JP5633089B2 - 原子間力顕微鏡及びそのカンチレバー支持具 - Google Patents
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Description
10 顕微鏡本体
11 X−Yスキャナ
12 Zスキャナ
13 ジグ
14 カンチレバー
14’ ダミーカンチレバー
15 ピエゾドライバ
16 レーザ光源
17 二分割フォトダイオード
18 試料ステージ
20 処理部
21 振幅計測部
22 減算器
23 PID演算部
24 演算制御部
30 モニタ
131 取付面
132 左脚部
133 右脚部
134 横脚部
135 カンチレバー取付部
136 ダミーカンチレバー取付部
141 レーザ光反射面
43 ジグ
431 取付面
432 底面
433 空洞部
Claims (10)
- 探針を有するカンチレバーを備え、前記カンチレバーと試料との試料面方向の相対位置を変えながら、前記カンチレバーと試料との間の原子間力によって生ずる相互作用量が一定となるように、試料面に対する前記カンチレバーの高さ方向の位置を制御することで、試料の表面の情報を取得する原子間力顕微鏡であって、さらに、
前記カンチレバーを支持するカンチレバー支持具と、
前記高さ方向を駆動方向として前記カンチレバー支持具を振動させる、一つのZスキャナとを備え、
前記一つのZスキャナによって振動される前記カンチレバー支持具は、前記Zスキャナの駆動方向に直交する方向に突出したカンチレバー取付部と、前記カンチレバー取付部の突出方向と反対方向に突出したバランス突出部を有している
ことを特徴とする原子間力顕微鏡。 - 前記カンチレバー支持具は、前記Zスキャナの駆動により生じるモーメントが釣り合う形状及び比重分布で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の原子間力顕微鏡。
- 前記カンチレバー支持具は、前記Zスキャナの駆動軸を含み前記カンチレバー取付部の突出方向と垂直な第2の平面について、面対称の形状を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の原子間力顕微鏡。
- 前記カンチレバー支持具は、前記Zスキャナの駆動軸を含み前記カンチレバー取付部の突出方向と平行な第1の平面について、面対称の形状を有することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の原子間力顕微鏡。
- 前記カンチレバー支持具は、頂部に前記Zスキャナに取り付けられる取付面が形成され、前記取付面から斜め下方向に第1の脚部が延伸し、前記第1の脚部と反対方向に第2の脚部が延伸し、前記第1の脚部と前記第2の脚部は下端部で横脚部によって連結され、前記第1の脚部と前記横脚部との連結部から前記カンチレバー取付部が突出し、前記第2の脚部と前記横脚部との連結部から前記カンチレバー取付部と同形状の前記バランス突出部が突出した形状を有していることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の原子間力顕微鏡。
- 前記カンチレバー支持具は、頂部に前記Zスキャナに取り付けられる取付面が形成された略台形円錐形状を有していることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の原子間力顕微鏡。
- 前記カンチレバー取付部に前記カンチレバーが取り付けられるとともに、前記バランス突出部に試料の表面の情報の取得に用いられないダミーカンチレバーが取り付けられることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の原子間力顕微鏡。
- カンチレバーを支持して、試料面に対する前記カンチレバーの高さ方向を駆動方向として振動する原子間力顕微鏡の一つのZスキャナに取り付けられるカンチレバー支持具であって、
前記一つのZスキャナの駆動方向に直交する方向に突出したカンチレバー取付部と、前記カンチレバー取付部の突出方向と反対方向に突出したバランス突出部を有していることを特徴とするカンチレバー支持具。 - 前記Zスキャナに取り付けられたときに前記Zスキャナの駆動軸と一致する軸を中心軸として、当該中心軸を含み前記カンチレバー取付部の突出方向と垂直な第2の平面について、面対称の形状を有することを特徴とする請求項8に記載のカンチレバー支持具。
- 前記Zスキャナに取り付けられたときに前記Zスキャナの駆動軸と一致する軸を中心軸として、当該中心軸を含み前記カンチレバー取付部の突出方向と平行な第1の平面について、面対称の形状を有することを特徴とする請求項8又は9に記載のカンチレバー支持具。
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JP2007271358A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Sii Nanotechnology Inc | プローブホルダ及び走査型プローブ顕微鏡 |
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