JP3482543B2 - Semiconductor memory - Google Patents

Semiconductor memory

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JP3482543B2
JP3482543B2 JP15614794A JP15614794A JP3482543B2 JP 3482543 B2 JP3482543 B2 JP 3482543B2 JP 15614794 A JP15614794 A JP 15614794A JP 15614794 A JP15614794 A JP 15614794A JP 3482543 B2 JP3482543 B2 JP 3482543B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、半導体メモリに適用し
て有効な技術に関し、例えばフラッシュメモリ、ICカ
ード、ノート型パソコンの拡張用メモリ等に利用可能な
技術である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique effective when applied to a semiconductor memory, and is a technique applicable to, for example, a flash memory, an IC card, an expansion memory of a notebook personal computer and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体メモリは極めて信頼性に優れてい
る。そのため、従来、パリティビットを持つようにされ
たメモリは提案されているが、メモリ自身でデータのチ
ェックを行なうようにしたものは提案されていなかっ
た。これに対し、磁気ディスクは半導体メモリに比べて
信頼性に乏しいため、データのチェック及び訂正を行う
いわゆるECC(エラー・コレクティング・コード)回
路を設けたものがある。
2. Description of the Related Art Semiconductor memories are extremely reliable. Therefore, conventionally, a memory having a parity bit has been proposed, but a memory having the memory itself to check data has not been proposed. On the other hand, a magnetic disk is less reliable than a semiconductor memory, and therefore there is a magnetic disk provided with a so-called ECC (error collecting code) circuit for checking and correcting data.

【0003】ECC回路は、記憶されたデータが破壊さ
れた時にデータを検出し修正を行うものである。その論
理は、CQ出版株式会社発行「基礎からのメモリ応用」
等で広く一般に知られている様に排他的論理和の組み合
わせで表す事ができる。
The ECC circuit detects and corrects data when the stored data is destroyed. The logic is "Memory application from the basics" issued by CQ Publishing Co., Ltd.
It can be represented by a combination of exclusive ORs, as is widely known.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ある種の半導体メモリ
はデータの信頼性が環境や使用状況により低下するとい
う欠点を備えている。そのような半導体メモリの例とし
て、例えば過度に書き込みを行なった不揮発性メモリや
ソフトエラーに弱い構造すなわち過度に放射線の強い場
所や高温下で使用したり、製品の実力以下の低電圧で使
用するDRAM、低温(0℃以下)あるいは製品の実力
以下の低電圧で使用するSRAM等がある。
Certain semiconductor memories have the drawback that the reliability of data decreases depending on the environment and the situation of use. As an example of such a semiconductor memory, for example, an excessively written non-volatile memory or a structure vulnerable to soft error, that is, used in a place with excessively strong radiation, at high temperature, or at a low voltage lower than the product's ability is used. There are DRAMs, SRAMs used at low temperature (0 ° C. or lower) or low voltage lower than the product's ability, and the like.

【0005】本発明の目的は、保持データの信頼性の高
い半導体メモリを提供することにある。本発明の他の目
的は、製造プロセスを複雑にすることなく保持データの
信頼性の高い不揮発性メモリを実現可能にする技術を提
供することにある。この発明の前記ならびにそのほかの
目的と新規な特徴については、本明細書の記述および添
附図面から明らかになるであろう。
An object of the present invention is to provide a semiconductor memory in which retained data is highly reliable. Another object of the present invention is to provide a technique capable of realizing a non-volatile memory with high reliability of held data without complicating the manufacturing process. The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、下記のと
おりである。すなわち、半導体メモリにエラーのチェッ
ク訂正機能を持つECC回路を設けるようにしたもので
ある。また、不揮発性メモリにあっては、書き込み不可
能アドレスが発生した場合に備えてメモリアレイ部に予
備ビットをまた周辺回路には不良アドレス記憶手段を有
する冗長回路を設けておくと共に、不良アドレス保持手
段をメモリアレイ内の不揮発性記憶素子と同一の素子を
用いて構成する。
The typical ones of the inventions disclosed in the present application will be outlined below. That is, the semiconductor memory is provided with an ECC circuit having an error check and correction function. In addition, in the case of a non-volatile memory, a spare bit is provided in the memory array section and a redundant circuit having a defective address storage means is provided in the peripheral circuit in preparation for the occurrence of an unwritable address, and the defective address is held. The means is configured using the same element as the non-volatile storage element in the memory array.

【0007】[0007]

【作用】上記した手段によれば、メモリアレイ内の一部
のデータが破壊されてもECC回路によって正しいデー
タを回復してやることができるため、メモリの信頼性を
向上させることができる。また、不揮発性メモリにあっ
ては、メモリアレイ部に予備ビットをまた周辺回路には
冗長回路を設けておくと共に、不良アドレス記憶手段を
メモリアレイ内の不揮発性記憶素子と同一の素子を用い
て構成することにより、書換え回数の増加によって不良
となったビットを予備のビットと置き換えることができ
るとともに、電源を切った後も不良アドレスを保持する
ことができ、製造プロセスを複雑にすることなく保持デ
ータの信頼性の高い不揮発性メモリを実現することがで
きるようになる。
According to the above-mentioned means, the correct data can be recovered by the ECC circuit even if some data in the memory array is destroyed, so that the reliability of the memory can be improved. In addition, in the non-volatile memory, a spare bit is provided in the memory array section and a redundant circuit is provided in the peripheral circuit, and the defective address storage means uses the same element as the non-volatile storage element in the memory array. By configuring, it is possible to replace a defective bit due to an increase in the number of rewrites with a spare bit, and to retain the defective address even after the power is turned off. It becomes possible to realize a nonvolatile memory with high data reliability.

【0008】[0008]

【実施例】図1には、本発明をフラッシュメモリに適用
した場合の一実施例の全体回路ブロック図が示されてい
る。この実施例のフラッシュメモリは、それぞれ単一の
半導体チップ上に半導体集積回路として構成されてい
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows an overall circuit block diagram of an embodiment in which the present invention is applied to a flash memory. The flash memory of this embodiment is formed as a semiconductor integrated circuit on a single semiconductor chip.

【0009】同図において、11は2層ゲート構造の絶
縁ゲート型電界効果トランジスタによって構成されたメ
モリセルがマトリクス配置され、例えば512バイトの
ような単位での一括消去が可能な8つのメモリマットM
AT0〜MAT7で構成されたメモリアレイ部である。
各メモリマットに対しては1バイトのデータと1ビット
のエラー訂正ビット(後述)を同時に書込み、また同時
に読み出すことができるように構成されている。
In the figure, 11 is a memory mat composed of insulated gate field effect transistors having a two-layer gate structure arranged in a matrix, for example, eight memory mats M capable of batch erasing in units of 512 bytes.
It is a memory array unit composed of AT0 to MAT7.
1-byte data and 1-bit error correction bit (described later) can be simultaneously written in and read from each memory mat.

【0010】また、12は外部からアドレス端子Add
に与えられたアドレス信号A0〜Aiを取り込んで保持
するアドレスバッファ&ラッチ回路、13a,13bは
上記アドレスバッファ&ラッチ回路12に取り込まれた
アドレス信号をデコードするYデコーダおよびXデコー
ダ、13cは取り込まれたアドレス信号に基づいてメモ
リアレイ11内の8つのメモリマットのうち一つを選択
するマットセレクタ、14はメモリアレイ11内のデー
タ線上に設けられたYゲート(カラムスイッチ列)であ
る。
Further, 12 is an address terminal Add from the outside.
Address buffer & latch circuit for fetching and holding the address signals A0 to Ai given to the address buffers, 13a and 13b are Y and X decoders for decoding the address signal fetched to the address buffer & latch circuit 12, and 13c is fetched. A mat selector that selects one of the eight memory mats in the memory array 11 based on the address signal, and a Y gate (column switch row) 14 provided on a data line in the memory array 11.

【0011】15および16は上記Yゲート14によっ
て上記メモリアレイ部11内の選択されたデータ線に接
続されるセンスアンプおよび書込みデータのコントロー
ルバッファ回路、17a,17bはデータ入出力端子I
/Oに接続されたデータ出力バッファおよびデータ入力
バッファ、18は外部から入力される制御信号としての
チップ選択信号CE,出力タイミング制御信号OEおよ
び書込み制御信号WEを取り込んで保持するラッチ回
路、19は上記バッファ回路17bおよびラッチ回路1
8に取り込まれた制御信号および書込みデータに基づい
て内部制御信号や書込み制御信号を形成する制御回路で
ある。
Reference numerals 15 and 16 denote sense amplifiers and control buffer circuits for write data, which are connected to the selected data line in the memory array section 11 by the Y gate 14. Reference numerals 17a and 17b denote data input / output terminals I.
A data output buffer and a data input buffer connected to / O, a latch circuit 18 for fetching and holding a chip selection signal CE, an output timing control signal OE and a write control signal WE as control signals input from the outside, 19 The buffer circuit 17b and the latch circuit 1
8 is a control circuit that forms an internal control signal and a write control signal based on the control signal and the write data that are taken in.

【0012】特に制限されないが、この実施例のフラッ
シュメモリは、8個のデータ入出力端子I/Oを有し、
8ビットの並列入出力が可能に構成されている。また、
書込みは各メモリマット毎に8ビット(1バイト)で、
全マット同時書込みすなわち64ビット(8バイト)同
時書込みを行なうように構成されている。読み出しはマ
ットを選択して1バイト単位で行なえるように構成され
ている。
Although not particularly limited, the flash memory of this embodiment has eight data input / output terminals I / O,
8-bit parallel input / output is possible. Also,
Writing is 8 bits (1 byte) for each memory mat.
All mats are simultaneously written, that is, 64 bits (8 bytes) are simultaneously written. The reading is configured so that a mat can be selected and can be read in 1-byte units.

【0013】さらに、21は電源電圧端子Vccおよび
書込み電圧端子Vppに印加された電圧のレベルを検出
する電圧検出回路、22は上記電圧端子Vppに印加さ
れた書込み電圧に基づいて、メモリアレイ部11で必要
とされる書込み/消去電圧を形成する電圧発生回路、2
3はこの電圧発生回路22で形成された書込み/消去電
圧によって上記Xデコーダ回路12aを介して選択され
たワード線や駆動する信号を形成するドライバ回路であ
る。
Further, 21 is a voltage detection circuit for detecting the level of the voltage applied to the power supply voltage terminal Vcc and the write voltage terminal Vpp, and 22 is the memory array section 11 based on the write voltage applied to the voltage terminal Vpp. Voltage generation circuit for generating write / erase voltage required in
Reference numeral 3 denotes a driver circuit for forming a word line selected through the X decoder circuit 12a and a driving signal by the write / erase voltage formed by the voltage generating circuit 22.

【0014】特に制限されないが、この実施例のフラッ
シュメモリは、コマンド方式を採用しており、外部のマ
イクロコンピュータからデータ入出力端子I/Oに供給
されたコマンドをデコードするコマンドデコーダ24が
設けられており、データの書込みと消去はコマンドが入
力されることにより行なうように構成されている。
Although not particularly limited, the flash memory of this embodiment adopts a command system, and is provided with a command decoder 24 for decoding a command supplied from an external microcomputer to the data input / output terminal I / O. The writing and erasing of data are performed by inputting a command.

【0015】上記コマンドデコーダ24は、消去コマン
ドが入力されると512バイトのようなブロック単位で
メモリセルを一括消去するように、また書込みコマンド
が入力されると1バイト単位で取込み、メモリアレイ部
11へは8バイト同時に書込みを行なうように、上記制
御回路19に対してそれぞれ制御信号を与える。さら
に、消去コマンドおよび書込みコマンドが入力される
と、ステータスレジスタ25に内部状態や演算結果が反
映されるように構成されている。しかも、このステータ
スレジスタ25は上記データ入出力端子I/Oに接続さ
れており、外部のマイクロコンピュータがその内容を読
み込むことができるようにされている。
When the erase command is input, the command decoder 24 collectively erases the memory cells in block units such as 512 bytes, and when the write command is input, the command decoder 24 fetches the data in 1-byte units. A control signal is applied to each of the control circuits 19 so that 11 bytes are simultaneously written. Further, when the erase command and the write command are input, the internal state and the operation result are reflected in the status register 25. Moreover, the status register 25 is connected to the data input / output terminal I / O so that the external microcomputer can read the contents.

【0016】この実施例では、上記データ入出力端子I
/Oより入力された書込みデータのエラー訂正ビットを
形成し、メモリアレイ11より読み出されたデータが正
しいか否かチェックして誤っている時はこれを訂正する
ECC回路31が設けられている。データ書込み時にE
CC回路31で形成されたエラー訂正ビットは書込みデ
ータとともにメモリアレイ11内に書き込まれ、データ
読み出し時にはメモリアレイ11より読み出されたデー
タおよびエラー訂正ビットに基づいてデータのチェック
および訂正が行なわれ、正しいデータがデータ入出力端
子I/Oへ出力されるように構成されている。ECC回
路31でエラービットの検出、訂正がなされると、エラ
ー検出信号EDが形成されて端子34より外部へ出力さ
れるように構成されている。
In this embodiment, the data input / output terminal I
An ECC circuit 31 is provided which forms an error correction bit of write data input from / O, checks whether the data read from the memory array 11 is correct, and corrects it when it is incorrect. . E when writing data
The error correction bit formed by the CC circuit 31 is written in the memory array 11 together with the write data, and at the time of data reading, the data is checked and corrected based on the data and the error correction bit read from the memory array 11, The correct data is output to the data input / output terminal I / O. When the ECC circuit 31 detects and corrects the error bit, the error detection signal ED is formed and output from the terminal 34 to the outside.

【0017】さらに、この実施例では、メモリアレイ1
1に隣接して予備のメモリ列32が設けられていると共
に、メモリアレイ11内に不良ビットが発見された場合
に、その不良ビットを含むメモリ列に対応するアドレス
を記憶する不良アドレス記憶手段と、当該不良アドレス
が入力された時にメモリアレイ11内のメモリ列に替え
て上記予備メモリ列32を選択する信号を形成するアド
レス切換え手段とからなる冗長回路33が設けられてい
る。
Further, in this embodiment, the memory array 1
A spare memory column 32 is provided adjacent to 1, and when a defective bit is found in the memory array 11, defective address storage means for storing an address corresponding to the memory column including the defective bit. A redundant circuit 33 including an address switching means for forming a signal for selecting the spare memory column 32 in place of the memory column in the memory array 11 when the defective address is inputted is provided.

【0018】特に制限されるものでないが、この実施例
では、上記不良アドレス記憶手段はメモリアレイ11内
のメモリセルを構成する素子と同一のFAMOS(フロ
ーティング・アバランシェMOSFET)により構成さ
れている。これによって、製造プロセスを複雑にするこ
となく冗長回路を有するフラッシュメモリを実現するこ
とができ、大幅なコストアップを回避することができ
る。
Although not particularly limited, in this embodiment, the defective address storage means is composed of the same FAMOS (floating avalanche MOSFET) as the elements forming the memory cells in the memory array 11. As a result, a flash memory having a redundant circuit can be realized without complicating the manufacturing process, and a large increase in cost can be avoided.

【0019】次に、上記ECC回路31について具体的
に説明する。本実施例のフラッシュメモリにおいては、
一例として8ビットデータの1ビットエラー訂正/2ビ
ットエラー検出を行なうECC回路が設けられている。
この実施例のように64ビット(8バイト)同時書込み
を行なう場合には、4ビットの演算データ(エラー訂正
ビット)を必要とする。従って、メモリアレイ部11の
構成としては、例えばユーザ使用領域として32Mビッ
トを用意し、ECC演算結果収容用に4Mビットを用意
し、8マットに構成して各マットごとに9ビットのデー
タを読み書きするように構成する。
Next, the ECC circuit 31 will be specifically described. In the flash memory of this embodiment,
As an example, an ECC circuit for performing 1-bit error correction / 2-bit error detection of 8-bit data is provided.
When 64 bits (8 bytes) are simultaneously written as in this embodiment, 4-bit operation data (error correction bit) is required. Therefore, as the configuration of the memory array unit 11, for example, 32 Mbits are prepared as a user use area, 4 Mbits are prepared for accommodating the ECC operation result, and 8 mats are configured to read and write 9-bit data for each mat. To configure.

【0020】また、特に制限されないが、この実施例の
フラッシュメモリには、外部からコマンドにより上記E
CC回路31を動作させるか否かを指示することができ
るように構成されており、データ書込み時とリード時に
外部から要求があった場合にのみECC回路31が機能
する。要求が有ると、書込みデータはメモリアレイ部1
1に書き込まれる前にECC回路31に入力され、エラ
ー訂正ビットが形成されてデータとともに書き込まれる
(書込みデータは8バイトでありECC演算結果は1バ
イトになる)。なお、データ入出力端子I/Oは8本で
あるが、LSI内部のデータ信号線は9本構成とする。
Further, although not particularly limited, the flash memory of this embodiment is provided with the command E from the outside by a command.
It is configured so that it can be instructed whether or not to operate the CC circuit 31, and the ECC circuit 31 functions only when an external request is made at the time of data writing and reading. If there is a request, the write data will be written to the memory array unit 1
Before being written to 1, it is input to the ECC circuit 31, an error correction bit is formed and written together with the data (write data is 8 bytes and the ECC operation result is 1 byte). Although the number of data input / output terminals I / O is eight, the number of data signal lines inside the LSI is nine.

【0021】一方、マイクロコンピュータからのコマン
ド入力によりブロック読出しが指定されると、フラッシ
ュメモリは1ブロックのデータを同時もしくは多少の時
間差を置いて読み出し、ECC回路31に入力する。こ
の時エラーがあれば訂正し、訂正したことを示す信号E
Dを端子34より外部へ出力するとともに、エラーのあ
ったビットを有するデータを示す情報をステイタスレジ
スタ25に書込む(8個のデータ(64ビット+8ビッ
ト)のうちどのデータがエラーを起こしているのか出力
するためにはI/O端子が8本あれば十分である)。
On the other hand, when the block reading is designated by the command input from the microcomputer, the flash memory reads the data of one block at the same time or with some time difference and inputs it to the ECC circuit 31. At this time, if there is an error, it is corrected, and the signal E indicating the correction is made.
D is output from the terminal 34 to the outside, and information indicating data having an error bit is written to the status register 25 (which data among 8 data (64 bits + 8 bits) has an error). 8 I / O terminals are enough to output or).

【0022】従って、マイクロコンピュータは、上記信
号EDによりエラー訂正があったことを容易に知ること
ができる。そして、フラッシュメモリ内部のステイタス
レジスタ25の内容をコマンドで読み出すことで不良ビ
ットのアドレスを知ることができる。なお、エラー訂正
したことを示す信号EDを外部へ出力させる端子34を
設ける代わりに、エラー訂正したことを示すビットをス
テイタスレジスタ25に設けるようにしてもよい。
Therefore, the microcomputer can easily know that the error has been corrected by the signal ED. Then, the address of the defective bit can be known by reading the contents of the status register 25 inside the flash memory with a command. Instead of providing the terminal 34 for outputting the signal ED indicating the error correction to the outside, a bit indicating the error correction may be provided in the status register 25.

【0023】また、上記ECC回路31は電源投入時に
のみ動作させるようにすることができる。これによっ
て、通常アクセス時にECC回路を使用することによる
アクセス遅延を防止することができ、システムの高速性
を保証することができる。
The ECC circuit 31 can be operated only when the power is turned on. As a result, it is possible to prevent access delay due to the use of the ECC circuit during normal access, and to ensure high speed of the system.

【0024】次に、冗長回路33について説明する。本
実施例の冗長回路33の構成および動作は一般に知られ
ている冗長回路とほぼ同様である。本回路の特徴は不良
アドレス記憶手段を構成するヒューズの代わりもしくは
ヒューズと併用して不揮発性メモリ素子を使用している
ことと、不揮発性メモリ素子にデータを書く制御系回路
を持たせる(図1の制御回路19に設けられている)よ
うにしている点にある。
Next, the redundant circuit 33 will be described. The configuration and operation of the redundant circuit 33 of this embodiment are almost the same as those of a generally known redundant circuit. The characteristic of this circuit is that a nonvolatile memory element is used instead of or in combination with a fuse that constitutes defective address storage means, and a control system circuit for writing data is provided in the nonvolatile memory element (see FIG. 1). (Provided in the control circuit 19 of the above).

【0025】但し、不良アドレス記憶手段を構成する不
揮発性メモリ素子にデータを書き込む動作はメモリアレ
イ部11への書込み動作と何等変わることはない。そし
て、この書き込み動作はコマンドで冗長セットモード
(不良アドレス設定モード)を選択し、かつアドレスピ
ンを用いて書込みを行なうメモリ素子を指定することで
行なうように構成されている。
However, the operation of writing data in the nonvolatile memory element forming the defective address storage means is no different from the operation of writing data in the memory array section 11. The write operation is performed by selecting a redundant set mode (defective address setting mode) by a command and designating a memory element to be written by using an address pin.

【0026】図2〜図5には、不良アドレス記憶手段の
構成例が示されている。同図において、Mの符号が付さ
れているのが、不揮発性メモリ素子(FAMOS)であ
る。図2の不良アドレス記憶手段は、不揮発性メモリ素
子M1に書込み(電荷の注入)を行なってそのしきい値
電圧を高くすると出力信号Routがハイレベルに固定
され、書込みを行なわないと出力信号Routがロウレ
ベルに固定されるものである。なお、不揮発性メモリ素
子M1と直列に接続されたMOSFETQ1は、M1に
書込みを行なう時にのみオフ状態にされる。端子Vに
は、不揮発性メモリ素子M1への書込み時に通常の電源
電圧Vccよりも高い書込み昇圧電圧Vppwが供給さ
れる。
2 to 5 show examples of the configuration of defective address storage means. In the figure, the symbol M is a nonvolatile memory element (FAMOS). In the defective address storage means of FIG. 2, when the nonvolatile memory element M1 is written (charge injection) and its threshold voltage is raised, the output signal Rout is fixed at a high level, and when the writing is not performed, the output signal Rout is output. Is fixed at a low level. The MOSFET Q1 connected in series with the nonvolatile memory element M1 is turned off only when writing to M1. A write boosted voltage Vppw higher than the normal power supply voltage Vcc is supplied to the terminal V when writing to the nonvolatile memory element M1.

【0027】図3の不良アドレス記憶手段は、不揮発性
メモリ素子M1とヒューズF1を併用したものである。
チップをパッケージに封入する前に不良アドレスを発見
し救済(不良アドレスの設定)を行なう場合には、ヒュ
ーズF1を切断することで出力信号Routがハイレベ
ルに固定され、ヒューズF1を切断しないままにしてお
くと出力信号Routがロウレベルに固定されるもので
ある。なお、不揮発性メモリ素子M1には予め書込みを
行なっておく。
The defective address storage means of FIG. 3 uses a nonvolatile memory element M1 and a fuse F1 in combination.
When a defective address is found and repaired (defective address setting) before the chip is encapsulated in a package, the fuse F1 is cut to fix the output signal Rout to a high level, and the fuse F1 is left uncut. That is, the output signal Rout is fixed at a low level. Note that the nonvolatile memory element M1 is written in advance.

【0028】一方、チップをパッケージに封入した後に
不良アドレスが発見され救済を行なう時(このときヒュ
ーズは未切断になっている)には、不揮発性メモリ素子
M1の消去(電荷の引き抜き)を行なってそのしきい値
電圧を低くすると出力信号Routがハイレベルに固定
され、消去を行なわないと出力信号Routがロウレベ
ルに固定されるものである。なお、不揮発性メモリ素子
M1と直列に接続されたMOSFETQ1は、M1に書
込み、消去を行なう時にのみオフ状態にされる。端子V
には、不揮発性メモリ素子M1への書込み時に通常の電
源電圧Vccよりも高い書込み昇圧電圧Vppwが供給
され、消去時には負の電圧が供給される。
On the other hand, when the defective address is found after the chip is encapsulated in the package and the relief is performed (the fuse is not cut at this time), the non-volatile memory element M1 is erased (the charge is extracted). The output signal Rout is fixed at a high level when the threshold voltage is lowered by the threshold voltage, and the output signal Rout is fixed at a low level when erasing is not performed. The MOSFET Q1 connected in series with the nonvolatile memory element M1 is turned off only when writing and erasing M1. Terminal V
Is supplied with a write boost voltage Vppw higher than the normal power supply voltage Vcc when writing to the non-volatile memory element M1, and a negative voltage when erasing.

【0029】図4の不良アドレス記憶手段は、不揮発性
メモリ素子M1に書込み(電荷の注入)を行ないM2を
消去状態にしておくことによって出力信号Routがロ
ウレベルに固定され、M1を消去状態にしM2に書込み
を行なうことにより出力信号Routがハイレベルに固
定されるものである。なお、不揮発性メモリ素子M1と
M2の接続ノードに接続されたMOSFETQ1は、電
源立ち上がり時に救済アドレスデータをラッチさせる時
にのみオン状態にされる。端子Vには、不揮発性メモリ
素子M1への書込み時に通常の電源電圧Vccよりも高
い書込み昇圧電圧Vppwが供給される。
In the defective address storage means of FIG. 4, the output signal Rout is fixed at a low level by writing (injecting charge) into the nonvolatile memory element M1 and leaving M2 in an erased state, and M1 is placed in an erased state. The output signal Rout is fixed at a high level by writing to. The MOSFET Q1 connected to the connection node between the non-volatile memory elements M1 and M2 is turned on only when the relief address data is latched when the power is turned on. A write boosted voltage Vppw higher than the normal power supply voltage Vcc is supplied to the terminal V when writing to the nonvolatile memory element M1.

【0030】図5の不良アドレス記憶手段は、不揮発性
メモリ素子M1とヒューズF1を併用しヒューズとメモ
リ素子の抵抗分割で出力レベルを確定するようにしたも
のである。チップをパッケージに封入する前に不良アド
レスを発見し救済(不良アドレスの設定)を行なう場合
には、ヒューズF1を切断することで出力信号Rout
がハイレベルに固定され、ヒューズF1を切断しないま
まにしておくと出力信号Routがロウレベルに固定さ
れるものである。なお、不揮発性メモリ素子M1には予
め書込みを行なっておく。
The defective address storage means of FIG. 5 is such that the nonvolatile memory element M1 and the fuse F1 are used together to determine the output level by resistance division of the fuse and the memory element. When a defective address is found and repaired (defective address setting) before the chip is sealed in the package, the fuse F1 is cut to output the output signal Rout.
Is fixed to the high level, and the output signal Rout is fixed to the low level if the fuse F1 is left uncut. Note that the nonvolatile memory element M1 is written in advance.

【0031】一方、チップをパッケージに封入した後に
不良アドレスが発見され救済を行なう時(このときヒュ
ーズは未切断になっている)には、不揮発性メモリ素子
M1の消去(電荷の引き抜き)を行なってそのしきい値
電圧を低くすると出力信号Routがハイレベルに固定
され、消去を行なわないと出力信号Routがロウレベ
ルに固定されるものである。なお、不揮発性メモリ素子
M1とヒューズF1との接続ノードに接続されたMOS
FETQ1は、電源立ち上がり時に救済アドレスデータ
をラッチさせる時にのみオン状態にされる。また、端子
Vc1には、Q1のオン状態の時にVcc、Q1のオン
状態の時にVssが供給される。
On the other hand, when the defective address is found after the chip is encapsulated in the package and the relief is performed (the fuse is not cut at this time), the non-volatile memory element M1 is erased (the charge is extracted). The output signal Rout is fixed at a high level when the threshold voltage is lowered by the threshold voltage, and the output signal Rout is fixed at a low level when erasing is not performed. The MOS connected to the connection node between the nonvolatile memory element M1 and the fuse F1
The FET Q1 is turned on only when the relief address data is latched when the power is turned on. Further, Vcc is supplied to the terminal Vc1 when Q1 is on, and Vss is supplied when Q1 is on.

【0032】次に、例えば書換え回数の増加によってメ
モリアレイ内に不良ビットが発生した場合にそれを予備
のビットと置き換える冗長設定方法について説明する。
Next, a redundancy setting method for replacing a defective bit with a spare bit when the defective bit occurs in the memory array due to an increase in the number of times of rewriting will be described.

【0033】本実施例のフラッシュメモリは、ECC回
路31によりデータエラーが発見されると端子34より
エラー検出信号EDが出力され、エラーのあったデータ
がどれであるのかを示す情報がステータスレジスタ25
に格納される。従って、マイクロコンピュータは、エラ
ーが発生したことを知った場合にはステータスレジスタ
25の内容を読み込んでそのエラービットを含むデータ
のアドレスを記憶し、例えば複数回連続して同一アドレ
スがエラーを起こしたと判定したならば、そのアドレス
を不良アドレスとして認定し、フラッシュメモリに不良
アドレス設定コマンドと不良アドレスとを与える。
In the flash memory of this embodiment, when the ECC circuit 31 detects a data error, an error detection signal ED is output from the terminal 34, and information indicating which data has an error is stored in the status register 25.
Stored in. Therefore, when the microcomputer knows that an error has occurred, it reads the contents of the status register 25 and stores the address of the data including the error bit. For example, if the same address causes an error a plurality of times in succession. If determined, the address is recognized as a defective address, and the defective address setting command and the defective address are given to the flash memory.

【0034】フラッシュメモリのコマンドデコーダ24
は不良アドレス設定コマンドを受けると、制御回路19
に制御信号を与えて、内部の冗長回路33に不良アドレ
スを設定させる。そして、不良アドレス設定後に、不良
ビットと置き換えられた予備ビットに元のアドレス位置
のデータを書込む。その後、書込んだデータを読み出し
てチェックし、正しければ通常の動作モードに移行し、
間違っていればステータスレジスタ25の書込み・消去
エラービットにエラーがあったことを書き込む。このよ
うにすることによって、フラッシュメモリをシステムボ
ードから取り外すことなく自動的に不良ビットの救済を
行なわせるようにすることができる。
Flash memory command decoder 24
When the defective address setting command is received, the control circuit 19
To the internal redundant circuit 33 to set a defective address. Then, after setting the defective address, the data at the original address position is written in the spare bit replaced with the defective bit. After that, read the written data and check it, and if it is correct, shift to the normal operation mode,
If wrong, the fact that there is an error is written in the write / erase error bit of the status register 25. By doing so, the defective bit can be automatically relieved without removing the flash memory from the system board.

【0035】なお、上記不良アドレスの検出および冗長
回路33への不良アドレスの設定機能は、マイクロコン
ピュータでなくフラッシュメモリ内に設けた制御回路1
9により行なうようにメモリを構成しておくことも可能
である。
The function of detecting the defective address and setting the defective address in the redundancy circuit 33 is provided in the control circuit 1 provided in the flash memory instead of the microcomputer.
It is also possible to configure the memory so that it is carried out by 9.

【0036】また、上記実施例ではフラッシュメモリ内
に冗長回路33を設けて不良ビットの救済を行なうよう
にしたが、予備メモリ32と冗長回路33とを設ける代
わりに、マイクロコンピュータが不良ビットが発生した
と認定した場合には、ステータスレジスタ25を参照し
てその不良アドレスを検出、記憶し、その後その不良ア
ドレスをアクセスしないように対処することも可能であ
る。また、エラーのあったデータがどれであるのかを示
す情報がステータスレジスタ25に保持させる代わり
に、アドレス端子Addを使って外部へ出力させるよう
にしてもよい。
In the above embodiment, the redundant circuit 33 is provided in the flash memory to repair the defective bit. However, instead of providing the spare memory 32 and the redundant circuit 33, the microcomputer generates the defective bit. If it is determined that the defective address has been confirmed, the defective address can be detected and stored by referring to the status register 25, and then the defective address can be prevented from being accessed. Further, instead of holding in the status register 25 the information indicating which erroneous data is, the address terminal Add may be used to output the information to the outside.

【0037】以上説明したように上記実施例は、半導体
メモリにエラーのチェック訂正機能を持つECC回路を
設けるようにしたので、メモリアレイ内の一部のデータ
が破壊されてもECC回路によって正しいデータを回復
してやることができるため、メモリの信頼性を向上させ
ることができるという効果がある。
As described above, in the above embodiment, the semiconductor memory is provided with the ECC circuit having the error check and correction function. Therefore, even if a part of the data in the memory array is destroyed, the ECC circuit corrects the data. Since it is possible to recover the memory, it is possible to improve the reliability of the memory.

【0038】しかも、ECC回路によってエラー検出、
訂正がなされたときにエラー検出信号を出力する端子が
設けられているため、マイクロコンピュータはメモリア
レイ部内に不良ビットが発生したことを知ることがで
き、その不良ビットのアドレスを使用しないようにする
(不良ビットを含んでいたデータはたのアドレスに移し
替える)ことにより、システムの信頼性を向上させるこ
とができるとともに、メモリの交換時期を知ることがで
きるようになる。
Moreover, the ECC circuit detects an error,
Since the terminal for outputting the error detection signal when the correction is made is provided, the microcomputer can know that the defective bit has occurred in the memory array section and prevent the address of the defective bit from being used. By (moving the data including the defective bit to another address), the reliability of the system can be improved and the memory replacement time can be known.

【0039】また、上記実施例の不揮発性メモリにあっ
ては、メモリアレイ部に予備ビットをまた周辺回路には
冗長回路を設けておくと共に、不良アドレス記憶手段を
メモリアレイ内の不揮発性記憶素子と同一の素子を用い
て構成しているので、書換え回数の増加によって不良と
なったビットを予備のビットと置き換えることができる
とともに、電源を切った後も不良アドレスを保持するこ
とができ、製造プロセスを複雑にすることなく保持デー
タの信頼性の高い不揮発性メモリを実現することができ
るようになるという効果がある。しかも、ユーザにとっ
ては使用可能な記憶容量が減少しないという利点があ
る。
Further, in the nonvolatile memory of the above embodiment, the spare bits are provided in the memory array portion and the redundant circuit is provided in the peripheral circuit, and the defective address storage means is provided in the nonvolatile storage element in the memory array. Since it is configured by using the same element as the above, it is possible to replace a defective bit due to an increase in the number of times of rewriting with a spare bit and to retain a defective address even after the power is turned off. There is an effect that it becomes possible to realize a nonvolatile memory with high reliability of held data without complicating the process. Moreover, there is an advantage that the usable storage capacity does not decrease for the user.

【0040】さらに、ECC回路を使用するかしないか
の指定や不良アドレス記憶手段へのアドレスの設定がコ
マンドによって行なわれるように構成したことにより、
ピン数の増加を回避しつつ機能の向上を図ることができ
るという効果がある。
Further, since it is configured such that the ECC circuit is used or not and the address is set in the defective address storage means by a command,
There is an effect that the function can be improved while avoiding an increase in the number of pins.

【0041】以上本発明の使用方法を述べたが、本発明
を使用して小規模システムが簡略化されることは言うま
でもない。また、システムの応用として本発明で示した
回路等をすべてLSI外に置きモジュールとして組んだ
りウェハスケールとして組むことも出来る。
Although the method of using the present invention has been described above, it goes without saying that the present invention can be used to simplify a small scale system. In addition, as a system application, all the circuits and the like shown in the present invention may be placed outside the LSI and assembled as a module or a wafer scale.

【0042】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。例えば、上
記実施例では主に64ビットECC回路を説明したが本
提案は64ビット以外のECC回路にも同様に適用出来
るのは言うまでもない。また、実施例ではコマンドによ
って上記ECC回路を使用するかしないかの指定が行な
われるように構成されているが、コマンドの代わりに外
部からの制御信号でECC回路を使用するかしないかの
指定を行なうように構成することも可能である。
Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say. For example, although the 64-bit ECC circuit has been mainly described in the above embodiments, it goes without saying that the present proposal can be similarly applied to an ECC circuit other than 64-bit. Further, in the embodiment, the command is used to specify whether to use the ECC circuit. However, instead of the command, it is specified whether to use the ECC circuit with an external control signal. It can also be configured to do so.

【0043】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるフラッ
シュメモリに適用した場合について説明したが、この発
明はそれに限定されるものでなく、EPROMやEEP
ROM等の不揮発性メモリ、ソフトエラーに弱い構造す
なわち過度に放射線の強い場所や高温下で使用したり、
製品の実力以下の低電圧で使用するDRAM、低温(0
℃以下)あるいは製品の実力以下の低電圧で使用するS
RAM等にも利用することができる。
In the above description, the case where the invention made by the present inventor is mainly applied to the flash memory which is the field of application which is the background of the invention has been described. However, the present invention is not limited to this, and an EPROM or an EEP.
Non-volatile memory such as ROM, structure that is vulnerable to soft errors, that is, used in places with excessive radiation or high temperatures,
DRAM used at low voltage lower than product capability, low temperature (0
S) to be used at low voltage below the
It can also be used for RAM and the like.

【0044】[0044]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
のとおりである。すなわち、保持データの信頼性の高い
半導体メモリを実現することができる。また、製造プロ
セスを複雑にすることなく保持データの信頼性の高い不
揮発性メモリを実現することができる。
The effects obtained by the representative one of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows. That is, it is possible to realize a semiconductor memory with highly reliable retained data. Further, it is possible to realize a nonvolatile memory with high reliability of held data without complicating the manufacturing process.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明を適用したフラッシュメモリの一実施例
を示す回路ブロック図、
FIG. 1 is a circuit block diagram showing an embodiment of a flash memory to which the present invention is applied,

【図2】冗長回路のアドレス設定手段の一実施例を示す
回路図、
FIG. 2 is a circuit diagram showing an embodiment of an address setting means of a redundant circuit,

【図3】冗長回路のアドレス設定手段の第2の実施例を
示す回路図、
FIG. 3 is a circuit diagram showing a second embodiment of the address setting means of the redundant circuit,

【図4】冗長回路のアドレス設定手段の第3の実施例を
示す回路図、
FIG. 4 is a circuit diagram showing a third embodiment of the address setting means of the redundant circuit,

【図5】冗長回路のアドレス設定手段の第4の実施例を
示す回路図である。
FIG. 5 is a circuit diagram showing a fourth embodiment of the address setting means of the redundant circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 メモリアレイ部 12 アドレスバッファ&ラッチ回路 13a Yデコーダ 13b Xデコーダ 14 Yゲート(カラムスイッチ列) 15 センスアンプ 16 書込みデータのラッチ回路 17a データ出力バッファ 17b データ入力バッファ 19 制御信号形成回路 31 ECC回路 33 冗長回路 11 Memory array section 12 Address buffer & latch circuit 13a Y decoder 13b X decoder 14 Y gates (column switch row) 15 sense amplifier 16 Write data latch circuit 17a data output buffer 17b Data input buffer 19 Control signal forming circuit 31 ECC circuit 33 redundant circuit

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−167300(JP,A) 特開 平4−157700(JP,A) 特開 昭61−217999(JP,A) 特開 平3−162798(JP,A) 特開 平6−139154(JP,A) 特開 平6−111589(JP,A) 実開 平5−4266(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11C 29/00 G11C 16/00 - 16/34 Continuation of front page (56) Reference JP-A-4-167300 (JP, A) JP-A-4-157700 (JP, A) JP-A-61-217999 (JP, A) JP-A-3-162798 (JP , A) JP-A-6-139154 (JP, A) JP-A-6-111589 (JP, A) Actual development 5-4266 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB) Name) G11C 29/00 G11C 16/00-16/34

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 複数の不揮発性メモリ素子を有するメモ
リアレイ部と、入力された書込みデータに基づいてエラ
ー訂正符号を形成し書込みデータと共にメモリアレイ部
に書込み、当該メモリアレイ部から読み出されたエラー
訂正符号付きデータをチェックして誤りを訂正するEC
C回路とを有する半導体メモリであって、 上記半導体メモリは、システムボード上に取り付けられ
た状態において、上記ECC回路によりデータの誤りが
所定の条件において検出された場合に、不良アドレス設
定モードを選択することにより上記データの誤りが検出
されたアドレスを不良アドレスとして不揮発性メモリ素
子に記憶し、通常の動作モード時に上記不良アドレスに
対応する上記不揮発性メモリ素子に対してアクセスでき
ないようにすることを特徴とする半導体メモリ。
1. A memory array section having a plurality of non-volatile memory elements, and an error correction code is formed based on input write data, written in the memory array section together with the write data, and read from the memory array section. EC for checking data with error correction code and correcting errors
A semiconductor memory having a C circuit, wherein the semiconductor memory selects a defective address setting mode when a data error is detected by the ECC circuit under a predetermined condition when mounted on a system board. By doing so, the address in which the error of the data is detected is stored as a defective address in the nonvolatile memory element, and the nonvolatile memory element corresponding to the defective address cannot be accessed in the normal operation mode. Characteristic semiconductor memory.
【請求項2】 エラーの訂正が行なわれたことを示す信
号を出力するための端子が設けられていることを特徴と
する請求項1に記載の半導体メモリ。
2. The semiconductor memory according to claim 1, further comprising a terminal for outputting a signal indicating that an error has been corrected.
【請求項3】 エラーの訂正が行なわれたビットを含む
データのアドレスを格納するレジスタが設けられている
ことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体メモ
リ。
3. The semiconductor memory according to claim 1, further comprising a register for storing an address of data including a bit in which an error has been corrected.
【請求項4】 予備のメモリ素子と、上記不良アドレス
を記憶する不良アドレス記憶手段と該不良アドレス記憶
手段に設定されたアドレスと同一のアドレスが入力され
た時に上記メモリアレイ部内の不揮発性メモリ素子の代
わりに上記予備メモリ素子を選択する信号を形成するア
ドレス切換え手段とからなる冗長回路とを備え、上記不
良アドレス記憶手段は不揮発性メモリ素子を有し該不揮
発性メモリ素子への書込みにより任意のアドレスを設定
可能に構成されていることを特徴とする請求項1、2ま
たは3に記載の半導体メモリ。
4. A spare memory element, a defective address storing means for storing the defective address, and a nonvolatile memory element in the memory array section when the same address as the address set in the defective address storing means is inputted. , A redundant circuit including an address switching means for forming a signal for selecting the spare memory element, and the defective address storage means has a non-volatile memory element, and an arbitrary address is provided by writing to the non-volatile memory element. The semiconductor memory according to claim 1, 2 or 3, wherein an address can be set.
【請求項5】 外部より与えられたコマンドを解読する
機能を備え、該コマンドによって上記ECC回路を動作
させるかしないかの指定が行なわれるように構成されて
いることを特徴とする請求項1、2、3または4に記載
の半導体メモリ。
5. The apparatus according to claim 1, further comprising a function for decoding a command given from the outside, wherein the command is used to specify whether or not to operate the ECC circuit. 2. The semiconductor memory described in 2, 3, or 4.
【請求項6】 外部より与えられたコマンドを解読する
機能を備え、コマンドによって上記不良アドレス記憶手
段へのアドレスの設定が行なわれるように構成されてい
ることを特徴とする請求項4に記載の半導体メモリ。
Further comprising: a function to decrypt the given from external command, the command of claim 4, characterized in that it is configured to set the address to the defective address storage means is performed Semiconductor memory.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3542002B2 (en) * 1996-09-24 2004-07-14 株式会社ルネサステクノロジ system
JP2002025288A (en) 2000-06-30 2002-01-25 Hitachi Ltd Semiconductor integrated circuit
JP4600792B2 (en) 2000-07-13 2010-12-15 エルピーダメモリ株式会社 Semiconductor device
JP4323707B2 (en) 2000-10-25 2009-09-02 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 Flash memory defect management method
KR100703806B1 (en) 2006-02-16 2007-04-09 삼성전자주식회사 Nonvolatile memory, apparatus and method for deciding data validity for the same
US9042191B2 (en) 2009-08-12 2015-05-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Self-repairing memory
US20110041016A1 (en) * 2009-08-12 2011-02-17 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Memory errors and redundancy
US8331151B2 (en) 2009-12-25 2012-12-11 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor memory including control unit responsive to erase command to determine selection of redundant memory block
US9424953B2 (en) 2013-06-20 2016-08-23 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor memory device including repair circuit

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