JP5671699B2 - 角速度センサ装置 - Google Patents
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Description
以下、実施の形態1における角速度センサについて、図面を参照しながら説明する。なお、上述した従来の技術と同様の構成については同じ符号を付して説明する。
以下、実施の形態2における角速度センサについて、図面を参照しながら説明する。
2 制御IC
5 駆動手段
5a モニタ手段
6 検出手段
7 圧電体層
8,9 電極
10 駆動アーム
11,32 駆動回路
12 検出回路
14 検出信号
16,45 断線検知手段
17 接続経路
18 切換手段
35 AGC回路
37 リミッター手段
46 可変抵抗器
Vref 基準電圧
VH 動作電圧
VL グランド電圧
Claims (1)
- 駆動手段とモニタ手段と検出手段とを設けたセンサ素子と、前記モニタ手段からのモニタ信号が入力され前記駆動手段に振動を励起させる駆動信号を出力するAGC回路を有する駆動回路と、前記検出手段から出力された検出信号から角速度信号を形成する検出回路と、前記駆動回路と検出回路とを有する制御ICと、前記センサ素子に基準電圧を印加する基準電圧回路とを備えた角速度センサ装置であって、前記駆動手段、前記モニタ手段および前記検出手段はそれぞれ圧電体層を一対の電極で挟み込んだ積層体により構成され、前記駆動手段の電極の少なくとも一方の電極を前記駆動回路に接続し、前記モニタ手段の電極の一方を前記駆動回路に接続し、前記検出手段の電極の一方を前記検出回路に接続し、前記モニタ手段および前記検出手段の他方の電極を前記基準電圧回路に接続した構成において、前記モニタ手段および前記検出手段の他方の電極に前記制御ICの動作電圧、グランド電圧または基準電圧のいずれかを切り換え接続することにより印加できる断線検知手段を設け、さらに、前記駆動回路に、駆動手段における一方の電極に印加する駆動信号の電圧を制限するリミッター手段を設けたことを特徴とする角速度センサ装置。
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