JP5679132B2 - 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 57
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 136
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 82
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 69
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 46
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 34
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 22
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 13
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 180
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 25
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 22
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 22
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 6
- 230000036544 posture Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N erbium Chemical compound [Er] UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N ytterbium Chemical compound [Yb] NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/7085—Detection arrangement, e.g. detectors of apparatus alignment possibly mounted on wafers, exposure dose, photo-cleaning flux, stray light, thermal load
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
- H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70716—Stages
- G03F7/70725—Stages control
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
- H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
- H01L21/0274—Photolithographic processes
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
前記フレームに支持される前記投影系の下方に配置されるベースと、前記基板を載置するテーブルと、前記テーブルを非接触で支持する本体部と、を有し、前記ベース上に配置される基板ステージと、前記テーブルに設けられ、前記フレームに支持されるグレーティング部にそれぞれ計測ビームを照射する複数のヘッドを有し、前記複数のヘッドのうち前記グレーティング部と対向するヘッドによって前記テーブルの位置情報を計測する計測装置と、前記基板を移動するために前記基板ステージを駆動する駆動装置と、前記位置情報の計測に用いられるヘッドの前記テーブルに対する変位情報、または前記ヘッドの前記テーブルに対する変位に起因して生じる前記計測装置の計測誤差を補償する補正情報と、前記計測装置で計測される位置情報と、に基づいて、前記基板ステージの駆動を制御する制御装置と、を備える露光装置が、提供される。
Claims (40)
- 投影系を介して露光ビームで基板を露光する露光装置であって、
前記投影系を支持するフレームと、
前記フレームに支持される前記投影系の下方に配置されるベースと、
前記基板を載置するテーブルと、前記テーブルを非接触で支持する本体部と、を有し、前記ベース上に配置される基板ステージと、
前記テーブルに設けられ、前記フレームに支持されるグレーティング部にそれぞれ計測ビームを照射する複数のヘッドを有し、前記複数のヘッドのうち前記グレーティング部と対向するヘッドによって前記テーブルの位置情報を計測する計測装置と、
前記基板を移動するために前記基板ステージを駆動する駆動装置と、
前記位置情報の計測に用いられるヘッドの前記テーブルに対する変位情報、または前記ヘッドの前記テーブルに対する変位に起因して生じる前記計測装置の計測誤差を補償する補正情報と、前記計測装置で計測される位置情報と、に基づいて、前記基板ステージの駆動を制御する制御装置と、を備える露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記変位情報は、前記計測装置による前記テーブルの位置情報の計測方向に関する、前記テーブルでの前記ヘッドの変位情報を含む露光装置。 - 請求項1又は2に記載の露光装置において、
前記グレーティング部はその下面が前記投影系の光軸と直交する所定平面と実質的に平行となるように前記フレームに支持され、
前記変位情報は、前記所定平面と平行な方向に関する、前記テーブルでの前記ヘッドの変位情報を含む露光装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記ヘッドの変位情報を計測する計測系を、さらに備え、
前記制御装置は、前記基板ステージの駆動制御のために、前記計測された変位情報を用いる露光装置。 - 請求項4に記載の露光装置において、
前記計測系は、その少なくとも一部が前記ヘッドに設けられるセンサを含む露光装置。 - 請求項4又は5に記載の露光装置において、
前記計測系は、前記変位情報を非接触で計測する非接触センサを含む露光装置。 - 請求項4に記載の露光装置において、
前記計測系は、前記基板ステージの加速度に関する情報を計測するセンサを含む露光装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記変位情報は、前記基板ステージの駆動情報を含む露光装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記テーブルの位置情報を計測する、前記計測装置と異なる計測装置を、さらに備え、
前記変位情報は、前記異なる計測装置の計測情報から決定される露光装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記変位情報又は前記補正情報は事前に取得されており、
前記制御装置は、前記事前に取得された変位情報又は補正情報を前記基板ステージの駆動制御に用いる露光装置。 - 請求項1〜10のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記グレーティング部は反射型の2次元格子を有し、前記投影系を囲み、かつ前記投影系の光軸と直交する所定平面と実質的に平行に配置される露光装置。 - 請求項11に記載の露光装置において、
前記複数のヘッドは、前記テーブルの4つのコーナー部にそれぞれ配置されるヘッドを含む露光装置。 - 請求項11に記載の露光装置において、
前記複数のヘッドは、前記テーブルに載置される基板を挟んで、2つの対角線上にそれぞれ一対ずつ配置される4つのヘッドを含む露光装置。 - 請求項1〜13のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記基板ステージの駆動中、前記複数のヘッドのうち前記グレーティング部と対向する少なくとも3つのヘッドによって前記テーブルの位置情報が計測され、
前記制御装置は、前記変位情報又は前記補正情報に基づいて前記計測された位置情報を補正しつつ、前記基板ステージの駆動を制御する露光装置。 - 請求項1〜14のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記駆動装置は、前記本体部に対して前記テーブルを移動する駆動機構と、前記本体部と前記ベースとの一方に磁石ユニットが設けられ、かつ前記本体部と前記ベースとの他方にコイルユニットが設けられる平面モータと、を有し、前記平面モータによって前記基板ステージを前記ベース上で移動する露光装置。 - 請求項15に記載の露光装置において、
前記平面モータは、前記磁石ユニットが前記本体部に設けられるムービングマグネット方式である露光装置。 - 請求項15又は16に記載の露光装置において、
前記基板ステージは、前記平面モータによって前記ベース上で磁気浮上される露光装置。 - 請求項1〜17のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記投影系から離れて配置され、前記基板のマークを検出するマーク検出系と、
前記マーク検出系を囲んで配置される、前記グレーティング部と異なるグレーティング部と、を備え、
前記計測装置は、前記マーク検出系による前記マークの検出において、前記複数のヘッドのうち前記異なるグレーティング部に対向するヘッドによって前記テーブルの位置情報を計測する露光装置。 - 請求項1〜18のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記露光ビームで照明されるパターンを有するマスクを保持するマスクステージを、さらに備え、
前記計測装置は、前記マスクステージの位置情報を計測するエンコーダシステムを有する露光装置。 - デバイス製造方法であって、
請求項1〜19のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 投影系を介して露光ビームで基板を露光する露光方法であって、
前記投影系の下方に配置されるベース上で、前記基板を載置するテーブルと、前記テーブルを非接触で支持する本体部と、を有する基板ステージを駆動することと、
前記テーブルに設けられ、前記投影系を保持するフレームに支持されるグレーティング部にそれぞれ計測ビームを照射する複数のヘッドを有する計測装置の、前記複数のヘッドのうち前記グレーティング部と対向するヘッドによって、前記テーブルの位置情報を計測することと、
前記位置情報の計測に用いられるヘッドの前記テーブルに対する変位情報、または前記ヘッドの前記テーブルに対する変位に起因して生じる前記計測装置の計測誤差を補償する補正情報と、前記計測装置で計測される位置情報と、に基づいて、前記基板ステージの駆動を制御することと、を含む露光方法。 - 請求項21に記載の露光方法において、
前記変位情報は、前記計測装置による前記テーブルの位置情報の計測方向に関する、前記テーブルでの前記ヘッドの変位情報を含む露光方法。 - 請求項21又は22に記載の露光方法において、
前記グレーティング部はその下面が前記投影系の光軸と直交する所定平面と実質的に平行となるように前記フレームに支持され、
前記変位情報は、前記所定平面と平行な方向に関する、前記テーブルでの前記ヘッドの変位情報を含む露光方法。 - 請求項21〜23のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記ヘッドの変位情報は計測系によって計測され、
前記基板ステージの駆動制御のために、前記計測された変位情報が用いられる露光方法。 - 請求項24に記載の露光方法において、
前記変位情報は、少なくとも一部が前記ヘッドに設けられるセンサによって計測される露光方法。 - 請求項24又は25に記載の露光方法において、
前記変位情報は、非接触センサによって計測される露光方法。 - 請求項24に記載の露光方法において、
前記変位情報は、前記基板ステージの加速度に関する情報を含む露光方法。 - 請求項21〜23のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記変位情報は、前記基板ステージの駆動情報を含む露光方法。 - 請求項21〜23のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記変位情報は、前記計測装置と異なる計測装置によって計測される前記テーブルの位置情報から決定される露光方法。 - 請求項21〜23のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記変位情報又は前記補正情報は事前に取得されており、
前記事前に取得された変位情報又は補正情報が前記基板ステージの駆動制御に用いられる露光方法。 - 請求項21〜30のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記グレーティング部は反射型の2次元格子を有し、前記投影系を囲み、かつ前記投影系の光軸と直交する所定平面と実質的に平行に配置される露光方法。 - 請求項31に記載の露光方法において、
前記複数のヘッドは、前記テーブルの4つのコーナー部にそれぞれ配置されるヘッドを含む露光方法。 - 請求項31に記載の露光方法において、
前記複数のヘッドは、前記テーブルに載置される基板を挟んで、2つの対角線上にそれぞれ一対ずつ配置される4つのヘッドを含む露光方法。 - 請求項31〜33のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記基板ステージの駆動中、前記複数のヘッドのうち前記グレーティング部と対向する少なくとも3つのヘッドによって前記テーブルの位置情報が計測され、
前記変位情報又は前記補正情報に基づいて前記計測された位置情報を補正しつつ、前記基板ステージの駆動を制御する露光方法。 - 請求項21〜34のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記テーブルは、前記本体部に対して移動され、
前記基板ステージは、前記本体部と前記ベースとの一方に磁石ユニットが設けられ、かつ前記本体部と前記ベースとの他方にコイルユニットが設けられる平面モータによって移動される露光方法。 - 請求項35に記載の露光方法において、
前記平面モータは、前記磁石ユニットが前記本体部に設けられるムービングマグネット方式である露光方法。 - 請求項35又は36に記載の露光方法において、
前記基板ステージは、前記平面モータによって前記ベース上で磁気浮上される露光方法。 - 請求項21〜37のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記投影系から離れて配置されるマーク検出系によって前記基板のマークが検出され、
前記マーク検出系による前記マークの検出において、前記複数のヘッドのうち、前記マーク検出系を囲んで配置される、前記グレーティング部と異なるグレーティング部に対向するヘッドによって、前記テーブルの位置情報が計測される露光方法。 - 請求項21〜38のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記複数のヘッドと異なるエンコーダシステムによって、前記露光ビームで照明されるパターンを有するマスクを保持するマスクステージの位置情報が計測される露光方法。 - デバイス製造方法であって、
請求項21〜39のいずれか一項に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US7169508P | 2008-05-13 | 2008-05-13 | |
US61/071,695 | 2008-05-13 | ||
US12/463,562 US8817236B2 (en) | 2008-05-13 | 2009-05-11 | Movable body system, movable body drive method, pattern formation apparatus, pattern formation method, exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
US12/463,562 | 2009-05-11 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009116048A Division JP5531451B2 (ja) | 2008-05-13 | 2009-05-13 | 移動体システム及び移動体駆動方法、パターン形成装置及びパターン形成方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015000735A Division JP5979254B2 (ja) | 2008-05-13 | 2015-01-06 | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014017501A JP2014017501A (ja) | 2014-01-30 |
JP5679132B2 true JP5679132B2 (ja) | 2015-03-04 |
Family
ID=41315841
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009116048A Active JP5531451B2 (ja) | 2008-05-13 | 2009-05-13 | 移動体システム及び移動体駆動方法、パターン形成装置及びパターン形成方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
JP2013176208A Active JP5679132B2 (ja) | 2008-05-13 | 2013-08-28 | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
JP2015000735A Active JP5979254B2 (ja) | 2008-05-13 | 2015-01-06 | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009116048A Active JP5531451B2 (ja) | 2008-05-13 | 2009-05-13 | 移動体システム及び移動体駆動方法、パターン形成装置及びパターン形成方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015000735A Active JP5979254B2 (ja) | 2008-05-13 | 2015-01-06 | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8817236B2 (ja) |
EP (2) | EP2294484B1 (ja) |
JP (3) | JP5531451B2 (ja) |
KR (2) | KR101511922B1 (ja) |
CN (2) | CN102944982B (ja) |
HK (2) | HK1153543A1 (ja) |
SG (1) | SG174099A1 (ja) |
TW (2) | TWI548953B (ja) |
WO (1) | WO2009139498A1 (ja) |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2284865B1 (en) * | 2008-04-30 | 2015-09-02 | Nikon Corporation | Stage apparatus, patterning apparatus, exposure apparatus, stage drive apparatus, exposure method, and device fabrication method |
US8760629B2 (en) | 2008-12-19 | 2014-06-24 | Nikon Corporation | Exposure apparatus including positional measurement system of movable body, exposure method of exposing object including measuring positional information of movable body, and device manufacturing method that includes exposure method of exposing object, including measuring positional information of movable body |
US8773635B2 (en) * | 2008-12-19 | 2014-07-08 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
US8599359B2 (en) | 2008-12-19 | 2013-12-03 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, device manufacturing method, and carrier method |
US8902402B2 (en) * | 2008-12-19 | 2014-12-02 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
US8553204B2 (en) | 2009-05-20 | 2013-10-08 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
US8792084B2 (en) * | 2009-05-20 | 2014-07-29 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
US8970820B2 (en) | 2009-05-20 | 2015-03-03 | Nikon Corporation | Object exchange method, exposure method, carrier system, exposure apparatus, and device manufacturing method |
NL2004834A (en) * | 2009-07-08 | 2011-01-10 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method. |
US8488109B2 (en) | 2009-08-25 | 2013-07-16 | Nikon Corporation | Exposure method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
US8493547B2 (en) | 2009-08-25 | 2013-07-23 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
US20110102761A1 (en) * | 2009-09-28 | 2011-05-05 | Nikon Corporation | Stage apparatus, exposure apparatus, and device fabricating method |
US20110096318A1 (en) * | 2009-09-28 | 2011-04-28 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and device fabricating method |
US20110096312A1 (en) * | 2009-09-28 | 2011-04-28 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and device fabricating method |
US20110096306A1 (en) * | 2009-09-28 | 2011-04-28 | Nikon Corporation | Stage apparatus, exposure apparatus, driving method, exposing method, and device fabricating method |
US20110123913A1 (en) * | 2009-11-19 | 2011-05-26 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposing method, and device fabricating method |
US20110128523A1 (en) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Nikon Corporation | Stage apparatus, exposure apparatus, driving method, exposing method, and device fabricating method |
US8488106B2 (en) * | 2009-12-28 | 2013-07-16 | Nikon Corporation | Movable body drive method, movable body apparatus, exposure method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
DE102012216286A1 (de) | 2011-09-30 | 2013-04-04 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsbelichtungsanlage mit optimiertem Messsystem |
JP6156147B2 (ja) | 2011-11-17 | 2017-07-05 | 株式会社ニコン | エンコーダ装置、光学装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
US9207549B2 (en) | 2011-12-29 | 2015-12-08 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and exposure method, and device manufacturing method with encoder of higher reliability for position measurement |
JP6039917B2 (ja) * | 2012-05-22 | 2016-12-07 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
CN102951607B (zh) * | 2012-12-20 | 2013-11-13 | 北京理工大学 | 磁悬浮式定位平台 |
EP3043361A4 (en) * | 2013-09-04 | 2017-05-17 | CKD Corporation | Armature coil for electromagnetic actuator, electromagnetic actuator, exposure apparatus, and device manufacturing method |
KR102299921B1 (ko) | 2014-10-07 | 2021-09-09 | 삼성전자주식회사 | 광학 장치 |
JP6468792B2 (ja) * | 2014-10-21 | 2019-02-13 | 日本コントロールシステム株式会社 | パターン補正量算出装置、パターン補正量算出方法、およびプログラム |
JP6344297B2 (ja) | 2015-04-16 | 2018-06-20 | 株式会社デンソー | 撮像装置およびそれに用いられるプリント基板 |
JP2017111031A (ja) | 2015-12-17 | 2017-06-22 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | パターン検査装置及びパターン検査方法 |
US10520835B2 (en) * | 2016-04-26 | 2019-12-31 | Asml Netherlands B.V. | Measurement system, calibration method, lithographic apparatus and positioner |
CN110716391A (zh) * | 2018-07-11 | 2020-01-21 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 大尺寸基板曝光机 |
CN114152193B (zh) * | 2020-09-07 | 2023-02-21 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 运动台光栅测量系统和光刻机 |
Family Cites Families (69)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4880617A (en) * | 1981-03-23 | 1989-11-14 | Dow Corning Corporation | Lattice-entrapped composition |
US4780617A (en) | 1984-08-09 | 1988-10-25 | Nippon Kogaku K.K. | Method for successive alignment of chip patterns on a substrate |
US5196745A (en) | 1991-08-16 | 1993-03-23 | Massachusetts Institute Of Technology | Magnetic positioning device |
KR100300618B1 (ko) | 1992-12-25 | 2001-11-22 | 오노 시게오 | 노광방법,노광장치,및그장치를사용하는디바이스제조방법 |
JP3412704B2 (ja) | 1993-02-26 | 2003-06-03 | 株式会社ニコン | 投影露光方法及び装置、並びに露光装置 |
JPH07270122A (ja) | 1994-03-30 | 1995-10-20 | Canon Inc | 変位検出装置、該変位検出装置を備えた露光装置およびデバイスの製造方法 |
KR970076451A (ko) * | 1996-05-13 | 1997-12-12 | 가나이 츠토무 | 디스플레이장치 및 표시방법 |
KR20030096435A (ko) | 1996-11-28 | 2003-12-31 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광장치 및 노광방법 |
US6151100A (en) * | 1996-12-12 | 2000-11-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Positioning system |
WO1998028665A1 (en) | 1996-12-24 | 1998-07-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Two-dimensionally balanced positioning device with two object holders, and lithographic device provided with such a positioning device |
US6208407B1 (en) | 1997-12-22 | 2001-03-27 | Asm Lithography B.V. | Method and apparatus for repetitively projecting a mask pattern on a substrate, using a time-saving height measurement |
KR100819239B1 (ko) | 1998-03-11 | 2008-04-03 | 가부시키가이샤 니콘 | 자외 레이저 장치, 레이저 장치, 노광 장치와 노광 방법, 디바이스 제조 방법, 자외광 조사 장치, 물체 패턴 검출 장치, 자외광 조사 방법 및 물체 패턴 검출 방법 |
US6008610A (en) * | 1998-03-20 | 1999-12-28 | Nikon Corporation | Position control apparatus for fine stages carried by a coarse stage on a high-precision scanning positioning system |
TW490596B (en) * | 1999-03-08 | 2002-06-11 | Asm Lithography Bv | Lithographic projection apparatus, method of manufacturing a device using the lithographic projection apparatus, device manufactured according to the method and method of calibrating the lithographic projection apparatus |
US6144119A (en) * | 1999-06-18 | 2000-11-07 | Nikon Corporation | Planar electric motor with dual coil and magnet arrays |
WO2001035168A1 (en) | 1999-11-10 | 2001-05-17 | Massachusetts Institute Of Technology | Interference lithography utilizing phase-locked scanning beams |
US6771350B2 (en) | 2000-02-25 | 2004-08-03 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and exposure method capable of controlling illumination distribution |
DE10011130A1 (de) | 2000-03-10 | 2001-09-13 | Mannesmann Vdo Ag | Entlüftungseinrichtung für einen Kraftstoffbehälter |
US7561270B2 (en) | 2000-08-24 | 2009-07-14 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, device manufacturing method and device manufactured thereby |
TW527526B (en) | 2000-08-24 | 2003-04-11 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby |
US7289212B2 (en) | 2000-08-24 | 2007-10-30 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, device manufacturing method and device manufacturing thereby |
US20020109823A1 (en) * | 2001-02-09 | 2002-08-15 | Nikon Corporation. | Wafer stage assembly |
KR100815222B1 (ko) | 2001-02-27 | 2008-03-19 | 에이에스엠엘 유에스, 인크. | 리소그래피 장치 및 적어도 하나의 레티클 상에 형성된 적어도 두 개의 패턴으로부터의 이미지로 기판 스테이지 상의 필드를 노출시키는 방법 |
US6788385B2 (en) * | 2001-06-21 | 2004-09-07 | Nikon Corporation | Stage device, exposure apparatus and method |
JP2003028673A (ja) | 2001-07-10 | 2003-01-29 | Canon Inc | 光学式エンコーダ、半導体製造装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および半導体製造装置の保守方法 |
TW529172B (en) | 2001-07-24 | 2003-04-21 | Asml Netherlands Bv | Imaging apparatus |
US6881963B2 (en) * | 2002-11-08 | 2005-04-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration control of an object |
CN101424883B (zh) | 2002-12-10 | 2013-05-15 | 株式会社尼康 | 曝光设备和器件制造法 |
US7025498B2 (en) | 2003-05-30 | 2006-04-11 | Asml Holding N.V. | System and method of measuring thermal expansion |
US20050074014A1 (en) | 2003-10-01 | 2005-04-07 | Rao Chunghwa Heman | Network brokering system |
TWI295408B (en) | 2003-10-22 | 2008-04-01 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method, and measurement system |
KR20060128912A (ko) * | 2004-01-15 | 2006-12-14 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 디바이스의 제조 방법 |
US7589822B2 (en) | 2004-02-02 | 2009-09-15 | Nikon Corporation | Stage drive method and stage unit, exposure apparatus, and device manufacturing method |
US7102729B2 (en) | 2004-02-03 | 2006-09-05 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, measurement system, and device manufacturing method |
JP4751032B2 (ja) | 2004-04-22 | 2011-08-17 | 株式会社森精機製作所 | 変位検出装置 |
US7463330B2 (en) | 2004-07-07 | 2008-12-09 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7256871B2 (en) | 2004-07-27 | 2007-08-14 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and method for calibrating the same |
CN101052916B (zh) | 2004-09-30 | 2010-05-12 | 株式会社尼康 | 投影光学设备和曝光装置 |
US20060139595A1 (en) | 2004-12-27 | 2006-06-29 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and method for determining Z position errors/variations and substrate table flatness |
US7515281B2 (en) * | 2005-04-08 | 2009-04-07 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7161659B2 (en) | 2005-04-08 | 2007-01-09 | Asml Netherlands B.V. | Dual stage lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7349069B2 (en) | 2005-04-20 | 2008-03-25 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and positioning apparatus |
US7405811B2 (en) | 2005-04-20 | 2008-07-29 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and positioning apparatus |
JP2006349945A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Fujifilm Holdings Corp | 露光装置 |
KR20080017299A (ko) * | 2005-06-22 | 2008-02-26 | 가부시키가이샤 니콘 | 계측 장치 및 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 |
US7348574B2 (en) | 2005-09-02 | 2008-03-25 | Asml Netherlands, B.V. | Position measurement system and lithographic apparatus |
US7362446B2 (en) | 2005-09-15 | 2008-04-22 | Asml Netherlands B.V. | Position measurement unit, measurement system and lithographic apparatus comprising such position measurement unit |
US7978339B2 (en) | 2005-10-04 | 2011-07-12 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus temperature compensation |
GB2431251A (en) | 2005-10-11 | 2007-04-18 | Hewlett Packard Development Co | Data transfer device |
TWI550688B (zh) * | 2006-01-19 | 2016-09-21 | 尼康股份有限公司 | 液浸曝光裝置及液浸曝光方法、以及元件製造方法 |
US8027021B2 (en) * | 2006-02-21 | 2011-09-27 | Nikon Corporation | Measuring apparatus and method, processing apparatus and method, pattern forming apparatus and method, exposure apparatus and method, and device manufacturing method |
KR101495471B1 (ko) | 2006-02-21 | 2015-02-23 | 가부시키가이샤 니콘 | 패턴 형성 장치, 마크 검출 장치, 노광 장치, 패턴 형성 방법, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 |
EP2003680B1 (en) | 2006-02-21 | 2013-05-29 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method and device manufacturing method |
US7602489B2 (en) | 2006-02-22 | 2009-10-13 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7253875B1 (en) | 2006-03-03 | 2007-08-07 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7636165B2 (en) | 2006-03-21 | 2009-12-22 | Asml Netherlands B.V. | Displacement measurement systems lithographic apparatus and device manufacturing method |
TWI454859B (zh) * | 2006-03-30 | 2014-10-01 | 尼康股份有限公司 | 移動體裝置、曝光裝置與曝光方法以及元件製造方法 |
US7483120B2 (en) | 2006-05-09 | 2009-01-27 | Asml Netherlands B.V. | Displacement measurement system, lithographic apparatus, displacement measurement method and device manufacturing method |
SG182983A1 (en) | 2006-08-31 | 2012-08-30 | Nikon Corp | Movable body drive method and movable body drive system, pattern formation method and apparatus, exposure method and apparatus, and device manufacturing method |
TWI609252B (zh) | 2006-08-31 | 2017-12-21 | Nikon Corp | Moving body driving system and moving body driving method, pattern forming apparatus and method, exposure apparatus and method, element manufacturing method, and determination method |
EP3064999B1 (en) | 2006-08-31 | 2017-07-26 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
TWI596656B (zh) * | 2006-09-01 | 2017-08-21 | 尼康股份有限公司 | Moving body driving method and moving body driving system, pattern forming method and apparatus, exposure method and apparatus, element manufacturing method, and correction method |
KR101604564B1 (ko) | 2006-09-01 | 2016-03-17 | 가부시키가이샤 니콘 | 이동체 구동 방법 및 이동체 구동 시스템, 패턴 형성 방법 및 장치, 노광 방법 및 장치, 그리고 디바이스 제조 방법 |
US7619207B2 (en) | 2006-11-08 | 2009-11-17 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7903866B2 (en) | 2007-03-29 | 2011-03-08 | Asml Netherlands B.V. | Measurement system, lithographic apparatus and method for measuring a position dependent signal of a movable object |
US7710540B2 (en) * | 2007-04-05 | 2010-05-04 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US8098362B2 (en) | 2007-05-30 | 2012-01-17 | Nikon Corporation | Detection device, movable body apparatus, pattern formation apparatus and pattern formation method, exposure apparatus and exposure method, and device manufacturing method |
US8237916B2 (en) | 2007-12-28 | 2012-08-07 | Nikon Corporation | Movable body drive system, pattern formation apparatus, exposure apparatus and exposure method, and device manufacturing method |
JP4528338B2 (ja) * | 2008-03-04 | 2010-08-18 | キヤノン株式会社 | 制振装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
-
2009
- 2009-05-11 US US12/463,562 patent/US8817236B2/en active Active
- 2009-05-13 WO PCT/JP2009/059239 patent/WO2009139498A1/en active Application Filing
- 2009-05-13 KR KR1020147001539A patent/KR101511922B1/ko active IP Right Grant
- 2009-05-13 EP EP09746704.7A patent/EP2294484B1/en active Active
- 2009-05-13 JP JP2009116048A patent/JP5531451B2/ja active Active
- 2009-05-13 KR KR1020107027812A patent/KR101422894B1/ko active IP Right Grant
- 2009-05-13 SG SG2011061413A patent/SG174099A1/en unknown
- 2009-05-13 EP EP13195071.9A patent/EP2711775A3/en not_active Withdrawn
- 2009-05-13 TW TW103117435A patent/TWI548953B/zh active
- 2009-05-13 TW TW098115769A patent/TWI454852B/zh active
- 2009-05-13 CN CN201210487739.0A patent/CN102944982B/zh active Active
- 2009-05-13 CN CN2009801170844A patent/CN102027417B/zh active Active
-
2011
- 2011-07-25 HK HK11107667.4A patent/HK1153543A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2013
- 2013-07-15 HK HK13108237.1A patent/HK1181124A1/xx not_active IP Right Cessation
- 2013-08-28 JP JP2013176208A patent/JP5679132B2/ja active Active
-
2014
- 2014-07-15 US US14/332,000 patent/US9436102B2/en active Active
-
2015
- 2015-01-06 JP JP2015000735A patent/JP5979254B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201001095A (en) | 2010-01-01 |
US9436102B2 (en) | 2016-09-06 |
JP5979254B2 (ja) | 2016-08-24 |
TW201433886A (zh) | 2014-09-01 |
JP5531451B2 (ja) | 2014-06-25 |
EP2711775A3 (en) | 2017-05-17 |
JP2009278096A (ja) | 2009-11-26 |
CN102027417B (zh) | 2013-02-13 |
KR101422894B1 (ko) | 2014-07-23 |
US20140327899A1 (en) | 2014-11-06 |
CN102944982B (zh) | 2015-06-10 |
CN102027417A (zh) | 2011-04-20 |
KR20110020805A (ko) | 2011-03-03 |
JP2015084449A (ja) | 2015-04-30 |
EP2294484B1 (en) | 2014-06-11 |
CN102944982A (zh) | 2013-02-27 |
TWI454852B (zh) | 2014-10-01 |
SG174099A1 (en) | 2011-09-29 |
WO2009139498A1 (en) | 2009-11-19 |
US20090284724A1 (en) | 2009-11-19 |
TWI548953B (zh) | 2016-09-11 |
HK1153543A1 (en) | 2012-03-30 |
JP2014017501A (ja) | 2014-01-30 |
KR20140015632A (ko) | 2014-02-06 |
KR101511922B1 (ko) | 2015-04-13 |
EP2711775A2 (en) | 2014-03-26 |
US8817236B2 (en) | 2014-08-26 |
HK1181124A1 (en) | 2013-11-01 |
EP2294484A1 (en) | 2011-03-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
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