JP5670717B2 - オゾンガス供給装置 - Google Patents
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Description
また、このオゾン計測装置を組み込み、オゾン濃度が保証されたオゾンガスを供給するためのオゾンガス貯留槽に関するものである。
2 オゾンガス濃度計制御・算出部
3 遮光器
4 光透過窓
5 オゾンガス入口
6 温度センサー
7 圧力センサー
8 光透過窓
9 遮光器
10 駆動電流
11 可視光光源
12 フィルター
13 遮光容器
14 オゾンガス濃度計測用光学系
15 可視光光路
16 オゾンガス
17 オゾンガス出口
18 受光素子
21 オゾンガス
22 酸素ガス
23 入口切換バルブ
24 出口切換バルブ
25 オゾン処理槽へ
26 排気
31 オゾンガス入口
32 オゾンガス流入制御バルブ
33 マスフローコントローラ
34 オゾンガス出口
35 オゾンガス貯留槽容器
36 オゾンガス貯留槽
41 圧力リリーフバルブ
42 オゾンガス流出通路
Claims (4)
- 高濃度オゾンガス発生装置と高濃度オゾンを使用するオゾン処理槽との間に設けられたオゾン濃度200g/Nm 3 以上のオゾンガスを貯留するオゾンガス貯留槽の一部、またはその流路に、光路長数〜数十cmを有する可視光の光路を形成するように1対の窓を設け、一方の光透過窓の外部から550〜630nmの波長を含む可視光光源から他方の光透過窓に向け可視光を照射し、他方の光透過窓の外部に該可視光光源に受光面を向けて該可視光光源からの光のみを受光するように取り付けた受光素子によってオゾンガスによる可視光の吸光度を計測することでオゾン濃度を求めるオゾン濃度計を設置したことを特徴とするオゾンガス供給装置。
- オゾンガス貯留槽のオゾンガスの圧力が真空(数百Pa)から0.2Mpaであることを特徴とする請求項1に記載のオゾンガス供給装置。
- オゾンガス貯留槽のオゾンガスの濃度や圧力によって照射する550〜630nmの波長を含む可視光の発光強度が変動することを特徴とする請求項1から2に記載のオゾンガス供給装置。
- 照射する550〜630nmの波長を含む可視光の発光強度が周期的に変動したり、パルス状に点滅することを特徴とする請求項1から3に記載のオゾンガス供給装置。
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