JP5763440B2 - Semiconductor memory device - Google Patents

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Description

本発明は、半導体記憶装置、特にステータスレジスタを有する半導体記憶装置に関するものである。   The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly to a semiconductor memory device having a status register.

一般に、半導体記憶装置として、図6に示すように、複数のワード線及びビット線(図6では、1024本のワード線及び256本のビット線)のマトリクス構造を構成し、ワード線及びビット線の交差部に対応して設けられた記憶素子である強誘電体メモリにより情報を記憶するメモリセルアレイを備えた半導体記憶装置が知られている。   In general, as a semiconductor memory device, as shown in FIG. 6, a matrix structure of a plurality of word lines and bit lines (1024 word lines and 256 bit lines in FIG. 6) is formed. 2. Description of the Related Art There is known a semiconductor memory device including a memory cell array that stores information by a ferroelectric memory that is a memory element provided corresponding to a crossing portion.

例えば、シリアル通信を行うためのSPI(Sirial Peripheral Interface:シリアルペリフェラルインターフェイス)方式に対応した強誘電体メモリ(メモリセルアレイ)を備えた半導体記憶装置が知られている。このようにSPI方式の強誘電体メモリを備えた半導体記憶装置は、半導体記憶装置(メモリセルアレイ)の動作状態を設定するための不揮発性レジスタとして、いわゆるステータスレジスタを備えている。例えば、特許文献1には、ステータスレジスタを備えた、SPI方式に対応した強誘電体メモリが記載されている。   For example, a semiconductor memory device including a ferroelectric memory (memory cell array) compatible with an SPI (Serial Peripheral Interface) system for performing serial communication is known. As described above, the semiconductor memory device including the SPI type ferroelectric memory includes a so-called status register as a nonvolatile register for setting an operation state of the semiconductor memory device (memory cell array). For example, Patent Document 1 describes a ferroelectric memory that includes a status register and that supports the SPI system.

特開2010−244675号公報JP 2010-244675 A

従来の半導体記憶装置の具体的一例の概略構成図を図7に示す。図7に示した半導体記憶装置100は、半導体チップ120上に、記憶部122と、SPIインターフェイス124と、外部端子126と、電気ヒューズ158と、が形成されている。 また、記憶部122は、上述の図6に示したメモリセルアレイより成る主記憶容量140及びステータスレジスタ142を有するメモリセルアレイ132と、メモリセルアレイ132のワード線及びビット線に電気信号を出力する信号処理回路130と、を備えて構成されている。   FIG. 7 shows a schematic configuration diagram of a specific example of a conventional semiconductor memory device. In the semiconductor memory device 100 shown in FIG. 7, a memory unit 122, an SPI interface 124, an external terminal 126, and an electric fuse 158 are formed on a semiconductor chip 120. In addition, the storage unit 122 includes a memory cell array 132 having the main storage capacity 140 and the status register 142 formed of the memory cell array shown in FIG. 6 and signal processing for outputting electric signals to the word lines and bit lines of the memory cell array 132. Circuit 130.

このような半導体記憶装置100において、個々の半導体記憶装置100に、自身に関する詳細な情報を記憶(記録)させることが一般に行われている。例えば、当該半導体記憶装置100の故障や動作不良の解析を目的として、生産履歴に関する情報や設計情報等を記憶(記録)させることが行われている。   In such a semiconductor memory device 100, it is generally performed to store (record) detailed information about itself in each semiconductor memory device 100. For example, information relating to production history, design information, and the like are stored (recorded) for the purpose of analyzing a failure or malfunction of the semiconductor storage device 100.

生産履歴に関する情報を記憶(記録)させる方法としては、半導体記憶装置100のウエハ試験工程において、個々の半導体記憶装置100の生産履歴に関する情報を2進数に変換し、個々の半導体記憶装置100(半導体チップ120、ダイとも称する)上に設けられた生産履歴に関する情報の記録専用のヒューズ(電気ヒューズ158)を、電気ヒューズ切断装置によりその2進数に応じて切断することにより記憶させる方法が一般に行われている。   As a method for storing (recording) information relating to the production history, in the wafer test process of the semiconductor memory device 100, the information relating to the production history of each semiconductor memory device 100 is converted into a binary number, and each semiconductor memory device 100 (semiconductor Generally, a method for storing a fuse (electric fuse 158) dedicated to recording information relating to production history provided on a chip 120 (also referred to as a die) by cutting the fuse according to the binary number using an electric fuse cutting device is performed. ing.

また、このようにして電気ヒューズ158に記録された生産履歴に関する情報を参照する方法としては、半導体記憶装置100のダイ120を封止する樹脂を除去して、電気ヒューズ158を目視することで確認する方法や、半導体記憶装置100の動作状態を生産履歴に関する情報を参照するための特殊な状態(例えば、特殊なコマンド入力により動作させた動作状態)に設定し、電気ヒューズ158に記録されている2進数を電圧に変換して外部端子126に出力させる方法が知られている。   As a method for referring to the information regarding the production history recorded in the electric fuse 158 in this way, the resin for sealing the die 120 of the semiconductor memory device 100 is removed, and the electric fuse 158 is visually checked. And the operation state of the semiconductor memory device 100 is set to a special state (for example, an operation state operated by a special command input) for referring to information relating to the production history, and is recorded in the electric fuse 158. A method of converting a binary number into a voltage and outputting it to an external terminal 126 is known.

このように電気ヒューズ158に生産履歴に関する情報を記録させる場合、電気ヒューズ158を設置するため、半導体チップ(ダイ)120の面積が増加するという問題が生じる場合がある。   Thus, when recording the information regarding the production history in the electric fuse 158, since the electric fuse 158 is installed, there may be a problem that the area of the semiconductor chip (die) 120 increases.

また、電気ヒューズ158に記録されている情報を参照する場合、上述のように電気ヒューズ158を目視するためにダイ120を封止する樹脂を除去する等、半導体記憶装置100を破壊しなくてはいけない場合がある。また、外部端子126に出力するためには、電気ヒューズ158に記録されている2進数を電圧に変換して外部端子に出力するための回路(図示省略)を専用に設置する必要があるため、さらに半導体チップ(ダイ)120の面積が増加するという問題が生じる場合がある。   Further, when referring to the information recorded in the electrical fuse 158, the semiconductor memory device 100 must be destroyed, for example, by removing the resin that seals the die 120 in order to view the electrical fuse 158 as described above. There is a case that you dont have. In order to output to the external terminal 126, it is necessary to install a circuit (not shown) for converting the binary number recorded in the electrical fuse 158 into a voltage and outputting it to the external terminal. Further, there may be a problem that the area of the semiconductor chip (die) 120 increases.

本発明は、上述した問題を解決するために提案されたものであり、半導体記憶装置自身に、適切に自半導体記憶装置に関する装置情報を記憶することができる、半導体記憶装置を提供することを目的とする。   The present invention has been proposed to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a semiconductor memory device that can appropriately store device information related to the semiconductor memory device in the semiconductor memory device itself. And

上記目的を達成するために、請求項1に記載の半導体記憶装置は、複数のワード線と複数のビット線との交差部の各々に対応して配置された複数の第1記憶素子を備えた主記憶領域と、前記ワード線に隣接して前記主記憶領域外に配置された特定ワード線の一部の領域、及び前記ビット線に隣接して前記主記憶領域外に配置された特定ビット線の一部の領域の少なくとも一方に設けられた少なくとも1つの第2記憶素子を備え、前記主記憶領域の動作状態を設定するためのステータスレジスタと、前記特定ワード線に前記ステータスレジスタが設けられている場合は、前記特定ワード線の前記ステータスレジスタが設けられている前記一部の領域以外の領域に設けられ、前記特定ビット線に前記ステータスレジスタが設けられている場合は、前記特定ビット線の前記ステータスレジスタが設けられている前記一部の領域以外の領域に設けられ、かつ、自半導体記憶装置に関する装置情報を記憶する少なくとも1つの第3記憶素子を備えた装置情報記憶領域と、を備える。 In order to achieve the above object, a semiconductor memory device according to claim 1 includes a plurality of first memory elements arranged corresponding to each of intersections of a plurality of word lines and a plurality of bit lines. A main memory area, a partial area of a specific word line arranged outside the main memory area adjacent to the word line, and a specific bit line arranged outside the main memory area adjacent to the bit line A status register for setting an operation state of the main storage area, and the status register is provided on the specific word line. when on, the said status register of a particular word line provided in a region other than the partial region that is provided, wherein if said status register to a particular bit line is provided, Serial said status register of a specific bit line provided in the region other than the partial region that is provided, and the device information storage comprising at least one third storage element for storing the device information regarding its own semiconductor memory device A region.

本発明によれば、半導体記憶装置自身に、適切に自半導体記憶装置に関する装置情報を記憶することができる、という効果を奏する。   According to the present invention, there is an effect that device information relating to the semiconductor memory device can be appropriately stored in the semiconductor memory device itself.

第1の実施の形態に係る半導体記憶装置の一例を示す概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram showing an example of a semiconductor memory device according to a first embodiment. 第1の実施の形態に係るメモリセルアレイの具体的一例を示す概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram showing a specific example of a memory cell array according to a first embodiment. 第2の実施の形態に係る半導体記憶装置の一例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the semiconductor memory device which concerns on 2nd Embodiment. 第3の実施の形態に係るメモリセルアレイの具体的一例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows a specific example of the memory cell array based on 3rd Embodiment. 第4の実施の形態に係る半導体記憶装置の一例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the semiconductor memory device which concerns on 4th Embodiment. 従来のメモリセルアレイの具体的一例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows a specific example of the conventional memory cell array. 従来の半導体記憶装置の一例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the conventional semiconductor memory device.

[第1の実施の形態]   [First Embodiment]

以下、図面を参照して本発明の実施の形態の半導体記憶装置について詳細に説明する。なお、本実施の形態では、シリアル通信(SPI)方式に対応した半導体記憶装置について詳細に説明する。   Hereinafter, a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Note that in this embodiment, a semiconductor memory device compatible with a serial communication (SPI) method will be described in detail.

本実施の形態の半導体記憶装置の概略構成の一例の概略構成図を図1に示す。本実施の形態の半導体記憶装置10は、半導体チップ(ダイ)20上に、記憶部22と、SPIインターフェイス24と、外部端子26と、を備えて構成されている。   A schematic configuration diagram of an example of a schematic configuration of the semiconductor memory device of the present embodiment is shown in FIG. The semiconductor memory device 10 according to the present embodiment includes a storage unit 22, an SPI interface 24, and an external terminal 26 on a semiconductor chip (die) 20.

記憶部22は、信号処理回路30及びメモリセルアレイ32を備えており、例えばROM(Read Only Memory)等である。信号処理回路30は、入力されたコマンド及びアドレスに応じて、メモリセルアレイ32に情報を書込み(記憶)させたり、記憶されている情報を読み出(参照)したりするための電気信号をメモリセルアレイ32のワード線及びビット線に出力する機能を有している。本実施の形態のメモリセルアレイ32は、主記憶容量40、ステータスレジスタ42、及び生産履歴記憶容量44を含んで構成されており、それぞれワード線及びビット線の交差部に対応して設けられた強誘電体メモリである記憶素子を複数備えて構成されている(詳細後述)。なお、図1では、ワード線及びビット線の各々を駆動するための駆動回路等の記載は省略している。   The storage unit 22 includes a signal processing circuit 30 and a memory cell array 32, and is, for example, a ROM (Read Only Memory). The signal processing circuit 30 outputs an electrical signal for writing (storing) information in the memory cell array 32 and reading (referring) stored information in accordance with the input command and address. It has a function of outputting to 32 word lines and bit lines. The memory cell array 32 according to the present embodiment includes a main storage capacity 40, a status register 42, and a production history storage capacity 44, and is provided corresponding to the intersections of word lines and bit lines, respectively. A plurality of storage elements which are dielectric memories are provided (details will be described later). In FIG. 1, description of a drive circuit and the like for driving each of the word line and the bit line is omitted.

SPIインターフェイス24は、SPI(Sirial Peripheral Interface:シリアルペリフェラルインターフェイス)方式であり、シリアル(1ビットずつ)でデータ転送を実行する、4線式のシリアル通信インターフェイスである。SPI方式では、データを交換するのに必要なクロックパルスであるSCK(Serial Clock)信号、希望した従装置(スレーブ)を選択するSS(Slave Select)信号、データを出力するMOSI(Master Out Slave In)信号、及びデータが入力されるMISO(Master In Slave Out)信号を用いて、従装置(スレーブ)と交信を行う。外部端子26は、SPIインターフェイス24を用いて外部装置(従装置)とデータの送受信を行うための端子である。   The SPI interface 24 is an SPI (Serial Peripheral Interface) system, and is a 4-wire serial communication interface that performs data transfer serially (one bit at a time). In the SPI method, an SCK (Serial Clock) signal, which is a clock pulse necessary for exchanging data, an SS (Slave Select) signal for selecting a desired slave device (slave), and a MOSI (Master Out Slave In) that outputs data. ) Signal and a master in slave out (MISO) signal to which data is input, to communicate with the slave device (slave). The external terminal 26 is a terminal for transmitting / receiving data to / from an external device (slave device) using the SPI interface 24.

本実施の形態のメモリセルアレイ32の具体的一例の概略構成図を図2に示す。本実施の形態のメモリセルアレイ32は、上述のように、主記憶容量40、ステータスレジスタ42、及び生産履歴記憶容量44を備えて構成されている。本実施の形態のメモリセルアレイ32では、具体的一例として、1025本(1024本+1本、詳細後述)のワード線及び256本のビット線によりマトリクス構造を構成しており、ワード線及びビット線の交差部に対応して設けられた強誘電体メモリ(記憶素子)を複数個(256×1025=262400個)有している。   FIG. 2 shows a schematic configuration diagram of a specific example of the memory cell array 32 of the present embodiment. As described above, the memory cell array 32 of the present embodiment includes the main storage capacity 40, the status register 42, and the production history storage capacity 44. In the memory cell array 32 of the present embodiment, as a specific example, a matrix structure is configured by 1025 (1024 + 1) (details will be described later) and 256 bit lines. A plurality (256 × 1025 = 262400) of ferroelectric memories (memory elements) provided corresponding to the intersections are provided.

本実施の形態の半導体記憶装置10は、記憶容量が256kビットのメモリであり、そのため、主記憶容量40は、256kビットの記憶容量を形成するために、1024本のワード線及び256本のビット線によるマトリクス構造を有している。本実施の形態では、図2に示すように具体的一例として0番目〜1023番目までのワード線、及び0番目〜255番目までのビット線により構成されるマトリクス構造の交差部に対応して強誘電体メモリが設けられている。   The semiconductor storage device 10 according to the present embodiment is a memory having a storage capacity of 256 kbits. Therefore, the main storage capacity 40 has 1024 word lines and 256 bits in order to form a storage capacity of 256 kbits. It has a matrix structure with lines. In the present embodiment, as shown in FIG. 2, as a specific example, strong corresponding to the intersection of the matrix structure composed of the 0th to 1023rd word lines and the 0th to 255th bit lines. A dielectric memory is provided.

本実施の形態では、SPI方式に対応したメモリであるため、主記憶容量40の他に、記憶部22(主記憶容量40)の動作状態を設定するためのステータスレジスタ42を備えている。一般的に、SPI方式に対応したメモリでは仕様上、記憶装置の動作状態を設定するためのステータスレジスタと呼ばれる不揮発性レジスタが設けられている。また、一般的に、ステータスレジスタは8ビットの記憶容量が必要とされている。例えば、ステータスレジスタ(ステータスレジスタ42)には、メモリセルアレイ(主記憶容量40)の全ての強誘電体メモリ(記憶素子)をライトプロテクトするためのWEL(Write Enable Latch)ビットや、特定の強誘電体メモリ(記憶素子)エリアをライトプロテクトするためのBP(Memory Block Write Protection Bit)0、BP1ビット等を有している。ステータスレジスタ(ステータスレジスタ42)には、メモリセルアレイ32(主記憶容量40)に対してデータを記憶または参照するための通常のコマンドとは異なる、WRDI(Write Disable)コマンドやWREN(Set Write Enable Latch)コマンド等の特定のコマンドにより、「0」または「1」の記憶または参照が行われる。   In this embodiment, since the memory is compatible with the SPI system, in addition to the main storage capacity 40, a status register 42 for setting the operation state of the storage unit 22 (main storage capacity 40) is provided. In general, a memory corresponding to the SPI system is provided with a non-volatile register called a status register for setting an operation state of a storage device according to specifications. In general, the status register requires an 8-bit storage capacity. For example, in the status register (status register 42), a WEL (Write Enable Latch) bit for write-protecting all the ferroelectric memories (storage elements) of the memory cell array (main storage capacity 40) or a specific ferroelectric It has BP (Memory Block Write Protection Bit) 0, BP1 bit, etc. for write-protecting the body memory (storage element) area. In the status register (status register 42), a WRDI (Write Disable) command or WREN (Set Write Enable Latch), which is different from a normal command for storing or referring data to the memory cell array 32 (main storage capacity 40), is used. ) “0” or “1” is stored or referred to by a specific command such as a command.

本実施の形態では、主記憶容量40を構成するワード線に隣接して、1025番目のワード線を特定ワード線として設け、特定ワード線と256本のビット線との交差部に対応して設けられた強誘電体メモリをステータスレジスタ42として使用している。ここで、特定ワード線上には、256個(256ビット)の強誘電体メモリが存在するが、上述のように、ステータスレジスタ42とし使用されるのは、最大8ビットであるため、特定ワード線上の256ビットの強誘電体メモリのうち、8ビット分(図2では、0番目〜7番目のビット線との交差部に対応する8個の強誘電体メモリ)によりステータスレジスタ42を構成している。   In this embodiment, the 1025th word line is provided as a specific word line adjacent to the word line constituting the main storage capacitor 40, and is provided corresponding to the intersection of the specific word line and 256 bit lines. The obtained ferroelectric memory is used as the status register 42. Here, there are 256 (256 bits) ferroelectric memories on a specific word line. As described above, since the maximum number of bits used as the status register 42 is 8 bits, Of the 256-bit ferroelectric memory, the status register 42 is configured by 8 bits (in FIG. 2, eight ferroelectric memories corresponding to intersections with the 0th to 7th bit lines). Yes.

また、本実施の形態では、ステータスレジスタ42として使用されない、特定ワード線上の残りの強誘電体メモリにより生産履歴に関する情報の記憶用の生産履歴記憶容量44を構成している。具体的には、本実施の形態では、図2に示すように、8番目〜255番目のビット線との交差部に対応する248個(248ビット)の強誘電体メモリにより生産履歴記憶容量44を構成している。なお、本実施の形態で生産履歴に関する情報とは、半導体記憶装置10(半導体チップ20)自身の生産に関する情報であり、例えば、ウエハの履歴、ウエハ番号、ロットナンバー、前工程に関する情報、動作の測定を行った工場やテスタのデータ、及び生産経過等が含まれる。   In the present embodiment, the remaining ferroelectric memory on the specific word line that is not used as the status register 42 constitutes a production history storage capacity 44 for storing information relating to the production history. Specifically, in the present embodiment, as shown in FIG. 2, the production history storage capacity 44 is constituted by 248 (248 bits) ferroelectric memories corresponding to the intersections with the 8th to 255th bit lines. Is configured. In the present embodiment, the information relating to the production history is information relating to the production of the semiconductor memory device 10 (semiconductor chip 20) itself. For example, the history of the wafer, the wafer number, the lot number, the information relating to the previous process, and the operation Data of the factory and tester that performed the measurement, production progress, etc. are included.

生産履歴記憶容量44の生産履歴に関する情報の記憶及び参照は、主記憶容量40の情報の記憶及び参照のための通常のコマンドや、ステータスレジスタ42に対する「0」または「1」の記憶及び参照のための特定のコマンド(上述参照)と異なる特殊なコマンドが用いられる。信号処理回路30に入力された当該特殊なコマンドにより、生産履歴記憶容量44の生産履歴に関する情報の記憶または参照を行う特殊な状態に設定され、特定ワード線及び、該当するビット線を有効にするための電気信号が出力されることにより、生産履歴に関する情報の記憶または参照が実行される。このように特殊なコマンドを用いて生産履歴記憶容量44への記録・参照を実行することにより、半導体記憶装置10(半導体チップ20)を使用するユーザが誤って、生産履歴記憶容量44に記憶されている生産履歴に関する情報を書き換えてしまうのを抑制することができる。   The storage and reference of information related to the production history of the production history storage capacity 44 is performed by normal commands for storing and referring to the information of the main storage capacity 40 and storage and reference of “0” or “1” for the status register 42. A special command is used that is different from the specific command (see above). The special command input to the signal processing circuit 30 is set to a special state where information relating to the production history of the production history storage capacity 44 is stored or referred to, and the specific word line and the corresponding bit line are enabled. When the electrical signal for output is output, information relating to the production history is stored or referred to. As described above, by performing recording / reference to the production history storage capacity 44 using a special command, a user using the semiconductor storage device 10 (semiconductor chip 20) is mistakenly stored in the production history storage capacity 44. It is possible to suppress rewriting of information related to production history.

以上説明したように本実施の形態の半導体記憶装置10では、特定ワード線(1024番目のワード線)上のステータスレジスタ42が設けられていない領域である、8番目〜255番目のビット線と交差する領域に設けられている強誘電体メモリにより生産履歴記憶容量44を構成し、生産履歴記憶容量44に、半導体記憶装置10(半導体チップ20)の生産履歴に関する情報を記憶させている。また、生産履歴記憶容量44への記憶・参照は、主記憶容量40への記憶・参照に使用される通常のコマンドと異なる特殊なコマンドが用いられる。   As described above, in the semiconductor memory device 10 of the present embodiment, it intersects with the eighth to 255th bit lines, which are areas where the status register 42 is not provided on the specific word line (1024th word line). The production history storage capacity 44 is constituted by a ferroelectric memory provided in the area to be stored, and information related to the production history of the semiconductor memory device 10 (semiconductor chip 20) is stored in the production history storage capacity 44. For the storage / reference to the production history storage capacity 44, a special command different from the normal command used for storage / reference to the main storage capacity 40 is used.

このように、特定ワード線上の強誘電体メモリにより生産履歴記憶容量44を構成することにより、従来の半導体記憶装置(図7、半導体記憶装置100参照)のように電気ヒューズ(電気ヒューズ158)を設けなくても生産履歴に関する情報を記憶させることができるため、半導体チップ(ダイ)20の面積の増加を抑制することができる。また、特殊なコマンドを用いることにより、生産履歴記憶容量44から生産履歴に関する情報を参照することができるため、半導体チップ(ダイ)20を封止する樹脂を除去する等、半導体記憶装置10を破壊することなく、生産履歴に関する情報を参照することができる。また、特殊なコマンドを用いることにより、生産履歴記憶容量44に生産履歴に関する情報を記憶させることができるため、ウエハ試験工程等の所定の工程以外の工程や、所望の際に、生産履歴に関する情報を記憶させることができる。   In this way, by forming the production history storage capacity 44 by the ferroelectric memory on the specific word line, an electric fuse (electric fuse 158) is provided as in the conventional semiconductor memory device (see FIG. 7, semiconductor memory device 100). Since information relating to the production history can be stored without providing, an increase in the area of the semiconductor chip (die) 20 can be suppressed. Further, by using a special command, information related to the production history can be referred to from the production history storage capacity 44, so that the semiconductor memory device 10 is destroyed, for example, by removing the resin that seals the semiconductor chip (die) 20. It is possible to refer to the information related to the production history without doing so. Further, since information related to production history can be stored in the production history storage capacity 44 by using a special command, information related to the production history can be stored in a process other than a predetermined process such as a wafer test process or when desired. Can be stored.

従って、半導体記憶装置10自身に、適切に自半導体記憶装置10に関する生産履歴情報を装置情報として記憶することができる。   Therefore, production history information related to the own semiconductor memory device 10 can be appropriately stored as device information in the semiconductor memory device 10 itself.

[第2の実施の形態]   [Second Embodiment]

以下、図面を参照して本発明の第2の実施の形態の半導体記憶装置について詳細に説明する。図3に、本実施の形態の半導体記憶装置の概略構成の一例の概略構成図を示す。なお、本実施の形態において、第1の実施の形態と略同様の構成、及び動作については、その旨を記載し、詳細な説明を省略する。   Hereinafter, a semiconductor memory device according to a second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 3 shows a schematic configuration diagram of an example of a schematic configuration of the semiconductor memory device of the present embodiment. In the present embodiment, the configuration and operation substantially similar to those of the first embodiment are described as such, and detailed description thereof is omitted.

本実施の形態の半導体記憶装置50は、半導体チップ(ダイ)60上に、さらに電気ヒューズ58が構成されている点が、第1の実施の形態の半導体記憶装置10と異なっている。   The semiconductor memory device 50 of the present embodiment is different from the semiconductor memory device 10 of the first embodiment in that an electric fuse 58 is further formed on a semiconductor chip (die) 60.

第1の実施の形態の半導体記憶装置10では、生産履歴記憶容量44のみに生産履歴に関する情報を記憶させるようにしていたが、生産履歴記憶容量44に含まれる強誘電体メモリの物理的な破壊等により、正確な生産履歴に関する情報を参照することができなくなる場合がある。そのため、本実施の形態の半導体記憶装置50は、生産履歴に関する情報を記録させるための電気ヒューズ58を備えて構成されている。なお、図3に示した電気ヒューズ58は、複数の電気ヒューズを有する一群の電気ヒューズ及び電気ヒューズに記録されている情報を参照するための回路等を含んで構成されている。   In the semiconductor memory device 10 of the first embodiment, information related to the production history is stored only in the production history storage capacity 44, but physical destruction of the ferroelectric memory included in the production history storage capacity 44 is performed. For example, it may not be possible to refer to information related to accurate production history. For this reason, the semiconductor memory device 50 according to the present embodiment includes an electric fuse 58 for recording information relating to production history. The electric fuse 58 shown in FIG. 3 includes a group of electric fuses having a plurality of electric fuses, a circuit for referring to information recorded in the electric fuses, and the like.

電気ヒューズ58に生産履歴に関する情報を記録させる場合、予め、電気ヒューズ切断装置により、電気ヒューズを切断する。例えば、「0」を記録させる場合は、電気ヒューズを切断し、電気信号が導通しないようにし、「1」を記録させる場合は、電気ヒューズを切断せずに、電気信号が導通するようにすればよい。また、生産履歴に関する情報に応じて予め定められた個々の電気ヒューズを切断するか否かにより記録させるようにしてもよい。   When recording information related to production history in the electric fuse 58, the electric fuse is cut in advance by an electric fuse cutting device. For example, when recording “0”, the electric fuse is cut so that the electric signal is not conducted. When recording “1”, the electric signal is conducted without cutting the electric fuse. That's fine. Further, recording may be performed depending on whether or not individual electric fuses determined in advance according to information on the production history are to be cut.

なお、記録させる生産履歴に関する情報は、生産履歴記憶容量44に記憶されている全ての情報であってもよいが、生産履歴記憶容量44が破壊等され、生産履歴記憶容量44から生産履歴に関する情報を参照できなくなった場合に備えて記録させるものであるため、全ての情報ではなく、重要度等により予め定められた一部(例えば、故障解析に必要な最低限)の情報とすることが好ましい。このように、一部の情報のみを記録させることにより、半導体チップ(ダイ)60の面積の増加を抑制することができる。   The information relating to the production history to be recorded may be all the information stored in the production history storage capacity 44, but the production history storage capacity 44 is destroyed or the like, and information relating to the production history is recorded from the production history storage capacity 44. It is preferable to use a part of information (for example, the minimum necessary for failure analysis) determined in advance based on importance, etc., instead of all information. . Thus, by recording only a part of information, an increase in the area of the semiconductor chip (die) 60 can be suppressed.

このように、本実施の形態の半導体記憶装置50では、生産履歴に関する情報を記録する電気ヒューズ58を備えるため、生産履歴記憶容量44から情報を参照できない場合であっても、生産履歴に関する情報を参照することができる。   As described above, the semiconductor storage device 50 according to the present embodiment includes the electrical fuse 58 that records information relating to the production history. Therefore, even if the information cannot be referred from the production history storage capacity 44, the information relating to the production history is displayed. You can refer to it.

[第3の実施の形態] [Third Embodiment]

以下、図面を参照して本発明の第3の実施の形態の半導体記憶装置について詳細に説明する。図4に、本実施の形態のメモリセルアレイの概略構成の一例の概略構成図を示す。なお、本実施の形態において、第1の実施の形態及び第2の実施の形態と略同様の構成、及び動作については、その旨を記載し、詳細な説明を省略する。   Hereinafter, a semiconductor memory device according to a third embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 4 shows a schematic configuration diagram of an example of a schematic configuration of the memory cell array according to the present embodiment. In the present embodiment, the configuration and operation that are substantially the same as those in the first embodiment and the second embodiment are described as such, and detailed description thereof is omitted.

本実施の形態の半導体記憶装置は、さらに、チェックサムを記憶するチェックサム記憶容量46を備える点が、第1の実施の形態及び第2の実施の形態と異なっている。   The semiconductor memory device of this embodiment is different from the first and second embodiments in that it further includes a checksum storage capacity 46 for storing a checksum.

第1の実施の形態及び第2の実施の形態の半導体記憶装置10、50では、例えば、半導体記憶装置10、50を使用するユーザ等の誤使用により、生産履歴記憶容量44に記憶されている生産履歴に関する情報が書き換えられてしまい、正確な生産履歴に関する情報を参照することができなくなる場合がある。そのため、本実施の形態の半導体記憶装置では、生産履歴記憶容量44に記憶されている生産履歴に関する情報のチェックサムを記憶させるためのチェックサム記憶容量46を備えて構成されている。   In the semiconductor memory devices 10 and 50 of the first embodiment and the second embodiment, for example, they are stored in the production history storage capacity 44 due to misuse by a user or the like who uses the semiconductor memory devices 10 and 50. Information about production history may be rewritten, and accurate information about production history may not be referred to. Therefore, the semiconductor storage device of the present embodiment is configured to include a checksum storage capacity 46 for storing a checksum of information relating to the production history stored in the production history storage capacity 44.

本実施の形態では、具体的一例として、図4に示すように、特定ワード線上の、ステータスレジスタ42及び生産履歴記憶容量44に用いられない強誘電体メモリにより、チェックサム記憶容量46を構成している。具体的には、図4に示すように、8番目〜n+1番目のビット線と特定ワード線との交差部に対応する強誘電体メモリにより生産履歴記憶容量44を構成し、n+2番目〜255番目のビット線と特定ワード線との交差部に対応する強誘電体メモリによりチェックサム記憶容量46を構成している。   In this embodiment, as a specific example, as shown in FIG. 4, a checksum storage capacity 46 is configured by a ferroelectric memory that is not used for the status register 42 and the production history storage capacity 44 on a specific word line. ing. Specifically, as shown in FIG. 4, the production history storage capacity 44 is constituted by a ferroelectric memory corresponding to the intersection of the eighth to n + 1th bit lines and the specific word line, and n + 2 to 255th. A checksum storage capacitor 46 is constituted by a ferroelectric memory corresponding to the intersection of the bit line and the specific word line.

このように本実施の形態の半導体記憶装置では、生産履歴記憶容量44に記憶されている生産履歴に関する情報のチェックサムを記憶するチェックサム記憶容量46を備えるため、生産履歴記憶容量44に記憶されている生産履歴に関する情報の正誤の判別を行うことができる。   As described above, the semiconductor storage device according to the present embodiment includes the checksum storage capacity 46 that stores the checksum of the information related to the production history stored in the production history storage capacity 44, and therefore is stored in the production history storage capacity 44. Whether the information relating to the production history is correct or incorrect can be determined.

なお、本実施の形態では、生産履歴記憶容量44に記憶されている生産履歴に関する情報のチェックサムを特定ワード線上に生産履歴記憶容量44に併設されたチェックサム記憶容量46に記憶させるようにしているがこれに限らない。例えば、第2の実施の形態の半導体記憶装置50の電気ヒューズ58にチェックサムを記録させるようにしてもよいし、別途、チェックサムを記憶させる記憶部を半導体チップ(ダイ)上に設けるようにしてもよい。なお、情報生産履歴記憶容量44と、チェックサム記憶容量46とを、特定ワード線上の、ステータスレジスタ42を除いた領域に併設して構成することにより、半導体チップ(ダイ)の面積の増加を防止することができるため、好ましい。   In the present embodiment, the checksum of the information relating to the production history stored in the production history storage capacity 44 is stored in the checksum storage capacity 46 attached to the production history storage capacity 44 on a specific word line. However, it is not limited to this. For example, the checksum may be recorded in the electric fuse 58 of the semiconductor memory device 50 of the second embodiment, or a separate storage unit for storing the checksum may be provided on the semiconductor chip (die). May be. The information production history storage capacity 44 and the checksum storage capacity 46 are arranged side by side on a specific word line except for the status register 42, thereby preventing an increase in the area of the semiconductor chip (die). This is preferable.

また、本実施の形態では、具体的一例としてチェックサムを記憶させているが、生産履歴記憶容量44に記憶されている生産履歴に関する情報が正確であるか(書き換えられていないか)を検出することができるための情報であればチェックサムに限らず、他のエラー検出用符号等であってもよい。   In this embodiment, a checksum is stored as a specific example, but it is detected whether the information related to the production history stored in the production history storage capacity 44 is accurate (not rewritten). However, the information is not limited to the checksum, and may be other error detection codes.

[第4の実施の形態] [Fourth Embodiment]

以下、図面を参照して本発明の第4の実施の形態の半導体記憶装置について詳細に説明する。図5に、本実施の形態の半導体記憶装置の概略構成の一例の概略構成図を示す。なお、本実施の形態において、第1の実施の形態〜第3の実施の形態と略同様の構成、及び動作については、その旨を記載し、詳細な説明を省略する。   Hereinafter, a semiconductor memory device according to a fourth embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 5 shows a schematic configuration diagram of an example of a schematic configuration of the semiconductor memory device of the present embodiment. In the present embodiment, the configuration and operation substantially similar to those in the first to third embodiments are described as such, and detailed description thereof is omitted.

第1の実施の形態〜第3の実施の形態では、SPI方式に対応した強誘電体メモリにより構成される記憶部22(メモリセル32)に適用した場合について詳細に説明したが、その他のインターフェイス方式(SPI以外のシリアル通信方式やパラレル通信方式等)に対応した強誘電体メモリにより構成される記憶部22(メモリセル32)に適用するようにしてもよい。   In the first to third embodiments, the case where the present invention is applied to the storage unit 22 (memory cell 32) configured by a ferroelectric memory corresponding to the SPI method has been described in detail. You may make it apply to the memory | storage part 22 (memory cell 32) comprised by the ferroelectric memory corresponding to systems (serial communication systems other than SPI, a parallel communication system, etc.).

本実施の形態の半導体記憶装置70は、半導体チップ(ダイ)80上に、通信インターフェイス84及び複数の外部端子86を備えて構成されており、パラレルで通信が行えるように構成されている。   The semiconductor memory device 70 according to the present embodiment includes a communication interface 84 and a plurality of external terminals 86 on a semiconductor chip (die) 80, and is configured to perform communication in parallel.

その他のインターフェイス方式に対応した強誘電体メモリにより構成される記憶部22(メモリセル32)においても、同一の半導体チップ(ダイ)80で複数のインターフェイス方式に対応するように構成されている場合や、同一の半導体チップ(ダイ)80ではない場合であっても設計資産を流用した設計手法により構成されている場合は、ステータスレジスタ42の強誘電体メモリ(記憶素子)及び制御回路(図示省略)は、機能を停止させた状態で半導体チップ(ダイ)80上に形成されている。従って、本実施の形態の半導体記憶装置70のメモリセルアレイ32においても、特定ワード線上のステータスレジスタ42が設けられていない領域の強誘電体メモリ(記憶素子)により生産履歴記憶容量44を構成することができる。   Even in the storage unit 22 (memory cell 32) configured by a ferroelectric memory compatible with other interface methods, the same semiconductor chip (die) 80 may be configured to support a plurality of interface methods. Even if they are not the same semiconductor chip (die) 80, if they are configured by a design method using design assets, the ferroelectric memory (storage element) and control circuit (not shown) of the status register 42 Is formed on the semiconductor chip (die) 80 with its function stopped. Therefore, also in the memory cell array 32 of the semiconductor memory device 70 of the present embodiment, the production history storage capacity 44 is constituted by the ferroelectric memory (storage element) in the area where the status register 42 on the specific word line is not provided. Can do.

また、本実施の形態の半導体記憶装置70においても、第1の実施の形態で説明したのと同様に、生産履歴記憶容量44の生産履歴に関する情報の記憶及び参照は、主記憶容量40の情報の記憶及び参照のための通常のコマンドや、ステータスレジスタ42に対する「0」または「1」の記憶及び参照のための特定のコマンドと異なる特殊なコマンドを用いることにより実行できる。信号処理回路30に入力された当該特殊なコマンドにより、生産履歴記憶容量44の生産履歴に関する情報の記憶または参照を行う特殊な状態に設定され、特定ワード線及び、該当するビット線を有効にするための電気信号が出力されることにより、生産履歴に関する情報の記憶または参照が実行される。   Also in the semiconductor storage device 70 of the present embodiment, the storage and reference of the information related to the production history of the production history storage capacity 44 is the information of the main storage capacity 40 as described in the first embodiment. Can be executed by using a special command different from a normal command for storing and referencing and a specific command for storing and referencing “0” or “1” for the status register 42. The special command input to the signal processing circuit 30 is set to a special state where information relating to the production history of the production history storage capacity 44 is stored or referred to, and the specific word line and the corresponding bit line are enabled. When the electrical signal for output is output, information relating to the production history is stored or referred to.

このように本実施の形態の半導体記憶装置70では、SPI方式以外のインターフェイス方式に対応した強誘電体メモリにより構成される記憶部22(メモリセル32)においても、特定ワード線上のステータスレジスタ42を除いた領域に生産履歴記憶容量44を構成することができる。   As described above, in the semiconductor memory device 70 of the present embodiment, the status register 42 on the specific word line is also stored in the memory unit 22 (memory cell 32) configured by the ferroelectric memory corresponding to the interface system other than the SPI system. The production history storage capacity 44 can be configured in the excluded area.

なお、第1の実施の形態〜第4の実施の形態では、自半導体記憶装置(10、50、70)に関する装置情報として、生産履歴記憶容量44に生産履歴に関する情報を記憶させる場合について説明したがこれに限らず、その他、半導体記憶装置10(半導体チップ20)自身の設計情報等を記憶させるようにしてもよい。少なくとも、半導体記憶装置10(半導体チップ20)自身の故障や動作不良等の不具合を解析するために必要とされる予め定められた情報であれば特に限定されない。また、これらの情報の他に、半導体記憶装置10(半導体チップ20)を使用するユーザが所望の半導体記憶装置10(半導体チップ20)に関する情報(例えば、半導体記憶装置10(半導体チップ20)の設置場所等)等を記憶させるようにしてもよい。   In the first to fourth embodiments, a case has been described in which information relating to a production history is stored in the production history storage capacity 44 as device information relating to the own semiconductor memory device (10, 50, 70). However, the design information and the like of the semiconductor memory device 10 (semiconductor chip 20) itself may be stored. The information is not particularly limited as long as it is predetermined information required for analyzing a failure such as a failure or an operation failure of the semiconductor memory device 10 (semiconductor chip 20) itself. In addition to these pieces of information, information on the semiconductor storage device 10 (semiconductor chip 20) desired by the user using the semiconductor storage device 10 (semiconductor chip 20) (for example, installation of the semiconductor storage device 10 (semiconductor chip 20)). Location etc.) may be stored.

また、第1の実施の形態〜第4の実施の形態では、特定ワード線上のステテータスレジスタ42以外の強誘電体メモリ(記憶容量)を、生産履歴に関する情報を記憶する生産履歴記憶容量44として構成する場合について説明したこれに限らず、特定ワード線のかわりに特定ビット線(例えば、256番目のビット線)を設けて当該ビット線上にステータスレジスタ42及び生産履歴記憶容量44を構成するようにしてもよい。特定ワード線及び特定ビット線のいずれを設けるようにするかは、半導体チップ(ダイ)20の面積の増加を抑制する観点からは、面積が小さくなる方(例えば、信号線長が短い方)を設けるようにすればよく、記憶させたい生産履歴に関する情報が多い場合等は、より多くの強誘電体メモリを含む方を設けるようにすればよい。   In the first to fourth embodiments, the ferroelectric memory (storage capacity) other than the status register 42 on the specific word line is used as the production history storage capacity 44 for storing information related to the production history. The configuration is not limited to this, but a specific bit line (for example, the 256th bit line) is provided instead of the specific word line, and the status register 42 and the production history storage capacity 44 are configured on the bit line. May be. Which of the specific word line and the specific bit line is to be provided is selected from the viewpoint of suppressing an increase in the area of the semiconductor chip (die) 20 (for example, a signal line having a shorter length). If there is a lot of information relating to the production history to be stored, it is sufficient to provide one including more ferroelectric memories.

また、第1の実施の形態〜第4の実施の形態で説明した、半導体記憶装置10やメモリセル32の構成等は一例であり、本発明の主旨を逸脱しない範囲内において状況に応じて変更されることは言うまでもない。   The configurations of the semiconductor memory device 10 and the memory cell 32 described in the first to fourth embodiments are merely examples, and can be changed according to the situation without departing from the gist of the present invention. It goes without saying that it is done.

10、50 半導体記憶装置
24 SPIインターフェイス
30 信号処理回路
32 メモリセルアレイ
40 主記憶容量
42 ステータスレジスタ
44 生産履歴記憶容量
46 チェックサム記憶容量
58 電気ヒューズ
10, 50 Semiconductor memory device 24 SPI interface 30 Signal processing circuit 32 Memory cell array 40 Main memory capacity 42 Status register 44 Production history memory capacity 46 Checksum memory capacity 58 Electrical fuse

Claims (9)

複数のワード線と複数のビット線との交差部の各々に対応して配置された複数の第1記憶素子を備えた主記憶領域と、
前記ワード線に隣接して前記主記憶領域外に配置された特定ワード線の一部の領域、及び前記ビット線に隣接して前記主記憶領域外に配置された特定ビット線の一部の領域の少なくとも一方に設けられた少なくとも1つの第2記憶素子を備え、前記主記憶領域の動作状態を設定するためのステータスレジスタと、
前記特定ワード線に前記ステータスレジスタが設けられている場合は、前記特定ワード線の前記ステータスレジスタが設けられている前記一部の領域以外の領域に設けられ、前記特定ビット線に前記ステータスレジスタが設けられている場合は、前記特定ビット線の前記ステータスレジスタが設けられている前記一部の領域以外の領域に設けられ、かつ、自半導体記憶装置に関する装置情報を記憶する少なくとも1つの第3記憶素子を備えた装置情報記憶領域と、
を備えた半導体記憶装置。
A main storage area comprising a plurality of first storage elements arranged corresponding to each of the intersections of the plurality of word lines and the plurality of bit lines;
Some of the regions, and some regions of a specific bit lines disposed in the main storage area outside and adjacent to the bit line of the word lines specified word line arranged outside the main storage area adjacent to the A status register for setting an operating state of the main storage area, comprising at least one second storage element provided in at least one of
Wherein if said status register to a particular word line is provided, wherein said status register of a particular word line is provided in the region other than the partial region that is provided, said status register to said specific bit line If provided, the said status register of a specific bit line provided in the region other than the partial region that is provided, and at least one third storage for storing device information regarding its own semiconductor memory device A device information storage area comprising elements;
A semiconductor memory device.
前記装置情報は、当該自半導体記憶装置の故障の解析及び動作不良の解析の少なくとも一方に用いられる情報である、請求項1に記載の半導体記憶装置。   2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the device information is information used for at least one of failure analysis and malfunction analysis of the semiconductor memory device. 前記主記憶領域に情報を記憶させる記憶コマンド、前記主記憶領域から情報を参照する参照コマンド、及び前記第1記憶素子のアドレスに基づいて、前記ワード線及び前記ビット線に電気信号を出力する処理を行い、かつ、前記記憶コマンド及び前記参照コマンドと異なる、前記装置情報記憶領域に前記装置情報を記憶または参照するための予め定められたコマンド及び前記第3記憶素子のアドレスに基づいて、前記特定ワード線及び前記ビット線または前記ワード線及び前記特定ビット線に電気信号を出力する処理を行う処理手段を備えた、請求項1または請求項2に記載の半導体記憶装置。 A process for outputting an electrical signal to the word line and the bit line based on a storage command for storing information in the main storage area, a reference command for referring to information from the main storage area, and an address of the first storage element And the identification based on a predetermined command for storing or referring to the device information in the device information storage area and an address of the third storage element, which are different from the storage command and the reference command. 3. The semiconductor memory device according to claim 1, further comprising processing means for performing processing for outputting an electric signal to the word line and the bit line or the word line and the specific bit line. 前記装置情報記憶領域に記憶されている前記装置情報を記録するヒューズを備えた、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の半導体記憶装置。   4. The semiconductor memory device according to claim 1, further comprising a fuse for recording the device information stored in the device information storage area. 前記ヒューズは、前記装置情報のうち、予め定められた一部の情報を記録する、請求項4に記載の半導体記憶装置。   The semiconductor memory device according to claim 4, wherein the fuse records a predetermined part of the device information. 前記装置情報記憶領域に記憶されている前記装置情報のエラー検出用の情報を記憶する記憶部を備えた、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の半導体記憶装置。 6. The semiconductor memory device according to claim 1, further comprising a storage unit that stores information for error detection of the device information stored in the device information storage area. 7. 前記記憶部は、前記特定ワード線に前記ステータスレジスタ及び前記装置情報記憶領域が設けられている場合は、前記特定ワード線の前記ステータスレジスタ及び前記装置情報記憶領域が設けられていない領域に設けられ、前記特定ビット線に前記ステータスレジスタ及び前記装置情報記憶領域が設けられている場合は、前記特定ビット線の前記ステータスレジスタ及び前記装置情報記憶領域が設けられていない領域に設けられた、第4記憶素子を備える、請求項6に記載の半導体記憶装置。   The storage unit is provided in an area where the status register and the device information storage area of the specific word line are not provided when the status register and the device information storage area are provided in the specific word line. When the status register and the device information storage area are provided in the specific bit line, a fourth bit provided in the area where the status register and the device information storage area of the specific bit line are not provided. The semiconductor memory device according to claim 6, comprising a memory element. 前記エラー検出用の情報は、前記装置情報のチェックサムである、請求項6または請求項7に記載の半導体記憶装置。   The semiconductor memory device according to claim 6, wherein the error detection information is a checksum of the device information. 前記第1記憶素子は、シリアル通信方式に対応した強誘電体メモリである、請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の半導体記憶装置。   The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the first memory element is a ferroelectric memory compatible with a serial communication method.
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