JP5700485B2 - 光触媒体の製造方法および光触媒体の製造装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。
次に、図2(b)に示すように、ソーダガラスの基板2が載置されたステージ12に組み込まれたヒータ13等の加熱手段によって、アモルファス状態の二酸化チタンが成膜されたソーダガラスの基板2が加熱される。
この時の二酸化チタンは、アモルファス状態である。
2 基板
3 アモルファス状態の二酸化チタン
4 アナターゼ結晶構造の二酸化チタン
5 アルカリ成分
6 クラスター
7 二酸化ケイ素
10 製造装置
11 ターゲット
12 ステージ
13 ヒータ
14 チャンバ
15 スパッタ源
16 電力源
17 ロードロック
Claims (2)
- アルカリ成分を含有するガラス基板上に、常温から開始するスパッタリングにより、アモルファス状態の二酸化チタンを成膜し、前記アモルファス状態の二酸化チタンの膜が30nm以上の膜厚となった後に、前記ガラス基板を前記アモルファス状態の二酸化チタン膜がアナターゼ構造へ結晶化しない100〜200℃に加熱し、さらにスパッタリングを続けて、アナターゼ構造の二酸化チタンを成膜する工程を有し、
一回のスパッタリングによって、アルカリ拡散防止膜である前記アモルファス状態の二酸化チタン膜上に、光触媒膜である前記アナターゼ構造の二酸化チタン膜を成膜することを特徴とする光触媒体の製造方法。 - 減圧可能なチャンバと、
成膜する材料からなるターゲットと、
アルカリ成分を含有するガラス基板を載置するステージと、
前記ガラス基板を加熱するヒータと、
減圧状態の前記チャンバ内の前記ステージに載置された前記ガラス基板に、前記ターゲットに電力を印加して前記ターゲットをスパッタリングする電力源とを有する、
前記ガラス基板上に、アモルファス状態の二酸化チタン膜とアナターゼ構造の二酸化チタン膜を積層してなる光触媒膜を成膜する光触媒体の製造装置において、
スパッタリングの開始時は前記ガラス基板を常温としてアモルファス状態の二酸化チタン膜を30nm以上成膜し、引き続きアナターゼ構造の二酸化チタン膜を成膜するときは、前記ガラス基板を、前記アモルファス状態の二酸化チタン膜がアナターゼ構造へ結晶化しない100〜200℃に加熱するよう、前記ヒータを制御する制御手段を有することを特徴とする光触媒体の製造装置。
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