JP5676976B2 - Capacitor cooling water control device for steam injection vacuum pump - Google Patents
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Description
本発明は、蒸気噴射真空ポンプのコンデンサの冷却水を非大気圧環境で制御する装置および方法に関する。 The present invention relates to an apparatus and a method for controlling cooling water of a condenser of a vapor injection vacuum pump in a non-atmospheric pressure environment.
今日まで、蒸気噴射真空ポンプのコンデンサ（凝縮器）内におけるコンデンサ冷却水の水位を、非大気圧環境で制御する構成はなかった。通常、一定に設定されたシステムの動作点に対して極めて不的確な輸送量で動作するポンプが用いられる。したがって、冷却水の水位は、常に、コンデンサ内に取り付けられたアラームスイッチまたはレベルスイッチによって、ある許容範囲内に制限される。 To date, there has been no configuration for controlling the water level of the condenser cooling water in the condenser (condenser) of the vapor injection vacuum pump in a non-atmospheric pressure environment. Usually, pumps are used that operate with very inaccurate transport rates for a set operating point of the system. Therefore, the coolant level is always limited within a certain tolerance by an alarm switch or level switch mounted in the condenser.
蒸気噴射真空ポンプを始動させる前に、いわゆるコンデンサ冷却水回路を始動させ、当該コンデンサ冷却水回路を安定に動作させる必要がある。 Before starting the vapor jet vacuum pump, it is necessary to start a so-called condenser cooling water circuit and to operate the condenser cooling water circuit stably.
コンデンサ内のコンデンサ冷却水の動作開始は、大気圧条件下で行われる。 The operation of condenser cooling water in the condenser is started under atmospheric pressure conditions.
複数の蒸気エゼクタを接続し、任意でこれらに水環ポンプ（水封式ポンプ）を組み合わせ、真空生成を開始すると、コンデンサ内の負圧が変化する。コンデンサ内の負圧が変化すると同時に、コンデンサの内部空間に冷却水を供給するためのコンデンサ冷却水ノズル間に差圧が生じる。ノズル間の差圧の変化により、ノズルを通過する水流量も変化する。つまり、負圧が増加するにつれて、水流量も増加することになる。 When a plurality of steam ejectors are connected, optionally combined with a water ring pump (water ring pump), and vacuum generation is started, the negative pressure in the condenser changes. At the same time as the negative pressure in the condenser changes, a differential pressure is generated between condenser cooling water nozzles for supplying cooling water to the internal space of the condenser. The flow rate of water passing through the nozzle also changes due to the change in the differential pressure between the nozzles. That is, as the negative pressure increases, the water flow rate also increases.
コンデンサ内への水供給量が、真空度に応じて増加した場合、これをコンデンサの冷却水ポンプを用いて排水する必要がある。その都度で変化する水流量は、多い水量に対応した輸送量で動作するポンプと、少ない水量に対応した輸送量で動作するポンプとの、輸送特性の異なる二種類のポンプを使用することにより、ある程度管理することができる。しかしながら、この構成は、コスト上の理由で採用されない場合が多い。 When the amount of water supplied into the condenser increases according to the degree of vacuum, it must be drained using a condenser cooling water pump. By using two types of pumps with different transport characteristics, a pump that operates with a transport amount corresponding to a large amount of water and a pump that operates with a transport amount corresponding to a small amount of water, It can be managed to some extent. However, this configuration is often not adopted for cost reasons.
蒸気噴射真空ポンプの動作状態によって変化する水流量を、ある程度管理できるように、差圧ダンパーを用いてポンプを圧力側でスロットル調整するというエネルギー効率の低い慣習が発達した。これと併行して、最大流入圧力を超過した場合に、コンデンサが水で溢れて真空が崩壊してしまうことのないように、パイプの構造および寸法を調整し、さらに、メカニカルバルブを使用するという試みも行われている。 In order to manage to some extent the flow rate of water that changes depending on the operating state of the steam-jet vacuum pump, a low energy efficiency practice has been developed to throttle the pump on the pressure side using a differential pressure damper. In parallel with this, when the maximum inflow pressure is exceeded, the structure and dimensions of the pipe are adjusted so that the condenser will not overflow with water and the vacuum will not collapse, and a mechanical valve will be used. Attempts have also been made.
しかしながら、これは、ポンプの吸引流を大きくすることによっても対処することができる。その反面、入水量が少なすぎると、ポンプの大きすぎる吸引流によってキャビテーションが生じ、ポンプが故障する可能性が高くなる。 However, this can also be addressed by increasing the pump suction flow. On the other hand, if the amount of incoming water is too small, cavitation occurs due to the suction flow of the pump being too large, and the possibility that the pump will fail increases.
つまり、今日までの一般的な動作態様では、コンデンサ内の変化し得る水量を管理することが困難であり、不確定な状態が何回も積み重なることで、最終的に真空が崩壊する。 In other words, in the general operation mode to date, it is difficult to manage the amount of water that can be changed in the condenser, and the vacuum is finally broken by repeatedly stacking uncertain states.
基本的には、この不満足な状態は、速度制御されたポンプを使用することで改善することができる。しかしながら、そのためには、各場合における冷却水の量を把握する必要がある。なお、コンデンサの内部空間で測定を行う構成は、内部において生じる乱流や大量の飛沫のために現実的でない。 Basically, this unsatisfactory condition can be remedied by using a speed-controlled pump. However, for that purpose, it is necessary to grasp the amount of cooling water in each case. In addition, the structure which measures in the internal space of a capacitor | condenser is not realistic because of the turbulent flow which arises inside, and a lot of splashes.
上記の不満足な状態は、本発明により、驚くほど容易に解消することができる。 The above unsatisfactory state can be solved surprisingly easily by the present invention.
本発明にかかる制御方法は、実施形態を示す図１の符号を用いて説明すると、コンデンサ（１，２）内の冷却水の水位は、真空引き処理に適した測定方法、例えば、レーダープローブ、レーザープローブなどの測定プローブ（１０）を用いて、コンデンサに連通する容器として当該コンデンサの外部に配設された測定ポット（９）内で測定される。その測定値は、速度制御される冷却水ポンプ（８）の輸送量を調節する測定変数、例えば、信号および制御変数として使用される。 The control method according to the present invention will be described with reference to FIG. 1 showing the embodiment. The water level of the cooling water in the capacitors (1, 2) is measured by a measurement method suitable for vacuuming, for example, a radar probe, Using a measurement probe (10) such as a laser probe, measurement is performed in a measurement pot (9) disposed outside the capacitor as a container communicating with the capacitor. The measured value is used as a measurement variable, for example a signal and a control variable, which regulates the transport rate of the speed-controlled cooling water pump (8).
上述の制御方法を実行するための、本発明にかかる装置は、コンデンサ（１，２）に連通する容器として当該コンデンサの外部に配設された測定ポット（９）と、測定ポット（９）の上部の閉塞カバーに取り付けられた、水位測定用の測定プローブ（１０）とで構成される。前記測定ポット（９）は、当該測定ポット（９）内の負圧がコンデンサの内部空間の負圧と確実に同一になるように、均圧化通路（１１）を有している。前記測定プローブは、真空引き処理に適しており、大気圧以下の低圧環境下で円滑に作動する。測定プローブ（１０）の測定値は、速度制御される冷却水ポンプ（８）を制御するための入力信号を形成する。安全のため、さらなる機械式のフロートスイッチ（１２）が水位の測定ポット（９）内に取り付けられている。水位が高くなり過ぎて特定の警戒水位を超えた場合には、このフロートスイッチにより、アラーム遮断がトリガされてアラーム遮断が行われる。好ましくは、許容可能な最高水位の位置に、フロートスイッチ（１２）が安全アラームセンサとして取り付けられている。 An apparatus according to the present invention for executing the control method described above includes a measurement pot (9) disposed outside the capacitor as a container communicating with the capacitor (1, 2), and a measurement pot (9). It is comprised with the measurement probe (10) for a water level measurement attached to the upper obstruction | occlusion cover. The measurement pot (9) has a pressure equalization passage (11) so that the negative pressure in the measurement pot (9) is surely the same as the negative pressure in the internal space of the capacitor. The measurement probe is suitable for evacuation processing, and operates smoothly in a low pressure environment below atmospheric pressure. The measured value of the measuring probe (10) forms an input signal for controlling the speed-controlled cooling water pump (8). For safety, an additional mechanical float switch (12) is mounted in the water level measuring pot (9). When the water level becomes too high and exceeds a specific warning water level, the alarm switch is triggered by this float switch to perform the alarm block. Preferably, a float switch (12) is mounted as a safety alarm sensor at the maximum allowable water level.
コンデンサ（１，２）とダウンパイプ（４）とを接続する接続通路（１３）、好ましくは排水パイプにより、測定ポット（９）内の水位がコンデンサ内の水位と同一に保たれる。前記接続通路（１３）は、測定ポット（９）の下端部に配設されており、かつ、鉛直に対して最大で５０°の角度、好ましくは３０°の角度で当該下端部から延びている。これにより、脱気過程において生じ得る沈殿物または他の固体粒子の詰まりを防止することができる。 The water level in the measurement pot (9) is kept the same as the water level in the condenser by a connecting passage (13), preferably a drain pipe, connecting the condenser (1, 2) and the down pipe (4). The connection passage (13) is arranged at the lower end of the measuring pot (9) and extends from the lower end at an angle of up to 50 °, preferably 30 ° with respect to the vertical. . This prevents clogging of precipitates or other solid particles that may occur during the degassing process.
測定ポット（９）は、コンデンサ（１）の内部空間の圧力と測定ポット（９）内の圧力とを確実に同一にするための均圧化通路（１１）を具備している。この測定ポット（９）は、当該測定ポット（９）の上部領域からコンデンサの内部空間へと延設および接続されている。好ましくは、均圧化通路（１１）は、コンデンサの内部空間における通常の（ＷＬ）よりも上方の領域へと挿入されて下方に延びている。より好ましくは、均一ライン（１１）は、コンデンサの内部空間に突入する、開口１１ａを持つ端部１１ｂを有しており、その端部の短い一部分が垂直下方に延びている。これにより、コンデンサの内部空間からの水飛沫が（１１）内に浸入するのを防ぐことができる。 The measurement pot (9) includes a pressure equalizing passage (11) for ensuring that the pressure in the internal space of the capacitor (1) and the pressure in the measurement pot (9) are the same. The measurement pot (9) is extended and connected from the upper region of the measurement pot (9) to the internal space of the capacitor. Preferably, the pressure equalizing passage (11) is inserted into a region above the normal (WL) in the internal space of the capacitor and extends downward. More preferably, the uniform line (11) has an end portion 11b having an opening 11a that protrudes into the internal space of the capacitor, and a short part of the end portion extends vertically downward. Thereby, it is possible to prevent water droplets from the internal space of the capacitor from entering into (11).
その結果、浸入しようとする水飛沫がコンデンサの内部空間に戻されるので、当該水飛沫は測定ポット（９）内に入ることができない。よって、水飛沫は、水位測定に影響を及ぼさない。 As a result, since the water droplets to be infiltrated are returned to the internal space of the condenser, the water droplets cannot enter the measurement pot (9). Therefore, the water splash does not affect the water level measurement.
本発明は、先行技術に対して以下の利点を有する：
・ 許容最高水位および許容最低水位に達したときにオンまたはオフするアラームスイッチまたはレベルスイッチを用いてポンプを断続的に制御することにより水位を調節する代わりに、冷却水ポンプの輸送量を連続的な水位測定に基づいて制御する。これにより、水位の大きな変動を防止できる。
・ 従来の冷却水ポンプの輸送量の断続的な調節に起因する大きな水位変動を回避できる。
・ コンデンサ内の水位を直接測定せずに、コンデンサと同一水位の測定ポット内の水位を測定しているので、コンデンサ内の泡立ち、波立ち等の影響を受けずに、コンデンサの水位を正確に測定できる。
・ 冷却水ポンプの輸送能力を良好なエネルギー効率で活用でき、さらに
・ ポンプの吸水時に不十分な水量しかないというようなことが起こらないので、これにより、ポンプ内のキャビテーションを回避できる。
The present invention has the following advantages over the prior art:
- by intermittently controlling the pump with Aramusu dichroic switch or level switch on or off when it reaches the permissible maximum level and minimum acceptable level, instead of adjusting the water level, continuous transport of the cooling water pump Control based on typical water level measurement. Thereby, the big fluctuation | variation of a water level can be prevented.
・ Large fluctuations in water level due to intermittent adjustment of the transport volume of conventional cooling water pumps can be avoided.
・ Since the water level in the measuring pot at the same water level as the capacitor is measured without directly measuring the water level in the capacitor, the water level of the capacitor is accurately measured without being affected by foaming or undulation in the capacitor. it can.
・ The transport capacity of the cooling water pump can be utilized with good energy efficiency. ・ In addition, since there is no insufficient amount of water when the pump absorbs water, cavitation in the pump can be avoided.
上記の利点およびその他の利点は、以下の構成によって達成される：
・ 水面を安定させるための、コンデンサに連通する容器として当該コンデンサの外部に配設された測定ポット、
・ 真空引き処理に適した測定プローブによる非接触の水位測定、および
・ 速度制御される冷却水ポンプの、測定値に依存した制御。
The above and other advantages are achieved by the following configurations:
A measuring pot placed outside the capacitor as a container communicating with the capacitor to stabilize the water surface;
• Non-contact water level measurement with a measuring probe suitable for evacuation, and • Speed-controlled cooling water pump control depending on the measured value.
本発明の実施形態を示す図１において、真空ポンプ設備は、上部に冷却水スプレーのノズル（３）を具備するコンデンサ（１，２）と、蒸気噴射真空ポンプとしての蒸気エゼクタ（５，６，７）と、コンデンサの冷却水ポンプ（８）と、コンデンサの外部に配設された水位測定用の測定ポット（９）と、測定ポット（９）の上端部に配設された測定プローブ（１０）と、測定ポット（９）からコンデンサ（１）へと延設された均圧化通路（１１）と、コンデンサ（１）の下端に接続された冷却水のダウンパイプ（４）と、測定ポット（９）の下端からダウンパイプ（４）へと延設された、傾いた排水パイプ（１３）とを有する。ダウンパイプ（４）の下部に接続された導入パイプ（１５）に、コンデンサ（１，２）の冷却水（ＣＬ）を循環させる２つの冷却水ポンプ（８、８）が設けられており、この冷却水ポンプ（８）が戻りライン（１４）を介して冷却水（ＣＬ）を輸送する。このように輸送された冷却水（ＣＬ）は、ＣＯガス洗浄、浄化槽など（図示せず）のさらなる処理を受けたのち、ノズル（３）に送出される。 In FIG. 1 showing an embodiment of the present invention, a vacuum pump facility includes a condenser (1, 2) having a cooling water spray nozzle (3) at the top, and a steam ejector (5, 6, 6) as a steam injection vacuum pump. 7), a cooling water pump (8) for the condenser, a measuring pot (9) for measuring the water level arranged outside the condenser, and a measuring probe (10) arranged at the upper end of the measuring pot (9) ), A pressure equalizing passage (11) extending from the measurement pot (9) to the condenser (1), a cooling water down pipe (4) connected to the lower end of the condenser (1), and a measurement pot It has an inclined drain pipe (13) extending from the lower end of (9) to the down pipe (4). Two cooling water pumps (8, 8) for circulating the cooling water (CL) of the condensers (1, 2) are provided in the introduction pipe (15) connected to the lower part of the down pipe (4). A cooling water pump (8) transports the cooling water (CL) via the return line (14). Thus transported coolant (CL) is, CO gas scrubbing, after further treatment of the septic tank (not shown) such as, is sent to the nozzle (3).
各蒸気エゼクタ（５，６，７）にはそれぞれ、蒸気注入部（５ａ，６ａ，７ａ）から蒸気が注入され、蒸気噴射によるエゼクタ効果により、蒸気エゼクタ（５，６，７）内を減圧する。第１段エゼクタ（５）、第２段エゼクタ６および第３段エゼクタ（７）は、この順に直列に配置されている。第１段エゼクタ（５）は第２段エゼクタ（６）の裏側に重なって配置されており、第１段エゼクタ（５）の下流端に第２段エゼクタ（６）が接続され、第２段エゼクタの下流端に第１コンデンサ（１）が接続されている。第１コンデンサ（１）の上部に第３段エゼクタ（７）が接続され、この第３段エゼクタ（７）の下流端に、第１コンデンサ（１）よりも容積の小さい第２コンデンサ（２）が接続されている。第２コンデンサ（２）の内部空間は大気、つまり周囲環境に開放されている。 Steam is injected into each steam ejector (5, 6, 7) from the steam injection part (5a, 6a, 7a), and the inside of the steam ejector (5, 6, 7) is depressurized by the ejector effect by the steam injection. . The first stage ejector (5), the second stage ejector 6, and the third stage ejector (7) are arranged in series in this order. The first stage ejector (5) is disposed so as to overlap the back side of the second stage ejector (6), the second stage ejector (6) is connected to the downstream end of the first stage ejector (5), and the second stage ejector (5) is connected. A first capacitor (1) is connected to the downstream end of the ejector. A third stage ejector (7) is connected to the upper part of the first capacitor (1), and a second capacitor (2) having a smaller volume than the first capacitor (1) is connected to the downstream end of the third stage ejector (7). Is connected. The internal space of the second capacitor (2) is open to the atmosphere, that is, the surrounding environment.
蒸気（Ｓ）は、矢印で示すように、第１段エゼクタ（５）、第２段エゼクタ（６）、第１コンデンサ（１）、第３段エゼクタ（７）および第２コンデンサ（２）を通って流れる。両コンデンサ（１，２）の上部にはノズル（３）から冷却水（ＣＬ）がコンデンサ内に噴射され、コンデンサ内での蒸気Ｓの凝縮を促進する。第１段エゼクタ（５）に真空容器（１７）が接続されており、３段の蒸気エグゼタ（５，６，７）により、真空容器（１７）内が真空引きされる。 As shown by the arrows, the steam (S) passes through the first stage ejector (5), the second stage ejector (6), the first capacitor (1), the third stage ejector (7), and the second capacitor (2). Flowing through. Cooling water (CL) is sprayed into the condenser from the nozzle (3) on the top of both condensers (1, 2) to promote condensation of the vapor S in the condenser. A vacuum vessel (17) is connected to the first stage ejector (5), and the inside of the vacuum vessel (17) is evacuated by the three-stage steam executors (5, 6, 7).
測定プローブ（１０）は測定ポット（９）内の水位、つまり第１コンデンサ（１）内の冷却水（ＣＬ）の水位を非接触で測定する。その測定値に基づき、これを測定変数としてコントローラ（図示せず）が作動し、水位が一定の許容範囲内となるように冷却水ポンプ（８）の輸送量を連続的に調節する。これにより、コンデンサ（１）内の冷却水（ＣＬ）の水位がポンプ（８）の連続的制御により調節されるので、水位の大きな変動を防止して、安定した水位調節ができ、水位が低すぎる場合のキャビテーションまたは水位が高すぎる場合のポンプの過負荷を防止できる。 The measurement probe (10) measures the water level in the measurement pot (9), that is, the water level of the cooling water (CL) in the first capacitor (1) in a non-contact manner. Based on the measured value, a controller (not shown) is operated using this as a measurement variable, and the transport amount of the cooling water pump (8) is continuously adjusted so that the water level is within a certain allowable range. As a result, the water level of the cooling water (CL) in the condenser (1) is adjusted by continuous control of the pump (8), so that a large fluctuation of the water level is prevented, stable water level adjustment can be performed, and the water level is low. It can prevent cavitation when it is too high or overloading the pump when the water level is too high.
第１コンデンサ（１）内の水位が許容範囲の上限（警戒水位）を超えた場合、フロートスイッチからなるアラームセンサ（１２）からの水位検出信号によりアラーム遮断される。つまり、アラームセンサ（１２）からの水位検出信号を受けた前記コントローラ（図示せず）が作動して、冷却水ポンプ（８）を最大輸送量となるように駆動し、一定時間経過後に水位が下がらなければ装置全体の運転を停止する。アラームセンサ（１２）からの水位検出信号により、ただちに装置全体の運転を停止してもよい。また、コンデンサ（１）内の水位が許容範囲の下限に達した場合、または下限を下回った場合に、この下限位置に設置した別のアラームセンサにより装置全体の運転を停止してもよい。
なお、本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
〔態様１〕
蒸気噴射真空ポンプのコンデンサの冷却水を非大気圧環境で制御する方法において、
前記コンデンサ（１，２）の前記冷却水の水位を、真空引き処理に適した測定方法を用いて、前記コンデンサ（１，２）に連通する容器として当該コンデンサの外部に取り付けられた測定ポット（９）内で測定する過程と、
この測定値を、速度制御される冷却水ポンプ（８）の輸送量を調節する測定変数として使用する過程と、
を備えたコンデンサ冷却水制御方法。
〔態様２〕
態様１において、特定の警戒水位を超えると、アラーム遮断がフロートスイッチ（１２）によって行われることを特徴とする、コンデンサ冷却水制御方法。
〔態様３〕
態様１または２に記載のコンデンサ冷却水制御方法を実行する装置において、
蒸気噴射真空ポンプ（５，６，７）の、冷却水を用いたコンデンサ（１，２）に連通する容器として構成された測定ポット（９）が、当該コンデンサ（１，２）の外部に取り付けられており、
前記測定ポット（９）は均圧化通路（１１）を具備しており、
水位測定のために、前記測定ポットの上端部に、真空引き処理に適した測定プローブ（１０）が取り付けられており、前記測定手段（１０）は、速度制御される冷却水ポンプ（８）を制御する入力信号を提供することを特徴とする装置。
〔態様４〕
態様３において、レーダープローブが、水位測定用の測定プローブ（１０）として用いられることを特徴とする、コンデンサ冷却水制御方法を実行する装置。
〔態様５〕
態様３において、レーザープローブが、水位測定用の測定プローブ（１０）として用いられることを特徴とする、コンデンサ冷却水制御方法を実行する装置。
〔態様６〕
態様３、４または５において、前記均圧化通路（１１）が、前記コンデンサの内部空間に接続されており、かつ、当該コンデンサの内部空間に挿入されて下方に延びており、
これにより、侵入しようとする水飛沫の大半を防止できることを特徴とする、コンデンサ冷却水制御方法を実行する装置。
〔態様７〕
態様３、４、５または６において、許容可能な最高水位の位置に、機械式のフロートスイッチ（１２）が安全アラームセンサとして取り付けられていることを特徴とする、コンデンサ冷却水制御方法を実行する装置。
〔態様８〕
態様３、４、５、６または７において、水位を測定する測定ポット（９）の下端部と前記コンデンサのダウンパイプ（４）との間を接続する排水パイプ（１３）が取り付けられており、当該排水パイプ（１３）が、鉛直に対して最大で５０°の角度、好ましくは３０°の角度で配設されていることを特徴とする、コンデンサ冷却水制御方法を実行する装置。
When the water level in the first capacitor (1) exceeds the upper limit (warning water level) of the allowable range, the alarm is shut off by the water level detection signal from the alarm sensor (12) comprising a float switch. That is, the controller (not shown) that has received the water level detection signal from the alarm sensor (12) is activated to drive the cooling water pump (8) to the maximum transport amount, and the water level is changed after a certain period of time. If not lowered, the operation of the entire apparatus is stopped. The operation of the entire apparatus may be stopped immediately by the water level detection signal from the alarm sensor (12). Further, when the water level in the capacitor (1) reaches the lower limit of the allowable range or falls below the lower limit, the operation of the entire apparatus may be stopped by another alarm sensor installed at this lower limit position.
In addition, this invention contains the following content as an aspect.
[Aspect 1]
In the method of controlling the cooling water of the condenser of the vapor jet vacuum pump in a non-atmospheric pressure environment,
A measuring pot attached to the outside of the capacitor as a container communicating with the capacitor (1, 2) by using a measuring method suitable for evacuation processing of the cooling water level of the capacitor (1, 2). 9) the process of measuring in
Using this measurement as a measurement variable to adjust the transport rate of the speed-controlled cooling water pump (8);
A condenser cooling water control method comprising:
[Aspect 2]
In aspect 1, the condenser cooling water control method is characterized in that when a specific warning water level is exceeded, an alarm is cut off by a float switch (12).
[Aspect 3]
In the apparatus for executing the condenser coolant control method according to aspect 1 or 2,
A measurement pot (9) configured as a container communicating with the condenser (1, 2) using the cooling water of the vapor injection vacuum pump (5, 6, 7) is attached to the outside of the condenser (1, 2). And
The measuring pot (9) has a pressure equalizing passage (11),
In order to measure the water level, a measurement probe (10) suitable for evacuation is attached to the upper end of the measurement pot, and the measurement means (10) has a cooling water pump (8) whose speed is controlled. An apparatus for providing an input signal to be controlled.
[Aspect 4]
In the aspect 3, the radar probe is used as a measurement probe (10) for water level measurement.
[Aspect 5]
An apparatus for performing a condenser cooling water control method according to aspect 3, wherein the laser probe is used as a measurement probe (10) for water level measurement.
[Aspect 6]
In Aspect 3, 4 or 5, the pressure equalizing passage (11) is connected to the internal space of the capacitor, and is inserted into the internal space of the capacitor and extends downward.
Thereby, the apparatus which performs the condenser cooling water control method characterized by being able to prevent most of the water splashes which are going to invade.
[Aspect 7]
In the aspect 3, 4, 5 or 6, the condenser cooling water control method is executed, characterized in that a mechanical float switch (12) is attached as a safety alarm sensor at the maximum allowable water level. apparatus.
[Aspect 8]
In the aspect 3, 4, 5, 6 or 7, the drain pipe (13) connecting the lower end of the measurement pot (9) for measuring the water level and the down pipe (4) of the condenser is attached, Apparatus for carrying out the condenser cooling water control method, characterized in that the drain pipe (13) is arranged at an angle of up to 50 °, preferably 30 ° with respect to the vertical.
１，２ コンデンサ
５，６，７ 蒸気噴射真空ポンプ
８ 速度制御される冷却水ポンプ
９ 測定ポット
１０ 測定プローブ
１１ 均圧化通路
１２ アラームセンサ
1, 2 Capacitors 5, 6, 7 Steam injection vacuum pump 8 Cooling water pump 9 controlled in speed 9
Claims (3)
前記蒸気噴射真空ポンプ（５，６，７）の、冷却水を用いた前記コンデンサ（１，２）に連通する容器として構成された測定ポット（９）が、当該コンデンサ（１，２）の外部に取り付けられており、
さらに、速度制御されて前記冷却水の輸送量を調節する冷却水ポンプ（８）を備え、
前記測定ポット（９）は均圧化通路（１１）を具備しており、
水位測定のために、前記測定ポットの上端部に、真空引き処理に適した測定プローブ（１０）が取り付けられており、前記測定プローブ（１０）は、速度制御される前記冷却水ポンプ（８）を制御する入力信号を提供し、
レーダープローブまたはレーザープローブが、前記水位測定用の測定プローブ（１０）として用いられ、
前記均圧化通路（１１）が、前記コンデンサの内部空間に接続されており、かつ、当該コンデンサの内部空間に挿入されて下方に延びており、これにより、侵入しようとする水飛沫の大半を防止できることを特徴とする、コンデンサ冷却水制御装置。 In the device that controls the cooling water of the condenser of the steam jet vacuum pump in a negative pressure environment ,
A measuring pot (9) configured as a container communicating with the condenser (1, 2) using cooling water of the vapor jet vacuum pump (5, 6, 7) is provided outside the condenser (1, 2). Attached to the
And a cooling water pump (8) that controls the amount of cooling water transported under speed control,
The measuring pot (9) has a pressure equalizing passage (11),
For level measurement, the upper end of the measuring pots, measuring probe (10) is attached which is suitable for vacuum processing, the measuring probe (10), the cooling water pump which is speed control (8) Provide input signal to control
A radar probe or a laser probe is used as the measurement probe (10) for measuring the water level,
The pressure equalizing passage (11) is connected to the internal space of the capacitor, and is inserted into the internal space of the capacitor and extends downward. A condenser cooling water control device characterized by being able to prevent .
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