JP5715639B2 - 変動速度を有する移動ガラスリボンのレーザスコーリング - Google Patents
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Description
本明細書及び特許請求の範囲に用いられるように、語句「ベント」はガラス表面に形成された切れ目を、その切れ目がガラスの厚さを完全に貫通しているか、途中までしか入っていないかにかかわらず、意味する。したがって、この語句は、完全なベント、不完全なベント、完全なメディアンクラック及び不完全なメディアンクラックを包含し、完全なベント及び完全なメディアンクラックはガラスの厚さを完全に貫通し、不完全なベント及び不完全なメディアンクラックはガラスの厚さの途中まで入る。
Sキャリッジ=Sリボン/sinα 式(1)
を満たす。
Sスコーリング=Sキャリッジ・cosα 式(2)
で与えられる速度でリボンにかけて移動する。
(I) 移動するガラスリボン(13)を形成する工程であって、リボンは経時変動速度Sリボンを有するものである工程、
(II) リボンの移動方向に直交する直線(7)に沿ってリボン(13)の表面に、
(a) 光放射デバイス(51)及びノズル(119)を載せているキャリッジを、直線軌道(15)に沿って、速度Sキャリッジで平行移動させる工程であって、直線軌道は、キャリッジの移動が、(i)直線(7)に平行な第1の成分(18)及び(ii)リボン(13)の移動方向(16)に平行な第2の成分を有するように、直線(7)に対して角度αをなして傾けられており、光放射デバイス(51)はレーザ(41)によりつくられた光ビームを放射し、ノズル(119)は冷却流体を放出するものである工程と、
(b) キャリッジ(14)の移動の第2の成分がリボン(13)と同一速度を保つように、Sキャリッジまたは角度αを、あるいはSキャリッジ及び角度αのいずれも、動的に調節する工程と、
(c) 光放射デバイス(51)によって放射される光ビームをつくるレーザ(41)のパワーPレーザを変えることにより、工程(II)(b)の動的調節を補償する工程と、
を含む方法によって、ベントを形成する工程、及び
(III) 工程(II)において形成されたベントに沿って、リボン(13)からガラスシートを分割する工程、
を含む方法が開示される。
(i) Sリボンが:
Sリボン=S0+ΔS0
の形式で表され、
式中、S0及びΔS0はそれぞれ、リボンの速度の公称不変成分及び経時変動成分である、
(ii) |ΔS0|>0.03S0である場合、工程(II)(b)がαを変える工程を含む、
態様1の方法が提供される。
(i) 工程(II)(b)がαを変える工程を含み、
(ii) リボンにおいて、光放射デバイスにより放射される光ビームは長さL及び幅Wを有し、
(iii) 光放射デバイスはLを定める第1のレンズユニット及びWを定める第2のレンズユニットを備え、
(iv) 第1のレンズユニットは少なくとも1つのレンズ素子を有し、
(v) 工程(II)がさらに、αの変化の結果としての直線に対する光ビームの方位の変化を補償するため、少なくとも1つのレンズ素子の角方位を調整する工程を含む、
態様1の方法が提供される。
第2のレンズユニットが少なくとも1つのレンズ素子を有し、αが変えられても、そのレンズ素子の角方位がキャリッジに対して不変に保たれる、
態様3の方法が提供される。
第1のレンズユニット及び第2のレンズユニットがそれぞれ1つのレンズ素子だけを備える、
態様3または態様4の方法が提供される。
(i) Sリボンが:
Sリボン=S0+ΔS0
の形式で表され、
式中、S0及びΔS0はそれぞれ、リボンの速度の公称不変成分及び経時変動成分である、
(ii) |ΔS0|≦0.03S0である場合、工程(II)(b)においてαが不変に保たれる、
態様1の方法が提供される。
工程(II)(c)のPレーザの変化が:
dPレーザ/dSリボン=k・cotα
式中、kは定数である、
を満たす、
態様6の方法が提供される。
Pレーザが最大レーザパワーの百分率(%最大レーザパワー)で表される、及び
k<1.0である、
態様7の方法が提供される。
工程(II)が、レーザまたはレーザのための支持構造に取り付けられた第1の端及び直線軌道または直線軌道のための支持構造に取り付けられた第2の端を有するハウジング内にレーザ光を入れるフレキシブルレーザビーム送出システムを含む経路に沿ってレーザから光放射デバイスにレーザ光を送る工程を含み、ハウジングは、第1及び第2の端の三次元における相互の回転及び平行移動を可能にする少なくとも1つのジョイント及び少なくとも1つの延長チューブを有する、
態様1の方法が提供される。
ガラスシートがダウンドロープロセスにより形成される、
態様1〜9のいずれかの方法が提供される。
ガラスシートがディスプレイデバイスの基板である、
態様1〜10のいずれかの方法が提供される。
(I) 移動するガラスリボン(13)を形成する工程、
(II) 光放射デバイス(51)及びノズル(119)を載せているキャリッジを、直線軌道(15)に沿って平行移動させる工程を含む方法により、リボンの移動方向に直交する直線(7)に沿ってリボン(13)の表面にベントを形成する工程であって、キャリッジの移動が、(i)直線(7)に平行な第1の成分(18)及び(ii)リボン(13)の移動方向(16)に平行な第2の成分を有するように、直線軌道は直線(7)に対して角度αをなして傾けられ、光放射デバイス(54)はレーザ(41)によりつくられた光ビームを放射し、ノズル(119)は冷却流体を放出するものである工程、及び
(III) 工程(II)で形成されたベントを用いてリボン(13)からガラスシートを分割する工程、
−(i) 光放射デバイスから放射された光ビームは、リボン(13)において、長さL及び幅Wを有する、
−(ii) 光放射デバイス(51)はLを定める第1のレンズユニット(53)及びWを定める第2のレンズユニット(55)を備える、
−(iii) 第1のレンズユニット(53)は少なくとも1つのレンズ素子(81)を有する、
−(iv) キャリッジ(14)の移動の第1の成分(18)と第2の成分(16)の相対比を変えるようにαが変えられる、及び
−(v) αの変化の結果としての直線(7)に対する光ビームの方位の変化を補償するため、少なくとも1つのレンズ素子(81)の角方位が調節される、
を含む方法が開示される。
第2のレンズユニットが少なくとも1つのレンズ素子を有し、αが変えられても、そのレンズ素子の角方位がキャリッジに対して不変に保たれる、
態様12の方法が提供される。
第1のレンズユニット及び第2のレンズユニットがそれぞれ1つのレンズ素子だけけを備える、
態様12の方法が提供される。
ガラスリボンがダウンドロープロセスにより形成される、
態様12〜14のいずれかの方法が提供される。
ガラスシートがディスプレイデバイスの基板である、
態様12〜15のいずれかの方法が提供される。
(I) 移動するガラスリボン(13)を形成する工程、
(II) ガラスリボンの移動方向に直交する直線(7)に沿ってリボン(13)の表面に、
(a) 光放射デバイス(15)及びノズル(119)を載せている、キャリッジ(14)を、キャリッジの移動が、(i)直線(7)に平行な成分(18)及び(ii)リボン(13)の移動方向(16)に平行な成分を有するように、直線(7)に対して角度αをなして傾けられた直線軌道(15)に沿って平行移動させる工程であって、光放射デバイス(15)はレーザビームを放射し、ノズル(19)は冷却流体を放出するものである工程と、
(b) レーザ(41)またはレーザのための支持構造に取り付けられた第1の端(65)及び直線軌道(15)または直線軌道のための支持構造(11)に取り付けられた第2の端(67)を有するハウジング内にレーザ光(43)を入れるフレキシブルレーザビーム送出システム(61)を含む経路に沿ってレーザ(41)から光放射デバイス(51)にレーザ光(43)を送る工程であって、ハウジングは、第1の端(65)及び第2の端(67)の三次元における相互の回転及び平行移動を可能にする、少なくとも1つのジョイント(62)及び少なくとも1つの延長チューブ(64)を有するものである工程と、
を含む方法によってベントを形成する工程、及び
(III) 工程(II)で形成されたベントを用いてリボン(13)からガラスシートを分割する工程、
を含む方法が開示される。
フレキシブルレーザビーム送出システムがビームエキスパンダーを備える、
態様17の方法が提供される。
ガラスリボンがダウンドロープロセスにより形成される、
態様17または態様18の方法が提供される。
ガラスシートがディスプレイデバイスの基板である、
態様17〜19のいずれかの方法が提供される。
Sリボン=S0+ΔS0 式(3)
として表すことができる。
dPレーザ/dSリボン=k・cotα
と書くことができ、ここでkは定数である。すなわち、SキャリッジがSリボンの上昇に整合するために上昇するときのスコーリング速度の上昇速度はcotα(すなわち、dSスコーリング/dSリボン=cotαである;上の式(1)及び(2)を見よ)であるが、高信頼度エッジ形成を維持するために必要なレーザパワーの上昇速度は、kの値に依存して、cotαより小さくなるか、cotαより大きくなるか、またはcotαに等しくなり得る。図5のデータの場合、レーザパワーが%最大パワーで表されていれば、kは1.0より小さい。明らかであろうように、いずれかの特定の用途及びレーザパワーに対するいずれかの特定の単位(例えば、%最大パワー、ワット、等)に対するkの値は、本開示から当業者によって容易に決定され得る。
9 ガラスリボン製造装置
11 支持構造(支持フレーム)
13 ガラスリボン
14 走行キャリッジ
15 直線軌道
16,17,18 ベクトル
41 レーザ
51 光放射デバイス
53,55 レンズユニット
61 フレキシブルレーザビーム送出システム
Claims (10)
- ガラスシートの作製方法において、
(I) 移動するガラスリボンであって、経時変動速度Sリボンを有するリボンを形成する工程、
(II) 前記リボンの表面に、
(a) レーザでつくられた光ビームを放射する光放射デバイス及び冷却流体を放出するノズルを載せているキャリッジを、前記キャリッジの移動が(i)前記リボンの前記移動の方向に直交する直線に平行な第1の成分及び(ii)前記リボンの前記移動方向に平行な第2の成分を有するように、前記直線に対して角度αをなして傾けられている直線軌道に沿って、速度Sキャリッジで平行移動させる工程と、
(b) 前記キャリッジの前記移動の前記第2の成分が前記リボンと同一速度を保つように、前記Sキャリッジまたは前記角度αを、あるいは前記Sキャリッジ及び前記角度αのいずれも、動的に調節する工程と、
(c) 前記光放射デバイスによって放射される前記光ビームをつくる前記レーザのパワーPレーザを変えることにより、前記工程(II)(b)の前記動的調節を補償する工程と、
を含む方法によって、ベントを形成する工程、及び
(III) 前記工程(II)において形成された前記ベントに沿って、前記リボンからガラスシートを分割する工程、
を含むことを特徴とする方法。 - (i) 前記Sリボンが:
Sリボン=S0+ΔS0
の形式で表され、
式中、S0及びΔS0はそれぞれ、前記リボン速度の公称不変成分及び経時変動成分である、
(ii) |ΔS0|>0.03S0である場合、前記工程(II)(b)が前記αを変える工程を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - (i) 前記工程(II)(b)が前記αを変える工程を含み、
(ii) 前記リボンにおいて、前記光放射デバイスにより放射される前記光ビームは長さL及び幅Wを有し、
(iii) 前記光放射デバイスは前記Lを定める第1のレンズユニット及び前記Wを定める第2のレンズユニットを備え、
(iv) 前記第1のレンズユニットは少なくとも1つのレンズ素子を有し、
(v) 前記工程(II)がさらに、前記αの変化の結果としての前記直線に対する前記光ビームの方位の変化を補償するため、前記少なくとも1つのレンズ素子の角方位を調整する工程を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - (i) 前記Sリボンが:
Sリボン=S0+ΔS0
の形式で表され、
式中、S0及びΔS0はそれぞれ、前記リボン速度の公称不変成分及び経時変動成分である、
(ii) |ΔS0|≦0.03S0である場合、前記工程(II)(b)において前記αが一定に保たれる、
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記工程(II)(c)の前記Pレーザの前記変化が、関係式:
dPレーザ/dSリボン=k・cotα
式中、kは定数である、
を満たすことを特徴とする請求項4に記載の方法。 - 前記工程(II)が、
前記レーザから前記光放射デバイスに、前記レーザまたは前記レーザのための支持構造に取り付けられた第1の端及び前記直線軌道または前記直線軌道のための支持構造に取り付けられた第2の端を有するハウジングであって、前記第1の端及び前記第2の端の三次元における相互の回転及び平行移動を可能にする、少なくとも1つのジョイント及び少なくとも1つの延長チューブを有するハウジング内に前記レーザ光を入れるフレキシブルレーザビーム送出システムを含む経路に沿って、レーザ光を送る工程、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - ガラスシートの作製方法において、
(I) 移動するガラスリボンを形成する工程、
(II) 前記リボンの表面に、
(a) レーザでつくられた光ビームを放射する光放射デバイス及び冷却流体を放出するノズルを載せているキャリッジを、前記キャリッジの移動が(i)前記リボンの移動方向に直交する直線に平行な第1の成分及び(ii)前記リボンの前記移動方向に平行な第2の成分を有するように、前記直線に対して角度αをなして傾けられている直線軌道に沿って、速度S キャリッジ で平行移動させる工程と、
(b) 前記キャリッジの前記移動の前記第2の成分が前記リボンと同一速度を保つように、前記S キャリッジ または前記角度αを、あるいは前記S キャリッジ 及び前記角度αのいずれも、動的に調節する工程と、
を含む方法により、ベントを形成する工程、及び
(III) 前記工程(II)で形成された前記ベントを用いて前記リボンからガラスシートを分割する工程、
を含み、
−(i) 前記リボンにおいて、前記光放射デバイスから放射された前記光ビームは長さL及び幅Wを有する、
−(ii) 前記光放射デバイスは前記Lを定める第1のレンズユニット及び前記Wを定める第2のレンズユニットを備える、
−(iii) 前記第1のレンズユニットは少なくとも1つのレンズ素子を有する、
−(iv) 前記キャリッジの前記移動の前記第1の成分と前記第2の成分の相対比を変えるように前記αが変えられる、及び
−(v) 前記αの前記変化の結果としての前記直線に対する前記光ビームの方位の変化を補償するため、前記少なくとも1つのレンズ素子の角方位が調節される、
ことを特徴とする方法。 - 前記第2のレンズユニットが少なくとも1つのレンズ素子を有し、前記αが変えられても前記少なくとも1つのレンズ素子の角方位が前記キャリッジに対して一定に保たれることを特徴とする請求項3または7に記載の方法。
- ガラスシートを形成する方法において、
(I) 移動するガラスリボンを形成する工程、
(II) 前記リボンの表面に、
(a) レーザでつくられた光ビームを放射する光放射デバイス及び冷却流体を放出するノズルを載せているキャリッジを、前記キャリッジの移動が(i)前記リボンの移動方向に直交する直線に平行な第1の成分及び(ii)前記リボンの前記移動方向に平行な第2の成分を有するように、前記直線に対して角度αをなして傾けられた直線軌道に沿って、速度S キャリッジ で平行移動させる工程と、
(b) 前記キャリッジの前記移動の前記第2の成分が前記リボンと同一速度を保つように、前記S キャリッジ または前記角度αを、あるいは前記S キャリッジ 及び前記角度αのいずれも、動的に調節する工程と、
(c) 前記レーザから前記光放射デバイスに、前記レーザまたは前記レーザのための支持構造に取り付けられた第1の端及び前記直線軌道または前記直線軌道のための支持構造に取り付けられた第2の端を有するハウジングであって、前記第1の端及び前記第2の端の三次元における相互の回転及び平行移動を可能にする、少なくとも1つのジョイント及び少なくとも1つの延長チューブを有するハウジング内に前記レーザ光を入れるフレキシブルレーザビーム送出システムを含む経路に沿って、レーザ光を送る工程と、
を含む方法によってベントを形成する工程、及び
(III) 前記工程(II)で形成された前記ベントを用いて前記リボンからガラスシートを分割する工程、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記ガラスリボンがダウンドロープロセスによって形成されることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US25759309P | 2009-11-03 | 2009-11-03 | |
US61/257,593 | 2009-11-03 | ||
PCT/US2010/055083 WO2011056781A1 (en) | 2009-11-03 | 2010-11-02 | Laser scoring of a moving glass ribbon having a non-constant speed |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013510067A JP2013510067A (ja) | 2013-03-21 |
JP2013510067A5 JP2013510067A5 (ja) | 2013-12-05 |
JP5715639B2 true JP5715639B2 (ja) | 2015-05-13 |
Family
ID=43430652
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012537935A Expired - Fee Related JP5715639B2 (ja) | 2009-11-03 | 2010-11-02 | 変動速度を有する移動ガラスリボンのレーザスコーリング |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5715639B2 (ja) |
KR (1) | KR101630005B1 (ja) |
CN (1) | CN102596831B (ja) |
TW (1) | TWI472494B (ja) |
WO (1) | WO2011056781A1 (ja) |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014079478A1 (en) | 2012-11-20 | 2014-05-30 | Light In Light Srl | High speed laser processing of transparent materials |
EP2754524B1 (de) | 2013-01-15 | 2015-11-25 | Corning Laser Technologies GmbH | Verfahren und Vorrichtung zum laserbasierten Bearbeiten von flächigen Substraten, d.h. Wafer oder Glaselement, unter Verwendung einer Laserstrahlbrennlinie |
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US9676167B2 (en) | 2013-12-17 | 2017-06-13 | Corning Incorporated | Laser processing of sapphire substrate and related applications |
US9815730B2 (en) | 2013-12-17 | 2017-11-14 | Corning Incorporated | Processing 3D shaped transparent brittle substrate |
US20150165560A1 (en) | 2013-12-17 | 2015-06-18 | Corning Incorporated | Laser processing of slots and holes |
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JP7090594B2 (ja) | 2016-07-29 | 2022-06-24 | コーニング インコーポレイテッド | レーザ加工するための装置および方法 |
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-
2010
- 2010-11-02 WO PCT/US2010/055083 patent/WO2011056781A1/en active Application Filing
- 2010-11-02 KR KR1020127014261A patent/KR101630005B1/ko active IP Right Grant
- 2010-11-02 TW TW99137656A patent/TWI472494B/zh not_active IP Right Cessation
- 2010-11-02 JP JP2012537935A patent/JP5715639B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-11-02 CN CN201080049662.8A patent/CN102596831B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011056781A1 (en) | 2011-05-12 |
CN102596831A (zh) | 2012-07-18 |
JP2013510067A (ja) | 2013-03-21 |
TW201116495A (en) | 2011-05-16 |
TWI472494B (zh) | 2015-02-11 |
CN102596831B (zh) | 2015-01-07 |
KR20120102675A (ko) | 2012-09-18 |
KR101630005B1 (ko) | 2016-06-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131017 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131017 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140731 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150217 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |