JP5737225B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
これによれば、コンタクト層を介して正孔をエミッタ電極から抜け易くでき、ラッチアップが発生することを抑制できる。
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。本実施形態の半導体装置は、図1〜図3に示されるように、半導体基板1にトレンチゲート型のIGBTが形成されて構成されている。なお、図1では、理解をし易くするために、層間絶縁膜およびエミッタ電極は省略して示してある。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、第1方向において、第2トレンチ4bを複数に分離したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、エミッタ層7の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態は、第3実施形態に対して、コンタクト層を形成したものであり、その他に関しては第3実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態は、第4実施形態に対して、第1トレンチ4aの形状を変更したものであり、その他に関しては第4実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(他の実施形態)
上記各実施形態では、第1導電型をN型とし、第2導電型をP型とした例について説明したが、第1導電型をP型とし、第2導電型をN型とすることもできる。
2 ドリフト層
3 ベース層
4 トレンチ
4a 第1トレンチ
4b 第2トレンチ
5 ゲート絶縁膜
6 ゲート電極
7 エミッタ層
9 エミッタ電極
10 コレクタ層
12 コレクタ電極
Claims (5)
- 第1導電型のドリフト層(2)を構成する半導体基板(1)と、
前記ドリフト層の表面側に形成された第2導電型のベース層(3)と、
前記ベース層を貫通して前記ドリフト層に達する複数のトレンチ(4)と、
前記複数のトレンチの壁面にそれぞれ形成されたゲート絶縁膜(5)と、
前記ゲート絶縁膜上にそれぞれ形成されたゲート電極(6)と、
前記ベース層の表層部であって、前記トレンチの側部に形成された第1導電型のエミッタ層(7)と、
前記ドリフト層を挟んで前記エミッタ層と離間して配置された第2導電型のコレクタ層(10)と、
前記ベース層および前記エミッタ層と電気的に接続されるエミッタ電極(9)と、
前記コレクタ層と電気的に接続されるコレクタ電極(12)と、を備え、
前記トレンチは、前記半導体基板の平面方向における一方向を第1方向とし、前記一方向と垂直となる方向を第2方向とすると、前記ベース層の表面に開口部を有する第1トレンチ(4a)と、前記第1トレンチと連通し、前記第2方向において対向する側壁の間隔が当該側壁と繋がっている前記第1トレンチの対向する側壁の間隔より長くされていると共に底部が前記ドリフト層に位置する第2トレンチ(4b)とを有する半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板を用意する工程と、
異方性エッチングにより、前記半導体基板に前記第1、第2方向において互いに離間する複数の前記第1トレンチを形成する工程と、
前記第1トレンチの内壁表面に保護膜(14)を形成する工程と、
前記第1トレンチの底面に配置された前記保護膜を除去する工程と、
等方性エッチングを含む工程を行い、前記第1トレンチと連通する前記第2トレンチを形成する工程と、
前記トレンチの内壁表面に前記ゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上に前記ゲート電極を形成する工程と、を含み、
前記第1トレンチを形成する工程では、前記第1方向において隣り合う前記第1トレンチの間隔が前記第2方向において隣り合う前記第1トレンチの間隔より短くなる前記複数の第1トレンチを形成し、
前記第2トレンチを形成する工程では、前記半導体基板のうち前記第1方向において隣り合う前記第1トレンチの間に位置する部分により、前記半導体基板のうち前記第2方向において隣り合う前記第1トレンチの間に位置する部分同士を連結させたまま、前記第1方向において隣り合う前記第1トレンチに形成されたそれぞれの前記第2トレンチを互いに連通させることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 第1導電型のドリフト層(2)を構成する半導体基板(1)と、
前記ドリフト層の表面側に形成された第2導電型のベース層(3)と、
前記ベース層を貫通して前記ドリフト層に達する複数のトレンチ(4)と、
前記複数のトレンチの壁面にそれぞれ形成されたゲート絶縁膜(5)と、
前記ゲート絶縁膜上にそれぞれ形成されたゲート電極(6)と、
前記ベース層の表層部であって、前記トレンチの側部に形成された第1導電型のエミッタ層(7)と、
前記ドリフト層を挟んで前記エミッタ層と離間して配置された第2導電型のコレクタ層(10)と、
前記ベース層および前記エミッタ層と電気的に接続されるエミッタ電極(9)と、
前記コレクタ層と電気的に接続されるコレクタ電極(12)と、を備え、
前記トレンチは、前記半導体基板の平面方向における一方向を第1方向とし、前記一方向と垂直となる方向を第2方向とすると、前記ベース層の表面に開口部を有する第1トレンチ(4a)と、前記第1トレンチと連通し、前記第2方向において対向する側壁の間隔が当該側壁と繋がっている前記第1トレンチの対向する側壁の間隔より長くされていると共に底部が前記ドリフト層に位置する第2トレンチ(4b)とを有し、前記第1トレンチが前記第1、第2方向において互いに離間しており、
前記半導体基板のうち前記第2方向において隣り合う前記トレンチの間に位置する部分は、前記半導体基板のうち前記第1方向において隣り合う前記第1トレンチの間に位置する部分によって連結されており、
前記第1方向において隣り合う前記第1トレンチに形成されたそれぞれの前記第2トレンチは、前記第1方向において互いに連通していることを特徴とする半導体装置。 - 前記エミッタ層は、前記第2方向において隣り合う前記第1トレンチの側部にのみ形成され、前記第1方向において分離されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記ベース層の表層部のうち隣り合う前記第1トレンチの間には、前記ベース層よりも高濃度とされ、前記エミッタ層よりも深くされた第2導電型のコンタクト層(15)が形成されていることを特徴とする請求項2または3に記載の半導体装置。
- 前記第1トレンチは、前記第1方向に延設されたトレンチと、当該トレンチと交差し、前記第2方向に延設されたトレンチとによって構成されていることを特徴とする請求項2ないし4のいずれか1つに記載の半導体装置。
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