JP5653324B2 - スプリングプローブ、スプリングプローブの摩耗検出装置及びスプリングプローブの摩耗検出方法 - Google Patents
スプリングプローブ、スプリングプローブの摩耗検出装置及びスプリングプローブの摩耗検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5653324B2 JP5653324B2 JP2011187432A JP2011187432A JP5653324B2 JP 5653324 B2 JP5653324 B2 JP 5653324B2 JP 2011187432 A JP2011187432 A JP 2011187432A JP 2011187432 A JP2011187432 A JP 2011187432A JP 5653324 B2 JP5653324 B2 JP 5653324B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spring
- barrel
- plunger
- spring probe
- electrical connection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
図1は、この発明を実施するための実施の形態1における外ばね式のスプリングプローブの摩耗検出装置の構成ブロック図を示すものである。
また、図2は、図1のスプリングプローブの摩耗検出装置におけるスプリングプローブのみを分解して示した断面図である。以下、これらの図に基づき説明する。
図1、図2において、スプリングプローブ26は被検査体25と直接接触して検査を行うものであり、導電体であるコンタクトヘッド10を先端部に有し、例えばベリリウム銅で構成される導電性のプランジャ11と、このプランジャ11が摺動可能に挿入され、プランジャ11に有するプランジャ側摺動接点14と接触して摺動するバレル側摺動接点23を有する、例えばベリリウム銅でなる導電性の筒状のバレル13と、プランジャ11と電気的に接続され、バレル13とは電気的に絶縁されており、導電性、例えばピアノ線(炭素鋼)からなるスプリング12と、このスプリング12とバレル13の間に位置しており、スプリング12とバレル13を電気的に絶縁する絶縁物からなる絶縁体15、スプリング12と電気的に接続され導電性、例えばベリリウム銅であるスプリング端子(スプリング側電気的接続部)16から構成されている。図3はスプリング端子16及び絶縁体15を図の上方向から見た断面図(図2のA―A断面)であり、図5は、バレル13を図の上方向から見た断面図(図2のB―B断面)である。また、27はバレル13に設けられ、スプリング端子16とは電気的に絶縁されているバレル端子(バレル側電気的接続部)である。また、図4における28はスプリング端子16及び絶縁体15の中心部をプランジャ11が貫通するための貫通孔、29はスプリング端子16及び絶縁体15に設けられた貫通孔28から外側に向かう切り欠きである。
上記実施の形態1では外ばね式のスプリングプローブの摺動接点の摩耗検出装置について説明したが、次に、内ばね式のスプリングプローブの摺動接点の摩耗検出装置の場合の実施の形態を説明する。図8は、内ばね式のスプリングプローブの摺動接点の摩耗検出装置の実施の形態を示す構成ブロック図である。また、図9は、図8のスプリングプローブの摩耗検査装置におけるスプリングプローブのみを示した断面図である。図8において、相当部分には図1、図2と同一符号を付してその説明を省略する。
次に、この発明の実施の形態3について説明する。図11はこの発明の実施の形態3におけるスプリングプローブの摩耗検出方法の手順を示すフローチャートであり、スプリングプローブ26を用いて被検査体25の検査を行うと同時に、スプリングプローブ26の摺動接点抵抗の摩耗を検出する方法を示している。図1、図8に示す実施の形態1、実施の形態2を参照して説明する。
11 プランジャ
12 スプリング
13 バレル
14 プランジャ側摺動接点
15 絶縁体
16 スプリング端子
18 ソケット
19 ソケットバレル端子
20 ソケット絶縁体
21 ソケットスプリング端子
23 バレル側摺動接点
25 被検査体
26 スプリングプローブ
27 バレル端子
28 貫通孔
29 切り欠き
31 バレル支持基板
32 バレル挿入用スルーホール
33 スプリング電圧測定パターン
34 ランプ制御信号パターン
35 ランプ制御信号GNDパターン
41 ナット
42 ランプ
43 ランプ制御信号配線
44 ランプ制御信号GND配線
45 ランプ付きキャップ
51 制御計算機
52 信号発生器
53 電流測定器
54 電圧測定器
55 ディジタル信号出力器
56 負荷抵抗器
Claims (13)
- 検査時に被検査体に接触する端部を有する導電性のプランジャ、
前記プランジャが摺動可能に挿入された導電性のバレル、
一端側が前記プランジャに接続され且つ検査時に前記プランジャを被検査体の方向に付勢するスプリング、
前記バレルに設けられ測定機器に接続可能なバレル側電気的接続部、
前記スプリングの他端側に設けられ測定機器に接続可能なスプリング側電気的接続部、
および前記バレルと前記スプリング側電気的接続部との間を電気絶縁する絶縁体
を備えたスプリングプローブ。 - スプリングの一端は前記プランジャの反コンタクトヘッド側に接続され、前記絶縁体は前記スプリングを覆うように前記バレルの一端に配置され、前記スプリング側電気的接続部は前記絶縁体を貫通して設けられていることを特徴とする請求項1に記載のスプリングプローブ。
- スプリングは前記スプリング側電気的接続部と前記プランジャのコンタクトヘッドの間に位置しており、前記プランジャが貫通するよう配置され、前記スプリング側電気的接続部は前記絶縁体と前記スプリングの間に位置し、前記絶縁体は前記バレルと前記スプリング側電気的接続部の間に位置していることを特徴とする請求項1に記載のスプリングプローブ。
- 絶縁体及び前記バレルが挿入されるソケットを更に備え、前記ソケットは前記バレルと電気的に接続されるソケットバレル端子と、前記スプリング側電気的接続部と電気的に接続されるソケットスプリング側電気的接続部と、前記ソケットバレル端子と前記ソケットスプリング側電気的接続部を電気的に絶縁させるソケット絶縁体とを備えたことを特徴とする請求項2に記載のスプリングプローブ。
- スプリング側電気的接続部及び前記絶縁体は、前記プランジャが貫通する貫通孔が形成された円盤形状であることを特徴とする請求項3に記載のスプリングプローブ。
- スプリング側電気的接続部は、貫通孔に対して切り欠き部が形成されていることを特徴とする請求項5に記載のスプリングプローブ。
- 検査時に被検査体に当接するプランジャが摺動可能に挿入されたバレルと、前記バレルに設けられたバレル側電気的接続部と、一端側が前記プランジャに接続され、検査時に前記プランジャを被検査体の方向に付勢するスプリングと、前記スプリングの他端側に設けられたスプリング側電気的接続部と、前記スプリングと前記バレルとの間を電気的に絶縁する絶縁体とを備えたスプリングプローブの、前記バレルと前記プランジャとの摺動接点の摩耗を検出する装置であって、前記バレル側電気的接続部に接続され、前記摺動接点に流れる電流を測定する電流測定器、前記バレル側電気的接続部と前記スプリング側電気的接続部に接続され、前記摺動接点の電圧降下を測定する電圧測定器、および前記電流測定器及び前記電圧測定器からの信号に基づき検出された前記摺動接点の接触抵抗値と前記摺動接点の基準抵抗値とを比較し、その比較差が設定した値に達すれば摩耗検出信号を出力する制御計算機を備えたスプリングプローブの摩耗検出装置。
- 前記スプリングプローブが、請求項2乃至6のいずれか1項に記載のスプリングプローブであることを特徴とする請求項7に記載のスプリングプローブの摩耗検出装置。
- スプリングプローブのバレルがスルーホールに挿入されて実装される基板と、前記スプリングプローブを前記基板に固定するナットを更に備え、前記基板には、前記スプリング側電気的接続部と前記電圧測定器とを電気的に接続するスプリング用配線接続部と、前記バレル側電気的接続部と前記電流測定器とを電気的に接続するバレル用配線接続部が設けられていることを特徴とする請求項7または8のいずれかに記載のスプリングプローブの摩耗検出装置。
- 表示器が内蔵され、前記ナットを覆うように前記基板に固定されたキャップと、前記制御計算機からの制御により前記表示器を点灯するための信号を発信する信号出力器を更に備え、前記基板には、前記表示器と前記信号出力器とを電気的に接続する表示用配線接続部が設けられていることを特徴とする請求項9に記載のスプリングプローブの摩耗検出装置。
- 表示器はLEDであることを特徴とする請求項10に記載のスプリングプローブの摩耗検出装置。
- 検査時に被検査体に当接するプランジャが摺動可能に挿入されたバレルと、前記バレルに設けられたバレル側電気的接続部と、一端側が前記プランジャに接続され、検査時に前記プランジャを被検査体の方向に付勢するスプリングと、前記スプリングの他端側に設けられたスプリング側電気的接続部と、前記スプリングと前記バレルとの間を電気的に絶縁する絶縁体とを備えたスプリングプローブの、前記バレルと前記プランジャとの摺動接点の摩耗を検出する方法であって、
前記プランジャと前記バレルとの摺動接点を流れる電流を測定し、
前記プランジャと前記バレルの摺動接点の電圧降下を測定し、
前記両測定の結果から前記摺動接点の接触抵抗値を算出し、
前記摺動接点の基準抵抗値と算出された前記接触抵抗値とを比較して前記摺動接点の摩耗を検出することを特徴とするスプリングプローブの摩耗検出方法。 - 検出された前記プランジャと前記バレルの摺動接点の摩耗が所定値になれば、表示器を表示させることを特徴とする請求項12に記載のスプリングプローブの摩耗検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011187432A JP5653324B2 (ja) | 2011-08-19 | 2011-08-30 | スプリングプローブ、スプリングプローブの摩耗検出装置及びスプリングプローブの摩耗検出方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011179683 | 2011-08-19 | ||
JP2011179683 | 2011-08-19 | ||
JP2011187432A JP5653324B2 (ja) | 2011-08-19 | 2011-08-30 | スプリングプローブ、スプリングプローブの摩耗検出装置及びスプリングプローブの摩耗検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013061150A JP2013061150A (ja) | 2013-04-04 |
JP5653324B2 true JP5653324B2 (ja) | 2015-01-14 |
Family
ID=48185952
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011187432A Expired - Fee Related JP5653324B2 (ja) | 2011-08-19 | 2011-08-30 | スプリングプローブ、スプリングプローブの摩耗検出装置及びスプリングプローブの摩耗検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5653324B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102328101B1 (ko) * | 2015-07-07 | 2021-11-17 | 삼성전자주식회사 | 프로브 카드, 프로브 카드용 단열 커버 어셈블리, 및 이를 갖는 반도체 디바이스의 검사 장치 |
CN109103641B (zh) * | 2018-07-09 | 2024-05-10 | 浙江杭可科技股份有限公司 | 多针组探针装置 |
CN110208728B (zh) * | 2019-06-21 | 2024-02-09 | 国网福建省电力有限公司 | 流水线检定通用接表座及其使用方法 |
CN112129760B (zh) * | 2020-07-20 | 2024-07-19 | 森赫电梯股份有限公司 | 自动扶梯驱动轮磨损检测装置及诊断方法 |
TWI807490B (zh) * | 2021-11-18 | 2023-07-01 | 洛克半導體材料股份有限公司 | 偵測探針磨耗率的裝置與方法 |
CN114608653B (zh) * | 2022-03-09 | 2022-09-20 | 丹东富田精工机械有限公司 | 一种用于弹簧探针的性能自动检测装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3237303B2 (ja) * | 1993-05-21 | 2001-12-10 | 松下電器産業株式会社 | 基板検査機及び基板検査方法 |
JP2007316023A (ja) * | 2006-05-29 | 2007-12-06 | Morihiro Shimano | コンタクトプローブ |
JP2008151551A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体デバイス検査用の接触治具、および検査治具装置、および半導体デバイス検査方法 |
JP2009204491A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Fujitsu Ltd | プローブピン摩耗の監視方法 |
-
2011
- 2011-08-30 JP JP2011187432A patent/JP5653324B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013061150A (ja) | 2013-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5653324B2 (ja) | スプリングプローブ、スプリングプローブの摩耗検出装置及びスプリングプローブの摩耗検出方法 | |
US20080245145A1 (en) | Flow detector device with self check | |
KR102216324B1 (ko) | 접촉자의 유지 보수 방법 및 검사 장치 | |
CN104820180A (zh) | 具有印刷基板的劣化检测功能的电子装置 | |
CN107957529B (zh) | 用于测试高压电容式套管组合件的电流连接的方法和装置 | |
KR20170020223A (ko) | 탐침 | |
US7023217B1 (en) | Method and apparatus for determining wear of resistive and conductive elements | |
KR101866427B1 (ko) | 반도체 소자용 테스트 소켓의 검사장치 | |
US8854068B2 (en) | Diagnostic method for oil-filled electrical device, diagnostic device for implementing the diagnostic method, and oil-filled electrical device provided with the diagnostic device | |
JP4200182B2 (ja) | 回路基板検査装置 | |
JP6219073B2 (ja) | 絶縁検査装置 | |
JP6618826B2 (ja) | 回路基板検査装置 | |
EP3037828A1 (en) | Fault detection for a flexible probe tip | |
JP2014071091A (ja) | プローブユニットおよび検査装置 | |
JP6719423B2 (ja) | チャックステージ検査装置およびチャックステージ検査方法 | |
JP2013024569A (ja) | 試験方法、試験装置および試験ボード | |
JP2011033549A (ja) | プローブカードの検査方法、半導体装置の検査方法及びプローブカード | |
JP2009229327A (ja) | 回路素子測定装置 | |
KR20110053658A (ko) | 기판의 회로패턴 결함 검사장치 및 검사방법 | |
JP5347737B2 (ja) | 回転子検査装置 | |
JP2001228191A (ja) | Lsiはんだ接続構造及びそれに用いるlsiはんだ付け部接続異常検出方法 | |
JP6723190B2 (ja) | 検査装置 | |
JP4876026B2 (ja) | 基板検査装置 | |
KR102719929B1 (ko) | 연성인쇄회로기판 검사장치 | |
KR20210112071A (ko) | 전기 슬립링 특성 검사용 장비 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130930 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140325 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20140326 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140408 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20140425 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140521 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141021 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141118 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5653324 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |