JP5714825B2 - 液体浄化装置、それを備えた液体制御弁及び液体供給システム - Google Patents
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Description
浄化装置一体型開閉弁11のうち、液体浄化装置12に関して、他にも実施形態を考え得る。そのいくつかの例を、図3乃至図6に示した液体浄化装置の断面図を参照しながら説明する。なお、基本構成は同じであるから、異なる構成を中心に説明する。
(b)上記実施の形態では、浄化装置一体型開閉弁11として、液体浄化装置12と開閉弁13とが一体化されているが、相互に設けられた接続構造をなくして、それぞれが単体の装置とされてもよい。その場合、液体浄化装置12及び開閉弁13は、それぞれの接続用端面33,64が設けられている側も、その反対側と同様に配管接続部として構成され、両者は配管等の液体通路を介して接続される。
Claims (9)
- 高純度液体を流通させる液体流路、該液体流路への流入口及び流出口を有する流路ブロックと、
前記液体流路内に設けられて、該液体流路中の前記高純度液体と接する光触媒部と、
前記流路ブロックと一体的に組み付けられ、前記光触媒部に照射する光を発生させる光源を有する光照射部と、
を備え、
前記液体流路は、直線状に形成され、且つ前記液体流路が延びる方向に沿った全域で同一の流路断面を有し、
前記流路ブロックは、前記液体流路の延びる方向の一部が薄肉化されてなる管状部を有し、前記光照射部は凹状に形成された前記管状部の外周部に設置されるとともに、少なくとも前記管状部は、前記光照射部の光が前記光触媒部に照射されるようにその光を透過する光透過部とされていることを特徴とする液体浄化装置。 - 高純度液体を流通させる液体流路、該液体流路への流入口及び流出口を有する流路ブロックと、
前記液体流路内に設けられて、該液体流路中の前記高純度液体と接する光触媒部と、
前記流路ブロックと一体的に組み付けられ、前記光触媒部に照射する光を発生させる光源を有する光照射部と、
を備え、
前記流路ブロックは、前記液体流路の延びる方向の一部が薄肉化されてなる管状部を有し、前記光照射部は凹状に形成された前記管状部の外周部に設置されるとともに、少なくとも前記管状部は、前記光照射部の光が前記光触媒部に照射されるようにその光を透過する光透過部とされていることを特徴とする液体浄化装置。 - 前記光照射部の光源は、前記液体流路の周方向に複数設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体浄化装置。
- 前記光照射部の光源は有機EL素子を有する発光シートであり、その発光シートが筒状をなすようにして前記管状部の外周面に設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体浄化装置。
- 前記光触媒部として、前記液体流路の内面に、該流路の流路断面の全域にわたって薄膜状の光触媒層が設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液体浄化装置。
- 前記流路ブロックには、前記流入口又は流出口が設けられた端部に、液体の流通を制御する液体制御弁との弁接続構造を有し、その弁接続構造としてH形シール部材が用いられていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の液体浄化装置。
- 前記高純度液体は純水であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の液体浄化装置。
- 弁体の開閉によって液体の流通を制御する液体制御弁であって、
請求項1乃至7のいずれか1項に記載の液体浄化装置における前記流入口に接続される弁側流出口と、
浄化装置接続構造と、
を備えたことを特徴とする液体制御弁。 - 液体供給源から液体供給先まで高純度液体を流通させる液体通路と、
前記液体通路の途中に設けられた請求項8に記載の液体制御弁と、
前記液体供給先へ液体供給を開始するのに合わせて光照射が行われるよう、前記液体浄化装置における前記光照射部を制御する浄化装置制御手段と、
を備えたことを特徴とする液体供給システム。
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