JP5662435B2 - 損傷を与えない高効率な粒子除去洗浄 - Google Patents
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Description
PRE=(洗浄前の総数−洗浄後の総数)/洗浄前の総数・・・(1)
適用例1:半導体基板表面から汚染物質を除去するための洗浄剤であって、独特な粘弾性を示し、ポリマー化合物と、脱イオン水と、長いポリマー鎖を有する1または複数の添加剤と、の単相混合物である洗浄液と、前記洗浄剤を生成するために前記洗浄液に分散され、マイクロメートル単位の大きさである複数の乾燥ポリビニルアルコール(PVA)粒子と、を備え、前記乾燥ビニルアルコール粒子は、前記洗浄液の液体を吸収し、前記洗浄剤中に均一に懸濁され、前記洗浄剤に均一に懸濁されている前記乾燥ビニルアルコール粒子は、少なくとも一部の汚染物質と相互作用して前記基板表面から前記汚染物質を遊離し、遊離された前記汚染物質は、前記洗浄剤中に取り込まれる、洗浄剤。
適用例2:前記乾燥PVA粒子は、複数の細孔を含み、前記細孔の大きさは、前記乾燥PVA粒子の化学組成に基づいて異なる、適用例1に記載の洗浄剤。
適用例3:前記基板表面から遊離された前記汚染物質は、前記洗浄剤中に懸濁されている前記PVA粒子の前記複数の細孔内に取り込まれる、適用例1に記載の洗浄剤。
適用例4:前記基板表面から遊離された前記汚染物質は、前記洗浄剤の前記長いポリマー鎖中に取り込まれる、適用例1に記載の洗浄剤。
適用例5:前記乾燥PVA粒子は、ばね定数によって定義され、前記ばね定数は、前記洗浄剤を適用する際に変形したり、形を取り戻したりするための柔軟性を前記乾燥PVA粒子に与える、適用例1に記載の洗浄剤。
適用例6:前記洗浄液における前記PVA粒子の懸濁は、前記乾燥PVA粒子によって洗浄液の水分を吸収し、前記PVA粒子は膨張して前記洗浄液の前記長いポリマー鎖中に取り込まれ、取り込まれた前記PVA粒子は、前記汚染物質と相互作用する際に柔軟性のあるマイクロブラシとして作用し、これにより、前記基板表面に形成されたフィーチャーへの損傷が防止される、適用例1に記載の洗浄剤。
適用例7:前記PVA粒子は前記洗浄剤と共に、前記基板表面に適用された前記洗浄剤に加えられる力によって、前記基板に形成されている半導体素子の周囲で変形し、前記PVA粒子は、相互作用時にせん断力をさらに加え、前記フィーチャーに機械的損傷をもたらすことなく前記基板表面から前記汚染物質を除去する、適用例1に記載の洗浄剤。
適用例8:前記乾燥PVA粒子は、複数の細孔を含み、前記洗浄剤に懸濁されている前記乾燥PVA粒子の大きさは、対応する前記細孔より大きくなるように前記細孔の大きさによって定義され、これにより前記PVA粒子の構造的完全性および機能性を維持する、適用例1に記載の洗浄剤。
適用例9:前記乾燥PVA粒子の大きさは、約20〜約200マイクロメートルである、適用例8に記載の洗浄剤。
適用例10:前記洗浄剤は、約1〜約5重量%の乾燥PVA粒子から成る、適用例1に記載の洗浄剤。
適用例11:前記洗浄剤は、約0.1〜約20重量%の乾燥PVA粒子から成る、適用例1に記載の洗浄剤。
適用例12:前記洗浄液は、脱イオン水、ポリマー化合物、pH調整剤および他の添加剤から成る群から選択される、適用例1に記載の洗浄剤。
適用例13:前記乾燥PVA粒子の大きさは、約45〜150マイクロメートルから約1000〜1180マイクロメートルに及ぶ、適用例1に記載の洗浄剤。
適用例14:半導体基板表面から汚染物質を除去するための装置であって、前記基板を受け取り、保持し、平面に沿って移動させる基板支持機構と、前記半導体基板表面に洗浄剤を適用するための洗浄剤ディスペンサと、を備え、前記洗浄剤は、独特な粘弾性を示し、長いポリマー鎖の単相ポリマー化合物である洗浄液と、前記洗浄剤を生成するために前記洗浄液に分散され、マイクロメートル単位の大きさである複数の乾燥ポリビニルアルコール(PVA)粒子と、を含み、前記乾燥ビニルアルコール粒子は、前記洗浄液の液体を吸収して前記洗浄剤中に均一に懸濁されるようになり、均一に懸濁された前記乾燥ビニルアルコール粒子は、少なくとも一部の汚染物質と相互作用し、前記基板表面から前記汚染物質を遊離し、遊離された前記汚染物質は、前記洗浄剤中に取り込まれる、装置。
適用例15:前記洗浄剤ディスペンサは、前記洗浄剤を供給するために供給孔を有する近接ヘッドであり、前記供給ヘッドの前記供給孔の大きさは、前記基板表面に前記洗浄剤を適用することができるよう、PVA粒子の大きさより大きい、適用例14に記載の装置。
適用例16:前記供給孔の大きさは、約0.875〜約10mmである、適用例15に記載の装置。
適用例17:前記半導体基板は、前記近接ヘッドの下方に移動し、前記半導体基板の移動は、前記洗浄剤と前記基板表面との間にせん断力をもたらし、前記洗浄剤中のPVA粒子は、前記基板表面から前記汚染物質を遊離させるために、更なるせん断力を提供する、適用例15に記載の装置。
適用例18:前記洗浄剤ディスペンサは噴出口である、適用例14に記載の装置。
Claims (18)
- 半導体基板表面から汚染物質を除去するための洗浄剤であって、
独特な粘弾性を示し、ポリマー化合物と、脱イオン水と、長いポリマー鎖を有する1または複数の添加剤と、の単相混合物である洗浄液と、
前記洗浄剤を生成するために前記洗浄液に分散され、マイクロメートル単位の大きさである複数の乾燥ポリビニルアルコール(PVA)粒子と、を備え、
前記乾燥ポリビニルアルコール粒子は、前記洗浄液の液体を吸収し、前記洗浄剤中に均一に懸濁され、前記洗浄剤に均一に懸濁されている前記乾燥ポリビニルアルコール粒子は、少なくとも一部の汚染物質と相互作用して前記基板表面から前記汚染物質を遊離し、遊離された前記汚染物質は、前記洗浄剤中に取り込まれる、洗浄剤。 - 前記乾燥PVA粒子は、複数の細孔を含み、前記細孔の大きさは、前記乾燥PVA粒子の化学組成に基づいて異なる、請求項1に記載の洗浄剤。
- 前記基板表面から遊離された前記汚染物質は、前記洗浄剤中に懸濁されている前記PVA粒子の前記複数の細孔内に取り込まれる、請求項2に記載の洗浄剤。
- 前記基板表面から遊離された前記汚染物質は、前記洗浄剤の前記長いポリマー鎖中に取り込まれる、請求項1に記載の洗浄剤。
- 前記乾燥PVA粒子は、ばね定数によって定義され、前記ばね定数は、前記洗浄剤を適用する際に変形したり、形を取り戻したりするための柔軟性を前記乾燥PVA粒子に与える、請求項1に記載の洗浄剤。
- 前記洗浄液における前記PVA粒子の懸濁は、前記乾燥PVA粒子によって洗浄液の水分を吸収し、前記PVA粒子は膨張して前記洗浄液の前記長いポリマー鎖中に取り込まれ、取り込まれた前記PVA粒子は、前記汚染物質と相互作用する際に柔軟性のあるマイクロブラシとして作用し、これにより、前記基板表面に形成されたフィーチャーへの損傷が防止される、請求項1に記載の洗浄剤。
- 前記PVA粒子は前記洗浄剤と共に、前記基板表面に適用された前記洗浄剤に加えられる力によって、前記基板に形成されている半導体素子の周囲で変形し、前記PVA粒子は、相互作用時にせん断力をさらに加え、前記フィーチャーに機械的損傷をもたらすことなく前記基板表面から前記汚染物質を除去する、請求項1に記載の洗浄剤。
- 前記乾燥PVA粒子は、複数の細孔を含み、前記洗浄剤に懸濁されている前記乾燥PVA粒子の大きさは、対応する前記細孔より大きくなるように前記細孔の大きさによって定義され、これにより前記PVA粒子の構造的完全性および機能性を維持する、請求項1に記載の洗浄剤。
- 前記乾燥PVA粒子の大きさは、約20〜約200マイクロメートルである、請求項8に記載の洗浄剤。
- 前記洗浄剤は、約1〜約5重量%の乾燥PVA粒子から成る、請求項1に記載の洗浄剤。
- 前記洗浄剤は、約0.1〜約20重量%の乾燥PVA粒子から成る、請求項1に記載の洗浄剤。
- 前記洗浄液は、脱イオン水、ポリマー化合物、pH調整剤および他の添加剤から成る群から選択される、請求項1に記載の洗浄剤。
- 前記乾燥PVA粒子の大きさは、約45〜150マイクロメートルから約1000〜1180マイクロメートルに及ぶ、請求項1に記載の洗浄剤。
- 半導体基板表面から汚染物質を除去するための装置であって、
前記基板を受け取り、保持し、平面に沿って移動させる基板支持機構と、
前記半導体基板表面に洗浄剤を適用するための洗浄剤ディスペンサと、を備え、
前記洗浄剤は、
独特な粘弾性を示し、長いポリマー鎖の単相ポリマー化合物である洗浄液と、
前記洗浄剤を生成するために前記洗浄液に分散され、マイクロメートル単位の大きさである複数の乾燥ポリビニルアルコール(PVA)粒子と、を含み、
前記乾燥ポリビニルアルコール粒子は、前記洗浄液の液体を吸収して前記洗浄剤中に均一に懸濁されるようになり、均一に懸濁された前記乾燥ポリビニルアルコール粒子は、少なくとも一部の汚染物質と相互作用し、前記基板表面から前記汚染物質を遊離し、遊離された前記汚染物質は、前記洗浄剤中に取り込まれる、装置。 - 前記洗浄剤ディスペンサは、前記洗浄剤を供給するために供給孔を有する近接ヘッドであり、前記近接ヘッドの前記供給孔の大きさは、前記基板表面に前記洗浄剤を適用することができるよう、PVA粒子の大きさより大きい、請求項14に記載の装置。
- 前記供給孔の大きさは、約0.875〜約10mmである、請求項15に記載の装置。
- 前記半導体基板は、前記近接ヘッドの下方に移動し、前記半導体基板の移動は、前記洗浄剤と前記基板表面との間にせん断力をもたらし、前記洗浄剤中のPVA粒子は、前記基板表面から前記汚染物質を遊離させるために、更なるせん断力を提供する、請求項15に記載の装置。
- 前記洗浄剤ディスペンサは噴出口である、請求項14に記載の装置。
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