれば、FET1を駆動する場合とFET2を駆動する場合と
を、オペアンプを用いることなく切り換えることが可能となる。以下では、このような第
3実施例について説明する。尚、第3実施例においても、特に言及しない構成については
、前述した第1実施例あるいは第2実施例と同様である。そして、前述した第1実施例あ
るいは第2実施例と同様な構成については、同じ番号を付すことによって、詳細な説明を
省略する。
C. Third embodiment:
In the switch drive circuit 342 of the second embodiment described above, two operational amplifiers are required. However, if it is as follows, it becomes possible to switch between the case of driving FET1 and the case of driving FET2 without using an operational amplifier. Hereinafter, the third embodiment will be described. In the third embodiment as well, configurations not particularly mentioned are the same as those in the first embodiment or the second embodiment described above. And about the structure similar to 1st Example or 2nd Example mentioned above, detailed description is abbreviate | omitted by attaching | subjecting the same number.

図8は、第3実施例の容量性負荷駆動回路200の一部を示した説明図である。図示さ
れるように、第3実施例の容量性負荷駆動回路200では、変調回路230から出力され
たMCOMが、FET1を駆動するための信号(FET1駆動用MCOM)と、FET2
を駆動するための信号(FET2駆動用MCOM)と、FET3を駆動するための信号(
FET3駆動用MCOM)とに分けてデジタル電力増幅器240に供給される。このうち
、FET1駆動用のMCOMは、スイッチSW1を介してデジタル電力増幅器240に接
続されており、FET2駆動用のMCOMは、スイッチSW2を介してデジタル電力増幅
器240に接続されている。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing a part of the capacitive load driving circuit 200 of the third embodiment. As shown in the figure, in the capacitive load driving circuit 200 of the third embodiment, the MCOM output from the modulation circuit 230 is a signal for driving the FET 1 (FET M1 driving MCOM), and the FET 2.
Signal for driving FET2 (MCOM for driving FET2) and signal for driving FET3 (
And is supplied to the digital power amplifier 240 separately. Among these, the MCOM for driving the FET1 is connected to the digital power amplifier 240 via the switch SW1, and the MCOM for driving the FET2 is connected to the digital power amplifier 240 via the switch SW2.

更に、第3実施例の容量性負荷駆動回路200には、スイッチ選択回路235が搭載さ
れている。詳細には後述するが、スイッチ選択回路235は駆動波形信号発生回路210
からのWCOMを受け取ると、FET1選択信号あるいはFET2選択信号を出力する。
そして、FET1選択信号が出力された場合には、スイッチSW1がONになって、FE
T1駆動用のMCOMとFET3駆動用のMCOMとがデジタル電力増幅器240に供給
される。その結果、デジタル電力増幅器240では、FET1およびFET3を用いて電
力増幅が行われる。また、スイッチ選択回路235からFET2選択信号が出力された場
合には、スイッチSW2がONになり、FET2駆動用のMCOMとFET3駆動用のM
COMとがデジタル電力増幅器240に供給される。その結果、デジタル電力増幅器24
0では、FET2およびFET3を用いて電力増幅が行われる。尚、第3実施例のスイッ
チ選択回路235は、本発明における「決定手段」に対応する。
Furthermore, a switch selection circuit 235 is mounted on the capacitive load driving circuit 200 of the third embodiment. As will be described in detail later, the switch selection circuit 235 is a drive waveform signal generation circuit 210.
When WCOM is received, the FET1 selection signal or the FET2 selection signal is output.
When the FET1 selection signal is output, the switch SW1 is turned ON and the FE
The MCOM for driving T1 and the MCOM for driving FET3 are supplied to the digital power amplifier 240. As a result, in the digital power amplifier 240, power amplification is performed using the FET1 and the FET3. When the FET2 selection signal is output from the switch selection circuit 235, the switch SW2 is turned on, and the MCOM for driving the FET2 and the MCOM for driving the FET3.
COM is supplied to the digital power amplifier 240. As a result, the digital power amplifier 24
At 0, power amplification is performed using FET2 and FET3. The switch selection circuit 235 of the third embodiment corresponds to “determination means” in the present invention.

図9は、第3実施例のスイッチ選択回路235が選択信号を出力するために行う選択信
号出力処理のフローチャートである。選択信号出力処理では、先ず始めに、駆動波形信号
発生回路210から出力されたWCOM(駆動波形信号)の読み込みを行う(ステップS
100)。続いて、読み込んだWCOMから、MCOMのオンデューティー比を算出する
(ステップS102)。MCOMのオンデューティー比は、デジタル電力増幅器240の
電源Vddの電圧をVddとすると、MCOMの電圧値をVddで除算することによって
算出することができる。尚、オンデューティー比をパーセント表示する場合は、除算した
値に対して、更に100を乗算すればよい。
FIG. 9 is a flowchart of a selection signal output process performed for the switch selection circuit 235 of the third embodiment to output a selection signal. In the selection signal output processing, first, WCOM (drive waveform signal) output from the drive waveform signal generation circuit 210 is read (step S).
100). Subsequently, the on-duty ratio of MCOM is calculated from the read WCOM (step S102). The on-duty ratio of MCOM can be calculated by dividing the voltage value of MCOM by Vdd, where Vdd is the voltage of power supply Vdd of digital power amplifier 240. When the on-duty ratio is displayed as a percentage, the divided value may be further multiplied by 100.

次に、算出したオンデューティー比が、所定の閾値(たとえば95%)以上か否かを判
断する(ステップS104)。その結果、算出したオンデューティー比が閾値よりも小さ
い場合は(ステップS104:no)、FET1選択信号を出力する(ステップS106
)。これに対して、算出したオンデューティー比が閾値以上であった場合は(ステップS
104:yes)、FET2選択信号を出力する(ステップS108)。こうして、FE
T1選択信号あるいはFET2選択信号の何れかを出力したら、処理の先頭に戻って、再
びWCOMを読み込んだ後(ステップS100)、上述した続く一連の処理を行う。
Next, it is determined whether or not the calculated on-duty ratio is equal to or greater than a predetermined threshold (for example, 95%) (step S104). As a result, when the calculated on-duty ratio is smaller than the threshold (step S104: no), the FET1 selection signal is output (step S106).
). On the other hand, if the calculated on-duty ratio is greater than or equal to the threshold value (step S
104: yes), the FET2 selection signal is output (step S108). Thus, FE
When either the T1 selection signal or the FET2 selection signal is output, the process returns to the top, reads WCOM again (step S100), and then performs the above-described series of processes.

図5を用いて前述したように、スイッチ駆動回路242に搭載されたコンデンサーBS
Cは、FET1がOFFで、FET2がONの状態にならないと充電されない。また逆に
、FET1がONで、FET2がOFFの間は、少しずつ放電する。従って、MCOMの
オンデューティー比があまりに高くなると、コンデンサーBSCが放電する時間(すなわ
ち、FET1がONで、FET2がOFFとなっている時間)に対して、コンデンサーB
SCに充電される時間(すなわち、FET1がOFFで、FET2がONとなっている時
間)が短くなり過ぎて、コンデンサーBSCに蓄えられた電圧が低下し、FET1をON
にすることができなくなる。しかし、上述した第3実施例では、MCOMのオンデューテ
ィー比が閾値の値(たとえば95%)よりも大きくなると、FET2選択信号が出力され
るので、FET1が駆動される状態からFET2が駆動される状態に切り換わる。そして
、前述したようにFET2はPチャンネルMOSFETを用いて構成されており、コンデ
ンサーBSCのようなブートストラップコンデンサーを用いなくても駆動することができ
る。このため、MCOMのオンデューティー比が上限付近となるような場合でも、デジタ
ル電力増幅器240で電力増幅を行って、圧電素子116を適切に駆動することが可能と
なる。
As described above with reference to FIG. 5, the capacitor BS mounted on the switch drive circuit 242.
C is not charged unless FET1 is OFF and FET2 is ON. Conversely, discharging is performed little by little while FET1 is ON and FET2 is OFF. Therefore, when the on-duty ratio of MCOM becomes too high, the capacitor BSC is discharged with respect to the time when the capacitor BSC is discharged (that is, the time when the FET1 is ON and the FET2 is OFF).
The time to charge the SC (that is, the time when the FET1 is OFF and the FET2 is ON) becomes too short, and the voltage stored in the capacitor BSC decreases, and the FET1 is turned ON.
Can not be. However, in the third embodiment described above, when the on-duty ratio of MCOM becomes larger than the threshold value (for example, 95%), the FET2 selection signal is output, so that FET2 is driven from the state where FET1 is driven. Switch to state. As described above, the FET 2 is configured by using a P-channel MOSFET, and can be driven without using a bootstrap capacitor such as the capacitor BSC. For this reason, even when the on-duty ratio of MCOM is close to the upper limit, the digital power amplifier 240 can perform power amplification and drive the piezoelectric element 116 appropriately.

また、上述した第3実施例では、駆動波形信号発生回路210が出力するWCOMに基
づいてMCOMのオンデューティー比を算出し、その値に基づいて、FET1を駆動する
場合(FET1選択信号を出力する場合)と、FET2を駆動する場合(FET2選択信
号を出力する場合)とを切り換えている。このため、前述した第2実施例のように、コン
デンサーBSCの端子間電圧を検出する必要がなく、また、オペアンプを搭載する必要も
ない。
In the third embodiment described above, the MCOM on-duty ratio is calculated based on the WCOM output from the drive waveform signal generation circuit 210, and the FET 1 is driven based on the calculated value (outputs the FET 1 selection signal). Case) and the case of driving the FET 2 (when outputting the FET 2 selection signal). For this reason, it is not necessary to detect the voltage between the terminals of the capacitor BSC as in the second embodiment, and it is not necessary to mount an operational amplifier.

尚、上述した第3実施例では、WCOMをMCOMのオンデューティー比に一旦変換し
、得られたオンデューティー比を閾値と比較することとしていた。しかし、前述したよう
に、WCOMと、MCOMのオンデューティー比とは一対一に対応しており、オンデュー
ティー比が閾値を超えることになるようなWCOMの値は予め求めておくことができる。
そこで、この値を閾値として記憶しておき、この閾値とWCOMとを比較してもよい。そ
して、WCOMが、この閾値よりも小さい場合は、FET1選択信号を出力し、逆にWC
OMがこの閾値よりも大きい場合は、FET2選択信号を出力するようにしてもよい。
In the third embodiment described above, WCOM is once converted into the MCOM on-duty ratio, and the obtained on-duty ratio is compared with a threshold value. However, as described above, there is a one-to-one correspondence between WCOM and the on-duty ratio of MCOM, and the value of WCOM at which the on-duty ratio exceeds the threshold value can be obtained in advance.
Therefore, this value may be stored as a threshold value, and this threshold value may be compared with WCOM. If WCOM is smaller than this threshold, an FET1 selection signal is output, and conversely, WC
When OM is larger than this threshold, an FET2 selection signal may be output.

上述した第2実施例、第3実施例では、スイッチ1とスイッチ2とが排他的に切り替え
られる例を示したが、BSCの端子間電圧が十分高い場合はスイッチ1とスイッチ2とを
共に駆動しても良い。スイッチ1とスイッチ2とが共にONしている状態は、スイッチ1
とスイッチ2のオン抵抗が並列に並べられているのと等価であるため、スイッチ1とスイ
ッチ2を共にオンしている際の合成抵抗は、スイッチ1、スイッチ2のオン抵抗よりも低
い。このため、負荷に大電流を流す場合には、デジタル電力増幅器240での電力損失が
下がるので、より好適である。
In the second and third embodiments described above, the example in which the switch 1 and the switch 2 are switched exclusively is shown. However, when the voltage between the terminals of the BSC is sufficiently high, both the switch 1 and the switch 2 are driven. You may do it. When both switch 1 and switch 2 are ON, switch 1
Therefore, the combined resistance when both the switch 1 and the switch 2 are turned on is lower than the on resistance of the switch 1 and the switch 2. For this reason, when a large current flows through the load, the power loss in the digital power amplifier 240 is reduced, which is more preferable.

以上、各種実施例の容量性負荷駆動回路200について説明したが、本発明は上記すべ
ての実施例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実
施することが可能である。例えば、容量性負荷にパルス状の電圧を印加する場合は、平滑
フィルター250を必須構成とすることなく、本発明の容量性負荷駆動回路200を好適
に用いることができる。また、平滑フィルター250のL成分やC成分として、回路配線
パターンや回路素子の寄生インダクタンスや寄生容量を用いることにより、平滑フィルタ
ーを必須構成としないこともできる。
Although the capacitive load drive circuit 200 of various embodiments has been described above, the present invention is not limited to all the embodiments described above, and can be implemented in various modes without departing from the scope of the invention. . For example, when a pulse voltage is applied to the capacitive load, the capacitive load driving circuit 200 of the present invention can be suitably used without making the smoothing filter 250 an essential component. Further, by using the circuit wiring pattern or the parasitic inductance or parasitic capacitance of the circuit element as the L component or C component of the smoothing filter 250, the smoothing filter may not be an essential component.

また、好適に適用することができる一例として、インクジェットプリンターでインクを
噴射する噴射ノズルは、アクチュエーターとして圧電素子を利用しているので、噴射ノズ
ルの圧電素子を駆動する容量性負荷駆動回路200としても好適に適用することができる
。あるいは、薬剤や栄養剤を内包するマイクロカプセルを形成することに用いる流体噴射
装置など、医療機器を含む様々な電子機器を駆動するための容量性負荷駆動回路に対して
も、本発明の容量性負荷駆動回路200を好適に適用することができる。
Further, as an example that can be suitably applied, since the ejection nozzle that ejects ink with an inkjet printer uses a piezoelectric element as an actuator, the capacitive load drive circuit 200 that drives the piezoelectric element of the ejection nozzle can also be used. It can be suitably applied. Alternatively, the capacitive load driving circuit of the present invention is also applied to a capacitive load driving circuit for driving various electronic devices including medical devices such as a fluid ejection device used for forming a microcapsule containing a medicine or a nutrient. The load driving circuit 200 can be suitably applied.

100…流体噴射装置、 110…脈動発生部、 111…ノズル、
112…流体噴射管、 113…第2ケース、 114…第1ケース、
115…流体室、 116…圧電素子、 120…流体供給手段、
121…第1接続チューブ、 122…第2接続チューブ、 123…流体容器、
130…制御部、 150…配線ケーブル、
200…容量性負荷駆動回路、 210…駆動波形信号発生回路、
230…変調回路、 235…スイッチ選択回路、 240…デジタル電力増幅器、
242…スイッチ駆動回路、 250…平滑フィルター、 342…スイッチ駆動回路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Fluid injection apparatus, 110 ... Pulsation generation | occurrence | production part, 111 ... Nozzle,
112 ... Fluid ejection pipe, 113 ... Second case, 114 ... First case,
115 ... Fluid chamber, 116 ... Piezoelectric element, 120 ... Fluid supply means,
121 ... 1st connection tube, 122 ... 2nd connection tube, 123 ... Fluid container,
130 ... Control unit, 150 ... Wiring cable,
200: Capacitive load drive circuit, 210 ... Drive waveform signal generation circuit,
230 ... Modulation circuit, 235 ... Switch selection circuit, 240 ... Digital power amplifier,
242 ... Switch drive circuit, 250 ... Smooth filter, 342 ... Switch drive circuit

Claims (6)

駆動波形信号を発生する駆動波形信号発生回路と、
前記駆動波形信号をパルス変調して変調信号を生成する変調回路と、
前記変調信号を電力増幅して電力増幅変調信号を生成するデジタル電力増幅器と、
前記電力増幅変調信号を平滑化することによって駆動信号を生成する平滑フィルターと、
を備え、
前記デジタル電力増幅器は、
第1の電圧発生源と、
前記第1の電圧発生源と直列接続される第1のスイッチと、
前記第1のスイッチと直列接続される第2のスイッチと、
前記第2のスイッチと直列接続され、前記第1の電圧発生源が発生させる電圧よりも低い電圧を発生させる第2の電圧発生源と、
前記変調信号に基づいて前記第1および第2のスイッチを駆動するスイッチ駆動回路と、を備え、
前記第1のスイッチは、NチャンネルMOSFETによるスイッチと、前記NチャンネルMOSFETによるスイッチと並列に接続されたPチャンネルMOSFETによるスイッチと、を有し、
前記スイッチ駆動回路は、前記第2のスイッチがONの期間中に電荷を蓄えるブートストラップコンデンサーを有し、
前記第1のスイッチをONする場合には、前記ブートストラップコンデンサーに蓄えられた電荷によって前記NチャンネルMOSFETによるスイッチをONとし、前記ブートストラップコンデンサーに蓄えられた電荷によって前記NチャンネルMOSFETによるスイッチをONとすることができない場合には、前記PチャンネルMOSFETによるスイッチをONとする、容量性負荷駆動回路。
A drive waveform signal generating circuit for generating a drive waveform signal;
A modulation circuit that generates a modulation signal by pulse-modulating the drive waveform signal;
A digital power amplifier that amplifies the modulated signal to generate a power amplified modulated signal;
A smoothing filter that generates a drive signal by smoothing the power amplification modulation signal;
With
The digital power amplifier is:
A first voltage source;
A first switch connected in series with the first voltage source;
A second switch connected in series with the first switch;
A second voltage generation source connected in series with the second switch and generating a voltage lower than a voltage generated by the first voltage generation source;
A switch driving circuit for driving the first and second switches based on the modulation signal,
The first switch includes a switch based on an N-channel MOSFET and a switch based on a P-channel MOSFET connected in parallel with the switch based on the N-channel MOSFET.
The switch driving circuit has a bootstrap capacitor that stores electric charge during a period in which the second switch is ON,
When turning on the first switch, the switch by the N-channel MOSFET is turned on by the electric charge stored in the bootstrap capacitor, and the switch by the N-channel MOSFET is turned on by the electric charge stored in the bootstrap capacitor. A capacitive load drive circuit that turns on the switch by the P-channel MOSFET.
請求項1に記載の容量性負荷駆動回路において
前記スイッチ駆動回路は、前記ブートストラップコンデンサーの電圧を検出し、該検出した電圧に応じて、前記NチャンネルMOSFETによるスイッチ及び前記PチャンネルMOSFETによるスイッチのうちいずれか一方をONとする、容量性負荷駆動回路。
In the capacitive load driving circuit according to claim 1,
The switch driving circuit detects a voltage of the bootstrap capacitor and turns on one of the switch by the N-channel MOSFET and the switch by the P-channel MOSFET according to the detected voltage. Driving circuit.
請求項1に記載の容量性負荷駆動回路において
前記駆動波形信号に基づいて、前記NチャンネルMOSFETによるスイッチ、または前記PチャンネルMOSFETによるスイッチの何れをONとするか決定する決定手段を備え、
前記スイッチ駆動回路は、前記決定手段が決定した結果に基づいて、前記NチャンネルMOSFETによるスイッチ及び前記PチャンネルMOSFETによるスイッチのうちいずれか一方をONとする、容量性負荷駆動回路。
In the capacitive load driving circuit according to claim 1,
Based on the drive waveform signal, a determination means for determining which of the switch by the N-channel MOSFET or the switch by the P-channel MOSFET is to be turned ON,
The switch drive circuit is a capacitive load drive circuit in which one of a switch by the N-channel MOSFET and a switch by the P-channel MOSFET is turned on based on a result determined by the determination means.
請求項1に記載の容量性負荷駆動回路において
前記第1のスイッチをONする場合であって、前記ブートストラップコンデンサーに蓄えられた電荷によって前記NチャンネルMOSFETによるスイッチをONとする場合、前記PチャンネルMOSFETによるスイッチもONとする、容量性負荷駆動回路。
In the capacitive load driving circuit according to claim 1,
Capacitive load driving in which the first switch is turned on , and when the switch by the N-channel MOSFET is turned on by the charge stored in the bootstrap capacitor, the switch by the P-channel MOSFET is also turned on. circuit.
請求項1に記載の容量性負荷駆動回路において
前記第1のスイッチをONする場合であって、前記ブートストラップコンデンサーに蓄えられた電荷によって前記NチャンネルMOSFETによるスイッチをONとする場合、前記PチャンネルMOSFETによるスイッチをOFFとする、容量性負荷駆動回路。
In the capacitive load driving circuit according to claim 1,
Capacitive load drive in which the first switch is turned on, and when the N-channel MOSFET switch is turned on by the charge stored in the bootstrap capacitor, the P-channel MOSFET switch is turned off. circuit.
請求項1ないし請求項5の何れか一項に記載の容量性負荷駆動回路と、
流体を供給する流体供給手段と、
前記流体供給手段から供給された流体が流入する流体室と、
容量性負荷であるアクチュエーターと、
前記流体室に流入された流体を噴射する噴射ノズルと、を備え、
前記容量性負荷駆動回路から出力される駆動信号が前記アクチュエーターに印加されることによって、前記流体室に流入された流体が前記噴射ノズルからパルス状に噴射される流体噴射装置。
A capacitive load driving circuit according to any one of claims 1 to 5,
Fluid supply means for supplying a fluid;
A fluid chamber into which the fluid supplied from the fluid supply means flows;
An actuator that is a capacitive load;
An injection nozzle for injecting the fluid that has flowed into the fluid chamber,
A fluid ejecting apparatus in which a drive signal output from the capacitive load driving circuit is applied to the actuator, whereby fluid flowing into the fluid chamber is ejected in a pulse form from the ejecting nozzle.
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