JP5636272B2 - Electronic component mounting equipment - Google Patents

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Description

この発明は、電子部品を基板に連続的に実装するロータリー式のノズルヘッドを備えた電子部品実装装置に関する。   The present invention relates to an electronic component mounting apparatus including a rotary nozzle head for continuously mounting electronic components on a substrate.

従来から、ロータリー式のノズルヘッドを備えた電子部品実装装置は、経時的使用によって、あるいは部品に応じて行われるノズルヘッド交換の際に、装置基準に対してノズルヘッドの位置がズレる場合がある。このように装置基準に対してノズルヘッドの位置がズレると実装基板の製品品質が低下するため、このズレを校正して基準位置に対するノズルヘッドの位置を正確に合わせなければならない。   2. Description of the Related Art Conventionally, an electronic component mounting apparatus equipped with a rotary type nozzle head may cause the position of the nozzle head to deviate from the apparatus reference when used over time or when the nozzle head is replaced depending on the component. . If the position of the nozzle head deviates from the apparatus reference in this way, the product quality of the mounting substrate deteriorates. Therefore, it is necessary to calibrate this misalignment and accurately align the nozzle head with respect to the reference position.

とりわけ、小型部品のように実装頻度が高く生産性が求められる「高速タイプ」のノズルヘッドや、ＩＣ部品のように高い実装精度が求められる「高精度タイプ」や「汎用タイプ」のノズルヘッドを共通のプラットホームで交換しながら使用する場合に、ノズルヘッドを交換する際に生ずる位置ズレに加えて、高速で稼動するノズルヘッドの熱による構成部品の変形の影響も加わるため、電子部品実装装置を様々な方法で校正する技術が提案されている（特許文献１、特許文献２参照）。   In particular, "High-speed type" nozzle heads that require high productivity such as small parts and high productivity, and "High-precision type" and "General-purpose type" nozzle heads that require high mounting accuracy such as IC parts. When using while exchanging on a common platform, in addition to the positional deviation that occurs when replacing the nozzle head, the influence of the deformation of the component parts due to the heat of the nozzle head that operates at high speed also adds, so the electronic component mounting device Techniques for calibrating by various methods have been proposed (see Patent Document 1 and Patent Document 2).

図８はロータリー式のノズルヘッドを備えたノズルユニットの正断面図、図９は図８を下方から見た図である。図８、図９において、ノズルユニット１２は図示しない移送装置に交換可能に取り付けられるジョイントプレート２９を備えている。ジョイントプレート２９にはアーム部３０を介して鉛直下方にシャフト３１が取り付けられている。このシャフト３１にベアリング３４を介してノズルヘッド２０が回転可能に取り付けられている。ノズルヘッド２０は円環状のノズルケーシング３５と、複数（８個）のノズル１８とで構成され、ノズル１８は図示しない駆動部を介して各々が回転可能かつ昇降可能に支持されている。各ノズル１８は、ノズル先端部に順次部品を吸着して、実装すべき基板に部品を装着する。ノズルケーシング３５には駆動ギヤ４１がシャフト３１を中心にして固定され、この駆動ギヤ４１に噛合するピニオン４２をモーター４０で駆動してノズルヘッド２０をシャフト３１を中心に回転させる。   FIG. 8 is a front sectional view of a nozzle unit having a rotary nozzle head, and FIG. 9 is a view of FIG. 8 as viewed from below. 8 and 9, the nozzle unit 12 includes a joint plate 29 that is replaceably attached to a transfer device (not shown). A shaft 31 is attached to the joint plate 29 vertically below via an arm portion 30. The nozzle head 20 is rotatably attached to the shaft 31 via a bearing 34. The nozzle head 20 includes an annular nozzle casing 35 and a plurality of (eight) nozzles 18, and each nozzle 18 is supported via a drive unit (not shown) so as to be rotatable and movable up and down. Each nozzle 18 sequentially adsorbs components to the nozzle tip and mounts the components on the substrate to be mounted. A drive gear 41 is fixed to the nozzle casing 35 around the shaft 31, and a pinion 42 meshing with the drive gear 41 is driven by a motor 40 to rotate the nozzle head 20 around the shaft 31.

ここで、このノズルユニット１２を使用した後に、異なるノズルユニット１２に交換した場合に、新しいノズルユニット１２の位置が、それまで装着していたノズルユニット１２の位置に対してズレを生ずることがある。そのため、ジョイントプレート２９にノズル１８の先端まで延びるマーカー部材３８を設け、マーカー部材３８の下面に、基準となる２つのマーカーＭ，Ｍを付している。このマーカーＭ，Ｍを下方から図示しないカメラで撮影して、撮影された２つのマーカーＭ，Ｍ間の距離Ｌから光学倍率を算出すると共に、撮影されたマーカーＭ，Ｍの位置を基準にして、ノズル１８に保持された部品の相対位置を計測することにより、交換後のノズルヘッド２０とそれまで取り付けられていたノズルヘッド２０とのズレを把握して、最終的にノズル１８に保持された部品の位置を校正している。   Here, when the nozzle unit 12 is used and then replaced with a different nozzle unit 12, the position of the new nozzle unit 12 may deviate from the position of the nozzle unit 12 mounted so far. . Therefore, a marker member 38 extending to the tip of the nozzle 18 is provided on the joint plate 29, and two markers M, M serving as a reference are attached to the lower surface of the marker member 38. The markers M and M are photographed from below with a camera (not shown), the optical magnification is calculated from the distance L between the two markers M and M photographed, and the positions of the photographed markers M and M are used as a reference. By measuring the relative positions of the components held by the nozzle 18, the displacement between the replaced nozzle head 20 and the nozzle head 20 attached so far is grasped and finally held by the nozzle 18. The position of the part is calibrated.

また、図１０、図１１に示す従来技術のように、図８、図９に示したノズルヘッド２０のシャフト３１の下端部にノズル１８と同じ長さのマーカー部材３８０を設けたものもある。この従来技術ではマーカー部材３８０の下面であって、熱による影響が少ないノズルヘッド２０の回転中心に基準マーカーＭを設け、この基準マーカーＭを下方から図示しないカメラで撮影して基準位置とし、ノズル１８に保持された部品の相対位置を計測することにより、交換後のノズルユニット１２とそれまで取り付けられていたノズルユニット１２とのズレを把握して、最終的にノズル１８に保持された部品の位置を校正している。   In addition, as in the prior art shown in FIGS. 10 and 11, there is a case where a marker member 380 having the same length as the nozzle 18 is provided at the lower end portion of the shaft 31 of the nozzle head 20 shown in FIGS. 8 and 9. In this prior art, a reference marker M is provided on the lower surface of the marker member 380 at the center of rotation of the nozzle head 20 that is less affected by heat, and the reference marker M is photographed from below with a camera (not shown) to be a reference position. By measuring the relative positions of the parts held by the nozzle 18, the displacement between the nozzle unit 12 after replacement and the nozzle unit 12 attached so far is grasped, and finally the parts held by the nozzle 18 The position is calibrated.

特開２０１０−１９９６３０号公報JP 2010-199630 A 特開平０８−３２７３２５号公報JP 08-327325 A

しかしながら、図８、図９に示す従来の電子部品実装装置にあっては、２つのマーカーＭ，Ｍにより撮影するカメラの光学倍率を算出できることができるが、ノズルヘッド２０の回転中心を計測するために、複数のノズル１８を取り付けるノズルヘッド２０のノズル１８の挿通孔３６の一つにジグノズルＧを取り付ける必要があり、また、熱変形による誤差を補正するために経時変化によるソフトウエア処理が必要となる。
また、図１０、図１１に示す従来の電子部品実装装置にあっては、上述したようにヘッドの回転中心にマーカーＭを設けているため、マーカーＭが熱変形による影響を受けにくいメリットがあるが、ノズルヘッド２０の回転中心を計測するため、及び、カメラの光学倍率を算出するためにジグノズルＧを設ける必要がある。 However, in the conventional electronic component mounting apparatus shown in FIGS. 8 and 9, the optical magnification of the camera to be photographed can be calculated with the two markers M and M, but the rotational center of the nozzle head 20 is measured. In addition, it is necessary to attach the jig nozzle G to one of the insertion holes 36 of the nozzles 18 of the nozzle head 20 to which the plurality of nozzles 18 are attached, and software processing due to changes over time is required to correct errors due to thermal deformation. Become.
Further, in the conventional electronic component mounting apparatus shown in FIGS. 10 and 11, since the marker M is provided at the center of rotation of the head as described above, there is an advantage that the marker M is not easily affected by thermal deformation. However, it is necessary to provide the jig nozzle G in order to measure the rotation center of the nozzle head 20 and to calculate the optical magnification of the camera.

そこで、この発明は、ノズルヘッドの回転中心を容易に算出できると共に、カメラの光学倍率も算出できる電子部品実装装置を提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an electronic component mounting apparatus that can easily calculate the rotation center of a nozzle head and can also calculate the optical magnification of a camera.

上記目的を達成するために、請求項１に記載した発明は、電子部品が実装される基板（例えば、実施形態における基板１６）の基板搬送装置（例えば、実施形態における基板搬送装置１４）と、この基板搬送装置の基板上に移送装置（例えば、実施形態におけるＸテーブル７、Ｙテーブル３）を介して位置決め可能に設けられたジョイントブロック（例えば、実施形態におけるジョイントブロック１１）と、このジョイントブロックに交換可能に取り付けられるノズルユニット（例えば、実施形態におけるノズルユニット１２）とを備え、このノズルユニットが円周上に配置された複数のノズル（例えば、実施形態におけるノズル１８）を有するロータリー式のノズルヘッド（例えば、実施形態におけるノズルヘッド２０）と、このノズルヘッドを回転駆動する駆動装置（例えば、実施形態における駆動装置３３）と、前記ノズルヘッドを軸（例えば、実施形態におけるＲ軸）方向から撮影するカメラ（例えば、実施形態におけるカメラ２１）と、前記基板搬送装置と前記移送装置と前記駆動装置と前記カメラとを制御すると共に前記カメラによって撮影された画像情報に基づいて、前記ノズルヘッドの基準位置（例えば、実施形態における回転中心Ｏ、基準角度α）からのズレを算出し、前記ノズルヘッドの位置を校正可能な制御装置（例えば、実施形態におけるコントローラー２４）を備えた電子部品実装装置であって、前記ノズルヘッドの軸方向に面する面に前記カメラで撮影可能な２つのマーカー（例えば、実施形態におけるマーカーＭ）を設け、前記制御装置は、前記ノズルヘッドの一回転中に前記カメラにより少なくとも３回撮影された前記マーカーに関する画像から、前記ノズルヘッドの実際の回転中心（例えば、実施形態における回転中心Ｏ）を求め、この実際の回転中心と前記ノズルヘッドの機械的な回転中心（例えば、実施形態におけるＲ軸）とのズレを求め、このズレから前記ノズルヘッドの実際の回転中心への校正量を算出し、前記制御装置は、前記ノズルヘッドが回転の初期位置にあるときの前記２つのマーカーを結ぶ線分から、前記ノズルヘッドの回転方向での基準角度（例えば、実施形態における基準角度α）を求め、この基準角度と前回使用したノズルヘッドの基準角度との角度ズレから校正量を算出することを特徴とする。 To achieve the above object, the invention described in claim 1 includes a substrate transfer device (for example, the substrate transfer device 14 in the embodiment) of a substrate (for example, the substrate 16 in the embodiment) on which an electronic component is mounted, A joint block (for example, a joint block 11 in the embodiment) provided on the substrate of the substrate transport apparatus so as to be positioned via a transfer device (for example, the X table 7 and the Y table 3 in the embodiment), and the joint block A nozzle unit (for example, the nozzle unit 12 in the embodiment) that is replaceably attached to the rotary unit, and the nozzle unit has a plurality of nozzles (for example, the nozzle 18 in the embodiment) arranged on the circumference. Nozzle head (for example, the nozzle head 20 in the embodiment) and the nozzle head A driving device (for example, the driving device 33 in the embodiment) that rotationally drives the nozzle, a camera (for example, the camera 21 in the embodiment) that images the nozzle head from an axial direction (for example, the R axis in the embodiment), and the A reference position of the nozzle head (for example, the rotation center O and the reference angle α in the embodiment) based on image information taken by the camera while controlling the substrate transfer device, the transfer device, the drive device, and the camera. ) And an electronic component mounting apparatus provided with a control device (for example, the controller 24 in the embodiment) capable of calibrating the position of the nozzle head, on the surface facing the axial direction of the nozzle head Two markers (for example, marker M in the embodiment) that can be photographed by the camera are provided , and the control device An actual rotation center of the nozzle head (for example, the rotation center O in the embodiment) is obtained from an image relating to the marker taken at least three times by the camera during one rotation of the nozzle head, and the actual rotation center and the nozzle A deviation from the mechanical rotation center of the head (for example, the R axis in the embodiment) is obtained, and a calibration amount from the deviation to the actual rotation center of the nozzle head is calculated. A reference angle (for example, a reference angle α in the embodiment) in the rotation direction of the nozzle head is obtained from a line segment connecting the two markers at the initial rotation position, and the reference angle and the nozzle head used last time are obtained. The calibration amount is calculated from the angle deviation from the reference angle .

請求項２に記載した発明は、前記マーカーは前記ノズルの先端部と同一焦点距離内に位置するマーカー部材（例えば、実施形態におけるマーカー部材３８）に付されていることを特徴とする。   The invention described in claim 2 is characterized in that the marker is attached to a marker member (for example, the marker member 38 in the embodiment) located within the same focal length as the tip of the nozzle.

請求項３に記載した発明は、前記マーカー部材はノズルヘッドの直径方向に回転中心から振り分けて２つ設けられていることを特徴とする。   The invention described in claim 3 is characterized in that two marker members are provided by being distributed from the center of rotation in the diameter direction of the nozzle head.

請求項４に記載した発明は、前記制御装置は、前記２つのマーカーから前記カメラの光学倍率を算出することを特徴とする。 The invention described in claim 4 is characterized in that the control device calculates an optical magnification of the camera from the two markers.

請求項１に記載した発明によれば、交換可能にされた各ノズルユニットの回転駆動部分であるノズルヘッドに２つのマーカーを設けたことにより、ジョイントブロックに対して取り付けられる毎に、そのノズルユニットのノズルヘッド固有のズレを算出して、交換されるユニット毎に校正を行うことができる。よって、カメラの光学倍率、ノズルヘッドの実際の回転中心、角度基準、ノズルの位置情報を算出できる。また、ジグノズルを用いる必要がないため、ジグノズルの精度によるバラツキがなくなる。さらに、ノズルヘッド、つまり各ノズルの実際の回転中心をマーカーに関する画像から求めることでノズルの回転方向での軌跡を特定でき、正確にズレのない位置で電子部品を基板に実装できる。さらに、初期位置において各ノズルユニット毎の回転方向の角度ズレを正確に把握して、交換されたノズルユニット毎に正確に回転方向の角度情報を算出できる。
請求項２に記載した発明によれば、カメラによって撮影されたノズルの位置とマーカーの位置とが光軸上で軸方向にズレなく撮影することができる。
請求項３に記載した発明によれば、何れのマーカーも回転するノズルヘッドに対して同程度に回転方向での移動量を確保できる。
請求項４に記載した発明によれば、カメラの光学倍率を各ノズルユニット毎にノズルに近い位置で把握して、交換されたノズルユニット毎に正確に距離情報を算出できる。 According to the invention described in claim 1, by providing two markers on the nozzle head, which is a rotational drive part of each nozzle unit that can be replaced, each time the nozzle unit is attached to the joint block, the nozzle unit It is possible to calculate a deviation specific to the nozzle head and perform calibration for each unit to be replaced. Therefore, the optical magnification of the camera, the actual rotation center of the nozzle head, the angle reference, and the nozzle position information can be calculated. Further, since there is no need to use a jig nozzle, there is no variation due to the accuracy of the jig nozzle. Further, by obtaining the nozzle head, that is, the actual center of rotation of each nozzle from the image relating to the marker, the locus in the rotation direction of the nozzle can be specified, and the electronic component can be mounted on the substrate at a position without any deviation. Furthermore, the angle deviation in the rotation direction for each nozzle unit can be accurately grasped at the initial position, and the angle information in the rotation direction can be accurately calculated for each replaced nozzle unit.
According to the second aspect of the present invention, the position of the nozzle photographed by the camera and the position of the marker can be photographed without any deviation in the axial direction on the optical axis.
According to the third aspect of the present invention, it is possible to secure the amount of movement in the rotation direction to the same extent with respect to the rotating nozzle head of any marker .
According to the invention described in 請 Motomeko 4, the optical magnification of the camera to grasp at a position closer to the nozzle in each nozzle unit, it can be calculated accurately distance information for each nozzle unit has been replaced.

この発明の実施形態の電子部品実装装置の斜視図である。It is a perspective view of the electronic component mounting apparatus of embodiment of this invention. 図１の要部を示す正断面図である。FIG. 2 is a front sectional view showing a main part of FIG. 1. 図１の要部を示す下面図である。It is a bottom view which shows the principal part of FIG. 実際の回転中心を求める説明図である。It is explanatory drawing which calculates | requires an actual rotation center. 基準角度を示す図である。It is a figure which shows a reference | standard angle. この発明の第２実施形態の図２に相当する正断面図である。FIG. 3 is a front sectional view corresponding to FIG. 2 of a second embodiment of the present invention. この発明の第２実施形態の図３に相当する下面図である。It is a bottom view equivalent to FIG. 3 of 2nd Embodiment of this invention. 従来技術の電子部品実装装置の要部を示す正断面図である。It is front sectional drawing which shows the principal part of the electronic component mounting apparatus of a prior art. 図８の下面図である。It is a bottom view of FIG. 他の従来技術の図８に相当する正断面図である。FIG. 9 is a front sectional view corresponding to FIG. 8 of another prior art. 図１０の下面図である。It is a bottom view of FIG.

以下、この発明の実施形態の電子部品実装装置を図１〜図５に基づいて従来技術と同一部分に同一符号を付して説明する。
図１に示すように電子部品実装装置１は基台２の幅方向（Ｘ方向）の両側部に奥行き方向（Ｙ方向）に延びるＹテーブル３，３を備えている。各Ｙテーブル３には、上部に設けたテーブル台４にサーボモーター５によって回転するボールネジ６が設けられている。
一対のＹテーブル３，３のうち図１の左側のＹテーブル３のサーボモーター５は手前側に、右側のＹテーブル３のサーボモーター５は奥側に設けられている。Ｙテーブル３のボールネジ６，６にはＸ方向に延びるＸテーブル７の両端部が設けられている。 Hereinafter, an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, the electronic component mounting apparatus 1 includes Y tables 3 and 3 extending in the depth direction (Y direction) on both sides in the width direction (X direction) of the base 2. Each Y table 3 is provided with a ball screw 6 that is rotated by a servo motor 5 on a table base 4 provided at the top.
Of the pair of Y tables 3 and 3, the servo motor 5 of the left Y table 3 in FIG. 1 is provided on the front side, and the servo motor 5 of the right Y table 3 is provided on the back side. The ball screws 6 and 6 of the Y table 3 are provided with both ends of an X table 7 extending in the X direction.

Ｘテーブル７は、Ｘ方向に延びる部材であり、テーブル本体８がＹテーブル３，３のボールネジ６，６に螺合し、Ｙテーブル３，３のボールネジ６，６の回転によりＹ方向に沿って移動する。Ｘテーブル７にはサーボモーター９によって駆動するボールネジ１０が設けられ、このボールネジ１０にジョイントブロック１１が螺合している。ジョイントブロック１１に、負圧により電子部品を吸着し正圧で解放する８本のノズル１８を備えたノズルユニット１２が着脱可能に設けられている。   The X table 7 is a member extending in the X direction. The table main body 8 is screwed into the ball screws 6 and 6 of the Y tables 3 and 3, and along the Y direction by the rotation of the ball screws 6 and 6 of the Y tables 3 and 3. Moving. The X table 7 is provided with a ball screw 10 driven by a servo motor 9, and a joint block 11 is screwed to the ball screw 10. The joint block 11 is detachably provided with a nozzle unit 12 including eight nozzles 18 that adsorb electronic components by negative pressure and release them by positive pressure.

各Ｙテーブル３にはＹ方向に沿って開口部１３が形成され、各開口部１３に掛け渡すようにして、基台２の前側にＸ方向に延びる基板搬送装置１４が設けられている。基板搬送装置１４は一対のレール１５，１５を備え、このレール１５，１５上をＸ方向に沿って、電子部品が実装される基板１６が搬送される。したがって、ジョイントブロック１１はＸテーブル７及びＹテーブル３を介して基板搬送装置１４の基板上に位置決め可能に設けられる。   Each Y table 3 is formed with an opening 13 along the Y direction, and a substrate transfer device 14 extending in the X direction is provided on the front side of the base 2 so as to span the opening 13. The substrate transport device 14 includes a pair of rails 15 and 15, and a substrate 16 on which electronic components are mounted is transported along the X direction in the rails 15 and 15. Accordingly, the joint block 11 is provided on the substrate of the substrate transport device 14 via the X table 7 and the Y table 3 so as to be positioned.

基台２の上部の前側には左から順に廃棄部品を収納する電子部品廃棄箱１７と複数のノズル１８を収容するノズルステーション１９とノズルユニット１２のノズルヘッド２０を、後述する回転軸であるＲ軸方向の下方から照明した状態で撮影するカメラ２１が配置されている。
電子部品廃棄箱１７はノズル１８に吸着された電子部品が基板１６実装されないで残った場合、ノズル１８に吸着された電子部品が不良である場合等に、これらの電子部品を、該当するノズル１８から受け取り収容する。 On the front side of the upper part of the base 2, an electronic component disposal box 17 that houses waste components in order from the left, a nozzle station 19 that houses a plurality of nozzles 18, and a nozzle head 20 of the nozzle unit 12, which are rotating shafts R to be described later A camera 21 that shoots in an illuminated state from below in the axial direction is arranged.
In the electronic component disposal box 17, when the electronic component sucked by the nozzle 18 remains without being mounted on the substrate 16, or when the electronic component sucked by the nozzle 18 is defective, these electronic components are replaced with the corresponding nozzle 18. Receive and house from.

また、カメラ２１の右側には、電子部品が配置されたテープを巻き出す復数のテープフィーダー２２からなる部品供給装置２３が設けられている。部品供給装置２３の各テープフィーダー２２から巻き出されるテープ上の各電子部品が、ノズルユニット１２のノズルヘッド２０のノズル１８により吸着されて基板１６の所定位置に実装される。   Further, on the right side of the camera 21, there is provided a component supply device 23 including a repetitive tape feeder 22 for winding a tape on which electronic components are arranged. Each electronic component on the tape unwound from each tape feeder 22 of the component supply device 23 is adsorbed by the nozzle 18 of the nozzle head 20 of the nozzle unit 12 and mounted at a predetermined position on the substrate 16.

基台２の前面左下部にはコントローラー２４が配置されている。コントローラー２４はＹテーブル３のサーボモーター５及びＸテーブル７のサーボモーター９の動作を制御すると共に、ノズル１８の負圧、正圧供給動作及びノズル１８の軸であるＴ軸を中心とした駆動部による回転動作、昇降動作に加えて、ノズルユニット１２のモーター４０を介して回転方向の動きを制御する。また、コントローラー２４は部品供給装置２３のテープフィーダー２２の巻き出し制御を行い、基板搬送装置１４の基板１６の搬送タイミング、搬送速度を制御する。   A controller 24 is disposed at the lower left part of the front surface of the base 2. The controller 24 controls the operation of the servo motor 5 of the Y table 3 and the servo motor 9 of the X table 7, and also drives the negative pressure of the nozzle 18 and the positive pressure supply operation and the T axis which is the axis of the nozzle 18. In addition to the rotation operation and the elevating operation, the movement in the rotation direction is controlled via the motor 40 of the nozzle unit 12. In addition, the controller 24 performs unwinding control of the tape feeder 22 of the component supply device 23 and controls the transport timing and transport speed of the substrate 16 of the substrate transport device 14.

更に、カメラ２１の操作もコントローラー２４によって行われ、カメラ２１で撮影された映像がカメラ２１から送られるとこの画像情報に基づいて、ノズルユニット１２の交換や、熱変形から生ずる基準位置からのズレを算出し校正に必要な演算を行う。
基台２の前面には左右のＹテーブル３間に凹部２５が設けられ、この凹部２５が部品供給装置２３を載置した図示しない台車の受け入れ空間として形成されている。 Further, the operation of the camera 21 is also performed by the controller 24. When an image captured by the camera 21 is sent from the camera 21, based on this image information, the nozzle unit 12 is replaced or the deviation from the reference position caused by thermal deformation is performed. To calculate necessary for calibration.
A recess 25 is provided between the left and right Y tables 3 on the front surface of the base 2, and the recess 25 is formed as a receiving space for a carriage (not shown) on which the component supply device 23 is placed.

図２に示すように、ジョイントブロック１１に交換可能に取り付けられるノズルユニット１２は、ジョイントブロック１１に取り付けられるジョイントプレート２９と、ジョイントプレート２９に固定されたアーム部３０と、このアーム部３０に取り付けられ鉛直下方に延びるシャフト３１を回転軸（Ｒ軸）としたロータリー式のノズルヘッド２０と、このノズルヘッド２０をシャフト３１を中心にして回転させる駆動装置３３を備えている。   As shown in FIG. 2, the nozzle unit 12 that is replaceably attached to the joint block 11 includes a joint plate 29 that is attached to the joint block 11, an arm portion 30 that is fixed to the joint plate 29, and an attachment to the arm portion 30. A rotary nozzle head 20 having a shaft 31 extending vertically downward as a rotation axis (R axis) and a drive device 33 for rotating the nozzle head 20 around the shaft 31 are provided.

ノズルヘッド２０は、シャフト３１とシャフト３１に外装されたベアリング３４と、このベアリング３４を介して回転可能に支持されるノズルケーシング３５とで構成されている。ノズルケーシング３５にはシャフト３１を中心にして円周方向に８箇所の装着孔３６が設けられ、各装着孔３６にノズル１８が図示しない駆動部を介して昇降可能かつノズル１８の軸線（Ｔ軸）を中心に回転可能に支持されている。尚、ノズル１８の先端部は先細りに形成されている。   The nozzle head 20 includes a shaft 31, a bearing 34 provided on the shaft 31, and a nozzle casing 35 that is rotatably supported via the bearing 34. The nozzle casing 35 is provided with eight mounting holes 36 in the circumferential direction around the shaft 31, and the nozzle 18 can be moved up and down via a drive unit (not shown) in each mounting hole 36, and the axis of the nozzle 18 (T-axis). ) Is supported so as to be rotatable around the center. The tip of the nozzle 18 is tapered.

ノズルケーシング３５には駆動ギヤ４１がシャフト３１を中心にしてシャフト３１を取り囲むように固定され、この駆動ギヤ４１にモーター４０の軸に取り付けたピニオン４２が噛合している。よって、モーター４０を駆動するとピニオン４２、駆動ギヤ４１を介してノズルケーシング３５がシャフト３１のＲ軸を中心に回転し、各ノズル１８は図示しない駆動部を介してノズルケーシング３５の装着孔３６の内部で昇降可能かつＴ軸中心で回転可能となる。   A drive gear 41 is fixed to the nozzle casing 35 so as to surround the shaft 31 around the shaft 31, and a pinion 42 attached to the shaft of the motor 40 is engaged with the drive gear 41. Therefore, when the motor 40 is driven, the nozzle casing 35 rotates around the R axis of the shaft 31 via the pinion 42 and the drive gear 41, and each nozzle 18 passes through the mounting portion 36 of the nozzle casing 35 via a drive unit (not shown). It can move up and down inside and can rotate around the T-axis.

図３に示すように、ノズルケーシング３５の下端にはエンドプレート３７が取り付けられている。エンドプレート３７は各ノズル１８の突出を許容している。エンドプレート３７の下面には直径方向に配列された四対のノズル１８，１８のうちの一対のノズル１８，１８の配置位置を結ぶ線分（エンドプレート３７の直径）上に、ノズル１８の先端まで延びる円柱状のマーカー部材３８が一対設けられている。   As shown in FIG. 3, an end plate 37 is attached to the lower end of the nozzle casing 35. The end plate 37 allows the nozzles 18 to protrude. On the lower surface of the end plate 37, the tip of the nozzle 18 is positioned on a line segment (diameter of the end plate 37) connecting the arrangement positions of the pair of nozzles 18, 18 of the four nozzles 18, 18 arranged in the diameter direction. A pair of columnar marker members 38 extending to the top are provided.

各マーカー部材３８の下面は、ノズル１８の下端面と一致する位置にあり、マーカー部材３８とノズル１８先端部とをカメラ２１の光軸上で軸方向にズレがなく同一焦点距離に置くようにしている。   The lower surface of each marker member 38 is at a position that coincides with the lower end surface of the nozzle 18, and the marker member 38 and the tip of the nozzle 18 are placed on the same focal length without any axial displacement on the optical axis of the camera 21. ing.

各マーカー部材３８の端面の中心位置にカメラ２１で下方から撮影可能なマーカーＭが付されている。よって、２つのマーカーＭは距離Ｌだけ離れた状態となっている。各マーカーＭはシャフト３１のＲ軸に対して振り分けて等間隔に設けられ、何れのマーカーＭも回転するノズルヘッド２０に対して同程度に回転方向での移動量を確保できるようなっている。ここで、各マーカーＭはカメラ２１で撮影した際に認識できる色彩や刻印で形成されている。尚、図２では、マーカーＭを太線として示す。   A marker M that can be photographed from below by the camera 21 is attached to the center position of the end face of each marker member 38. Therefore, the two markers M are in a state separated by a distance L. Each marker M is distributed at an equal interval with respect to the R axis of the shaft 31, and any marker M can secure a moving amount in the rotational direction to the same degree with respect to the rotating nozzle head 20. Here, each marker M is formed of a color or a stamp that can be recognized when the camera 21 takes a picture. In FIG. 2, the marker M is shown as a thick line.

次に、ノズル１８に吸着された基板認識用のカメラ２１によりマーカーＭ，Ｍを撮影して、ノズルヘッド２０の実際の回転中心、つまりノズル１８の公転の中心の位置関係と初期位置での回転ズレを校正する方法について説明する。   Next, the markers M and M are photographed by the substrate recognition camera 21 adsorbed to the nozzle 18, and the positional relationship between the actual rotation center of the nozzle head 20, that is, the revolution center of the nozzle 18, and the rotation at the initial position. A method of correcting the deviation will be described.

以下に示す校正方法では、先ずノズルヘッド２０の実際の回転中心が基準位置からどの程度ズレているか検出し、更に、ノズルヘッド２０の回転初期の原点である回転角度がゼロ（ｄｅｇ）の位置が、前回使用したノズルヘッド２０（あるいは基準の位置）の回転初期の原点である回転角度がゼロ（ｄｅｇ）の位置と、回転方向でどのくらいズレているのかを算出する。
ここで、マーカーＭは２つ設けられており、各マーカーＭを結ぶ線分の中点は本来ならばノズルヘッド２０の回転中心、つまりシャフト３１のＲ軸であるが、実際には回転中心が図１の鎖線のようにズレている場合があるからである。 In the calibration method described below, first, how much the actual center of rotation of the nozzle head 20 deviates from the reference position is detected, and further, the position where the rotation angle that is the origin of rotation of the nozzle head 20 at the initial stage is zero (deg). Then, how much the rotation angle, which is the origin of rotation of the nozzle head 20 (or reference position) used last time, is zero (deg) and how far in the rotation direction is calculated.
Here, two markers M are provided, and the midpoint of the line segment connecting each marker M is originally the rotation center of the nozzle head 20, that is, the R axis of the shaft 31, but actually the rotation center is the center of rotation. This is because there may be a deviation as shown by a chain line in FIG.

図４はノズルヘッド２０の実際の回転中心Ｏを求める手法を示している。マーカーＭは２つ設けられているが、これらマーカーＭ，Ｍは異なる形状、異なる大きさとした方がよい。これら両方のマーカーＭ，Ｍを用いて回転中心Ｏを求める。
ノズルヘッド２０が一回転する間にマーカーＭ，Ｍをカメラ２１により３回撮影する。撮影された３つの画像の各々から、各マーカーＭ，Ｍの中点を求め、各マーカーＭ，Ｍ間の各中点の位置を３つの点Ａ，Ｂ，Ｃとして認識する。 FIG. 4 shows a method for obtaining the actual rotation center O of the nozzle head 20. Two markers M are provided, but these markers M and M should have different shapes and sizes. The center of rotation O is obtained using both of these markers M and M.
While the nozzle head 20 rotates once, the markers M and M are photographed three times by the camera 21. From each of the taken three images, the midpoint of each marker M, M is obtained, and the position of each midpoint between each marker M, M is recognized as three points A, B, C.

このとき、点Ａ，Ｂ，Ｃを結んだ三角形を作成し、三角形の各辺ＡＢ，ＢＣ，ＣＡの中点から内側に向かう垂線を引いた場合にこれらが交わる点Ｏが三角形の外心、つまり三角形に外接する円の中心となる。この点Ｏが実際のノズルヘッド２０の回転中心Ｏとなる。 これにより幾何学的にノズルヘッド２０の実際の回転中心Ｏを求めることができる。   At this time, a triangle connecting points A, B, and C is created, and when a perpendicular line extending inward from the midpoint of each side AB, BC, and CA of the triangle is drawn, the point O where these intersect is the outer center of the triangle, In other words, it becomes the center of the circle circumscribing the triangle. This point O becomes the actual rotation center O of the nozzle head 20. Thereby, the actual rotation center O of the nozzle head 20 can be obtained geometrically.

したがって、コントローラー２４はノズルヘッド２０の実際の回転中心Ｏとノズルヘッド２０の見かけ上の回転中心であるＲ軸とのズレを求め、このズレからノズルヘッド２０の実際の回転中心Ｏへの校正量を算出することができる。このようにしてソフトウエア処置を施さなくても幾何学的に回転中心Ｏを算出できる。
そして、２つのマーカーＭの距離Ｌが既値であるため、カメラ２１で撮影された画像から求めたマーカーＭ，Ｍ間の距離Ｌ’を算出すれば、これら距離Ｌと距離Ｌ’の比からカメラ２１の光学倍率が算出される。 Therefore, the controller 24 obtains a deviation between the actual rotation center O of the nozzle head 20 and the R axis that is the apparent rotation center of the nozzle head 20, and a calibration amount from this deviation to the actual rotation center O of the nozzle head 20. Can be calculated. In this way, the center of rotation O can be calculated geometrically without any software treatment.
Since the distance L between the two markers M is an existing value, if the distance L ′ between the markers M and M obtained from the image taken by the camera 21 is calculated, the ratio between the distance L and the distance L ′ is calculated. The optical magnification of the camera 21 is calculated.

また、図５に示すように、任意のノズルヘッド２０（シャフト３１）の回転初期の原点である回転角度がゼロ（ｄｅｇ）の位置において、２つのマーカーＭ，Ｍを撮影して２つのマーカーＭ，Ｍを結ぶ直線の基準角度αを算出する。この例では、ジョイントプレート２９の中心を通る水平方向の線分に対する傾きとしている。
この基準角度αと、交換前のノズルユニット２１のノズルヘッド２０の基準角度αとの角度ズレを算出して、今回のノズルヘッド２０の回転方向での校正量を算出することができる。尚、前回使用されたノズルユニット１２のノズルヘッド２０の基準角度αとの角度ズレから校正量を算出したが、設定された基準の角度と各ノズルヘッド２０の基準角度αとの角度ズレを算出して校正量としてもよい。
よって、マーカーＭから各ノズル１８までの距離を正確に計測し、ノズル１８に吸着された電子部品の回転方向での正確な位置情報を算出することができる。
また、今回使用されるノズルヘッド２０の基準角度αの角度ズレ分を加味してノズル１８に保持された電子部品のＴ軸に対する保持角度を校正することができる。 Further, as shown in FIG. 5, two markers M and M are photographed at a position where the rotation angle, which is the origin of rotation of an arbitrary nozzle head 20 (shaft 31), is zero (deg). , M is calculated. In this example, the inclination is with respect to a horizontal line segment passing through the center of the joint plate 29.
An angle deviation between the reference angle α and the reference angle α of the nozzle head 20 of the nozzle unit 21 before replacement can be calculated, and the current calibration amount in the rotation direction of the nozzle head 20 can be calculated. Although the calibration amount is calculated from the angle deviation from the reference angle α of the nozzle head 20 of the nozzle unit 12 used last time, the angle deviation between the set reference angle and the reference angle α of each nozzle head 20 is calculated. It is good also as a calibration amount.
Therefore, the distance from the marker M to each nozzle 18 can be accurately measured, and accurate position information in the rotation direction of the electronic component sucked by the nozzle 18 can be calculated.
Further, the holding angle of the electronic component held by the nozzle 18 with respect to the T-axis can be calibrated by taking into account the angle deviation of the reference angle α of the nozzle head 20 used this time.

したがって、この実施形態によれば、電子部品実装装置１のノズルユニット１２をジョイントブロック１１から外して新しいノズルユニット１２を取り付けた場合や、経時的使用によってノズルヘッド２０の温度が上昇して熱によりノズル１８の位置寸法にズレが生じるような場合であっても、２つのマーカーＭ，Ｍを設けたことにより、新しいノズルユニット１２が取り付けられる毎に、また熱などによりズレが生ずる毎に、ズレを算出して、交換されるノズルユニット１２毎、あるはズレが生じた際に校正を行うことができる。   Therefore, according to this embodiment, when the nozzle unit 12 of the electronic component mounting apparatus 1 is removed from the joint block 11 and a new nozzle unit 12 is attached, or when the temperature of the nozzle head 20 increases due to use over time, Even when the positional dimension of the nozzle 18 is shifted, the two markers M and M are provided, so that a shift is generated each time a new nozzle unit 12 is attached or whenever a shift occurs due to heat or the like. Can be calculated for each nozzle unit 12 to be replaced or when a displacement occurs.

具体的には、ノズルヘッド２０の回転初期の原点である回転角度がゼロ（ｄｅｇ）においてカメラ２１によりマーカーＭ，Ｍの撮影を行うだけで、撮影された画像はコントローラー２４に取り込まれて基準角度αが求められ、コントローラー２４によりノズルヘッド２０の前回使用したノズルユニット１２のノズルヘッド２０に対する（あるいは設定された基準の角度に対する）角度ズレが算出されこのズレ量を校正できる。   Specifically, when the rotation angle, which is the origin of rotation of the nozzle head 20, is zero (deg), the camera 21 only captures the markers M and M, and the captured image is captured by the controller 24 and the reference angle. α is obtained, and the controller 24 calculates the angle deviation of the nozzle unit 12 of the nozzle unit 12 used last time with respect to the nozzle head 20 (or relative to the set reference angle), and the amount of deviation can be calibrated.

また、取り込まれた２つのマーカーＭ，Ｍの画像のマーカー間距離Ｌ’と実際のマーカーＭ間の距離Ｌからカメラの光学倍率が算出できるので、カメラ２１の光学倍率を各ノズルユニット１２毎にノズル１８に近い位置で把握して、交換されたノズルユニット１２毎に正確に位置情報を算出できる。   Further, since the optical magnification of the camera can be calculated from the distance L ′ between the markers of the captured two markers M and M and the distance L between the actual markers M, the optical magnification of the camera 21 is set for each nozzle unit 12. The position information can be accurately calculated for each replaced nozzle unit 12 by grasping the position near the nozzle 18.

つまり、ジョイントブロック１１に対して新しいノズルユニット１２が取り付けられる毎に、そのノズルユニット１２のノズルヘッド２０固有のズレを算出して、交換されるノズルユニット１２毎に校正を行うことができる。また、ジグノズルを用いる必要がないため、ジグノズルの精度によるバラツキがなくなる。   That is, every time a new nozzle unit 12 is attached to the joint block 11, a deviation specific to the nozzle head 20 of the nozzle unit 12 can be calculated, and calibration can be performed for each nozzle unit 12 to be replaced. Further, since there is no need to use a jig nozzle, there is no variation due to the accuracy of the jig nozzle.

次に、ノズル１８がＲ軸周りに一周するまでの間に２つのマーカーＭ，Ｍを３回撮影することで得られた各画像のマーカーＭ，Ｍ間の３つの中点の位置から、図４に示すように、実質的なノズルヘッド２０の実際の回転中心Ｏ（各ノズル１８の公転中心）を求め、その実際の回転中心Ｏとのズレ量を校正分として、ノズル１８に保持された電子部品の正確な位置を割り出すことができる。よって、ノズル１８の回転方向での軌跡を特定でき、正確にズレのない位置で電子部品を基板１６に実装できる。このようにして、回転部分に設けた２つのマーカーＭによってジグノズルを特別に設けなくても、電子部品の位置を正確に校正することができる。   Next, from the positions of the three midpoints between the markers M and M of each image obtained by photographing the two markers M and M three times until the nozzle 18 makes a round around the R axis, FIG. As shown in FIG. 4, the actual rotation center O of each nozzle head 20 (revolution center of each nozzle 18) is obtained, and the deviation from the actual rotation center O is held by the nozzle 18 as a calibration amount. The exact position of the electronic component can be determined. Therefore, the trajectory in the rotation direction of the nozzle 18 can be specified, and the electronic component can be mounted on the substrate 16 at a position where there is no deviation. In this manner, the position of the electronic component can be accurately calibrated without specially providing a jig nozzle with the two markers M provided on the rotating portion.

図６、図７はこの発明の第２実施形態を示している。
この電子部品実装装置１’は図６、図７に示すノズルユニット１２’の構成が異なっている。図６に示すように、この電子部品実装装置１’のノズルユニット１２’は、ジョイントブロック１１に取り付けられたジョイントプレート２９’と、ジョイントプレート２９’に固定されたアーム部３０’と、このアーム部３０’に支持され鉛直下方に延びるシャフト３１’（Ｒ軸）を回転軸としたノズルヘッド２０’と、このノズルヘッド２０’をシャフト３１を中心にして回転させる駆動装置３３’を備えている。駆動装置３３’はモーター４０’と駆動ギヤ４１’とピニオン４２’とで構成されている。 6 and 7 show a second embodiment of the present invention.
This electronic component mounting apparatus 1 ′ is different in the configuration of the nozzle unit 12 ′ shown in FIGS. As shown in FIG. 6, the nozzle unit 12 ′ of the electronic component mounting apparatus 1 ′ includes a joint plate 29 ′ attached to the joint block 11, an arm portion 30 ′ fixed to the joint plate 29 ′, and the arm A nozzle head 20 ′ having a shaft 31 ′ (R axis) supported by the portion 30 ′ and extending vertically downward as a rotation axis, and a drive device 33 ′ for rotating the nozzle head 20 ′ around the shaft 31 are provided. . The drive device 33 ′ is composed of a motor 40 ′, a drive gear 41 ′, and a pinion 42 ′.

ノズルヘッド２０’は、シャフト３１’とシャフト３１’に一体固定されるノズルケーシング３５’とで構成されている。シャフト３１’を回転可能に支持するベアリング３４’はアーム部３０’に内装されている。シャフト３１’の上端部はアーム部３０’から上方に突出し、この突出部に駆動ギヤ４１’が取り付けられ、駆動ギヤ４１’にモーター４０’のピニオン４２’が噛合している。   The nozzle head 20 'includes a shaft 31' and a nozzle casing 35 'that is integrally fixed to the shaft 31'. A bearing 34 ′ that rotatably supports the shaft 31 ′ is built in the arm portion 30 ′. The upper end portion of the shaft 31 ′ protrudes upward from the arm portion 30 ′. A drive gear 41 ′ is attached to the projecting portion, and the pinion 42 ′ of the motor 40 ′ is engaged with the drive gear 41 ′.

ノズルケーシング３５’にはＲ軸を中心にして周方向に８箇所の装着孔３６’が設けられ、各装着孔３６’にノズル１８’が図示しない駆動部を介して昇降可能かつノズル１８の軸線（Ｔ軸）を中心に回転可能に支持されている。よって、モーター４０’を駆動するとピニオン４２’、駆動ギヤ４１’、ベアリング３４’を介してシャフト３１’がアーム部３０’内で回転すると、ノズルケーシング３５’がＲ軸を中心に回転し、各ノズル１８’は図示しない駆動部を介してノズルケーシング３５’の装着孔３６’の内部で昇降可能かつ回転可能となる。   The nozzle casing 35 ′ is provided with eight mounting holes 36 ′ in the circumferential direction around the R axis, and the nozzle 18 ′ can be moved up and down via a drive unit (not shown) in each mounting hole 36 ′, and the axis of the nozzle 18. It is supported so as to be rotatable about (T axis). Therefore, when the motor 40 ′ is driven, when the shaft 31 ′ rotates in the arm portion 30 ′ via the pinion 42 ′, the drive gear 41 ′, and the bearing 34 ′, the nozzle casing 35 ′ rotates around the R axis, The nozzle 18 ′ can be moved up and down and rotated inside the mounting hole 36 ′ of the nozzle casing 35 ′ via a drive unit (not shown).

図７に示すように、ノズルケーシング３５’の下面には直径方向に配列された四対のノズル１８’，１８’のうちの一対のノズル１８’，１８’の配置位置を結ぶ線分（ノズルケーシング３５’の直径）上に、ノズル１８’の先端まで延びる円柱状のマーカー部材３８’が一対設けられている。   As shown in FIG. 7, on the lower surface of the nozzle casing 35 ', a line segment (nozzle connecting the arrangement positions of the pair of nozzles 18', 18 'out of the four pairs of nozzles 18', 18 'arranged in the diameter direction) A pair of columnar marker members 38 ′ extending to the tip of the nozzle 18 ′ are provided on the diameter of the casing 35 ′.

各マーカー部材３８’の下面は、ノズル１８’の下端面と一致する位置にあり、この下面の中心位置にマーカーＭ’が付されている。よって、２つのマーカーＭ’は距離Ｌだけ離れた状態となっている。各マーカーＭ’はノズルケーシング３５’のＲ軸に対して振り分けて等間隔に設けられている。ここで、各マーカーＭ’はカメラ２１で撮影した際に認識できる色彩や刻印で形成されている。尚、図６では、マーカーＭ’を太線として示す。   The lower surface of each marker member 38 ′ is at a position that coincides with the lower end surface of the nozzle 18 ′, and a marker M ′ is attached to the center position of the lower surface. Therefore, the two markers M ′ are in a state separated by a distance L. Each marker M 'is distributed at an equal interval with respect to the R axis of the nozzle casing 35'. Here, each marker M 'is formed with a color or stamp that can be recognized when the camera 21 takes a picture. In FIG. 6, the marker M ′ is shown as a thick line.

この実施形態においても、２つのマーカーＭ，Ｍを回転駆動するノズルヘッド２０’に設けることで、２つのノズルユニット１２’においても、２つのマーカーＭ’，Ｍ’の距離Ｌと画像での距離からカメラ２１の光学倍率を簡単に算出できる。また、２つのマーカーＭ’，Ｍ’により基準角度αを求め、前回用いたノズルユニット１２’の基準角度α（あるいは設定された基準の角度に対する）に対するズレ量を算出して校正量を求め、ノズル１８’に吸着された電子部品の相対角度を校正することができる。また、ノズルヘッド２０’の実際の回転中心Ｏを求め、これを基準として、ノズル１８’に保持された電子部品の位置情報を校正することができる。   Also in this embodiment, by providing the two markers M and M in the nozzle head 20 ′ that rotationally drives, the distance L between the two markers M ′ and M ′ and the distance in the image also in the two nozzle units 12 ′. Thus, the optical magnification of the camera 21 can be easily calculated. Further, the reference angle α is obtained from the two markers M ′ and M ′, the amount of calibration with respect to the reference angle α (or relative to the set reference angle) of the previously used nozzle unit 12 ′ is obtained, and the calibration amount is obtained. The relative angle of the electronic component adsorbed by the nozzle 18 ′ can be calibrated. Further, the actual rotation center O of the nozzle head 20 'can be obtained, and the position information of the electronic component held by the nozzle 18' can be calibrated using this as a reference.

よって、電子部品実装装置１’のノズルユニット１２’をジョイントブロック１１から外して新しいノズルユニット１２’を取り付けた場合や、経時的使用によってノズルヘッド２０’の温度が上昇して熱により寸法のズレが生じるような場合であっても簡単に正確な迅速な校正を行うことができる。
とりわけ、この実施形態においては、ベアリング３４’がアーム部３０’内に設けられているため、ノズルヘッド２０’が小型化できるメリットがある。 Therefore, when the nozzle unit 12 ′ of the electronic component mounting apparatus 1 ′ is removed from the joint block 11 and a new nozzle unit 12 ′ is attached, or when the temperature of the nozzle head 20 ′ rises due to use over time, the displacement of the dimensions is caused by heat. Even if this occurs, accurate and quick calibration can be performed easily.
In particular, in this embodiment, since the bearing 34 ′ is provided in the arm portion 30 ′, there is an advantage that the nozzle head 20 ′ can be reduced in size.

尚、この発明は上記実施形態に限られるものではなく、例えば、ノズルの数は８個に限られない。また、マーカーＭ，Ｍは同様の形、大きさとしたが、２つのマーカーＭ，Ｍの形や大きさを異なるものとすることで、撮影した画像からノズルヘッド２０の回転中心Ｏを求める場合の各マーカーＭの認識精度を高めることができる。
マーカーＭ，Ｍの画像を３回撮影した場合を例にしたが、撮影回数は４回以上であってもよい。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment, For example, the number of nozzles is not restricted to eight pieces. Further, the markers M and M have the same shape and size, but when the two markers M and M have different shapes and sizes, the rotation center O of the nozzle head 20 is obtained from the captured image. The recognition accuracy of each marker M can be increased.
Although the case where the images of the markers M and M are taken three times is taken as an example, the number of times of photographing may be four or more.

１６ 基板
１４ 基板搬送装置
３ Ｙテーブル（移送装置）
７ Ｘテーブル（移送装置）
１１ ジョイントブロック
１２，１２’ ノズルユニット
１８，１８’ ノズル
２０，２０’ ノズルヘッド
３３，３３’ 駆動装置
Ｒ 軸
２１ カメラ
Ｏ 実際の回転中心
α 基準角度
２４ コントローラー（制御装置）
Ｍ，Ｍ’ マーカー
３８、３８’ マーカー部材 16 Substrate 14 Substrate transfer device 3 Y table (transfer device)
7 X table (transfer device)
11 Joint block 12, 12 ′ Nozzle unit 18, 18 ′ Nozzle 20, 20 ′ Nozzle head 33, 33 ′ Drive device R axis 21 Camera O Actual rotation center α Reference angle 24 Controller (control device)
M, M 'marker 38, 38' marker member

Claims (4)

電子部品が実装される基板の基板搬送装置と、この基板搬送装置の基板上に移送装置を介して位置決め可能に設けられたジョイントブロックと、このジョイントブロックに交換可能に取り付けられるノズルユニットとを備え、このノズルユニットが円周上に配置された複数のノズルを有するロータリー式のノズルヘッドと、このノズルヘッドを回転駆動する駆動装置と、前記ノズルヘッドを軸方向から撮影するカメラと、前記基板搬送装置と前記移送装置と前記駆動装置と前記カメラとを制御すると共に前記カメラによって撮影された画像情報に基づいて、前記ノズルヘッドの基準位置からのズレを算出し、前記ノズルヘッドの位置を校正可能な制御装置を備えた電子部品実装装置であって、前記ノズルヘッドの軸方向に面する面に前記カメラで撮影可能な２つのマーカーを設け、
前記制御装置は、前記ノズルヘッドの一回転中に前記カメラにより少なくとも３回撮影された前記マーカーに関する画像から、前記ノズルヘッドの実際の回転中心を求め、この実際の回転中心と前記ノズルヘッドの見かけ上の回転中心とのズレを求め、このズレから前記ノズルヘッドの実際の回転中心への校正量を算出し、
前記制御装置は、前記ノズルヘッドが回転の初期位置にあるときの前記２つのマーカーを結ぶ線分から、前記ノズルヘッドの回転方向での基準角度を求め、この基準角度と前回使用したノズルヘッドの基準角度との角度ズレから校正量を算出することを特徴とする電子部品実装装置。 A substrate transfer device for a substrate on which electronic components are mounted, a joint block provided on the substrate of the substrate transfer device via a transfer device so as to be positioned, and a nozzle unit attached to the joint block in a replaceable manner. A rotary nozzle head having a plurality of nozzles arranged on the circumference of the nozzle unit, a driving device for rotating the nozzle head, a camera for photographing the nozzle head from the axial direction, and the substrate transport Controls the device, the transfer device, the drive device, and the camera, and calculates the deviation from the reference position of the nozzle head based on image information captured by the camera, thereby calibrating the position of the nozzle head An electronic component mounting apparatus provided with a control device, wherein the camera head is mounted on a surface facing the axial direction of the nozzle head. In providing two markers can image,
The control device obtains an actual rotation center of the nozzle head from an image related to the marker taken at least three times by the camera during one rotation of the nozzle head, and the actual rotation center and the apparent appearance of the nozzle head. Obtain the deviation from the upper rotation center, calculate the calibration amount from this deviation to the actual rotation center of the nozzle head,
The control device obtains a reference angle in the rotation direction of the nozzle head from a line segment connecting the two markers when the nozzle head is at an initial rotation position, and the reference angle and the reference of the nozzle head used last time An electronic component mounting apparatus, wherein a calibration amount is calculated from an angle deviation from an angle . 前記マーカーは前記ノズルの先端部と同一焦点距離内に位置するマーカー部材に付されていることを特徴とする請求項１に記載の電子部品実装装置。   2. The electronic component mounting apparatus according to claim 1, wherein the marker is attached to a marker member positioned within the same focal length as the tip of the nozzle. 前記マーカー部材はノズルヘッドの直径方向に回転中心から振り分けて２つ設けられていることを特徴とする請求項２記載の電子部品実装装置。 It said marker member is an electronic component mounting apparatus 請 Motomeko 2 wherein you and being provided two by distributing the rotation center in the diameter direction of the nozzle head. 前記制御装置は、前記２つのマーカーから前記カメラの光学倍率を算出することを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか一項に記載の電子部品実装装置。   4. The electronic component mounting apparatus according to claim 1, wherein the control device calculates an optical magnification of the camera from the two markers. 5.
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