JP5745746B2 - 光ビーム不均一性補正デバイス及び光ビームの強度分布を補正する方法 - Google Patents
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Description
ii.波面分布を測定するステップ、
iii.測定された波面分布を所定の波面分布に補正するため、光学素子の1つの局部的に必要な波面補正を計算するステップ、
iv.光学素子の1つを光学系から除去するステップと、
v.計算に従って前記光学素子の1つの特性を局部的に補正するステップ、
vi.光学素子の1つを光学系内の所定位置に装着するステップ。
2)所定の視野面又はその共役面に対する焦点位置を測定するステップと、
3)測定された焦点位置を所定の焦点位置に補正するため、光学素子の1つの局部的に必要な焦点位置補正を計算するステップと、
4)光学素子の1つを光学系から除去するステップと、
5)計算に従って光学素子の1つの特性を局部的に補正するステップと、
6)光学素子の1つを光学系内の所定位置に装着するステップ。
ステップ2)所定の視野面30又はその共役面に対する焦点位置を測定するステップ、
ステップ3)測定された焦点位置を所定の焦点位置に補正するため、光学素子の1つ、すなわち保護ウインドウ34の局部的に必要な焦点位置補正を計算するステップ、
ステップ4)保護ウインドウ34を光学系2から除去するステップ、
ステップ5)計算に従って保護ウインドウ34の特性を局部的に補正するステップ、
ステップ6)保護ウインドウ34を光学系2内の所定位置に装着するステップ。
Claims (17)
- 反射防止特性を有する光入射面を有する一の光学素子を含む1つまたは複数の光学素子を備えた光学系であって、
前記一の光学素子は、前記入射面を形成する反射防止コーティングによって被覆され、
前記反射防止コーティングは複数の層を備え、
前記複数の層の外層だけが局部的に、少なくとも部分的に除去されることによって、前記反射防止特性が局部的に補正され、入射する光および前記1つまたは複数の光学素子により生じる前記光学系の視野面またはその共役面で測定される光ビームの強度分布の均一性が、前記除去前に比べて向上したことを特徴とする光学系。 - 前記光入射面が、局部的に同調外れである均一ベースの反射防止特性を有することを特徴とする請求項1に記載の光学系。
- 前記反射防止コーティングの厚さが局部的に変化することを特徴とする請求項1または2に記載の光学系。
- 前記反射防止コーティングが局部的に、イオン・ビーム加工によって少なくとも部分的に除去されることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の光学系。
- 波面の不均一性補正用装備をさらに備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の光学系。
- 前記波面の不均一性補正用装備が、焦点補正用の装備を備えることを特徴とする請求項5に記載の光学系。
- 前記一の光学素子がアナモルフィック結像素子であることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の光学系。
- 前記アナモルフィック結像素子がシリンドリカル・レンズ又は平面ウインドウ又はシリンドリカル・ミラーであることを特徴とする請求項7に記載の光学系。
- 反射防止特性を有する光入射面を有する一の光学素子を含む1つまたは複数の光学素子を備える光学系の光ビームの強度分布を補正して、その均一性を向上するための方法であって、
所定位置に配置された前記光学素子で前記光学系を組み立てる第1のステップと、
前記光学系の視野面またはその共役面における強度分布を測定する第2のステップと、
測定された強度分布を均一性の向上した強度分布に補正するため、前記一の光学素子の前記反射防止特性の局部的に必要な増減を計算する第3のステップと、
前記一の光学素子を前記光学系から除去する第4のステップと、
前記計算に従って前記一の光学素子の反射防止特性を局部的に補正する第5のステップと、
前記一の光学素子を前記光学系内の前記所定位置に装着する第6のステップと、を含み
前記第5のステップでは、複数の層を備える反射防止コーティングを有する前記一の光学素子を選択し、前記複数の層の外層だけを局部的に、少なくとも部分的に除去することを特徴とする方法。 - 前記第2のステップでは、前記強度分布が、複数の視野点又は共役視野点について同時に、又は連続的に測定されることを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記第5のステップにおける前記複数の層の外層だけを局部的に、少なくとも部分的に除去することは、前記反射防止特性を局部的に補正して同調外れにすることである請求項9または10に記載の方法。
- 前記第5のステップにおける除去は、前記反射防止コーティングをイオン・ビーム加工によって局部的に、少なくとも部分的に除去することによって行うことを特徴とする請求項9から11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記一の光学素子が、請求項9から12のいずれか一項に記載の方法を用いて製造されることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の光学系。
- 前記視野面上に鮮鋭な照明ラインを生成するためのアナモルフィック光学系であって、前記照明ラインが高いアスペクト比を有し、かつ長軸と短軸とを持つ断面を有し、前記一の光学素子が、請求項9から12のいずれか一項に記載の方法を用いて製造されることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の光学系。
- 前記視野面上に走査照明ラインを生成する光学系であって、前記照明ラインが高いアスペクト比を有し、かつ長軸と短軸とを持つ断面を有し、前記一の光学素子が、請求項9から12のいずれか一項に記載の方法を用いて製造されることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の光学系。
- 前記視野面上に鮮鋭な照明ラインを生成するアナモルフィック光学系であって、前記照明ラインが高いアスペクト比を有し、かつ長軸と短軸とを持つ断面を有する請求項1から8に記載の光学系。
- 前記一の光学素子が前記照明ラインのライン・フォーカスを局部的に補正するライン・フォーカス補正デバイスであることを特徴とする請求項16に記載の光学系。
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