JP5745271B2 - Msm構成部品及び関連ガスパネルアッセンブリ - Google Patents
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- 238000000429 assembly Methods 0.000 title description 4
- 230000000712 assembly Effects 0.000 title description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 121
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 27
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 10
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910000792 Monel Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009694 cold isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000009133 cooperative interaction Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910000856 hastalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001513 hot isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002294 plasma sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
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- Y10T137/8593—Systems
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Description
本発明の実施形態は、例えば、以下の通りである。
[形態1]
U字型MSM相互接続部構成部品において、
a.上面と下面を有する基部と、
b.前記上面に設けられているMSM構成部品と、
c.前記上面に設けられているポートを前記下面に設けられているポートにつないでいる少なくとも2つの流体通路と、
d.前記基部から伸張していて、土台板へ取り付けるための少なくとも2つの締結具通路を有している少なくとも2つの整列用脚部であって、前記土台板に締結されると、モジュール式流体用インサートに跨り、同インサートを動かないように保持するように構成されている、整列用脚部と、を備えているU字型MSM相互接続部構成部品。
[形態2]
前記整列用脚部は、中心線を有するモジュール式流体用インサートに、前記中心線を横断する向きに配置されて接続されているマニホールドに、跨るように構成されていることを更に特徴とする、形態1に記載のU字型MSM相互接続部構成部品。
[形態3]
前記基部からは4つの整列用脚部が伸びており、各脚部は締結具通路を有していることを更に特徴とする、形態2に記載のU字型MSM相互接続部構成部品。
[形態4]
前記下面の前記ポートは、1対の隣接するモジュール式流体用インサートのポートにシール可能に係合するように構成されていることを更に特徴とする、形態1に記載のU字型MSM相互接続部構成部品。
[形態5]
前記基部は、前記上面と前記下面に、対応するポートを有する3つの流体通路を有していることを更に特徴とする、形態1に記載のU字型MSM相互接続部構成部品。
[形態6]
前記基部は、少なくとも1つの漏出検知穴を有していることを更に特徴とする、形態1に記載のU字型MSM相互接続部構成部品。
[形態7]
ガスパネルアッセンブリにおいて、
1つ又はそれ以上の整列用スロットと、複数の締結具通路とを有する平坦な支持板と、
互いに隣接位置に在って、それぞれが、上面及び下面と、前記支持板の前記整列用スロットに係合するように構成されている前記下面の少なくとも1つの整列突起と、を有している、少なくとも1対のモジュール式流体用インサートであって、前記上面に1つ又はそれ以上の流体通路を有している、1対のモジュール式流体用インサートと、
MSM構成部品を含んでいる上面と、1つ又はそれ以上の流体通路を有している下面と、それぞれが締結具通路を有している少なくとも2つの整列用脚部と、を備えている基部を有する少なくとも1つのU字型MSM相互接続部構成部品であって、前記下面の前記1つ又はそれ以上の流体通路は、前記基部を通して前記MSM構成部品と流体連通しており、前記MSM相互接続部構成部品の前記下面は、前記流体用インサートの前記上面の前記1つ又はそれ以上の流体通路との間にシールされたインターフェースを提供するように構成されている、少なくとも1つのU字型MSM相互接続部構成部品と、を備えており、
前記流体用インサートは、前記U字型MSM相互接続部構成部品が、前記締結具通路の締結具を用いて前記支持板に締結されると、圧縮力によって前記支持板に非可動式に固定される、ガスパネルアセンブリ。
上記及び他の実施形態は、以下の本発明のより詳細な説明から明らかになるであろう。
2 スロット
3 締結具通路
4 モジュール式インサート
5 流体通路
6 U字型MSM相互接続部構成部品
7 締結具
8 MSM流体用構成部品
11、12 U字型空間
13 マニホールド
15 接続部構成部品の基部
16 接続部構成部品の上面
20 接続部構成部品の下面
21 接続部構成部品の流体通路
22 接続部構成部品の締結具通路
23 整列用脚部
24 漏出チェック穴
Claims (3)
- U字型MSM相互接続部構成部品において、
a.上面と下面を有する基部であって、前記下面にU字型空間が設けられている基部と、
b.前記上面に設けられているMSM構成部品と、
c.前記上面に設けられているポートを前記下面に設けられているポートにつないでいる少なくとも2つの流体通路と、
d.前記基部から伸張していて、平坦な土台板へ取り付けるための締結具が通るように構成された少なくとも2つの締結具通路を有している少なくとも2つの整列用脚部であって、前記土台板に締結されると、モジュール式流体用インサートに跨り、同インサートを動かないように保持するように構成されている、整列用脚部とを備えているU字型MSM相互接続部構成部品であって、
前記整列用脚部が、中心線を有するモジュール式流体用インサートに、前記中心線を横断する向きに配置されて接続されているマニホールドに、跨るように構成されており、
前記基部からは4つの整列用脚部が伸びており、各整列用脚部が締結具通路を有しており、
前記基部が、前記上面と前記下面との間を貫く漏出チェック穴を含んでおり、
前記下面の前記ポートは、前記モジュール式流体用インサートの対応するポートにシール可能に係合するように構成されており、
前記整列用脚部以外の、前記モジュール式流体用インサートを保持するための構造体を備えず、
前記締結具以外の、前記U字型MSM相互接続部構成部品を土台板へ取り付けるための締結用部材を備えない、U字型MSM相互接続部構成部品。 - 前記基部は、前記上面と前記下面に、対応するポートを有する3つの流体通路を有していることを更に特徴とする、請求項1に記載のU字型MSM相互接続部構成部品。
- 前記土台板が複数の締結具通路を有し、
前記整列用脚部の前記締結具通路に受け入れられた締結具が前記土台板の前記締結具通路に解除可能に係合して、前記U字型MSM相互接続部構成部品が前記モジュール式流体用インサートを前記土台板の表面に押圧して垂直及び水平方向への移動を防止する、請求項1又は2に記載のU字型MSM相互接続部構成部品。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/827,621 | 2007-07-12 | ||
US11/827,621 US7784497B2 (en) | 2007-07-12 | 2007-07-12 | MSM component and associated gas panel assembly |
PCT/US2008/008471 WO2009009096A1 (en) | 2007-07-12 | 2008-07-10 | Msm component and associated gas panel assembly |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012262106A Division JP5462926B2 (ja) | 2007-07-12 | 2012-11-30 | ガスパネルアッセンブリ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010533274A JP2010533274A (ja) | 2010-10-21 |
JP5745271B2 true JP5745271B2 (ja) | 2015-07-08 |
Family
ID=39967938
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010516055A Active JP5745271B2 (ja) | 2007-07-12 | 2008-07-10 | Msm構成部品及び関連ガスパネルアッセンブリ |
JP2012262106A Active JP5462926B2 (ja) | 2007-07-12 | 2012-11-30 | ガスパネルアッセンブリ |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012262106A Active JP5462926B2 (ja) | 2007-07-12 | 2012-11-30 | ガスパネルアッセンブリ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7784497B2 (ja) |
EP (1) | EP2167855B1 (ja) |
JP (2) | JP5745271B2 (ja) |
KR (1) | KR101179640B1 (ja) |
TW (1) | TWI357960B (ja) |
WO (1) | WO2009009096A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10107407B2 (en) * | 2010-09-28 | 2018-10-23 | Parker-Hannifin Corporation | Modular valve manifold system |
US9114788B2 (en) * | 2011-01-27 | 2015-08-25 | Wabtec Holding Corp. | Manifold joint seal |
DE102011111055B4 (de) * | 2011-08-24 | 2014-06-18 | Viega Gmbh & Co. Kg | System aus einer Befestigungsvorrichtung und einem Fitting |
JP6488121B2 (ja) * | 2014-12-18 | 2019-03-20 | 株式会社パイオラックス | 燃料タンク用弁装置 |
CN110709634B (zh) * | 2017-05-31 | 2021-07-30 | 株式会社富士金 | 阀装置和流体控制装置 |
CN110753796B (zh) * | 2017-06-16 | 2022-04-19 | 费斯托股份两合公司 | 过程控制设备 |
JP7303560B2 (ja) | 2018-10-31 | 2023-07-05 | 株式会社フジキン | 流体供給システム |
JP7393788B2 (ja) | 2020-01-08 | 2023-12-07 | アドバンス電気工業株式会社 | 弁構造体 |
US20220372997A1 (en) * | 2021-05-24 | 2022-11-24 | Festo Se & Co. Kg | Fluid control system |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62145116A (ja) | 1985-12-19 | 1987-06-29 | Tokico Ltd | 流量計 |
KR100232112B1 (ko) * | 1996-01-05 | 1999-12-01 | 아마노 시게루 | 가스공급유닛 |
US6293310B1 (en) | 1996-10-30 | 2001-09-25 | Unit Instruments, Inc. | Gas panel |
US5992463A (en) * | 1996-10-30 | 1999-11-30 | Unit Instruments, Inc. | Gas panel |
US5836355A (en) | 1996-12-03 | 1998-11-17 | Insync Systems, Inc. | Building blocks for integrated gas panel |
WO1999045302A1 (en) * | 1998-03-05 | 1999-09-10 | The Swagelok Company | Modular surface mount manifold |
JP3626014B2 (ja) * | 1998-07-09 | 2005-03-02 | シーケーディ株式会社 | プロセスガス供給ユニットにおけるガス漏れ検査装置及びガス漏れ検査方法 |
US6298881B1 (en) * | 1999-03-16 | 2001-10-09 | Shigemoto & Annett Ii, Inc. | Modular fluid handling assembly and modular fluid handling units with double containment |
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US6951226B2 (en) | 2001-07-13 | 2005-10-04 | Talon Innovations, Inc. | Shear-resistant modular fluidic blocks |
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US6874538B2 (en) * | 2003-03-26 | 2005-04-05 | Kevin S. Bennett | Fluid delivery system |
TW200506265A (en) | 2003-07-11 | 2005-02-16 | Michael Doyle | Modular fluid distribution system |
JP4298476B2 (ja) * | 2003-11-14 | 2009-07-22 | 株式会社フジキン | 流体制御装置 |
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WO2007017937A1 (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-15 | Fujikin Incorporated | 流体制御装置 |
JP4528592B2 (ja) * | 2004-09-30 | 2010-08-18 | シーケーディ株式会社 | ガス供給集積ユニット |
US7320339B2 (en) * | 2005-06-02 | 2008-01-22 | Ultra Clean Holdings, Inc. | Gas-panel assembly |
WO2006130774A1 (en) * | 2005-06-02 | 2006-12-07 | Ultra Clean Holdings, Incorporated | Gas-panel assembly |
JP4690827B2 (ja) * | 2005-08-26 | 2011-06-01 | 株式会社フジキン | ガスケット型オリフィス及びこれを用いた圧力式流量制御装置 |
JP4780555B2 (ja) | 2005-09-12 | 2011-09-28 | 株式会社フジキン | 流体制御装置 |
-
2007
- 2007-07-12 US US11/827,621 patent/US7784497B2/en active Active
-
2008
- 2008-07-10 KR KR1020107003142A patent/KR101179640B1/ko active IP Right Grant
- 2008-07-10 WO PCT/US2008/008471 patent/WO2009009096A1/en active Application Filing
- 2008-07-10 EP EP08780092.6A patent/EP2167855B1/en active Active
- 2008-07-10 JP JP2010516055A patent/JP5745271B2/ja active Active
- 2008-07-11 TW TW97126503A patent/TWI357960B/zh active
-
2010
- 2010-07-26 US US12/843,298 patent/US7886770B2/en active Active
-
2012
- 2012-11-30 JP JP2012262106A patent/JP5462926B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009009096A1 (en) | 2009-01-15 |
EP2167855A1 (en) | 2010-03-31 |
US7886770B2 (en) | 2011-02-15 |
US7784497B2 (en) | 2010-08-31 |
JP5462926B2 (ja) | 2014-04-02 |
TWI357960B (en) | 2012-02-11 |
JP2010533274A (ja) | 2010-10-21 |
JP2013127312A (ja) | 2013-06-27 |
US20100186842A1 (en) | 2010-07-29 |
US20100319797A1 (en) | 2010-12-23 |
KR20100053552A (ko) | 2010-05-20 |
TW200907204A (en) | 2009-02-16 |
KR101179640B1 (ko) | 2012-09-07 |
EP2167855B1 (en) | 2016-04-13 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
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|
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A602 | Written permission of extension of time |
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|
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
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|
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A521 | Request for written amendment filed |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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