JP5745104B2 - Electronic component transfer apparatus and electronic component transfer method - Google Patents

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Description

本発明は、チップなどの電子部品をピックアップし、移送する電子部品移送装置および電子部品移送方法に関する。   The present invention relates to an electronic component transfer apparatus and an electronic component transfer method for picking up and transferring an electronic component such as a chip.

近年、電子部品移送装置として、ダイシングにより分割され、ウェハ状に配置された電子部品をピックアップし、ランク毎に移送先に配列する装置が知られている。この種の電子部品移送装置では、真空ポンプに接続された吸着ノズルにより、電子部品を上側から吸着するとともに、下側から突き上げる動作により、電子部品を1つずつピックアップし、移送する。このとき電子部品移送装置は、同一ランクのもののみを、ある一定のスペースに配列し、後工程における基板への実装において利用しやすいようにしていた。   2. Description of the Related Art In recent years, as an electronic component transfer device, a device that picks up an electronic component divided by dicing and arranged in a wafer shape and arranges it at a transfer destination for each rank is known. In this type of electronic component transfer device, the electronic components are picked up from the upper side by the suction nozzle connected to the vacuum pump and picked up one by one by the operation of pushing up from the lower side and transferred. At this time, the electronic component transfer device is arranged only in the same rank in a certain space so that it can be easily used for mounting on a substrate in a subsequent process.

ウェハ状に配置された電子部品は、非常に多くの電子部品で構成されるため、電子部品の移送を行う電子部品移送装置には、多くの電子部品を短時間で移送することが求められる。このため、移送工程のタクトタイムの短縮のために、同時に複数の電子部品を移送可能な特許文献1のような発明がなされている。   Since electronic components arranged in a wafer form are composed of a large number of electronic components, an electronic component transfer device that transfers electronic components is required to transfer many electronic components in a short time. For this reason, in order to shorten the tact time of a transfer process, invention like patent document 1 which can transfer several electronic components simultaneously is made | formed.

特許文献1には、列状に配置された複数の吸着ノズルで、列毎に一括して半導体製品(電子部品)を吸着し、移送先へ移送する構成が開示されている。この構成では、半導体製品を吸着するにあたり、適切なランクの半導体製品を下側から突上げピンで突き上げることで、ピックアップの補助とピックアップする半導体製品のランク分けとを行っている。   Patent Document 1 discloses a configuration in which a plurality of suction nozzles arranged in a row absorbs semiconductor products (electronic parts) for each row and transfers them to a transfer destination. In this configuration, when adsorbing a semiconductor product, an appropriate rank of the semiconductor product is pushed up from the lower side by a push-up pin, thereby assisting pickup and ranking the semiconductor products to be picked up.

また特許文献2には、ウェハ状のチップ(電子部品)をダイボンディングする際に、チップの特性データと位置データから同一ランクに属するチップのみをダイボンディングする構成について記載されている。   Patent Document 2 describes a configuration in which only chips belonging to the same rank are die-bonded from chip characteristic data and position data when die-bonding a wafer-like chip (electronic component).

特許登録第3712695号Patent registration No. 3712695 特開平4−262543号JP-A-4-262543

近年、電子部品に対する検査の精密度が向上しており、ランクの設定も詳細になっている。また、最高ランクから使用が許容できるランクまでに複数のランクがあり、製品によっては必ずしも最高のランクのみを要求しない製品もある。また1つの製品、基板に対して複数個の電子部品が必要となるため、前工程において製造された電子部品をできるだけ無駄なく使用することによって、限りある資源の効率的活用と、コストを下げることが要求されている。   In recent years, the precision of inspection for electronic components has been improved, and the setting of rank has also become detailed. In addition, there are a plurality of ranks from the highest rank to a rank acceptable for use, and some products do not necessarily require only the highest rank. In addition, since multiple electronic components are required for one product or board, the efficient use of limited resources and cost reduction are achieved by using the electronic components manufactured in the previous process as efficiently as possible. Is required.

従来の技術では、電子部品の製造上避けられない不良の電子部品が、良品のランクの電子部品とともに、ピックアップ側のウェハシートに残り、これを再使用することが難しかった。   In the prior art, defective electronic components that are unavoidable in the manufacture of electronic components remain on the wafer sheet on the pickup side together with non-defective rank electronic components, and it has been difficult to reuse them.

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、その目的の一例は、ピックアップ側のウェハシートに残った電子部品を再利用可能なように再配置することが可能な電子部品移送装置および電子部品移送方法を提供することである。   The present invention has been made in view of the above problems, and an example of the object thereof is an electronic component transfer apparatus and an electronic device that can reposition electronic components remaining on a pickup-side wafer sheet so that they can be reused. It is to provide a part transfer method.

上記課題を解決するために、本発明の電子部品移送装置は、ランクの異なる複数の電子部品がウェハ状に配置されているウェハシートを保持する電子部品保持テーブルと、前記電子部品保持テーブルにおける前記ウェハシート上の前記電子部品の位置情報と前記電子部品のランク情報からなる電子部品情報を格納する電子部品情報格納部と、前記ウェハシートから前記電子部品を1または複数個ずつ取り出し、配置部へ移送する電子部品移送部と、前記配置部における前記電子部品の配列情報を格納する配列情報格納部と、前記ウェハシート上に残った残電子部品を再配置する再配置部と、前記電子部品情報と前記配列情報に基づいて前記電子部品を前記配置部における所定の位置へ移送し、前記残電子部品を前記再配置部に移送するように前記電子部品移送部を制御する制御部とを備え、前記再配置部を前記配置部の一部に設ける。 In order to solve the above problems, an electronic component transfer device according to the present invention includes an electronic component holding table that holds a wafer sheet in which a plurality of electronic components having different ranks are arranged in a wafer shape, and the electronic component holding table. An electronic component information storage unit that stores electronic component information including position information of the electronic component on the wafer sheet and rank information of the electronic component, and one or a plurality of the electronic components are taken out from the wafer sheet, and placed to the placement unit An electronic component transfer unit for transferring, an arrangement information storage unit for storing arrangement information of the electronic components in the arrangement unit, a rearrangement unit for rearranging remaining electronic components remaining on the wafer sheet, and the electronic component information The electronic component is transferred to a predetermined position in the placement unit based on the arrangement information, and the remaining electronic component is transferred to the rearrangement unit. And a control unit for controlling the serial electronic component transfer unit, Ru provided with the rearrangement unit in a part of the placement portion.

さらに上記課題を解決するために、本発明の電子部品移送方法は、ランクの異なる複数の電子部品がウェハ状に配置されているウェハシートを電子部品保持テーブルに保持するウェハシート保持工程と、前記電子部品保持テーブルにおける前記ウェハシート上の前記電子部品の位置情報と前記電子部品のランク情報からなる電子部品情報を電子部品情報格納部に格納する電子部品情報格納工程と、配置部における前記電子部品の配列情報を配列情報格納部に格納する配列情報格納工程と、前記ウェハシートから前記電子部品を1または複数個ずつ取り出し、前記配置部へ移送する移送工程と、前記電子部品情報と前記配列情報に基づいて前記電子部品を前記配置部における所定の位置へ移送し、前記ウェハシート上に残った残電子部品を再配置部に移送するように前記電子部品移送部を制御する制御工程とを備え、前記再配置部を前記配置部の一部に設ける。 Furthermore, in order to solve the above-mentioned problem, the electronic component transfer method of the present invention includes a wafer sheet holding step for holding a wafer sheet in which a plurality of electronic components having different ranks are arranged in a wafer shape on an electronic component holding table, An electronic component information storing step for storing electronic component information including position information of the electronic component on the wafer sheet in the electronic component holding table and rank information of the electronic component in the electronic component information storage unit, and the electronic component in the arrangement unit An array information storage step of storing the array information in the array information storage unit, a transfer step of taking out one or a plurality of the electronic components from the wafer sheet and transferring them to the placement unit, the electronic component information and the array information The electronic component is transferred to a predetermined position in the placement unit based on the relocation of the remaining electronic component remaining on the wafer sheet. And a controlling process of controlling the electronic component transfer unit to transfer the parts, Ru provided with the rearrangement unit in a part of the placement portion.

本実施形態の電子部品移送装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the electronic component transfer apparatus of this embodiment. 電子部品移送装置の各部の位置関係と動作方向を示す図である。It is a figure which shows the positional relationship and operation direction of each part of an electronic component transfer apparatus. 電子部品移送装置による電子部品のピックアップの態様を示す図である。It is a figure which shows the aspect of the pick-up of the electronic component by an electronic component transfer apparatus. 本実施形態の電子部品移送装置および電子部品移送方法の動作の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of operation | movement of the electronic component transfer apparatus and electronic component transfer method of this embodiment. 本実施形態のピックアップ動作の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the pick-up operation | movement of this embodiment. 本実施形態の実装動作の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the mounting operation | movement of this embodiment. 本実施形態の再配置動作の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the rearrangement operation | movement of this embodiment. ウェハシート上の発光ダイオード素子と、基板に実装された発光ダイオードモジュールを示したものの一例である。It is an example which showed the light emitting diode element on the wafer sheet, and the light emitting diode module mounted in the board | substrate. 実装するべき発光ダイオード素子を実装した後にウェハシート上に残った残発光ダイオード素子と、再配置部に配置された残発光ダイオード素子を示したものの一例である。It is an example which showed the remaining light emitting diode element which remained on the wafer sheet after mounting the light emitting diode element which should be mounted, and the remaining light emitting diode element arrange | positioned in the rearrangement part.

以下、本発明の実施形態を、図面を用いて詳細に説明する。図1は、本実施形態の電子部品移送装置および電子部品移送方法の構成を示すブロック図である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of an electronic component transfer apparatus and an electronic component transfer method according to the present embodiment.

本発明の電子部品移送装置の実施形態である電子部品移送装置1の構成を図1を参照しながら説明する。この図1のピックアップ部10及び実装部20内において、左右方向をX方向、手前側から奥側に向かう方向をY方向、上下方向をZ方向、XY平面における角度をθとして、以降の説明を行う。   A configuration of an electronic component transfer apparatus 1 that is an embodiment of the electronic component transfer apparatus of the present invention will be described with reference to FIG. In the pickup unit 10 and the mounting unit 20 in FIG. Do.

図1に示されるように、電子部品実装装置1は、ピックアップ部10、実装部20、電子部品移送部である移載ヘッド30、制御部40、電子部品情報格納部41及び配列情報格納部42を備えて構成されている。ピックアップ部10と実装部20とは、X方向に相互に離隔して配置される。本発明において、電子部品移送部は、吸着ノズルを備えた移載ヘッドおよびこれを作動させるヘッドアクチュエータから構成される。   As shown in FIG. 1, the electronic component mounting apparatus 1 includes a pickup unit 10, a mounting unit 20, a transfer head 30 that is an electronic component transfer unit, a control unit 40, an electronic component information storage unit 41, and an array information storage unit 42. It is configured with. The pickup unit 10 and the mounting unit 20 are arranged to be separated from each other in the X direction. In the present invention, the electronic component transfer unit includes a transfer head having a suction nozzle and a head actuator that operates the transfer head.

ピックアップ部10は、電子部品移送装置1において、電子部品100が配置されるウェハシート200から電子部品100のピックアップを行うユニットである。ピックアップ部10は、電子部品保持テーブル11、電子部品保持テーブルアクチュエータ12、ピックアップハンマ13、上円板カム14、ピックアップモータ15、突き上げ針16、下円板カム17、突き上げモータ18及びカメラ19を備えて構成される。   The pickup unit 10 is a unit that picks up the electronic component 100 from the wafer sheet 200 on which the electronic component 100 is arranged in the electronic component transfer apparatus 1. The pickup unit 10 includes an electronic component holding table 11, an electronic component holding table actuator 12, a pickup hammer 13, an upper disk cam 14, a pickup motor 15, a push-up needle 16, a lower disk cam 17, a push-up motor 18 and a camera 19. Configured.

ピックアップ部10においては、ウェハシート200に配置される電子部品100を移載ヘッド30によりピックアップするためのピックアップ位置Puが一ヶ所設定される。ピックアップ位置Puは、ピックアップ部10におけるX方向及びY方向の所定の位置を示す。   In the pickup unit 10, one pickup position Pu for picking up the electronic component 100 arranged on the wafer sheet 200 by the transfer head 30 is set. The pickup position Pu indicates a predetermined position in the X direction and the Y direction in the pickup unit 10.

電子部品保持テーブル11は、電子部品100が配置されるウェハシート200を保持可能な平坦な面を有する部材である。電子部品保持テーブル11は、ウェハシート200の周縁部を保持し、伸縮性のある粘着シートを伸長することで、ウェハシート200上に配置される電子部品100を互いに所定の距離離隔させる。   The electronic component holding table 11 is a member having a flat surface capable of holding the wafer sheet 200 on which the electronic component 100 is arranged. The electronic component holding table 11 holds the peripheral portion of the wafer sheet 200 and extends the stretchable adhesive sheet, thereby separating the electronic components 100 arranged on the wafer sheet 200 from each other by a predetermined distance.

電子部品保持テーブルアクチュエータ12は、電子部品保持テーブル11を電子部品100が配置される面内(言い換えれば、XY平面内)で移動させるとともに、この面内で電子部品保持テーブル11をθ方向に回転させるアクチュエータから成る。電子部品保持テーブルアクチュエータ12は、制御部40から供給される制御信号に応じて、電子部品保持テーブル11を移動させることで、ウェハシート200上に配置される所望の電子部品100をピックアップ位置Puに設定する。   The electronic component holding table actuator 12 moves the electronic component holding table 11 in the plane where the electronic component 100 is arranged (in other words, in the XY plane), and rotates the electronic component holding table 11 in the θ direction within this plane. It consists of an actuator to be The electronic component holding table actuator 12 moves the electronic component holding table 11 in accordance with a control signal supplied from the control unit 40, thereby moving the desired electronic component 100 arranged on the wafer sheet 200 to the pickup position Pu. Set.

ピックアップハンマ13は、ピックアップ位置Puにおいて、ウェハシート200の上方に配設されるベアリング状の端部を有する構成である。ピックアップハンマ13のベアリング状の端部は、アームを介して上円板カム14に接続される。   The pickup hammer 13 is configured to have a bearing-like end portion disposed above the wafer sheet 200 at the pickup position Pu. The bearing-like end of the pickup hammer 13 is connected to the upper disc cam 14 via an arm.

上円板カム14は、ピックアップモータ15の回転に応じて回転可能な円板状のカムである。ピックアップモータ15は、制御部40から供給される制御信号に応じて回転し、上円板カム14を回転させる。ピックアップハンマ13は、上円板カム14の回転に応じてアームが移動することで、ベアリング状の端部がZ方向に往復移動する。   The upper disk cam 14 is a disk-shaped cam that can rotate according to the rotation of the pickup motor 15. The pickup motor 15 rotates according to a control signal supplied from the control unit 40 and rotates the upper disk cam 14. The pick-up hammer 13 reciprocates in the Z direction when the arm moves in accordance with the rotation of the upper disc cam 14 and the bearing-shaped end portion reciprocates in the Z direction.

突き上げ針16は、ピックアップ位置Puにおいて、ウェハシート200の下方に配設される針状の構成である。突き上げ針16は、アームを介して下円板カム17に接続され、下円板カム17の回転に伴って、Z方向に移動する。   The push-up needle 16 has a needle-like configuration disposed below the wafer sheet 200 at the pickup position Pu. The push-up needle 16 is connected to the lower disk cam 17 via an arm, and moves in the Z direction as the lower disk cam 17 rotates.

突き上げ針16が、下円板カム17の回転によりZ方向を上方に移動するに従って、突き上げ針16の上端はウェハシート200に接触する。突き上げ針16は、移動範囲の上端において、ウェハシート200を貫通し、電子部品100に接触するとともに、電子部品100を突き上げる。   As the push-up needle 16 moves upward in the Z direction by the rotation of the lower disk cam 17, the upper end of the push-up needle 16 contacts the wafer sheet 200. The push-up needle 16 penetrates the wafer sheet 200 at the upper end of the movement range, contacts the electronic component 100, and pushes up the electronic component 100.

突き上げ針16は、針状の上端がピックアップ位置Puにおいて配置される電子部品100を突き上げ可能な態様で配設される。突き上げモータ18は、制御部40から供給される制御信号に応じて、下円板カム17を回転させる。   The push-up needle 16 is arranged in a manner that can push up the electronic component 100 whose needle-like upper end is arranged at the pickup position Pu. The push-up motor 18 rotates the lower disk cam 17 in accordance with a control signal supplied from the control unit 40.

カメラ19は、ウェハシート200上のピックアップ位置Puに位置調整して配置される電子部品100及びその周辺に配置される電子部品100を撮像範囲に収められるよう構成され、配設される。カメラ19において撮像された電子部品100の画像は、制御部40に送信される。   The camera 19 is configured and arranged so that the electronic component 100 arranged at the pickup position Pu on the wafer sheet 200 and the electronic component 100 arranged around the electronic component 100 can be accommodated in the imaging range. An image of the electronic component 100 captured by the camera 19 is transmitted to the control unit 40.

実装部20は、ピックアップ部10において、吸着ノズル31により吸着された電子部品100が本実施形態における配置部である実装基板300に実装するユニットであって、実装基板保持台21、実装基板保持台アクチュエータ22、実装ハンマ23、円板カム24、実装モータ25及びカメラ26を備えて構成される。   The mounting unit 20 is a unit in which the electronic component 100 sucked by the suction nozzle 31 in the pickup unit 10 is mounted on the mounting substrate 300 which is an arrangement unit in the present embodiment. The mounting unit 20 includes a mounting substrate holder 21 and a mounting substrate holder. An actuator 22, a mounting hammer 23, a disc cam 24, a mounting motor 25, and a camera 26 are provided.

実装部20は、実装基板保持台21上に実装基板300とは別に再配置部400を備える。再配置部400は、例えば、実装基板保持台21上に配置された複数の実装基板300のうちの1つを再配置部として置き換えたり、実装基板300が配置されている実装基板保持台21の上の余ったスペースや、実装基板300が取り出された後に同一の場所に配置されるものである。   The mounting unit 20 includes a rearrangement unit 400 on the mounting substrate holder 21 separately from the mounting substrate 300. For example, the rearrangement unit 400 replaces one of the plurality of mounting boards 300 arranged on the mounting board holding table 21 as a rearranging part, or the mounting board holding table 21 on which the mounting board 300 is arranged. The remaining space above and the mounting substrate 300 after being taken out are arranged in the same place.

なお、再配置部400は、粘着性を有するシートから構成され、電子部品を配置できるものである。   In addition, the rearrangement part 400 is comprised from the sheet | seat which has adhesiveness, and can arrange | position an electronic component.

実装部20においては、吸着ノズル31に吸着される電子部品100を実装基板300上に実装するための実装位置Plが一ヶ所設定される。   In the mounting unit 20, one mounting position Pl for mounting the electronic component 100 sucked by the suction nozzle 31 on the mounting substrate 300 is set.

実装位置Plは、実装部20におけるX方向及びY方向の所定の位置を示す。なお、実装位置Plは、ピックアップ位置PuからX方向に所定の距離離隔した位置に設定される。   The mounting position Pl indicates a predetermined position in the X direction and the Y direction in the mounting unit 20. The mounting position Pl is set at a position that is separated from the pickup position Pu by a predetermined distance in the X direction.

同様に、実装部20において、移載ヘッド30に保持される吸着ノズル31に吸着される残電子部品を再配置部400上に配置するための再配置位置Prが一ヶ所設定される。再配置位置Prは、実装位置Plと同様に実装部20におけるX方向及びY方向の所定の位置を示す。   Similarly, in the mounting unit 20, one rearrangement position Pr for arranging the remaining electronic component sucked by the suction nozzle 31 held by the transfer head 30 on the rearrangement unit 400 is set. The rearrangement position Pr indicates a predetermined position in the X direction and the Y direction in the mounting unit 20 as in the mounting position Pl.

ここで、残電子部品とは、制御部40によって指定された移動されるべき電子部品100以外の電子部品であり、電子部品情報より不良の電子部品と判断された電子部品と、当該実装に係る必要電子部品以上にウェハシート200上に電子部品があった場合に、余ってしまう電子部品100である。この余った電子部品100、つまり残電子部品にもそれぞれランクが付与されている。   Here, the remaining electronic component is an electronic component other than the electronic component 100 to be moved designated by the control unit 40, an electronic component determined to be a defective electronic component based on the electronic component information, and the mounting. The electronic component 100 is left over when there are more electronic components on the wafer sheet 200 than necessary. Ranks are also given to the remaining electronic components 100, that is, the remaining electronic components.

実装基板保持台21は、電子部品100が実装される実装基板300を保持可能な平坦な面を有する部材である。実装基板300は、セラミック基板、ガラス基板、プリント基板などの基板である。   The mounting board holding base 21 is a member having a flat surface capable of holding the mounting board 300 on which the electronic component 100 is mounted. The mounting substrate 300 is a substrate such as a ceramic substrate, a glass substrate, or a printed substrate.

実装基板保持台アクチュエータ22は、実装基板保持台21を電子部品100が実装される面方向(言い換えれば、X方向、Y方向及びθ方向)で移動可能である可動軸を有するアクチュエータである。   The mounting board holding base actuator 22 is an actuator having a movable shaft that can move the mounting board holding base 21 in the surface direction (in other words, the X direction, the Y direction, and the θ direction) on which the electronic component 100 is mounted.

実装基板保持台21上に保持される実装基板300には、移載ヘッド30の吸着ノズル31によって吸着される複数の電子部品100がそれぞれ所定のマージン離隔して実装される。以降、実装基板300上のそれぞれの電子部品100が実装されるべき位置を、電子部品実装位置と称して説明する。なお、電子部品実装位置は、例えば、実装基板300上に複数の列及び行から成るマトリックス状に設定される。   A plurality of electronic components 100 sucked by the suction nozzle 31 of the transfer head 30 are mounted on the mounting board 300 held on the mounting board holder 21 with a predetermined margin. Hereinafter, a position where each electronic component 100 on the mounting substrate 300 is to be mounted will be referred to as an electronic component mounting position. The electronic component mounting positions are set, for example, in a matrix shape having a plurality of columns and rows on the mounting substrate 300.

実装ハンマ23は、ベアリング状の端部がアームに接続され、該アームを介して円板カム24に接続される。円板カム24は、実装モータ25の駆動に応じて回転可能に構成される。   The mounting hammer 23 has a bearing-like end connected to an arm, and is connected to the disc cam 24 via the arm. The disc cam 24 is configured to be rotatable according to the driving of the mounting motor 25.

円板カム24の回転に伴ってアームが移動することで、実装ハンマ23のベアリング状の端部がZ方向に往復移動する。実装モータ25は、制御部40から供給される制御信号に応じて、円板カム24を回転させる。   As the disk cam 24 rotates, the arm moves so that the bearing-like end of the mounting hammer 23 reciprocates in the Z direction. The mounting motor 25 rotates the disc cam 24 according to a control signal supplied from the control unit 40.

カメラ26は、実装基板300上の実装位置Plに実装される電子部品100と、再配置位置Prに配置される残電子部品及びその周辺を撮像範囲に収められるよう構成され、配設される。カメラ26において撮像された画像は、制御部40に送信される。   The camera 26 is configured and disposed so that the electronic component 100 mounted at the mounting position Pl on the mounting substrate 300, the remaining electronic components disposed at the rearrangement position Pr and the periphery thereof can be accommodated in the imaging range. An image captured by the camera 26 is transmitted to the control unit 40.

移載ヘッド30は、円筒状の吸着ノズル31を複数保持し、ヘッドアクチュエータ32の動作の下、ピックアップ部10と実装部20との間を移動し、電子部品100のピックアップ動作及び実装動作、再配置動作を行う。移載ヘッド30は、ピックアップ部10の電子部品保持テーブル11及び実装部20の実装基板台21に対して、Z方向上方に配設される。   The transfer head 30 holds a plurality of suction nozzles 31 in a cylindrical shape and moves between the pickup unit 10 and the mounting unit 20 under the operation of the head actuator 32, and picks up and mounts the electronic component 100. Perform the placement operation. The transfer head 30 is disposed above the electronic component holding table 11 of the pickup unit 10 and the mounting board base 21 of the mounting unit 20 in the Z direction.

吸着ノズル31は、移載ヘッド30内に設けられる吸気通路(図示せず)を介して、真空ポンプなどの減圧装置(図示せず)に接続されており、制御部40から供給される制御信号に応じて、当接する電子部品100の吸着及び吸着の解除を行う。   The suction nozzle 31 is connected to a decompression device (not shown) such as a vacuum pump via an intake passage (not shown) provided in the transfer head 30, and a control signal supplied from the control unit 40. Accordingly, the electronic component 100 in contact with the electronic component 100 is sucked and released.

ヘッドアクチュエータ32は、制御部40から供給される制御信号に応じて、移載ヘッド30をX方向に移動可能な一軸のアクチュエータである。ヘッドアクチュエータ32は、移載ヘッド30をピックアップ位置Puと実装位置Plとを結ぶ直線に沿って、図1の矢印で示されるようにピックアップ部10及び実装部20の間を移動させる。   The head actuator 32 is a uniaxial actuator that can move the transfer head 30 in the X direction in accordance with a control signal supplied from the control unit 40. The head actuator 32 moves the transfer head 30 between the pickup unit 10 and the mounting unit 20 along a straight line connecting the pickup position Pu and the mounting position Pl as indicated by an arrow in FIG.

移載ヘッド30は、吸着ノズル31の下端が電子部品100の上端からZ方向に所定距離離隔するよう保持し、更に吸着ノズル31を保持位置において安定に固定するようZ方向上方に付勢するバネ機構を有する。   The transfer head 30 is a spring that holds the lower end of the suction nozzle 31 so as to be separated from the upper end of the electronic component 100 by a predetermined distance in the Z direction, and further biases the suction nozzle 31 upward in the Z direction so that the suction nozzle 31 is stably fixed at the holding position. It has a mechanism.

実装基板保持台アクチュエータ22、電子部品保持テーブルアクチュエータ12、ヘッドアクチュエータ32に制御信号を送り、それぞれを制御する制御部40は、電子部品情報格納部41及び配列情報格納部42と接続されている。   A control unit 40 that sends control signals to the mounting substrate holding table actuator 22, the electronic component holding table actuator 12, and the head actuator 32 and controls them is connected to the electronic component information storage unit 41 and the array information storage unit 42.

電子部品情報格納部41は、前工程またはプローブ検査機から、ウェハシート200上の電子部品100の位置情報およびランク情報を含む電子部品情報を取得し格納している。   The electronic component information storage unit 41 acquires and stores electronic component information including position information and rank information of the electronic component 100 on the wafer sheet 200 from a previous process or a probe inspection machine.

この電子部品情報はLANによるサーバ経由などの方法やCD、メモリーなどの電子記憶媒体などの方法により取得される。位置情報はウェハシート200上のインデックスを含み、ランク情報は光量、波長、抵抗値、処理速度、耐高電圧、電流増幅率などの情報を含む。また、ランク情報は、光量、波長、抵抗値、処理速度、耐高電圧、電流増幅率などの情報から予め決められたランクに分けられていてもよい。   This electronic component information is acquired by a method such as via a server via a LAN or a method such as an electronic storage medium such as a CD or a memory. The position information includes an index on the wafer sheet 200, and the rank information includes information such as a light amount, a wavelength, a resistance value, a processing speed, a high voltage resistance, and a current amplification factor. The rank information may be divided into predetermined ranks based on information such as the light amount, wavelength, resistance value, processing speed, high voltage resistance, and current amplification factor.

配列情報格納部42は、実装基板保持台21に配置される実装基板300における電子部品100の配列情報を格納している。配列情報は、実装基板内での各電子部品の実装位置、及び実装位置における各電子部品100のランク情報を少なくとも含んでいる。   The arrangement information storage unit 42 stores arrangement information of the electronic components 100 on the mounting board 300 arranged on the mounting board holding base 21. The array information includes at least the mounting position of each electronic component in the mounting substrate and the rank information of each electronic component 100 at the mounting position.

また、さらに実装基板上に実装されるべき電子部品100の数情報や、完成品における所望の光度(ルクス)に基いて設定される電子部品(例えば、発光ダイオード素子)のランクとその数と位置についての情報、予めパターンとして設計された電子部品のランクとその数と位置についての情報など、複数の配列パターン情報も含まれる。   Further, the rank, number and position of electronic components (for example, light-emitting diode elements) set based on the information on the number of electronic components 100 to be mounted on the mounting substrate and the desired luminous intensity (lux) in the finished product. A plurality of array pattern information such as information on the rank, the information on the rank, the number, and the position of the electronic parts designed in advance as a pattern are also included.

図2は、電子部品移送装置の各部の位置関係と動作方向を示す図である。   FIG. 2 is a diagram illustrating the positional relationship and operation direction of each part of the electronic component transfer device.

図2を参照して、電子部品移送装置1の各部の位置関係について更に説明する。図2は、図1の電子部品移送装置1をZ方向上方から見た場合のピックアップ部10の電子部品保持テーブル11、実装部20の実装基板保持台21及び移載ヘッド30の配置及び動作方向を示す図である。   With reference to FIG. 2, the positional relationship of each part of the electronic component transfer apparatus 1 will be further described. 2 shows the arrangement and operation directions of the electronic component holding table 11 of the pickup unit 10, the mounting board holding table 21 of the mounting unit 20, and the transfer head 30 when the electronic component transfer device 1 of FIG. 1 is viewed from above in the Z direction. FIG.

図2に示されるように、移載ヘッド30は、ピックアップ部10のピックアップ位置Puと、実装部20の実装位置Plとを結ぶ直線上に、複数の吸着ノズル31をそれぞれ所定のマージン離隔した上で一列に保持する。   As shown in FIG. 2, the transfer head 30 has a plurality of suction nozzles 31 separated from each other by a predetermined margin on a straight line connecting the pickup position Pu of the pickup unit 10 and the mounting position Pl of the mounting unit 20. Hold in a row.

従って、ピックアップ部10においては、ヘッドアクチュエータ32の動作により移載ヘッド30がX方向に移動されることで、移載ヘッド30に保持される吸着ノズル31が一つ一つピックアップ位置Puに移送される。他方で、実装部20においては、ヘッドアクチュエータ32の動作により移載ヘッド30がX方向に移動されることで、移載ヘッド30に保持される吸着ノズル31が一つ一つ実装位置Plに移送される。   Accordingly, in the pickup unit 10, when the transfer head 30 is moved in the X direction by the operation of the head actuator 32, the suction nozzles 31 held by the transfer head 30 are transferred to the pickup position Pu one by one. The On the other hand, in the mounting unit 20, the transfer head 30 is moved in the X direction by the operation of the head actuator 32, so that the suction nozzles 31 held by the transfer head 30 are transferred to the mounting position Pl one by one. Is done.

図2で示されるように、実装基板保持台21には、複数の実装基板300が配置される。ここで、実装基板保持台21の一部を再配置部400として利用し、残電子部品を再配置する。再配置及び残電子部品については、後述する。   As shown in FIG. 2, a plurality of mounting boards 300 are arranged on the mounting board holding base 21. Here, a part of the mounting board holding base 21 is used as the rearrangement unit 400 to rearrange the remaining electronic components. The rearrangement and remaining electronic components will be described later.

制御部40は、ピックアップ部10、実装部20及び移載ヘッド30の各部の動作を制御する制御用のCPUであって、関連各部と接続され、制御信号を供給することなどによって動作の制御を行う。   The control unit 40 is a control CPU that controls the operation of each unit of the pickup unit 10, the mounting unit 20, and the transfer head 30. The control unit 40 is connected to each related unit and controls the operation by supplying a control signal. Do.

制御部40は、例えばカメラ19より送信されるウェハシート200上の電子部品100の画像を解析することで、各電子部品100に位置座標を設定する。制御部40は、所望の電子部品100の位置座標に応じて電子部品保持テーブルアクチュエータ12を動作させることによって、電子部品100がピックアップ位置Puに来るよう、電子部品保持テーブル11の位置調整を行う。   The control unit 40 sets a position coordinate for each electronic component 100 by analyzing an image of the electronic component 100 on the wafer sheet 200 transmitted from the camera 19, for example. The control unit 40 adjusts the position of the electronic component holding table 11 so that the electronic component 100 comes to the pickup position Pu by operating the electronic component holding table actuator 12 according to the position coordinates of the desired electronic component 100.

また、制御部40は、実装基板300上に位置座標を設定し、所望の座標を電子部品実装位置として電子部品の実装位置が実装位置Plに来るよう、実装基板保持台アクチュエータ22を動作させて実装基板保持台21の位置調整を行う。   Further, the control unit 40 sets the position coordinates on the mounting board 300 and operates the mounting board holding base actuator 22 so that the mounting position of the electronic component comes to the mounting position Pl with the desired coordinates as the electronic component mounting position. The position of the mounting board holder 21 is adjusted.

同様に、制御部40は、再配置部400上に位置座標を設定し、所望の座標に再配置位置Prが来るよう、実装基板保持台アクチュエータ22を動作させて実装基板保持台21の位置調整を行う。   Similarly, the control unit 40 sets the position coordinates on the rearrangement unit 400, operates the mounting board holding base actuator 22 so that the rearrangement position Pr comes to a desired coordinate, and adjusts the position of the mounting board holding base 21. I do.

また、制御部40は、カメラ26より送信される画像解析結果に基づいて、実装基板300上に配置された電子部品100や再配置された残電子部品の品質の検査や位置情報の取得などを行う。   Further, the control unit 40 performs quality inspection, acquisition of position information, and the like of the electronic component 100 arranged on the mounting board 300 and the rearranged remaining electronic components based on the image analysis result transmitted from the camera 26. Do.

また、制御部40は、カメラ19、カメラ26により撮像された画像を参照し、電子部品100がXY平面においてθ方向にずれて配置されている場合には、電子部品保持テーブルアクチュエータ13と実装基板保持台アクチュエータ22に制御信号を送信し、電子部品保持テーブル11、実装基板保持台21をそれぞれθ方向に動かし補正を行う。これにより、電子部品のピックアップ、実装、再配置がより確実に行われる。   In addition, the control unit 40 refers to images captured by the camera 19 and the camera 26, and when the electronic component 100 is arranged shifted in the θ direction on the XY plane, the electronic component holding table actuator 13 and the mounting substrate A control signal is transmitted to the holding table actuator 22, and the electronic component holding table 11 and the mounting board holding table 21 are each moved in the θ direction to perform correction. Thereby, the pick-up, mounting, and rearrangement of the electronic component are more reliably performed.

制御部40は、上記動作を電子部品情報格納部41と配列情報格納部42からの情報に応じて行う。例えば、電子部品情報格納部41のランク情報と、配列情報格納部42の実装基板300において必要な数とそのランクの情報から、ウェハシート200上の電子部品100をどのように実装基板300に実装すれば、効率よく実装できるかを制御部40が算出して、制御信号を送信する。ここで、配列情報とは、実装基板内での各電子部品の実装位置、及び実装位置における各電子部品100のランク情報を少なくとも含んでいる。   The control unit 40 performs the above operation according to information from the electronic component information storage unit 41 and the array information storage unit 42. For example, how to mount the electronic component 100 on the wafer sheet 200 on the mounting substrate 300 based on the rank information of the electronic component information storage unit 41 and the number and rank information necessary for the mounting substrate 300 of the array information storage unit 42. Then, the control unit 40 calculates whether it can be mounted efficiently and transmits a control signal. Here, the arrangement information includes at least the mounting position of each electronic component in the mounting substrate and the rank information of each electronic component 100 at the mounting position.

また、配列情報格納部42に設定された所望の性能の情報と電子部品情報格納部41のランク情報から、製品としての合格範囲内で、ランクを混在させて効率よく製造するように、制御部40が算出して、制御信号を送信する。   In addition, from the information on the desired performance set in the array information storage unit 42 and the rank information in the electronic component information storage unit 41, the control unit 40 calculates and transmits a control signal.

さらに、モジュール完成時における所望の性能の情報入力を外部から受け、配列情報格納部42の実装基板300における必要実装数と位置情報から、所望の性能が得られるように実装基板300における電子部品100の実装位置とランクを計算する手段を備え、この計算結果に応じて、制御するようにしてもよい。   Further, the electronic component 100 on the mounting board 300 is received so that desired performance can be obtained from the required mounting number and position information on the mounting board 300 of the array information storage unit 42 from the outside by receiving information on the desired performance when the module is completed. There may be provided means for calculating the mounting position and rank, and control may be performed according to the calculation result.

図3は、電子部品移送装置による電子部品のピックアップの態様を示す図である。   FIG. 3 is a diagram illustrating an aspect of picking up an electronic component by the electronic component transfer device.

次に、図3を参照して、移載ヘッド30の吸着ノズル31がウェハシート200上の電子部品100を吸着によりピックアップする動作について説明する。図3では、各部の位置関係を状態1から状態4に分けて記載した。以下に説明する各部の動作は、制御部40の制御の下、実施される。   Next, with reference to FIG. 3, an operation in which the suction nozzle 31 of the transfer head 30 picks up the electronic component 100 on the wafer sheet 200 by suction will be described. In FIG. 3, the positional relationship of each part is described separately from state 1 to state 4. The operation of each unit described below is performed under the control of the control unit 40.

電子部品100のピックアップ動作においては、先ず、電子部品保持テーブルアクチュエータ12が電子部品保持テーブル11を移動させ、ピックアップ位置Pu(一点破線で示した軸上)に所望の電子部品100を移動する。   In the pickup operation of the electronic component 100, first, the electronic component holding table actuator 12 moves the electronic component holding table 11, and moves the desired electronic component 100 to the pickup position Pu (on the axis indicated by the one-dot broken line).

同時に、又は相前後して、ヘッドアクチュエータ32が移載ヘッド30を移動させ、ピックアップ位置Puに所望の吸着ノズル31を移動する(状態1)。この状態におけるピックアップハンマ13、突き上げ針、吸着ノズル31のZ方向の位置が、それぞれのZ方向における初期位置となる。   At the same time or before and after, the head actuator 32 moves the transfer head 30 and moves the desired suction nozzle 31 to the pickup position Pu (state 1). The positions in the Z direction of the pickup hammer 13, the push-up needle and the suction nozzle 31 in this state are the initial positions in the Z direction.

続いて、ピックアップモータ15が上円板カム14を回転させ、ピックアップハンマ13を下方に移動させる。ピックアップハンマ13は、移動に伴い、吸着ノズル31の上端に接触した後、吸着ノズル31を上方に付勢するバネ機構の付勢力に抗して吸着ノズル31を下方に押し下げる。   Subsequently, the pickup motor 15 rotates the upper disk cam 14 and moves the pickup hammer 13 downward. As the pickup hammer 13 moves, it contacts the upper end of the suction nozzle 31 and then pushes down the suction nozzle 31 against the biasing force of the spring mechanism that biases the suction nozzle 31 upward.

押し下げられた吸着ノズル31は、ピックアップハンマ13が移動範囲の下端に達した位置で、電子部品100に当接し、あらかじめ制御部40が電子部品100を吸着するために吸着ノズル31の吸着を動作させ、電子部品100を吸着する。また、突き上げモータ18が下円板カム17を回転させ、突き上げ針16を電子部品100に向かって移動させる(状態2)。   The suction nozzle 31 pushed down contacts the electronic component 100 at the position where the pickup hammer 13 reaches the lower end of the moving range, and the controller 40 operates the suction of the suction nozzle 31 in order to suck the electronic component 100 in advance. The electronic component 100 is adsorbed. Further, the push-up motor 18 rotates the lower disk cam 17 and moves the push-up needle 16 toward the electronic component 100 (state 2).

続いて、ピックアップモータ15が上円板カム14を回転させ、ピックアップハンマ13を上方に移動させることで、吸着ノズル31の押し下げを解除する。押し下げが解除された吸着ノズル31は、バネ機構による付勢力により、電子部品100を吸着した状態で上方向に移動する。同時に、突き上げ針16の上端がウェハシート200を貫通して電子部品100を上方向に突き上げ、電子部品100の下端をウェハシート200から剥離させる方向に向かって移動させる(状態3)。   Subsequently, the pickup motor 15 rotates the upper disk cam 14 and moves the pickup hammer 13 upward to release the suction nozzle 31 from being pushed down. The suction nozzle 31 released from being pushed down moves upward while the electronic component 100 is sucked by the biasing force of the spring mechanism. At the same time, the upper end of the push-up needle 16 penetrates the wafer sheet 200 and pushes the electronic component 100 upward, and the lower end of the electronic component 100 is moved in the direction of peeling from the wafer sheet 200 (state 3).

ピックアップハンマ13、及び突き上げ針16が、それぞれの初期位置に戻り、電子部品100を下端に吸着させた吸着ノズル31もZ方向における初期位置に戻る。その後、電子部品保持テーブルアクチュエータ12が電子部品保持テーブル11を、次のピックアップ位置Puに次の電子部品100がくるように移動させる。同時に、又は相前後して、ヘッドアクチュエータ32が移載ヘッド30を移動させ、ピックアップ位置Puに次の吸着ノズル31を移動する(状態4)。   The pick-up hammer 13 and the push-up needle 16 return to their initial positions, and the suction nozzle 31 that sucks the electronic component 100 to the lower end also returns to the initial position in the Z direction. Thereafter, the electronic component holding table actuator 12 moves the electronic component holding table 11 so that the next electronic component 100 comes to the next pickup position Pu. At the same time or before and after, the head actuator 32 moves the transfer head 30 and moves the next suction nozzle 31 to the pickup position Pu (state 4).

以上、説明した動作により、電子部品100が移載ヘッド30の吸着ノズル31に吸着される。上述した動作を複数回繰り返すことにより、移載ヘッド30に保持される複数の吸着ノズル31のそれぞれに電子部品100が吸着される。   As described above, the electronic component 100 is attracted to the suction nozzle 31 of the transfer head 30 by the operation described above. By repeating the above-described operation a plurality of times, the electronic component 100 is attracted to each of the plurality of suction nozzles 31 held by the transfer head 30.

なお、実装部20における実装動作についても、同様の手順で実施される。具体的な手順について以下に説明する。電子部品100の実装動作においては、先ず、実装基板保持台アクチュエータ22が実装基板保持台21を移動させ、実装基板300上の所望の電子部品実装位置を実装位置Plに移動する。同時に、又は相前後して、ヘッドアクチュエータ32が移載ヘッド30を移動させ、実装位置Plに電子部品100を吸着する吸着ノズル31を移動する。このとき、実装ハンマ23は、Z方向における初期位置にある。   The mounting operation in the mounting unit 20 is performed in the same procedure. A specific procedure will be described below. In the mounting operation of the electronic component 100, first, the mounting board holding base actuator 22 moves the mounting board holding base 21 to move a desired electronic component mounting position on the mounting board 300 to the mounting position Pl. At the same time or before and after, the head actuator 32 moves the transfer head 30 and moves the suction nozzle 31 that sucks the electronic component 100 to the mounting position Pl. At this time, the mounting hammer 23 is in an initial position in the Z direction.

続いて、実装モータ25が円板カム24を回転させ、実装ハンマ23を下方に移動させる。実装ハンマ23は、移動に伴い、吸着ノズル31の上端に接触した後、吸着ノズル31を上方に付勢するバネ機構の付勢力に抗して吸着ノズル31を下方に押し下げる。押し下げられた吸着ノズル31に吸着される電子部品100は、実装ハンマ23が移動範囲の下端に達した位置で、実装基板300に当接する。   Subsequently, the mounting motor 25 rotates the disc cam 24 and moves the mounting hammer 23 downward. As the mounting hammer 23 moves, it contacts the upper end of the suction nozzle 31 and then pushes down the suction nozzle 31 against the biasing force of the spring mechanism that biases the suction nozzle 31 upward. The electronic component 100 sucked by the sucked suction nozzle 31 comes into contact with the mounting board 300 at a position where the mounting hammer 23 reaches the lower end of the moving range.

このとき、制御部40が電子部品100を吸着する吸着ノズル31の吸着を解除することで、電子部品100が実装基板300上の電子部品実装位置に配置される。実装基板300は粘着性を有するため、電子部品100は電子部品実装位置において実装基板300に接着する。   At this time, the control unit 40 releases the suction of the suction nozzle 31 that sucks the electronic component 100, so that the electronic component 100 is disposed at the electronic component mounting position on the mounting substrate 300. Since the mounting substrate 300 has adhesiveness, the electronic component 100 adheres to the mounting substrate 300 at the electronic component mounting position.

続いて、実装モータ25が円板カム24を回転させ、実装ハンマ23を上方に移動することで、吸着ノズル31の押し下げを解除する。押し下げが解除された吸着ノズル31は、バネ機構による付勢により、電子部品100を吸着していない状態で上方向に移動する。   Subsequently, the mounting motor 25 rotates the disc cam 24 and moves the mounting hammer 23 upward to release the suction nozzle 31 from being pushed down. The suction nozzle 31 released from being pushed down is moved upward in a state where the electronic component 100 is not sucked by the biasing force of the spring mechanism.

実装ハンマ23が初期位置に戻り、電子部品100の配置を終えた吸着ノズル31もZ方向における初期位置に戻った後、実装基板保持台アクチュエータ22が実装基板保持台21を移動させ、実装位置Plに次の実装位置を移動する。   After the mounting hammer 23 returns to the initial position and the suction nozzle 31 that has finished the arrangement of the electronic component 100 also returns to the initial position in the Z direction, the mounting board holding base actuator 22 moves the mounting board holding base 21 and the mounting position Pl Move the next mounting position.

同時に、又は相前後して、ヘッドアクチュエータ32が移載ヘッド30を移動させ、実装位置Plに次の電子部品100を吸着する吸着ノズル31を移動する。   At the same time or before and after, the head actuator 32 moves the transfer head 30 and moves the suction nozzle 31 that sucks the next electronic component 100 to the mounting position Pl.

以上、説明した動作により、移載ヘッド30により移送された電子部品100が実装基板300上に実装される。上述した動作を複数回繰り返すことにより、移載ヘッド30に備えられる複数の吸着ノズル31にそれぞれ吸着される電子部品100が実装基板300上に実装される。   As described above, the electronic component 100 transferred by the transfer head 30 is mounted on the mounting substrate 300 by the operation described above. By repeating the above-described operation a plurality of times, the electronic components 100 respectively sucked by the plurality of suction nozzles 31 provided in the transfer head 30 are mounted on the mounting substrate 300.

また、実装部20における再配置動作についても、同様の手順で実施される。具体的な手順について以下に説明する。残電子部品の再配置動作においては、先ず、実装基板保持台アクチュエータ22が実装基板保持台21を移動させ、再配置部400上の所望の電子部品再配置位置を再配置位置Prに移動する。同時に、又は相前後して、ヘッドアクチュエータ32が移載ヘッド30を移動させ、再配置位置Prに残電子部品を吸着する吸着ノズル31を移動する。このとき、実装ハンマ23は、Z方向における初期位置にある。   Further, the rearrangement operation in the mounting unit 20 is performed in the same procedure. A specific procedure will be described below. In the rearrangement operation of the remaining electronic components, first, the mounting board holding base actuator 22 moves the mounting board holding base 21 to move a desired electronic component rearrangement position on the rearrangement unit 400 to the rearrangement position Pr. At the same time or before and after, the head actuator 32 moves the transfer head 30 and moves the suction nozzle 31 that sucks the remaining electronic components to the rearrangement position Pr. At this time, the mounting hammer 23 is in an initial position in the Z direction.

続いて、実装モータ25が円板カム24を回転させ、実装ハンマ23を下方に移動させる。実装ハンマ23は、移動に伴い、吸着ノズル31の上端に接触した後、吸着ノズル31を上方に付勢するバネ機構の付勢力に抗して吸着ノズル31を下方に押し下げる。押し下げられた吸着ノズル31に吸着される残電子部品は、実装ハンマ23が移動範囲の下端に達した位置で、再配置部400に当接する。   Subsequently, the mounting motor 25 rotates the disc cam 24 and moves the mounting hammer 23 downward. As the mounting hammer 23 moves, it contacts the upper end of the suction nozzle 31 and then pushes down the suction nozzle 31 against the biasing force of the spring mechanism that biases the suction nozzle 31 upward. The remaining electronic component sucked by the sucked suction nozzle 31 comes into contact with the rearrangement unit 400 at a position where the mounting hammer 23 reaches the lower end of the moving range.

このとき、制御部40が残電子部品を吸着する吸着ノズル31の吸着を解除することで、残電子部品が再配置部400上の所望の電子部品再配置位置に配置される。再配置部400は粘着性を有するため、残電子部品は所望の電子部品再配置位置において再配置部400に接着する。   At this time, the controller 40 cancels the suction of the suction nozzle 31 that sucks the remaining electronic components, so that the remaining electronic components are arranged at a desired electronic component rearrangement position on the rearrangement unit 400. Since the rearrangement unit 400 has adhesiveness, the remaining electronic components adhere to the rearrangement unit 400 at a desired electronic component rearrangement position.

続いて、実装モータ25が円板カム24を回転させ、実装ハンマ23を上方に移動することで、吸着ノズル31の押し下げを解除する。押し下げが解除された吸着ノズル31は、バネ機構による付勢により、残電子部品を吸着していない状態で上方向に移動する。   Subsequently, the mounting motor 25 rotates the disc cam 24 and moves the mounting hammer 23 upward to release the suction nozzle 31 from being pushed down. The suction nozzle 31 released from being pushed down moves upward in a state in which the remaining electronic components are not sucked by the biasing force of the spring mechanism.

実装ハンマ23が初期位置に戻り、残電子部品の配置を終えた吸着ノズル31もZ方向における初期位置に戻った後、実装基板保持台アクチュエータ22が実装基板保持台21を移動させ、再配置位置Prに次の再配置位置を移動する。   After the mounting hammer 23 returns to the initial position and the suction nozzle 31 that has finished the arrangement of the remaining electronic components also returns to the initial position in the Z direction, the mounting board holding base actuator 22 moves the mounting board holding base 21 to reposition the position. The next rearrangement position is moved to Pr.

同時に、又は相前後して、ヘッドアクチュエータ32が移載ヘッド30を移動させ、再配置位置Prに次の残電子部品を吸着する吸着ノズル31を移動する。   At the same time or before and after, the head actuator 32 moves the transfer head 30 and moves the suction nozzle 31 that sucks the next remaining electronic component to the rearrangement position Pr.

以上、説明した動作により、移載ヘッド30により移送された残電子部品が再配置部400上に配置される。上述した動作を複数回繰り返すことにより、移載ヘッド30に備えられる複数の吸着ノズル31にそれぞれ吸着される残電子部品が再配置400上に配置される。   As described above, the remaining electronic components transferred by the transfer head 30 are arranged on the rearrangement unit 400 by the operation described above. By repeating the above-described operation a plurality of times, the remaining electronic components that are respectively sucked by the plurality of suction nozzles 31 provided in the transfer head 30 are arranged on the rearrangement 400.

図4は、本実施形態の電子部品移送装置および電子部品移送方法の動作の流れを示すフローチャートである。次に、電子部品移送装置1によるピックアップ動作及び実装動作、再配置動作を含む、全体的な動作の流れを示すフローチャートである図4を参照して電子部品移送装置1の動作を説明する。   FIG. 4 is a flowchart showing an operation flow of the electronic component transfer apparatus and the electronic component transfer method of the present embodiment. Next, the operation of the electronic component transfer apparatus 1 will be described with reference to FIG. 4 which is a flowchart showing the overall operation flow including the pickup operation, the mounting operation, and the rearrangement operation by the electronic component transfer apparatus 1.

電子部品移送装置1では、一連の動作の開始時に、電子部品100が保持されるウェハシート200がピックアップ部10の電子部品保持テーブル11の上に設置される(ステップS1)。このウェハシート200上には、ランクの異なる複数の電子部品100がウェハ状に配置されている。   In the electronic component transfer apparatus 1, the wafer sheet 200 holding the electronic component 100 is placed on the electronic component holding table 11 of the pickup unit 10 at the start of a series of operations (step S1). On the wafer sheet 200, a plurality of electronic components 100 having different ranks are arranged in a wafer shape.

同時に、又は相前後して、電子部品100が実装される実装基板300と再配置部400が実装部20の実装基板保持台21上に設置される(ステップS2)。   At the same time or before and after, the mounting substrate 300 on which the electronic component 100 is mounted and the rearrangement unit 400 are installed on the mounting substrate holding base 21 of the mounting unit 20 (step S2).

次に、ピックアップ部10のカメラ19は、ウェハシート200上に配置される全ての電子部品100について画像を撮像し、制御部40へと画像情報を送信する。制御部40は、送信された画像情報に基づき、ウェハシート200上のインデックスと、電子部品情報格納部41から取得した電子部品情報(ウェハシート200上の電子部品100のランク情報と位置情報を含む)に含まれたインデックスとを照合する。   Next, the camera 19 of the pickup unit 10 captures images of all the electronic components 100 arranged on the wafer sheet 200 and transmits image information to the control unit 40. Based on the transmitted image information, the control unit 40 includes an index on the wafer sheet 200 and electronic component information acquired from the electronic component information storage unit 41 (rank information and position information of the electronic component 100 on the wafer sheet 200). ) Is matched against the index included.

制御部40は、照合が一致した電子部品情報(ランク情報と位置情報を含む)の位置情報と、上記カメラ19によって撮像された画像情報に基いて各電子部品100に座標を設定し、生成された位置情報とをリンクさせる。これによって、制御部40は、ウェハシート200上に配置された電子部品100の位置とランクを認識可能となる。なお、電子部品情報格納部41は、前工程のプローブ検査装置の記憶部またはサーバ上にある記憶部などから電子部品情報を取得している(ステップS3)。   The control unit 40 sets the coordinates for each electronic component 100 based on the position information of the electronic component information (including rank information and position information) whose collation is matched and the image information captured by the camera 19, and is generated. Link the location information. Thereby, the control unit 40 can recognize the position and rank of the electronic component 100 arranged on the wafer sheet 200. The electronic component information storage unit 41 acquires electronic component information from the storage unit of the probe inspection apparatus in the previous process or the storage unit on the server (step S3).

続いて、制御部40は、配列情報格納部42から実装基板300に実装する電子部品100の配列情報(ランク情報と位置情報を含む)を取得する(ステップS4)。   Subsequently, the control unit 40 acquires array information (including rank information and position information) of the electronic component 100 mounted on the mounting board 300 from the array information storage unit 42 (step S4).

制御部40は、電子部品情報と配列情報から制御信号を生成し、各アクチュエータへ送信する(ステップS5)。   The control unit 40 generates a control signal from the electronic component information and the arrangement information and transmits it to each actuator (step S5).

次に、制御部40は、移載ヘッド30をピックアップ部10へと移動させ(ステップS6)、ピックアップ動作を実行する(ステップS7)。   Next, the control unit 40 moves the transfer head 30 to the pickup unit 10 (step S6) and executes a pickup operation (step S7).

かかるピックアップ動作により、ウェハシート200上に配置される電子部品100が、移載ヘッド30の複数の吸着ノズル31のそれぞれに吸着される。なお、ピックアップ動作については後述する。   By such a pickup operation, the electronic component 100 arranged on the wafer sheet 200 is sucked by each of the plurality of suction nozzles 31 of the transfer head 30. The pickup operation will be described later.

続いて、制御部40は、移載ヘッド30を実装部20へと移動させ(ステップS8)、実装動作を実行する(ステップS9)。   Subsequently, the control unit 40 moves the transfer head 30 to the mounting unit 20 (step S8), and executes a mounting operation (step S9).

かかる実装動作により、移載ヘッド30内の複数の吸着ノズル31のそれぞれに吸着されている電子部品100が、実装基板300へと実装される。なお、実装動作については後述する。   With this mounting operation, the electronic component 100 sucked by each of the plurality of suction nozzles 31 in the transfer head 30 is mounted on the mounting substrate 300. The mounting operation will be described later.

制御部40は、ウェハシート200上の実装されるべき全ての電子部品100が実装基板300に実装されるまで(ステップS10:Yes)、ステップS6からステップS9までの一連の動作を繰り返す。制御部40は、実装されるべき全ての電子部品100が実装基板300に実装されると、実装が完了した信号を受信する。   The control unit 40 repeats a series of operations from step S6 to step S9 until all the electronic components 100 to be mounted on the wafer sheet 200 are mounted on the mounting substrate 300 (step S10: Yes). When all the electronic components 100 to be mounted are mounted on the mounting substrate 300, the control unit 40 receives a signal indicating that the mounting has been completed.

また、制御部40は、強制再配置信号を受信し、強制的にウェハシート上の電子部品100を残電子部品として、再配置部400へ配置させることもできる(図4には図示せず)。この強制再配置信号はステップ6〜9のいずれの工程においても受信することができ、受信後、直ちにウェハシート上の電子部品100を残電子部品として、再配置部400へ配置させる。   Further, the control unit 40 can receive the forced rearrangement signal and forcibly place the electronic component 100 on the wafer sheet as the remaining electronic component in the rearrangement unit 400 (not shown in FIG. 4). . This forced rearrangement signal can be received in any of the steps 6-9, and immediately after reception, the electronic component 100 on the wafer sheet is placed in the rearrangement unit 400 as a remaining electronic component.

ウェハシート200上の実装されるべき全ての電子部品100が実装されると、ウェハシート200上には、残電子部品が配置されたまま残っている。   When all the electronic components 100 to be mounted on the wafer sheet 200 are mounted, the remaining electronic components remain arranged on the wafer sheet 200.

実装されるべき全ての電子部品100が実装基板300に実装されると、制御部40は、すでに照合が一致した電子部品情報から残電子部品の有無を確認する。さらに、あらためてカメラ19によって撮像された画像からウェハシート200上の照合が一致しない残電子部品の有無を確認することもできる(ステップS11)。残電子部品を確認した結果、残電子部品がない場合は、再配置すべき電子部品100がないので(ステップS11:No)、終了となる。   When all the electronic components 100 to be mounted are mounted on the mounting substrate 300, the control unit 40 confirms the presence or absence of remaining electronic components from the electronic component information that has already been matched. Furthermore, the presence or absence of remaining electronic components whose collations on the wafer sheet 200 do not match can be confirmed from the image captured by the camera 19 again (step S11). As a result of checking the remaining electronic components, if there are no remaining electronic components, there is no electronic component 100 to be rearranged (step S11: No), and the process ends.

ウェハシート200上に残電子部品が確認されると(ステップS11:Yes)、制御部40は、移載ヘッド30をピックアップ部10へと移動させ(ステップS12)、ピックアップ動作を実行する(ステップS13)。   When the remaining electronic components are confirmed on the wafer sheet 200 (step S11: Yes), the control unit 40 moves the transfer head 30 to the pickup unit 10 (step S12) and executes a pickup operation (step S13). ).

かかるピックアップ動作により、ウェハシート200上に保持される残電子部品が、移載ヘッド30内の複数の吸着ノズル31のそれぞれに吸着される。なお、ピックアップ動作はステップ7と同様になされる。   By such a pickup operation, the remaining electronic components held on the wafer sheet 200 are sucked by each of the plurality of suction nozzles 31 in the transfer head 30. The pickup operation is performed in the same manner as in step 7.

続いて、制御部40は、移載ヘッド30を実装部20へと移動させ(ステップS14)、再配置動作を実行する(ステップS15)。   Subsequently, the control unit 40 moves the transfer head 30 to the mounting unit 20 (step S14), and executes a rearrangement operation (step S15).

かかる再配置動作により、移載ヘッド30内の複数の吸着ノズル31のそれぞれに吸着されている残電子部品が、再配置部400へと再配置される。なお、再配置動作については後述する。   With this rearrangement operation, the remaining electronic components sucked by each of the plurality of suction nozzles 31 in the transfer head 30 are rearranged to the rearrangement unit 400. The rearrangement operation will be described later.

制御部40は、再配置が終了するまで(ステップS16:Yes)、ステップS12からステップS15までの一連の動作を繰り返す。不良品の電子部品および良品でランク304C付与された電子部品から成る残電子部品を再配置部400において、ランク不明品を含む不良品を別にして、良品はランク毎に配置される。   The control unit 40 repeats a series of operations from step S12 to step S15 until the rearrangement is completed (step S16: Yes). In the rearrangement unit 400, the defective electronic parts and the remaining electronic parts made up of non-defective electronic parts having ranks 304C are arranged in the rearrangement unit 400, except for defective products including unknown rank products.

なお、ランク不明品を含む不良品はウェハシート200にそのまま残しておき、良品でウェハシート200上に残った電子部品のみを残電子部品として再配置部にランク毎、配置するようにしてもよい。この場合は、制御部40は良品でウェハシート200に残った電子部品のみを残電子部品として認識して、各アクチュエータを制御する。   In addition, defective products including unknown rank products may be left as they are on the wafer sheet 200, and only non-defective electronic components remaining on the wafer sheet 200 may be arranged as remaining electronic components for each rank in the rearrangement unit. . In this case, the control unit 40 recognizes only the non-defective electronic components remaining on the wafer sheet 200 as remaining electronic components, and controls each actuator.

ランクの異なる複数の電子部品がウェハ状に配置されているウェハシートを電子部品保持テーブルに保持するウェハシート保持工程は、ステップS1に対応する。   A wafer sheet holding process for holding a wafer sheet in which a plurality of electronic components having different ranks are arranged in a wafer shape on the electronic component holding table corresponds to step S1.

電子部品保持テーブルにおけるウェハシート上の電子部品の位置情報と電子部品のランク情報からなる電子部品情報を電子部品情報格納部に格納する電子部品情報格納工程は、ステップS3に対応する。   The electronic component information storage step of storing electronic component information including position information of electronic components on the wafer sheet in the electronic component holding table and rank information of electronic components in the electronic component information storage unit corresponds to step S3.

配置部における電子部品の配列情報を配列情報格納部に格納する配列情報格納工程は、ステップS4に対応する。   The sequence information storage step of storing the sequence information of the electronic components in the layout unit in the sequence information storage unit corresponds to step S4.

ウェハシートから電子部品を1または複数個ずつ取り出し、配置部へ移送する移送工程は、ステップS6−9に対応する。   The transfer process of taking out one or more electronic components from the wafer sheet and transferring them to the placement unit corresponds to step S6-9.

電子部品情報と前記配列情報に基づいて電子部品を前記配置部における所定の位置へ移送し、前記ウェハシート上に残った残電子部品を再配置部に移送するように電子部品移送部を制御する制御工程は、ステップS12−15に対応する。   Based on the electronic component information and the arrangement information, the electronic component is transferred to a predetermined position in the arrangement unit, and the electronic component transfer unit is controlled to transfer the remaining electronic component remaining on the wafer sheet to the relocation unit. The control process corresponds to step S12-15.

図5は、本実施形態のピックアップ動作の流れを示すフローチャートである。次に電子部品移送装置1のピックアップ部10による電子部品100のピックアップ動作(図4のステップ7)について、図5のフローチャートを参照して説明する。   FIG. 5 is a flowchart showing the flow of the pickup operation of this embodiment. Next, the pickup operation (step 7 in FIG. 4) of the electronic component 100 by the pickup unit 10 of the electronic component transfer apparatus 1 will be described with reference to the flowchart in FIG.

先ず、制御部40は、最初にピックアップを行う電子部品100を基準電子部品に設定する。カメラ19は、この基準電子部品について画像を撮像し、制御部40へと画像情報を送信する。制御部40は、送信された画像情報に基づき、基準電子部品に再度座標を設定し、位置情報を生成する(ステップS101)。   First, the control unit 40 sets the electronic component 100 to be picked up first as a reference electronic component. The camera 19 captures an image of the reference electronic component and transmits image information to the control unit 40. Based on the transmitted image information, the control unit 40 sets coordinates again for the reference electronic component, and generates position information (step S101).

制御部40は、初めにカメラ19による撮像された画像より取得された(図4、ステップS3)全電子部品100の位置情報と、改めて取得された基準電子部品の位置情報とを比較し、基準電子部品の位置が最初の(即ち、ステップS3において検出された)位置からどれだけずれているかを検出し、ずれを補正するための位置補正量を算出する(ステップS102)。   The control unit 40 first compares the position information of all the electronic components 100 acquired from the image captured by the camera 19 (step S3 in FIG. 4) with the position information of the reference electronic component newly acquired, and determines the reference It detects how much the position of the electronic component is deviated from the initial position (that is, detected in step S3), and calculates a position correction amount for correcting the deviation (step S102).

制御部40は、改めて取得された基準電子部品の位置情報を適用して、格納される基準電子部品の位置情報を更新する(ステップS103)。   The control unit 40 updates the position information of the stored reference electronic component by applying the newly acquired position information of the reference electronic component (step S103).

次に、制御部40は、基準電子部品の更新後の位置情報に基づいて電子部品保持テーブルアクチュエータ12を動作させ、基準電子部品がピックアップ位置Puに移動されるよう、電子部品保持テーブル11を移動させる(ステップS104)。   Next, the control unit 40 operates the electronic component holding table actuator 12 based on the updated position information of the reference electronic component, and moves the electronic component holding table 11 so that the reference electronic component is moved to the pickup position Pu. (Step S104).

同時に、又は相前後して、制御部40は、ヘッドアクチュエータ32を動作させ、電子部品100を吸着していない吸着ノズル31がピックアップ位置Puに移動されるよう、移載ヘッド30を移動させる(ステップS105)。   At the same time or before and after, the control unit 40 operates the head actuator 32 to move the transfer head 30 so that the suction nozzle 31 that is not sucking the electronic component 100 is moved to the pickup position Pu (step). S105).

続いて、制御部40は、吸着ノズル31に基準電子部品を吸着させ、電子部品100のピックアップを行う(ステップS106)。   Subsequently, the control unit 40 causes the suction nozzle 31 to suck the reference electronic component and picks up the electronic component 100 (step S106).

具体的には、制御部40は、ピックアップモータ15を駆動させ、ピックアップハンマ13に吸着ノズル31を押し下げさせる。同時に、制御部40は、突き上げモータ18を駆動させ、突き上げ針16に電子部品100を突き上げさせる。   Specifically, the control unit 40 drives the pickup motor 15 to cause the pickup hammer 13 to push down the suction nozzle 31. At the same time, the control unit 40 drives the push-up motor 18 to push the electronic component 100 up by the push-up needle 16.

電子部品100は、ピックアップハンマ13に押し下げられた吸着ノズル31と接触することで吸着され、更に吸着ノズル31が上方向に移動するとともに、突き上げ針16により突き上げられることで、ウェハシート200より剥離しピックアップされる。   The electronic component 100 is adsorbed by contact with the suction nozzle 31 pushed down by the pickup hammer 13, and further, the suction nozzle 31 moves upward and is pushed up by the push-up needle 16, so that the electronic component 100 is peeled off from the wafer sheet 200. Picked up.

次に、ピックアップ可能な電子部品100が存在し(ステップS107:Yes)、且つ、電子部品100を吸着していない吸着可能な吸着ノズル31が存在する場合(ステップS108:Yes)、次の電子部品100のピックアップが行われる。   Next, when there is an electronic component 100 that can be picked up (step S107: Yes) and there is a suction nozzle 31 that can suck the electronic component 100 (step S108: Yes), the next electronic component 100 pickups are made.

制御部40は、次の電子部品100について格納されている位置情報を読み出し、この電子部品100の座標と更新前の基準電子部品の座標(即ち、ステップS3において検出された座標)とを比較し、この電子部品100の位置が補正量適用エリア内であるか否かの判定を行う。   The control unit 40 reads the position information stored for the next electronic component 100, and compares the coordinates of the electronic component 100 with the coordinates of the reference electronic component before update (that is, the coordinates detected in step S3). Then, it is determined whether or not the position of the electronic component 100 is within the correction amount application area.

補正量適用エリアは、基準電子部品の位置座標を起点とする所定の範囲を示す。かかる補正量適用エリア内では、各電子部品100について、最初の電子部品100位置の検出(即ち、図4のステップS3)から、基準電子部品の位置の再検出(即ち、図5のステップS101)との間に生じた位置のずれが同様であると見なすことが出来る。   The correction amount application area indicates a predetermined range starting from the position coordinates of the reference electronic component. Within the correction amount application area, for each electronic component 100, from the detection of the first electronic component 100 position (ie, step S3 in FIG. 4) to the re-detection of the position of the reference electronic component (ie, step S101 in FIG. 5). It can be considered that the positional deviation generated between and is the same.

電子部品100位置のずれは、伸長されるウェハシート200の伸縮が大きな要因となっており、ある程度近い範囲内の電子部品100であれば、位置のずれは同程度であると考えられる。   The displacement of the position of the electronic component 100 is a major factor due to the expansion and contraction of the wafer sheet 200 to be stretched, and it is considered that the displacement of the position is the same for the electronic component 100 within a certain range.

基準電子部品のピックアップを行った後に、ピックアップされる電子部品が補正量適用エリア内に存在するのであれば、電子部品の位置のずれは、基準電子部品の位置のずれと同程度であると考えられる。このため、この電子部品について改めて座標を検出して、位置情報の取得を行わなくとも、基準電子部品の補正量を適用することで、次にピックアップされる電子部品についてずれた後の位置情報を算出できると考えられる。   If the electronic component to be picked up is present in the correction amount application area after the reference electronic component is picked up, the position shift of the electronic component is considered to be the same as the position shift of the reference electronic component. It is done. For this reason, by detecting the coordinates of the electronic component and acquiring the position information again, the position information after the deviation of the electronic component to be picked up can be obtained by applying the correction amount of the reference electronic component. It can be calculated.

なお、補正量適用エリアを規定する、基準電子部品を中心とする所定の範囲は、適宜変更されてよく、例えば、電子部品100の位置のずれの要因となるウェハシート200の伸縮性などに応じて適宜変更されてよい。   The predetermined range centering on the reference electronic component that defines the correction amount application area may be changed as appropriate, for example, depending on the stretchability of the wafer sheet 200 that causes the positional shift of the electronic component 100. May be changed as appropriate.

制御部40は、次の電子部品100の位置が基準電子部品を基準とする補正量適用エリア内である場合(ステップS109:Yes)、基準電子部品の位置補正量を用いて、この電子部品100の位置情報の補正を行う(ステップS110)。   When the position of the next electronic component 100 is within the correction amount application area with reference to the reference electronic component (step S109: Yes), the control unit 40 uses the position correction amount of the reference electronic component to use the electronic component 100. Is corrected (step S110).

具体的には、格納されたこの電子部品100の位置情報に対し、基準電子部品の位置補正量を適用したものを補正後の位置情報とする。   Specifically, the corrected position information is obtained by applying the position correction amount of the reference electronic component to the stored position information of the electronic component 100.

制御部40は、次の電子部品100の補正後の位置情報に基づいて、電子部品保持テーブルアクチュエータ12を動作させ、この電子部品100がピックアップ位置Puに移動されるよう、電子部品保持テーブル11を移動させる(ステップS111)。   The control unit 40 operates the electronic component holding table actuator 12 based on the corrected position information of the next electronic component 100 and moves the electronic component holding table 11 so that the electronic component 100 is moved to the pickup position Pu. Move (step S111).

続いて、電子部品100を吸着していない次の吸着ノズル31をピックアップ位置Puに移動させ(ステップS105)、次の電子部品100のピックアップを行わせる。   Subsequently, the next suction nozzle 31 that is not sucking the electronic component 100 is moved to the pickup position Pu (step S105), and the next electronic component 100 is picked up.

他方で、次の電子部品100の位置が基準電子部品を基準とする補正量適用エリア外である場合(ステップS109:No)、制御部40は、この電子部品100を新しい基準電子部品に設定する。   On the other hand, when the position of the next electronic component 100 is outside the correction amount application area based on the reference electronic component (step S109: No), the control unit 40 sets the electronic component 100 as a new reference electronic component. .

制御部40は、新しい基準電子部品について、画像の撮像による位置情報の取得(ステップS101)、位置補正量の算出(ステップS102)、及び位置情報の更新(ステップS103)を行い、ステップS104以降のピックアップ動作を実行させる。   For the new reference electronic component, the control unit 40 acquires position information by capturing an image (step S101), calculates a position correction amount (step S102), and updates the position information (step S103). Execute pickup operation.

以上、説明した構成によれば、移載ヘッド30に保持される複数の吸着ノズル31について、連続してウェハシート200上に配置される電子部品100の吸着動作を行うことが可能となる。このため、移載ヘッド30の一度の移動で、複数の電子部品100をまとめて実装部20へ移送することが可能となる。   As described above, according to the configuration described above, the suction operation of the electronic components 100 arranged on the wafer sheet 200 can be continuously performed for the plurality of suction nozzles 31 held by the transfer head 30. For this reason, a plurality of electronic components 100 can be collectively transferred to the mounting unit 20 by a single movement of the transfer head 30.

電子部品移送装置1では、電子部品100の取り出しを行う位置であるピックアップ位置Puを定め、このピックアップ位置Puに1つずつ順番に吸着ノズル31及び電子部品100を移送している。このため、比較的短時間で位置決めを行うことが可能となり、タクトタイムの短縮が実現出来る。   In the electronic component transfer apparatus 1, a pickup position Pu that is a position where the electronic component 100 is taken out is determined, and the suction nozzle 31 and the electronic component 100 are transferred to the pickup position Pu one by one in order. For this reason, positioning can be performed in a relatively short time, and the tact time can be shortened.

なお、電子部品100の移送と、吸着ノズル31の移送を並行して行うことで、更なるタクトタイムの短縮が見込まれる。また、電子部品100の状態や形状、ランクに応じて、吸着する電子部品100を適宜選択することで、電子部品100の仕分けが可能となる。   In addition, the tact time can be further shortened by transferring the electronic component 100 and the suction nozzle 31 in parallel. Moreover, the electronic components 100 can be sorted by appropriately selecting the electronic components 100 to be sucked according to the state, shape, and rank of the electronic components 100.

図6は、本実施形態の実装動作の流れを示すフローチャートである。次に電子部品移送装置1の実装部20による電子部品100の実装動作(図4のステップ9)について、図6のフローチャートを参照して説明する。   FIG. 6 is a flowchart showing the flow of the mounting operation of this embodiment. Next, the mounting operation (step 9 in FIG. 4) of the electronic component 100 by the mounting unit 20 of the electronic component transfer apparatus 1 will be described with reference to the flowchart in FIG.

制御部40は、配列情報に応じて実装基板保持台21上に予め設定された座標などに基づき、実装基板保持台アクチュエータ22を動作させる制御信号を送信し、実装基板300上の所望の電子部品実装位置が実装位置Plに移動されるよう、実装基板保持台21を移動させる(ステップS201)。   The control unit 40 transmits a control signal for operating the mounting board holding base actuator 22 based on coordinates or the like set in advance on the mounting board holding base 21 according to the arrangement information, and a desired electronic component on the mounting board 300 The mounting board holder 21 is moved so that the mounting position is moved to the mounting position Pl (step S201).

同時に、又は相前後して、制御部40は、ヘッドアクチュエータ32を動作させ、電子部品100を吸着している吸着ノズル31が実装位置Plに移動されるよう、移載ヘッド30を移動させる(ステップS202)。   At the same time or before and after, the control unit 40 operates the head actuator 32 to move the transfer head 30 so that the suction nozzle 31 that sucks the electronic component 100 is moved to the mounting position Pl (step). S202).

続いて、制御部40は、吸着ノズル31に吸着される電子部品100が実装基板300上の電子部品実装位置に実装されるよう、吸着の解除を行う(ステップS203)。   Subsequently, the control unit 40 releases the suction so that the electronic component 100 sucked by the suction nozzle 31 is mounted at the electronic component mounting position on the mounting board 300 (step S203).

具体的には、制御部40は、実装モータ25を駆動させ、実装ハンマ23に吸着ノズル31を押し下げさせる。押し下げられた吸着ノズル31に吸着される電子部品100が実装基板300に接触した後に、制御部40は、この吸着ノズル31の吸着を解除し、電子部品100を実装基板300上の電子部品実装位置に実装する。   Specifically, the control unit 40 drives the mounting motor 25 to cause the mounting hammer 23 to push down the suction nozzle 31. After the electronic component 100 attracted by the pushed-down suction nozzle 31 comes into contact with the mounting substrate 300, the control unit 40 releases the suction of the suction nozzle 31 and places the electronic component 100 on the mounting substrate 300. To implement.

次に、移載ヘッド30に設けられた吸着ノズル31が吸着している電子部品が存在しなくなるまで(ステップS204:Yes)、制御部40は、ステップS201からステップS203までの一連の動作を繰り返させる。   Next, the control unit 40 repeats a series of operations from step S201 to step S203 until there is no electronic component sucked by the suction nozzle 31 provided in the transfer head 30 (step S204: Yes). Make it.

吸着ノズル31に電子部品が存在しているか否かは、制御部40によって、指定された移送されるべき数と、カメラ26により撮像された画像上の移送済みの数が一致した場合に、吸着ノズル31に電子部品が存在していないと見做すことができる。   Whether or not an electronic component is present in the suction nozzle 31 is determined by the control unit 40 when the number to be transferred matches the number transferred on the image captured by the camera 26. It can be assumed that no electronic component is present in the nozzle 31.

吸着ノズル31に吸着される全ての電子部品100が実装基板300に実装されると(ステップS204:No)、実装動作が終了する。   When all the electronic components 100 sucked by the suction nozzle 31 are mounted on the mounting substrate 300 (No in step S204), the mounting operation is finished.

図7は、本実施形態の再配置動作の流れを示すフローチャートである。次に電子部品移送装置1の実装部20による残電子部品の再配置動作(図4のステップ15)について、図7のフローチャートを参照して説明する。   FIG. 7 is a flowchart showing the flow of the rearrangement operation of the present embodiment. Next, the rearrangement operation (step 15 in FIG. 4) of the remaining electronic components by the mounting unit 20 of the electronic component transfer apparatus 1 will be described with reference to the flowchart in FIG.

制御部40は、実装基板保持台21上に予め設定された座標などに基づき、実装基板保持台アクチュエータ22を動作させる制御信号を送信し、再配置部400上の所望の電子部品再配置位置が再配置位置Prに移動されるよう、実装基板保持台21を移動させる(ステップS301)。   The control unit 40 transmits a control signal for operating the mounting board holding table actuator 22 based on coordinates set in advance on the mounting board holding table 21, and the desired electronic component rearrangement position on the rearrangement unit 400 is determined. The mounting board holder 21 is moved so as to be moved to the rearrangement position Pr (step S301).

同時に、又は相前後して、制御部40は、ヘッドアクチュエータ32を動作させ、残電子部品を吸着している吸着ノズル31が再配置位置Prに移動されるよう、移載ヘッド30を移動させる(ステップS302)。   At the same time or before and after, the control unit 40 operates the head actuator 32 to move the transfer head 30 so that the suction nozzle 31 that sucks the remaining electronic components is moved to the rearrangement position Pr ( Step S302).

続いて、制御部40は、吸着ノズル31に吸着される残電子部品が再配置部400上の電子部品再配置位置に配置されるよう、吸着の解除を行う(ステップS303)。   Subsequently, the control unit 40 releases the suction so that the remaining electronic component sucked by the suction nozzle 31 is placed at the electronic component rearrangement position on the rearrangement unit 400 (step S303).

具体的には、制御部40は、実装モータ25を駆動させ、実装ハンマ23に吸着ノズル31を押し下げさせる。押し下げられた吸着ノズル31に吸着される残電子部品が再配置400に接触した後に、制御部40は、この吸着ノズル31の吸着を解除し、残電子部品を再配置400上の電子部品再配置位置に配置する。   Specifically, the control unit 40 drives the mounting motor 25 to cause the mounting hammer 23 to push down the suction nozzle 31. After the remaining electronic component sucked by the pressed suction nozzle 31 comes into contact with the rearrangement 400, the control unit 40 releases the suction of the suction nozzle 31 and rearranges the remaining electronic component on the rearrangement 400. Place in position.

次に、移載ヘッド30に設けられた吸着ノズル31が吸着している残電子部品が存在しなくなるまで(ステップS304:Yes)、制御部40は、ステップS301からステップS303までの一連の動作を繰り返させる。   Next, the control unit 40 performs a series of operations from step S301 to step S303 until there is no remaining electronic component sucked by the suction nozzle 31 provided in the transfer head 30 (step S304: Yes). Let it repeat.

吸着ノズル31に電子部品が存在しているか否かは、制御部40によって、指定された移送されるべき数と、カメラ26により撮像された画像上の移送済みの数が一致した場合に、吸着ノズル31に電子部品が存在していないと見做すことができる。   Whether or not an electronic component is present in the suction nozzle 31 is determined by the control unit 40 when the number to be transferred matches the number transferred on the image captured by the camera 26. It can be assumed that no electronic component is present in the nozzle 31.

吸着ノズル31に吸着される全ての残電子部品が再配置400に配置されると(ステップS304:No)、再配置動作が終了する。   When all the remaining electronic components that are attracted to the suction nozzle 31 are placed in the rearrangement 400 (step S304: No), the rearrangement operation ends.

次に図8、9を参照して、電子部品として発光ダイオード素子を適用した場合における、ウェハシート上から基板への実装および再配置部への配置について説明する。なお、電子部品移送装置1による移送・実装・再配置については、上述した構成及び動作がそのまま適用可能であるので、説明を省略する。   Next, with reference to FIGS. 8 and 9, the mounting from the wafer sheet onto the substrate and the arrangement on the rearrangement portion when the light emitting diode element is applied as the electronic component will be described. In addition, about the transfer by the electronic component transfer apparatus 1, mounting and rearrangement, since the structure and operation | movement mentioned above are applicable as they are, description is abbreviate | omitted.

図8は、ウェハシート上の発光ダイオード素子と、基板に実装された発光ダイオードモジュールを示したものの一例である。ここで、電子部品100は発光ダイオード素子であり、実装基板300はセラミック基板又はガラス基板など、発光ダイオードモジュールの基板として、発光ダイオード素子が実装可能な基板である。   FIG. 8 shows an example of a light emitting diode element on a wafer sheet and a light emitting diode module mounted on a substrate. Here, the electronic component 100 is a light emitting diode element, and the mounting substrate 300 is a substrate on which a light emitting diode element can be mounted as a substrate of a light emitting diode module, such as a ceramic substrate or a glass substrate.

ウェハシート200上の発光ダイオード素子には、前工程における発光ダイオード素子の製造工程での製造条件などにより、品質にバラツキがある状態で受け取る。この品質のバラツキは、発光ダイオード製造時のチャンバー内の雰囲気や発光ダイオード素子の洗浄、発光ダイオード素子の膜厚のバラツキなどから生じる製造上避けられないバラツキである。このバラツキを考慮せずに製品やモジュールを製造すると、完成品においてバラツキが生じ、最終的に歩留りが悪くなる。   The light emitting diode elements on the wafer sheet 200 are received in a state where the quality varies due to the manufacturing conditions in the manufacturing process of the light emitting diode elements in the previous process. This variation in quality is an unavoidable variation in manufacturing caused by the atmosphere in the chamber at the time of manufacturing the light emitting diode, the cleaning of the light emitting diode element, the variation in the film thickness of the light emitting diode element, and the like. If a product or a module is manufactured without taking this variation into consideration, variations will occur in the finished product, and the yield will eventually deteriorate.

従って、プローブ検査などにより、発光ダイオード素子1つ1つを検査し、検査結果に応じてランク分けを行う。図8のウェハシートは、検査結果を模式的に示したものであり、○がAランクの発光ダイオード素子、●がBランクの発光ダイオード素子、×がCランクの発光ダイオード素子、■が不良素子を示している。実際には、数十のランクが存在するが、本実施形態の説明においては3ランクで説明する。ランクが数十ランクになっても、本発明の適用は可能である。   Therefore, each light emitting diode element is inspected by probe inspection or the like, and ranking is performed according to the inspection result. The wafer sheet in FIG. 8 schematically shows the inspection results, where ◯ is an A rank light emitting diode element, ● is a B rank light emitting diode element, × is a C rank light emitting diode element, and ■ is a defective element. Is shown. Actually, there are several tens of ranks, but in the description of the present embodiment, description will be made with three ranks. Even if the rank becomes several tens of ranks, the present invention can be applied.

この検査結果とランク分けの情報は、位置情報と結び付けられ、1枚1枚に付されたウェハシートのインデックス番号またはコードなどとともに、サーバ上または前工程の検査装置の記憶部などに格納される。または電子部品情報格納部41に直接格納するようにしてもよい。   This inspection result and rank classification information are linked to the position information, and stored in the storage unit of the inspection apparatus on the server or in the previous process together with the index number or code of the wafer sheet attached to each sheet. . Or you may make it store directly in the electronic component information storage part 41. FIG.

電子部品情報格納部41は、前工程の検査装置または上記記憶部から電子部品情報を取得する。一方、配列情報格納部42では、基板における実装すべき発光ダイオード素子のランクと位置に関する情報である配列情報が入力されている。   The electronic component information storage unit 41 acquires electronic component information from the inspection device in the previous process or the storage unit. On the other hand, in the array information storage unit 42, array information that is information on the rank and position of the light emitting diode elements to be mounted on the substrate is input.

配列情報は、例えば、発光ダイオード素子の光度(ルクス)や光量、波長など、ランク分けをするために必要な情報と、この情報に応じて予めランク分けされたランク情報と、位置情報などがある。   The array information includes, for example, information necessary for ranking such as light intensity (lux), light quantity, and wavelength of the light-emitting diode elements, rank information that is previously ranked according to this information, and position information. .

発光ダイオードモジュールにおけるランク情報と位置情報について、具体的に説明する。図8における、実装基板に対して各ランクの実装工程を経て、発光ダイオードモジュールとして完成した状態3を参照して説明する。   The rank information and position information in the light emitting diode module will be specifically described. A description will be given with reference to a state 3 in which the light emitting diode module is completed through the mounting process of each rank on the mounting substrate in FIG.

発光ダイオードモジュールの場合、モジュールに使用される全ての発光ダイオード素子が必ずしも最高ランクである必要がない。これは、モジュールとして光量や光度が結果としてバラツキが少なく、仕様上、許容可能な範囲で製造できればいいからである。   In the case of a light emitting diode module, it is not necessary that all light emitting diode elements used in the module have the highest rank. This is because the module is only required to be manufactured within an allowable range in terms of specifications because the amount of light and intensity of the module are less varied as a result.

このため、発光ダイオードモジュールには、最高ランク以外のランクの発光ダイオード素子が実装される。ただし、端部はコントラストなどの関係からランクが比較的高いものが要求され、中心部はランクが低いものであってもよいなど、その発光ダイオードモジュールの仕様に応じての制約はある。   For this reason, light emitting diode elements of ranks other than the highest rank are mounted on the light emitting diode module. However, there is a restriction depending on the specification of the light emitting diode module, such that the end portion may be required to have a relatively high rank due to the contrast, and the center portion may have a low rank.

図8の状態3の発光ダイオードモジュールでは、端部は最高ランクであるAランクが使用され、中心に行くに従って、ランクの低いものを採用するように実装している。つまり、ランクの低いCランクを中心に実装し、その周りをBランク、その周りをAランクで囲うように実装し、モジュール全体の光度、光量を担保するように実装している。   In the light emitting diode module in the state 3 in FIG. 8, the A rank which is the highest rank is used at the end portion, and the end is mounted so as to adopt a lower rank as going to the center. In other words, the C rank is mounted around the lower rank, the B rank is surrounded by the rank, and the A rank is surrounded by the rank so that the luminous intensity and the light quantity of the entire module are secured.

このように配列のパターンは、最終製品で求められる仕様に応じて必要なランクの発光ダイオード素子を、適切な位置に実装するという考えから複数のパターンが用意される。従って、例えば、実装部20の実装基板保持台21に複数の基板が保持されているときに、その複数の基板それぞれに対して同一の配列パターンで実装することも、異なるパターンで実装することも可能となる。   As described above, a plurality of patterns are prepared from the idea that light emitting diode elements having a necessary rank are mounted at appropriate positions according to specifications required for the final product. Therefore, for example, when a plurality of substrates are held on the mounting substrate holding base 21 of the mounting unit 20, they can be mounted on the plurality of substrates with the same arrangement pattern or with different patterns. It becomes possible.

制御部40は、配列情報に応じて、電子部品情報を参照して、ウェハシート200上のどの位置の、どのランクの発光ダイオード素子をピックアップし、基板へ実装するかを算出し、電子部品保持テーブルアクチュエータ12、実装基板保持台アクチュエータ22、移載ヘッド30に制御信号を送信する。   The control unit 40 refers to the electronic component information according to the arrangement information, calculates which position on the wafer sheet 200, which rank of the light-emitting diode element is picked up and mounted on the substrate, and holds the electronic component Control signals are transmitted to the table actuator 12, the mounting substrate holder actuator 22, and the transfer head 30.

これにより、発光ダイオード素子は、移載ヘッド30の吸着ノズル31によってウェハシート200からピックアップされ、基板へと実装される。   Thereby, the light emitting diode element is picked up from the wafer sheet 200 by the suction nozzle 31 of the transfer head 30 and mounted on the substrate.

例えば、図8では、実装基板保持台21に配置された1枚の基板に対して、実装すべき発光ダイオード素子のうち一番多いAランクの発光ダイオード素子をまず、基板へ実装している(状態1)。   For example, in FIG. 8, the light emitting diode element with the highest rank A among the light emitting diode elements to be mounted is first mounted on the substrate on one substrate arranged on the mounting substrate holding base 21 ( State 1).

次に、Bランクの発光ダイオード素子をウェハシート200上からピックアップし(状態2)、実装し、最後にCランクの発光ダイオード素子をウェハシート200上からピックアップし、実装する(状態3)。   Next, the B rank light emitting diode element is picked up from the wafer sheet 200 (state 2) and mounted. Finally, the C rank light emitting diode element is picked up from the wafer sheet 200 and mounted (state 3).

なお、この実装時に各ランクの発光ダイオード素子の実装後に、実装済みの電子部品について検査をするようにしてもよい。このような検査を各ランクの実装後に行うことで、タクトタイムの短縮が可能となり、またAランクなど、ウェハシート200上に多い発光ダイオード素子から検査を行った場合、Aランクの実装後の検査で問題を検出した場合に、その基板への実装を停止し、より少ない電子部品であるBランクやCランクの発光ダイオード素子を無駄に使用することを防ぐことも可能となる。   It should be noted that the mounted electronic components may be inspected after mounting the light emitting diode elements of each rank at the time of mounting. By performing such inspection after mounting each rank, the tact time can be shortened, and when inspection is performed from many light emitting diode elements on the wafer sheet 200 such as A rank, inspection after mounting A rank When a problem is detected in the above, mounting on the board is stopped, and it is possible to prevent unnecessary use of B rank or C rank light emitting diode elements which are fewer electronic components.

また、検査は、基板への実装終了後、基板毎に行ってもよい。検査は、実装部20のカメラ26によって撮像された画像に基いて行われる。   Further, the inspection may be performed for each substrate after completion of mounting on the substrate. The inspection is performed based on an image captured by the camera 26 of the mounting unit 20.

カメラ26によって撮像された画像において、各発光ダイオード素子があるべき位置に存在しているか、あるべき位置に他の発光ダイオード素子と所定の距離離間して実装されているか、斜めや横になって実装されていないかなどを、検査する。 In the image picked up by the camera 26, each light emitting diode element is present at a position where it should be, or is mounted at a certain distance from another light emitting diode element at a position where it should be, or obliquely or horizontally. Check whether it is not mounted.

なお、図8の説明において、基板上で一番多く実装されるAランクの発光ダイオード素子から実装することを説明したが、実装順序はこれに限らず、基板上で一番少なく実装されるランクの発光ダイオード素子からや、ウェハシート200上で一番多いランクの発光ダイオード素子や一番少ない発光ダイオード素子から実装してもよい。   In the description of FIG. 8, it has been described that the mounting is performed from the light emitting diode element of rank A that is mounted most on the substrate, but the mounting order is not limited to this, and the rank that is mounted the least on the substrate. The light emitting diode elements may be mounted from the light emitting diode elements having the highest rank on the wafer sheet 200 or the light emitting diode elements having the smallest rank.

図9は、実装するべき発光ダイオード素子を実装した後にウェハシート上に残った残発光ダイオード素子と、再配置部400に配置された残発光ダイオード素子を示したものの一例である。次に、図9を参照して、ウェハシート上に残った残発光ダイオード素子の再配置部400への配置について説明する。   FIG. 9 shows an example of the remaining light emitting diode elements remaining on the wafer sheet after mounting the light emitting diode elements to be mounted and the remaining light emitting diode elements disposed in the rearrangement unit 400. Next, with reference to FIG. 9, the arrangement | positioning to the rearrangement part 400 of the remaining light emitting diode element which remained on the wafer sheet | seat is demonstrated.

制御部40は、配列情報に応じて、発光ダイオード素子を実装基板300に実装していき、実装後にすでに照合が一致した電子部品情報から残電子部品の有無を確認する。さらにカメラ19によって撮像された画像からウェハシート200上の照合が一致しない残電子部品の有無を確認する。その後、設定された全ての実装基板300に対して実装を終了させる。次に、制御部40は、カメラ19によって撮像された画像からウェハシート200に残った発光ダイオード素子の確認を行う。   The control unit 40 mounts the light emitting diode elements on the mounting substrate 300 according to the arrangement information, and confirms the presence or absence of remaining electronic components from the electronic component information that has already been matched after mounting. Furthermore, the presence or absence of remaining electronic components whose collations on the wafer sheet 200 do not match is confirmed from the image captured by the camera 19. Thereafter, the mounting is completed for all the set mounting boards 300. Next, the control unit 40 confirms the light emitting diode elements remaining on the wafer sheet 200 from the image captured by the camera 19.

制御部40は、残った発光ダイオード素子を再配置部400に配置する。例えば、図9の右側に描いた再配置部400で示すように、■で示された不良素子、○で示されたAランクの発光ダイオード素子、●で示されたBランクの発光ダイオード素子、×で示されたCランクの発光ダイオード素子が配置される。   The control unit 40 arranges the remaining light emitting diode elements in the rearrangement unit 400. For example, as shown by the rearrangement unit 400 drawn on the right side of FIG. 9, a defective element indicated by ■, an A rank light emitting diode element indicated by ○, a B rank light emitting diode element indicated by ●, C rank light emitting diode elements indicated by x are arranged.

このように再配置部400に、規則的に配置することで、再配置部400上の発光ダイオード素子が利用しやすくなる。また、再配置部400を基板とは別に設けた場合、再配置部400を移動し、ピックアップ部10に再度、保持させることも簡単となる。   As described above, the light emitting diode elements on the rearrangement unit 400 can be easily used by arranging the rearrangement unit 400 regularly. Further, when the rearrangement unit 400 is provided separately from the substrate, it is also easy to move the rearrangement unit 400 and cause the pickup unit 10 to hold it again.

本実施形態では、ランク不明素子を含む不良素子も再配置部400へ配置するようにしたが、ランク不明素子を含む不良素子は廃棄されるものであるため、ウェハシート200にそのまま残しておき、良品の発光ダイオード素子のみを再配置部400へ規則的に配置させることが好ましい。   In this embodiment, defective elements including unknown rank elements are also arranged in the rearrangement unit 400. However, defective elements including unknown rank elements are discarded, so that they are left as they are on the wafer sheet 200. It is preferable that only non-defective light emitting diode elements are regularly arranged in the rearrangement unit 400.

なお、ウェハシート200上の電子部品100や残電子部品のピックアップは複数個ずつに限らず、移載ヘッド30に1つの吸着ノズル31が形成されたもので、1つずつピックアップしてもいい。移載ヘッド30に形成された単ノズルによって、電子部品100を1つずつ、基板毎にランク順に実装して個々の基板を完成させることや、実装基板保持台21上の複数の実装基板300に対してランク順に実装して複数の基板への実装を完成させることができる。   The pick-up of the electronic component 100 and the remaining electronic components on the wafer sheet 200 is not limited to a plurality of pick-ups, but one pick-up nozzle 31 is formed on the transfer head 30 and may be picked up one by one. A single nozzle formed on the transfer head 30 is used to complete the individual substrates by mounting the electronic components 100 one by one in the rank order for each substrate, or to the plurality of mounting substrates 300 on the mounting substrate holder 21. On the other hand, mounting on a plurality of substrates can be completed by mounting in rank order.

本実施形態では、一例として配置部として実装基板300が設けられた実装基板保持台21と同一平面上に再配置部400を設け、再配置部400に残電子部品を配置する例を示したが、移送される側の配置用ウェハシートの一部を再配置部として利用し、残電子部品をピックアップ部に配置されたウェハシートの一部に移送するように構成してもよい。   In the present embodiment, as an example, the rearrangement unit 400 is provided on the same plane as the mounting substrate holding base 21 provided with the mounting substrate 300 as the arrangement unit, and the remaining electronic components are arranged in the rearrangement unit 400. Alternatively, a part of the arrangement wafer sheet to be transferred may be used as a rearrangement unit, and the remaining electronic components may be transferred to a part of the wafer sheet arranged in the pickup unit.

また、複数の実装基板300の1つ、または複数を再配置部400として利用することも可能である。なお、再配置部400は別途、ピックアップ可能なように構成されることが好ましく、再配置部400に配置された各ランクの電子部品100に関する位置情報とランク情報は、別途使用可能なように記憶部に格納される。   In addition, one or more of the plurality of mounting boards 300 can be used as the rearrangement unit 400. The rearrangement unit 400 is preferably configured to be separately pickable, and position information and rank information regarding the electronic components 100 of each rank arranged in the rearrangement unit 400 are stored so that they can be used separately. Stored in the department.

<実施形態の構成及び効果>
本実施形態における電子部品移送装置は、ランクの異なる複数の発光ダイオード素子がウェハ状に配置されているウェハシートを保持する電子部品保持テーブルと、電子部品保持テーブルにおけるウェハシート上の発光ダイオード素子の位置情報とこの発光ダイオード素子のランク情報からなる電子部品情報を格納する電子部品情報格納部と、ウェハシート上から発光ダイオード素子を1または複数個ずつ取り出し、配置部へ移送する電子部品移送部と、配置部における発光ダイオード素子の配列情報を格納する配列情報格納部と、ウェハシート上に残った発光ダイオード素子を再配置する再配置部と、電子部品情報と配列情報に基づいて発光ダイオード素子を配置部における所定の位置へ移送し、ウェハシート上に残った発光ダイオード素子を再配置部に移送するように電子部品移送部を制御する制御部とを備える。
<Configuration and Effect of Embodiment>
The electronic component transfer apparatus according to the present embodiment includes an electronic component holding table that holds a wafer sheet in which a plurality of light emitting diode elements having different ranks are arranged in a wafer shape, and light emitting diode elements on the wafer sheet in the electronic component holding table. An electronic component information storage unit for storing electronic component information including position information and rank information of the light emitting diode elements; an electronic component transfer unit for extracting one or a plurality of light emitting diode elements from the wafer sheet and transferring them to the arrangement unit; An arrangement information storage unit for storing arrangement information of the light emitting diode elements in the arrangement unit, a rearrangement unit for rearranging the light emitting diode elements remaining on the wafer sheet, and a light emitting diode element based on the electronic component information and the arrangement information The light emitting diode element transferred to a predetermined position in the placement section and remaining on the wafer sheet To transfer to the relocation section and a control section for controlling the electronic component transfer unit.

上記のように構成したことで、ウェハシート上に残った発光ダイオード素子を適切に、規則的に再配置部へ配置することができ、後工程で、簡単に利用することができる。   With the configuration described above, the light-emitting diode elements remaining on the wafer sheet can be appropriately and regularly disposed in the rearrangement section, and can be easily used in a subsequent process.

再配置部はウェハシートと同一のウェハシート上に設けられている。このため、再配置用に別途、シートを設ける必要がなく、また、最短の距離で、再配置ができるため、タクトタイムの減少にもつながる。   The rearrangement unit is provided on the same wafer sheet as the wafer sheet. For this reason, it is not necessary to provide a separate sheet for the rearrangement, and the rearrangement can be performed with the shortest distance, leading to a reduction in tact time.

さらに再配置部は、配置部を備える台と同一平面上に設けたシートでもよい。このため、配置動作と同様に、配置部側で、ウェハシートに残った発光ダイオード素子を再配置することができる。   Further, the rearrangement unit may be a sheet provided on the same plane as the table including the arrangement unit. For this reason, the light emitting diode elements remaining on the wafer sheet can be rearranged on the arrangement portion side in the same manner as the arrangement operation.

さらに、再配置部を配置部の一部に設けることも可能である。配置部の一部を再配置部として利用するので、再配置部を別途設ける必要がなく、再配置を行うことができる。   Furthermore, it is also possible to provide the rearrangement part in a part of the arrangement part. Since a part of the placement unit is used as the rearrangement unit, it is not necessary to separately provide the rearrangement unit, and rearrangement can be performed.

制御部は、配置部に対する移送が完了したことを知らせる信号または強制再配置信号を受信したときに、残電子部品を再配置部に再配置するように電子部品移送部を制御する。これにより、制御部は、移送すべき全ての電子部品の移送後、または電子部品の移送中のどのようなタイミングにおいてでも、ウェハシート上の発光ダイオード素子を残電子部品として、再配置部へ配置させることができる。   The control unit controls the electronic component transfer unit so that the remaining electronic components are rearranged in the rearrangement unit when the signal indicating that the transfer to the arrangement unit is completed or the forced rearrangement signal is received. As a result, the control unit arranges the light emitting diode element on the wafer sheet as the remaining electronic component in the rearrangement unit after transferring all the electronic components to be transferred or at any timing during the transfer of the electronic components. Can be made.

制御部は、残電子部品をランク情報に基いて再配置するので、残電子部品を再配置部において、ランク毎に規則的に配置することができる。   Since the control unit rearranges the remaining electronic components based on the rank information, the remaining electronic components can be regularly arranged for each rank in the rearrangement unit.

配置部は基板であってもよい。このため、ピックアップ部のウェハシート上の電子部品を直接、基板へ実装する電子部品実装装置のような場合に、本発明を適用できる。   The placement unit may be a substrate. For this reason, the present invention can be applied to an electronic component mounting apparatus that directly mounts an electronic component on a wafer sheet of a pickup unit onto a substrate.

残電子部品は、ランク不明素子を含み不良と判断された電子部品及び/又は、配置部又は基板への必要実装数が満たされ余った良品の電子部品である。   The remaining electronic component is an electronic component that is determined to be defective including an element of unknown rank and / or a non-defective electronic component in which the required number of mountings on the placement unit or the board is satisfied.

本実施形態における電子部品移送方法は、ランクの異なる複数の電子部品がウェハ状に配置されているウェハシートを電子部品保持テーブルに保持するウェハシート保持工程と、電子部品保持テーブルにおけるウェハシート上の電子部品の位置情報と電子部品のランク情報からなる電子部品情報を電子部品情報格納部に格納する電子部品情報格納工程と、配置部における電子部品の配列情報を配列情報格納部に格納する配列情報格納工程と、ウェハシートから電子部品を1または複数個ずつ取り出し、配置部へ移送する移送工程と、電子部品情報と前記配列情報に基づいて電子部品を前記配置部における所定の位置へ移送し、前記ウェハシート上に残った残電子部品を再配置部に移送するように電子部品移送部を制御する制御工程とを備える。   The electronic component transfer method according to the present embodiment includes a wafer sheet holding step for holding a wafer sheet in which a plurality of electronic components having different ranks are arranged in a wafer shape on an electronic component holding table, and on the wafer sheet in the electronic component holding table. Electronic component information storage step for storing electronic component information including electronic component position information and electronic component rank information in the electronic component information storage unit, and array information for storing electronic component array information in the arrangement unit in the array information storage unit A storage step, a transfer step of taking out one or a plurality of electronic components from the wafer sheet, and transferring them to the placement unit; transferring the electronic components to a predetermined position in the placement unit based on the electronic component information and the arrangement information; A control step of controlling the electronic component transfer unit so as to transfer the remaining electronic components remaining on the wafer sheet to the relocation unit.

上記のように構成したことで、ウェハシート上に残った発光ダイオード素子を適切に、規則的に再配置部へ配置することができ、後工程で、簡単に利用することができる。   With the configuration described above, the light-emitting diode elements remaining on the wafer sheet can be appropriately and regularly disposed in the rearrangement section, and can be easily used in a subsequent process.

<定義部>
本発明において、電子部品は、一例として発光ダイオード素子を用いたが、例えば、半導体素子、抵抗素子、トランジスタなどでもよく、また、その性質によって複数のランクに分けることが可能な電子部品であれば、どのような電子部品であってもよい。
<Definition part>
In the present invention, a light emitting diode element is used as an example of an electronic component. However, for example, a semiconductor element, a resistance element, a transistor, or the like may be used, and any electronic component that can be divided into a plurality of ranks depending on its property. Any electronic component may be used.

本発明において、基板とは、例えば、セラミック基板、ガラス基板、プリント基板などの基板であり、電子部品を実装可能な基板であればよい。   In the present invention, the substrate is, for example, a substrate such as a ceramic substrate, a glass substrate, or a printed substrate, and may be any substrate that can mount electronic components.

本発明において、電子部品情報とは、例えば、ウェハシート上のインデックスを含む、各発光ダイオード素子の位置情報と、光量、波長などの情報を含むランク情報のことである。また、ランク情報は、光量、波長などの情報から予め決められたランクに分けられたランク情報でもよい。なお、電子部品情報格納部は、電子部品実装装置の記憶部内以外にも、電子部品実装装置の外部の記憶装置、例えば、前工程のプローブ検査装置の記憶部や、このプローブ検査装置と接続されたサーバ、CD、メモリーなどの記憶媒体のことであり、記憶可能なものであれば、どのようなものであってもよい。   In the present invention, the electronic component information is, for example, position information of each light emitting diode element including an index on a wafer sheet, and rank information including information such as a light amount and a wavelength. The rank information may be rank information that is divided into predetermined ranks based on information such as light quantity and wavelength. The electronic component information storage unit is connected to a storage device external to the electronic component mounting apparatus, for example, a storage unit of the probe inspection apparatus in the previous process, or the probe inspection apparatus, in addition to the storage unit of the electronic component mounting apparatus. It is a storage medium such as a server, CD, or memory, and any storage medium can be used as long as it can be stored.

本発明において、配列情報とは、基板内での各発光ダイオード素子の実装位置情報、及び実装位置における各発光ダイオード素子のランク情報のことである。なお、配列情報格納部電子部品実装装置の記憶部内以外にも、電子部品実装装置の外部の記憶装置、例えば、電子部品実装装置と接続されたコンピュータ、サーバ、CD、メモリーなどの記憶媒体のことであり、記憶可能なものであれば、どのようなものであってもよい。   In the present invention, the array information is mounting position information of each light emitting diode element in the substrate and rank information of each light emitting diode element at the mounting position. In addition to the arrangement information storage unit in the storage unit of the electronic component mounting apparatus, a storage device external to the electronic component mounting apparatus, for example, a storage medium such as a computer, server, CD, or memory connected to the electronic component mounting apparatus As long as it can be memorized, it may be anything.

本発明において、再配置部とは、例えば、ピックアップ部側に設けられたウェハシートの一部またはこのウェハシートとは別に設けられたシート、実装部側に設けられた複数の実装基板の一部またはこの実装基板とは別に設けられたシートなど、装置において利用できるスペースであれば、どこに構成してもよい。   In the present invention, the rearrangement unit is, for example, a part of a wafer sheet provided on the pickup unit side, a sheet provided separately from the wafer sheet, or a part of a plurality of mounting substrates provided on the mounting unit side. Alternatively, any space that can be used in the apparatus, such as a sheet provided separately from the mounting substrate, may be used.

1 電子部品移送装置
10 ピックアップ部
11 電子部品保持テーブル
12 電子部品保持テーブルアクチュエータ
13 ピックアップハンマ
14 上円板カム
15 ピックアップモータ
16 突き上げ針
17 下円板カム
18 突き上げモータ
19 カメラ
20 実装部
21 実装基板保持台
22 実装基板保持台アクチュエータ
23 実装ハンマ
24 円板カム
25 実装モータ
26 カメラ
30 移載ヘッド
31 吸着ノズル
32 ヘッドアクチュエータ
40 制御部
41 電子部品情報格納部
42 配列情報格納部
100 電子部品
200 ウェハシート
300 実装基板
400 再配置部
Pu ピックアップ位置
Pl 実装位置
Pr 再配置位置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electronic component transfer apparatus 10 Pickup part 11 Electronic component holding table 12 Electronic component holding table actuator 13 Pickup hammer 14 Upper disk cam 15 Pickup motor 16 Pushing needle 17 Lower disk cam 18 Pushing motor 19 Camera 20 Mounting part 21 Mounting board holding Table 22 Mounting substrate holding table actuator 23 Mounting hammer 24 Disk cam 25 Mounting motor 26 Camera 30 Transfer head 31 Suction nozzle 32 Head actuator 40 Control unit 41 Electronic component information storage unit 42 Array information storage unit 100 Electronic component 200 Wafer sheet 300 Mounting board 400 Rearrangement portion Pu Pickup position Pl Mounting position Pr Rearrangement position

Claims (13)

ランクの異なる複数の電子部品がウェハ状に配置されているウェハシートを保持する電子部品保持テーブルと、
前記電子部品保持テーブルにおける前記ウェハシート上の前記電子部品の位置情報と前記電子部品のランク情報からなる電子部品情報を格納する電子部品情報格納部と、
前記ウェハシートから前記電子部品を1または複数個ずつ取り出し、配置部へ移送する電子部品移送部と、
前記配置部における前記電子部品の配列情報を格納する配列情報格納部と、
前記ウェハシート上に残った残電子部品を再配置する再配置部と、
前記電子部品情報と前記配列情報に基づいて前記電子部品を前記配置部における所定の位置へ移送し、前記残電子部品を前記再配置部に移送するように前記電子部品移送部を制御する制御部とを備え
前記再配置部を前記配置部の一部に設けることを特徴とする電子部品移送装置。
An electronic component holding table for holding a wafer sheet in which a plurality of electronic components having different ranks are arranged in a wafer shape;
An electronic component information storage unit that stores electronic component information including position information of the electronic component on the wafer sheet and rank information of the electronic component in the electronic component holding table;
An electronic component transfer unit that takes out one or a plurality of the electronic components from the wafer sheet and transfers them to an arrangement unit;
An arrangement information storage section for storing arrangement information of the electronic components in the arrangement section;
A rearrangement unit for rearranging the remaining electronic components remaining on the wafer sheet;
A control unit that controls the electronic component transfer unit to transfer the electronic component to a predetermined position in the arrangement unit based on the electronic component information and the arrangement information, and to transfer the remaining electronic component to the rearrangement unit. It equipped with a door,
Electronic component transfer device according to claim Rukoto provided the rearrangement unit in a part of the placement portion.
前記配列情報は、前記配置部内で配置される各電子部品の配置位置、及び前記配置位置における前記各電子部品のランク情報を少なくとも含むことを特徴とする請求項1に記載の電子部品移送装置。   The electronic component transfer apparatus according to claim 1, wherein the arrangement information includes at least an arrangement position of each electronic component arranged in the arrangement unit and rank information of each electronic component at the arrangement position. 前記配列情報は、完成品における所望の光度に基いて設定されることを特徴とする請求項2に記載の電子部品移送装置。   3. The electronic component transfer apparatus according to claim 2, wherein the arrangement information is set based on a desired light intensity in a finished product. 前記配列情報格納部は、複数の配列パターン情報を備えていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の電子部品移送装置。   The electronic component transfer apparatus according to claim 1, wherein the array information storage unit includes a plurality of array pattern information. 前記再配置部を前記ウェハシートと同一のウェハシート上に設けることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の電子部品移送装置。   The electronic component transfer apparatus according to claim 1, wherein the rearrangement unit is provided on the same wafer sheet as the wafer sheet. 前記再配置部を前記配置部を備える台と同一平面上に設けたシートに設けることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の電子部品移送装置。   5. The electronic component transfer device according to claim 1, wherein the rearrangement unit is provided on a sheet provided on the same plane as a table including the arrangement unit. 前記制御部は、前記配置部に対する移送が完了したことを知らせる信号または強制再配置信号を受信したときに、前記残電子部品を前記再配置部に再配置するように前記電子部品移送部を制御することを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の電子部品移送装置。 The control unit controls the electronic component transfer unit to relocate the remaining electronic components in the relocation unit when receiving a signal indicating that the transfer to the arrangement unit is completed or a forced relocation signal. The electronic component transfer device according to any one of claims 1 to 6 , wherein 前記制御部は、前記残電子部品を前記ランク情報に基いて再配置するように前記電子部品移送部を制御することを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の電子部品移送装置。 Wherein the control unit, the electronic component transfer according to any one of claims 1 to 7, wherein the controller controls the electronic component transfer unit so that the remaining electronic components to reposition based on the rank information apparatus. 前記残電子部品は、不良と判断された電子部品及び/又は、前記配置部への必要実装数が満たされ余った良品の電子部品であることを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の電子部品移送装置。 The remaining electronic components, it is determined that the defective electronic components and / or any of the claims 1-8, characterized in that the required number mounting to the placement unit is an electronic component filled surplus good 1 The electronic component transfer device according to item. 前記制御部は、前記残電子部品を、前記ランク情報に基づいてランク毎に規則的に前記再配置部に再配置するように前記電子部品移送部を制御することを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の電子部品移送装置。 The said control part controls the said electronic component transfer part so that the said remaining electronic components may be rearranged regularly in the said rearrangement part for every rank based on the said rank information. 10. The electronic component transfer device according to any one of 9 above. 前記制御部は、前記ランク情報と前記配列情報から算出される結果に基づいて、前記電子部品移送部を制御することを特徴とする請求項1〜1のいずれか1項に記載の電子部品移送装置。 Wherein the control unit, the rank information based on a result calculated from the sequence information, electronic component according to any one of claims 1 to 1 0, characterized in that for controlling the electronic component transfer unit Transfer device. 前記配列情報は、ランクの異なる複数の前記電子部品から構成されることを特徴とする請求項1〜1のいずれか1項に記載の電子部品移送装置。 The electronic component transfer apparatus according to any one of claims 1 to 11, wherein the array information includes a plurality of the electronic components having different ranks. ランクの異なる複数の電子部品がウェハ状に配置されているウェハシートを電子部品保持テーブルに保持するウェハシート保持工程と、
前記電子部品保持テーブルにおける前記ウェハシート上の前記電子部品の位置情報と前記電子部品のランク情報からなる電子部品情報を電子部品情報格納部に格納する電子部品情報格納工程と、
配置部における前記電子部品の配列情報を配列情報格納部に格納する配列情報格納工程と、
前記ウェハシートから前記電子部品を1または複数個ずつ取り出し、前記配置部へ移送する移送工程と、
前記電子部品情報と前記配列情報に基づいて前記電子部品を前記配置部における所定の位置へ移送し、前記ウェハシート上に残った残電子部品を再配置部に移送するように制御する制御工程とを備え、
前記再配置部を前記配置部の一部に設けることを特徴とする電子部品移送方法。
A wafer sheet holding step for holding a wafer sheet in which a plurality of electronic components having different ranks are arranged in a wafer shape on an electronic component holding table;
An electronic component information storage step of storing electronic component information including position information of the electronic component on the wafer sheet in the electronic component holding table and rank information of the electronic component in an electronic component information storage unit;
An array information storage step of storing the array information of the electronic components in the placement section in the array information storage section;
A transfer step of taking out one or a plurality of the electronic components from the wafer sheet and transferring them to the placement unit;
A control step of controlling the electronic component to be transferred to a predetermined position in the placement unit based on the electronic component information and the arrangement information, and the remaining electronic component remaining on the wafer sheet to be transferred to the relocation unit ; With
Electronic component transfer method comprising Rukoto provided the rearrangement unit in a part of the placement portion.
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