JP5632617B2 - Transparent conductive material - Google Patents

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本発明は、電気回路、電磁波シールド材、タッチパネル等の用途に用いることができる透明導電性材料に関するものである。   The present invention relates to a transparent conductive material that can be used for applications such as an electric circuit, an electromagnetic shielding material, and a touch panel.

近年、電気回路、電磁波シールド材、タッチパネル等の用途で、透明導電性材料の需要が急速に伸びてきている。中でも抵抗膜式タッチパネル等での需要が以前にも増して多くなってきている。   In recent years, the demand for transparent conductive materials has been rapidly increasing in applications such as electric circuits, electromagnetic shielding materials, and touch panels. In particular, the demand for resistive touch panels is increasing more than before.

透明導電性材料の製造方法としては、銀、銅、ニッケル、インジウム等の導電性金属をスパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、真空蒸着法、湿式塗工法によって透明樹脂フィルム上に金属薄膜を形成させる方法が一般的に用いられている。透明導電性材料の需要が拡大する中にあって、インジウム等の鉱物資源の枯渇問題等もあり、低コストで生産性が高い製造方法が求められている。   As a method for producing a transparent conductive material, a conductive metal such as silver, copper, nickel, or indium is formed on a transparent resin film by sputtering, ion plating, ion beam assist, vacuum deposition, or wet coating. A method of forming a thin film is generally used. Amid the growing demand for transparent conductive materials, there is a problem of depletion of mineral resources such as indium, etc., and a low-cost and high-productivity manufacturing method is required.

透明導電性材料に求められる性能として導電性と光透過率があるが、導電性を高くするにはある程度の膜厚の金属薄膜が必要であり、それによって透過率が低下するという問題がある。従って、導電性が高くかつ光透過率が高い透明導電性フィルムが求められる。このような透明導電性材料としては、光透過性支持体上に、金属細線をメッシュパターン状に形成し、金属細線の線幅やピッチ、さらにはパターン形状等を調整することにより、高い光線透過率を維持し、高い導電性を付与した導電性材料が知られている。   As performance required for the transparent conductive material, there are conductivity and light transmittance. However, a metal thin film with a certain film thickness is necessary to increase the conductivity, and there is a problem in that the transmittance is lowered. Therefore, a transparent conductive film having high conductivity and high light transmittance is required. As such a transparent conductive material, a thin metal wire is formed in a mesh pattern on a light-transmitting support, and by adjusting the line width and pitch of the fine metal wire, and the pattern shape, etc., a high light transmittance is achieved. A conductive material that maintains the rate and imparts high conductivity is known.

金属細線メッシュパターンの形状に関しては、各種パターンが紹介されている。特開平10−41682号公報(特許文献1)では、正三角形、二等辺三角形、直角三角形等の三角形、正方形、長方形、菱形、平行四辺形、台形等の四角形、(正)六角形、(正)八角形、(正)十二角形、(正)二十角形等の(正)n角形、円、だ円、星形等を組み合わせた模様でありこれらの単位の単独の繰り返しあるいは2種類以上の組み合わせパターンが開示されている。国際公開第2006/040989号パンフレット(特許文献2)では不規則な網目構造の導電部が存在するパターンが開示されている。特開2002−223095号公報(特許文献3)では、ストライプ状、煉瓦積み模様状のパターンが開示されている。これらのパターンの中でも、正方形、菱形及び正六角形のパターンが多用されている。また、金属メッシュパターンの線幅については、導電性や光透過性等を考慮して、1〜50μm程度の金属細線が用いられる。ピッチについては同じく100〜1000μm程度に設定される。金属メッシュパターンの線幅、ピッチについては、各々の発明に対する好ましい範囲が、多くの公開特許公報等に記載されている。   Various patterns have been introduced regarding the shape of the metal fine wire mesh pattern. In Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-41682 (Patent Document 1), a triangle such as a regular triangle, an isosceles triangle, a right triangle, a square, a rectangle, a rhombus, a parallelogram, a trapezoid, or the like, a (positive) hexagon, ) The pattern is a combination of (positive) n-gon, such as octagon, (positive) dodecagon, (positive) icosahedron, etc. The combination pattern is disclosed. International Publication No. 2006/040989 pamphlet (Patent Document 2) discloses a pattern in which a conductive portion having an irregular network structure is present. Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-223095 (Patent Document 3) discloses a striped pattern and a brickwork pattern. Among these patterns, square, rhombus and regular hexagonal patterns are frequently used. As for the line width of the metal mesh pattern, a thin metal wire of about 1 to 50 μm is used in consideration of conductivity, light transmittance, and the like. The pitch is similarly set to about 100 to 1000 μm. Regarding the line width and pitch of the metal mesh pattern, preferred ranges for each invention are described in many published patent publications and the like.

光透過性支持体上にメッシュパターン状の金属細線を有する透明導電性材料を製造する方法としては例えば、1)銅、金、ITO、酸化スズ等の導電性材料で被覆された絶縁性基板に、2)感光性樹脂等のフォトレジスト剤を塗りつけ、3)所望のパターンのマスクをかけて紫外線等を照射して、4)フォトレジスト剤を硬化させ、5)未硬化部分を取り除いた後、6)化学エッチング等によって不要な導電性材料部分を除去し電気回路を形成する方法(サブトラクティブ法)や1)絶縁性基板に無電解めっき触媒を付与し、2)フォトレジスト剤を塗布し、露光及び現像し、3)無電解めっきを施し、導電パターンを形成し、4)めっきレジストを除去する方法(フルアディティブ法)、あるいは1)絶縁性基板に無電解めっき触媒を付与し、無電解めっきを施し、2)フォトレジスト剤を塗布し、露光及び現像し、3)電解めっきを施し、導電パターンを形成し、4)めっきレジスト等を剥離にする方法(セミアディティブ法)等も知られている。   Examples of a method for producing a transparent conductive material having a mesh pattern-shaped fine metal wire on a light-transmitting support include 1) an insulating substrate coated with a conductive material such as copper, gold, ITO, tin oxide. 2) Applying a photoresist agent such as a photosensitive resin, 3) Applying a mask with a desired pattern and irradiating with ultraviolet rays, etc. 4) Curing the photoresist agent 5) After removing the uncured portion, 6) A method of removing an unnecessary conductive material portion by chemical etching or the like to form an electric circuit (subtractive method), 1) applying an electroless plating catalyst to an insulating substrate, 2) applying a photoresist agent, Exposure and development, 3) Electroless plating to form a conductive pattern, 4) Method of removing plating resist (full additive method), or 1) Electroless plating catalyst applied to insulating substrate Electroless plating, 2) Applying a photoresist agent, exposure and development, 3) Electrolytic plating, forming a conductive pattern, 4) Method of peeling plating resist, etc. (semi-additive method), etc. Is also known.

また、簡易な工程で電気回路を製造する方法としては金属ペーストを基板上にスクリーン印刷法やインクジェット印刷法等で印刷し、焼結等させることで電気回路を形成する方法や無電解めっき触媒を有するペーストを基板上にスクリーン印刷法やインクジェット印刷法等で印刷し、無電解めっきを施し電気回路を形成する方法が知られている。   In addition, as a method for producing an electric circuit by a simple process, a method of forming an electric circuit by printing a metal paste on a substrate by a screen printing method or an ink jet printing method, and sintering, or an electroless plating catalyst is used. A method is known in which an electric circuit is formed by printing a paste having a substrate on a substrate by a screen printing method, an ink jet printing method, or the like, and performing electroless plating.

さらに均一で高精細なパターンを簡易に、かつ安定に作るという観点において、近年導電性材料前駆体としてハロゲン化銀乳剤層を有する銀塩写真感光材料を使用する方法が提案されている。例えば国際公開第2001/51276号パンフレット(特許文献4)、特開2004−221564号公報(特許文献5)では銀塩写真感光材料を、1)像露光、現像処理した後、2)金属めっき処理を施すことで導電性材料を製造する方法の提案がなされている。同じく銀塩感光材料を使う方法として銀塩拡散転写法を用いる方法も提案されており、例えば特開2003−77350号公報(特許文献6)等がある。これらの方法で得られた導電性材料は銀塩写真法を用いているため、高精細な画線を描くことは容易であり、安定性も高く、工程も簡易で、非常に良好な特性を示す。   In view of making a uniform and high-definition pattern easily and stably, a method using a silver salt photographic light-sensitive material having a silver halide emulsion layer as a conductive material precursor has been proposed in recent years. For example, in International Publication No. 2001/51276 pamphlet (Patent Document 4) and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-221564 (Patent Document 5), a silver salt photographic light-sensitive material is subjected to 1) image exposure and development treatment, and 2) metal plating treatment. The proposal of the method of manufacturing an electroconductive material by making is performed. Similarly, a method using a silver salt diffusion transfer method has also been proposed as a method using a silver salt photosensitive material, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-77350 (Patent Document 6). Since the conductive materials obtained by these methods use silver salt photography, it is easy to draw high-definition lines, high stability, simple processes, and very good characteristics. Show.

このような製造方法で作製した金属メッシュパターンは比較的安価に生産することができるが、透明導電性材料としては導電性が高く表面抵抗率が低いため、例えばアナログ方式の抵抗膜式タッチパネル用途等に適用するために表面抵抗率を合わせ込むことは困難である。アナログ方式の抵抗膜式タッチパネルでは、細かい座標位置を認識する必要があるため、電極に使用する透明導電性材料に、ある程度の大きさの抵抗が必要である。   Although the metal mesh pattern produced by such a manufacturing method can be produced at a relatively low cost, the transparent conductive material has high conductivity and low surface resistivity. It is difficult to adjust the surface resistivity for application. In the analog resistive touch panel, since it is necessary to recognize a fine coordinate position, a certain amount of resistance is required for the transparent conductive material used for the electrode.

金属メッシュパターンを持つ透明導電性材料の表面抵抗率を高くするには、メッシュパターンのピッチを広くする方法がある。メッシュパターンのピッチを広げると、透明導電性材料の表面抵抗率は高くなり、光透過率も向上するが、メッシュパターン金属細線の存在が認識できるようになるという問題がある。通常、タッチパネルは、LCD等のディスプレイ上に設置されるので、メッシュパターン金属細線の視認性が上がってしまうと、ディスプレイに表示された画像上に金属細線が目立ち、美観を損ねるため好ましくない。   In order to increase the surface resistivity of the transparent conductive material having a metal mesh pattern, there is a method of increasing the pitch of the mesh pattern. When the pitch of the mesh pattern is increased, the surface resistivity of the transparent conductive material is increased and the light transmittance is improved, but there is a problem that the presence of the mesh pattern metal fine wire can be recognized. Usually, since the touch panel is installed on a display such as an LCD, if the visibility of the mesh pattern fine metal wire is increased, the fine metal wire is conspicuous on the image displayed on the display, which is not preferable.

表面抵抗率を高くする他の方法として、メッシュパターンの線幅を細くする方法や、金属の膜厚を薄くする方法がある。例えばフォトレジスト剤を使用するサブトラクティブ法や、セミアディティブ法等では、露光用マスクの線幅を調整することや化学エッチングの強さを調整することにより、表面抵抗率を高くすることができる。スクリーン印刷法やインクジェット印刷法を用いる方法では、印刷板の線幅の調整やインクの吐出量の調整で金属ペースト量を調整し表面抵抗率を高くすることができる。めっき触媒を印刷する場合は、無電解めっき量を調整することにより、表面抵抗率を高くすることができる。銀塩写真感光材料に金属めっきを施す方法では、金属めっき量を調整することにより、表面抵抗率を高くすることができる。さらに銀塩拡散転写法を用いる方法では、マスクの線幅を調整することや露光時間を調整することにより、表面抵抗率を高くすることができる。   As another method of increasing the surface resistivity, there are a method of reducing the line width of the mesh pattern and a method of reducing the metal film thickness. For example, in a subtractive method using a photoresist agent, a semi-additive method, or the like, the surface resistivity can be increased by adjusting the line width of the exposure mask or adjusting the strength of chemical etching. In the method using the screen printing method or the ink jet printing method, the surface resistivity can be increased by adjusting the amount of the metal paste by adjusting the line width of the printing plate or adjusting the ink discharge amount. When printing a plating catalyst, the surface resistivity can be increased by adjusting the amount of electroless plating. In the method of performing metal plating on the silver salt photographic light-sensitive material, the surface resistivity can be increased by adjusting the amount of metal plating. Furthermore, in the method using the silver salt diffusion transfer method, the surface resistivity can be increased by adjusting the line width of the mask or adjusting the exposure time.

しかし、上記のような線幅を細くすることや金属の膜厚を薄くすることで表面抵抗率を高くしようとすると、僅かな露光量のフレ、金属ペースト量のフレ、金属めっき量のフレ等により部分的な表面抵抗率の差(変化率)が生じることがあり、得られる透明導電性材料において、材料内での表面抵抗率が不均一になることが多かった。このような導電性材料を例えば抵抗膜式タッチパネル用電極等へ適用すると、正確な座標位置が認識できなくなる原因となり好ましくない。このため例えばアナログ方式の抵抗膜式タッチパネル用の電極材として好適な、表面抵抗率が高く、かつ均一であり、メッシュ細線の視認性が低い透明導電性材料が求められていた。   However, if the surface resistivity is increased by reducing the line width as described above or by reducing the metal film thickness, a slight exposure amount flare, metal paste amount flare, metal plating amount flare, etc. May cause a partial difference in surface resistivity (rate of change), and the resulting transparent conductive material often has non-uniform surface resistivity within the material. If such a conductive material is applied to, for example, an electrode for a resistive touch panel, it is not preferable because an accurate coordinate position cannot be recognized. For this reason, there has been a demand for a transparent conductive material that is suitable as an electrode material for, for example, an analog resistive film type touch panel, has high surface resistivity, is uniform, and has low visibility of fine mesh wires.

特開平10−41682号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-41682 国際公開第2006/040989号公報International Publication No. 2006/040989 特開2002−223095号公報JP 2002-223095 A 国際公開第2001/51276号パンフレットInternational Publication No. 2001/51276 Pamphlet 特開2004−221564号公報JP 2004-221564 A 特開2003−77350号公報JP 2003-77350 A

従って、本発明の目的は、表面抵抗率が高く、かつ場所による表面抵抗率の均一性が高く、メッシュ細線の視認性が低い透明導電性材料を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a transparent conductive material having high surface resistivity, high uniformity of surface resistivity depending on the location, and low visibility of mesh fine lines.

本発明の上記課題は以下の発明によって達成される。
(1)光透過性支持体上に電気抵抗が5kΩ/cm〜500kΩ/cmの金属細線からなるメッシュパターンと、該金属細線の5倍以上の電気抵抗を有する細線とで構成されるパターンを有し、該メッシュパターンを形成する金属細線、および該金属細線の5倍以上の電気抵抗を有する細線の線幅が、1〜50μmである透明導電性材料
The above object of the present invention is achieved by the following invention.
(1) Yes and mesh pattern made of a metal thin wire electrical resistance on the light transmissive support is 5kΩ / cm~500kΩ / cm, a pattern composed of a thin line having more than five times the electrical resistance of the metal thin wires And a thin metal wire forming the mesh pattern, and a transparent conductive material having a line width of 1 to 50 μm , the wire having an electric resistance of 5 times or more that of the metal wire .

本発明により、例えば抵抗膜式タッチパネル用の電極材として好適な、表面抵抗率が比較的高く、かつ均一であり、メッシュ細線の視認性が低い透明導電性材料を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a transparent conductive material that is suitable as an electrode material for, for example, a resistive touch panel, has a relatively high surface resistivity, is uniform, and has low visibility of fine mesh wires.

本発明のメッシュパターンの一例An example of the mesh pattern of the present invention 図1のメッシュパターンの構成要素(高導電線)Components of the mesh pattern in Fig. 1 (high conductive lines) 図1のメッシュパターンの構成要素(低導電線で構成されるパターン)Components of the mesh pattern in FIG. 1 (pattern composed of low conductive lines) 図2の金属細線、図1のピッチのメッシュパターン2 fine metal wire, mesh pattern of pitch of FIG. 本発明のメッシュパターンの一例An example of the mesh pattern of the present invention 図5のメッシュパターンの構成要素(高導電線)Components of the mesh pattern in FIG. 5 (high conductive lines) 図5のメッシュパターンの構成要素(低導電線で構成されるパターン)Components of the mesh pattern in FIG. 5 (pattern composed of low conductive lines) 図6の金属細線、図5のピッチのメッシュパターン6 fine metal wire, mesh pattern of pitch of FIG.

本発明の透明導電性材料はその金属細線パターンに特徴があり、表面抵抗率に寄与する金属細線からなるメッシュパターンと該金属細線よりも大きい電気抵抗を有する実質的に表面抵抗率に寄与しない細線とでメッシュパターンを構成する。以下、表面抵抗率に寄与する金属細線からなるメッシュパターンを高導電線、実質的に表面抵抗率に寄与しない細線を低導電線とする。   The transparent conductive material of the present invention is characterized by its fine metal wire pattern, a mesh pattern composed of fine metal wires contributing to surface resistivity, and a fine wire having substantially higher electric resistance than the fine metal wires and substantially not contributing to surface resistivity. And a mesh pattern. Hereinafter, a mesh pattern made of fine metal wires contributing to surface resistivity is referred to as a high conductive wire, and a thin wire that does not substantially contribute to surface resistivity is referred to as a low conductive wire.

本発明の透明導電性材料のメッシュパターンは、例えば、図1及び図5に示したようなメッシュパターンを有するものである。図1において、xはメッシュパターンのピッチであり、aは高導電線を形成する金属細線、bは低導電線である。bで形成されるパターンの表面抵抗率は、aで形成される高導電線の表面抵抗率よりも高いので、本発明の透明導電性材料の表面抵抗率は主に高導電線により決定され、低導電線は実質的に表面抵抗率には寄与しない。ここで実質的にとは、高導電線と低導電線とで形成された本発明のメッシュパターン(図1に相当する)の表面抵抗率が、高導電線のみで構成されるメッシュパターン(図2に相当する)の表面抵抗率の値の60〜100%であることを意味する。例えば、高導電線の表面抵抗率が500Ω/□の場合、本発明のメッシュパターンの表面抵抗率は300〜500Ω/□であることが好ましい。   The mesh pattern of the transparent conductive material of the present invention has a mesh pattern as shown in FIGS. 1 and 5, for example. In FIG. 1, x is the pitch of the mesh pattern, a is a fine metal wire forming a high conductive line, and b is a low conductive line. Since the surface resistivity of the pattern formed by b is higher than the surface resistivity of the high conductive line formed by a, the surface resistivity of the transparent conductive material of the present invention is mainly determined by the high conductive line, Low conductive lines do not substantially contribute to surface resistivity. Here, “substantially” means a mesh pattern (FIG. 1) in which the surface resistivity of the mesh pattern of the present invention (corresponding to FIG. 1) formed of a high conductive line and a low conductive line is composed only of the high conductive line. 2) (corresponding to 2) of the surface resistivity value. For example, when the surface resistivity of the high conductive wire is 500Ω / □, the surface resistivity of the mesh pattern of the present invention is preferably 300 to 500Ω / □.

本発明において、高導電線を形成する金属細線aの単位長さあたりの電気抵抗は5kΩ/cm〜500kΩ/cmが好ましい。低導電線である細線bはaの単位長さあたりの抵抗よりも大きい値を示すものであり、aの電気抵抗の5倍以上が好ましく、さらに好ましくは10倍以上である。   In the present invention, the electrical resistance per unit length of the fine metal wire a forming the high conductive wire is preferably 5 kΩ / cm to 500 kΩ / cm. The thin wire b, which is a low conductive wire, shows a value larger than the resistance per unit length of a, and is preferably 5 times or more, more preferably 10 times or more the electrical resistance of a.

本発明において、高導電線はaで構成されるある一定のピッチを持ったメッシュパターンであり、例えば300μmピッチの高導電線であれば、表面抵抗率が1〜300Ω/□となることが好ましい。本発明においては、金属細線メッシュパターンのピッチを調整することで、100〜1000Ω/□の表面抵抗率を有する導電性材料が得られる。   In the present invention, the high conductive line is a mesh pattern having a certain pitch composed of a. For example, if the high conductive line has a pitch of 300 μm, the surface resistivity is preferably 1 to 300Ω / □. . In the present invention, a conductive material having a surface resistivity of 100 to 1000 Ω / □ can be obtained by adjusting the pitch of the fine metal mesh pattern.

本発明において、高導電線のピッチは、200μm〜5000μmが好ましい。高導電線のピッチを広げることで、透明導電性材料の表面抵抗率の値を大きくすることができるが、ピッチが広くなることで、金属細線パターンの視認性が上がる。これを避けるために、高導電線に低導電線(図3に相当する)を重ね合わせる。   In the present invention, the pitch of the high conductive wire is preferably 200 μm to 5000 μm. By increasing the pitch of the high conductive wire, the value of the surface resistivity of the transparent conductive material can be increased. However, the visibility of the metal fine wire pattern is increased by increasing the pitch. In order to avoid this, a low conductive line (corresponding to FIG. 3) is superimposed on a high conductive line.

本発明の透明導電性材料のメッシュパターンの一例である図1について詳しく説明する。図1のメッシュパターンは、図2の高導電線のピッチ間に図3の低導電線を描画したことにより、図2の高導電線のピッチに対して1/2のピッチを持つメッシュパターンである。図2のaは高導電線を形成する金属細線であり、ピッチyは図1のピッチxの2倍、2xである。図3のbは低導電線であり、該低導電線のピッチは図2の高導電線のピッチと同じくyである。図2のメッシュパターンは、図4で示したピッチxの高導電線よりも、ピッチを2倍にしているため高い表面抵抗率を得られるが、ピッチを広げることにより金属細線の視認性が上がる傾向がある。これに対して、本発明の図1のメッシュパターンは概ね図2のメッシュパターンと同等の表面抵抗率が得られ、かつ、図2のメッシュパターンのように視認性が上がることはない。   1 which is an example of the mesh pattern of the transparent conductive material of the present invention will be described in detail. The mesh pattern of FIG. 1 is a mesh pattern having a pitch that is ½ of the pitch of the high conductive line of FIG. 2 by drawing the low conductive line of FIG. 3 between the pitches of the high conductive line of FIG. is there. 2a is a fine metal wire forming a highly conductive line, and the pitch y is twice the pitch x of FIG. 1 and 2x. B in FIG. 3 is a low conductive line, and the pitch of the low conductive line is y, similar to the pitch of the high conductive line in FIG. The mesh pattern in FIG. 2 can obtain a higher surface resistivity because the pitch is doubled than the high-conductivity line having the pitch x shown in FIG. 4, but the visibility of the fine metal wires is increased by increasing the pitch. Tend. On the other hand, the mesh pattern of FIG. 1 according to the present invention has a surface resistivity substantially equal to that of the mesh pattern of FIG. 2, and the visibility does not increase like the mesh pattern of FIG.

同じく本発明の透明導電性材料のメッシュパターンの一例である図5について詳しく説明する。図5の金属メッシュパターンは、図6及び図7のメッシュパターンから構成される。図6のメッシュパターンのaは高導電線を形成する金属細線であり、ピッチzは図5のピッチxの3倍、3xである。図7のメッシュパターンのbは低導電線であり、ピッチはxと2xが交互に並んだ形となる。図6の高導電線は、図8で示したピッチxの高導電線よりも、高い表面抵抗率にすることができる。図6の高導電線は、図8の高導電線に対してピッチを3倍にしているので、高い表面抵抗率が得られるが、金属細線の視認性は上がる傾向にある。そこで、図7の低導電線を組み合わせることで、金属細線の視認性を上げることなく、高い表面抵抗率を得ることができる。   Similarly, FIG. 5 which is an example of the mesh pattern of the transparent conductive material of the present invention will be described in detail. The metal mesh pattern shown in FIG. 5 is composed of the mesh patterns shown in FIGS. 6 of the mesh pattern of FIG. 6 is a metal fine wire which forms a highly conductive line, and the pitch z is 3 times the pitch x of FIG. 5 and 3x. 7 in the mesh pattern in FIG. 7 is a low conductive line, and the pitch is in the form of alternating x and 2x. The high conductivity line of FIG. 6 can have a higher surface resistivity than the high conductivity line of the pitch x shown in FIG. The high conductive wire in FIG. 6 has a pitch three times that of the high conductive wire in FIG. 8, so that a high surface resistivity can be obtained, but the visibility of the metal thin wire tends to increase. Therefore, by combining the low conductive wires in FIG. 7, high surface resistivity can be obtained without increasing the visibility of the fine metal wires.

本発明の透明導電性材料のメッシュパターンにおいて、高導電線を形成する金属細線と低導電線の配列は任意に選択することができる。例えば、図1は高導電線を形成する金属細線1、低導電線1の割合で交互に配列しており、図5は高導電線を形成する金属細線1、低導電線2の割合で配列している。他に高導電線1に対して低導電線3、高導電線1に対して低導電線4、高導電線2に対して低導電線1、高導電線2に対して低導電線3、高導電線2に対して低導電線5、高導電線3に対して低導電線1、高導電線3に対して低導電線2、高導電線3に対して低導電線4、高導電線3に対して低導電線5等、所望の表面抵抗率に合わせて、高導電線、低導電線を任意に組み合わせることができる。好ましい組み合わせは、高導電線を形成する金属細線1に対して低導電線の割合が1以上である組み合わせである。   In the mesh pattern of the transparent conductive material of the present invention, the arrangement of the thin metal wires and the low conductive wires forming the high conductive wires can be arbitrarily selected. For example, FIG. 1 is alternately arranged at a ratio of metal thin wires 1 and low conductive lines 1 forming high conductive lines, and FIG. 5 is arranged at a ratio of metal thin wires 1 and low conductive lines 2 forming high conductive lines. doing. In addition, the low conductive line 3 for the high conductive line 1, the low conductive line 4 for the high conductive line 1, the low conductive line 1 for the high conductive line 2, the low conductive line 3 for the high conductive line 2, Low conductive line 5 for high conductive line 2, Low conductive line 1 for high conductive line 3, Low conductive line 2 for high conductive line 3, Low conductive line 4 for high conductive line 3, High conductive line A high conductive line and a low conductive line can be arbitrarily combined with the line 3 in accordance with a desired surface resistivity such as the low conductive line 5. A preferred combination is a combination in which the ratio of the low conductive wire is 1 or more with respect to the thin metal wire 1 forming the high conductive wire.

本発明の透明導電性材料のメッシュパターンのピッチ(高導電線を形成する金属細線からなるメッシュパターン及び低導電線を含む)は50〜1000μmが好ましく、100〜500μmがより好ましい。ピッチが密になりすぎると透明導電性材料として、光線透過率が低下する場合がある。ピッチが粗になりすぎると金属細線を視認できるようになり、透明導電性材料としての美観を損ねる場合がある。   The pitch of the mesh pattern of the transparent conductive material of the present invention (including the mesh pattern composed of fine metal wires forming the high conductive line and the low conductive line) is preferably 50 to 1000 μm, and more preferably 100 to 500 μm. If the pitch becomes too dense, the light transmittance may decrease as a transparent conductive material. If the pitch becomes too coarse, fine metal wires can be visually recognized, which may impair the aesthetic appearance of the transparent conductive material.

本発明の透明導電性材料の高導電線を形成する金属細線及び低導電線の線幅は任意に決めることができるが、1〜50μmが好ましく、5〜30μmがさらに好ましい。線幅が太くなると光線透過率が低下する、金属細線の視認性が高まる等、美観を損ねてしまう場合がある。   The line widths of the fine metal wire and the low conductive wire forming the high conductive wire of the transparent conductive material of the present invention can be arbitrarily determined, but are preferably 1 to 50 μm, and more preferably 5 to 30 μm. When the line width is increased, the light transmittance may be reduced, and the visibility of the fine metal wire may be increased.

本発明の透明導電性材料の高導電線を形成する金属細線及び低導電線の膜厚は0.01〜20μmが好ましく、0.1〜10μmがさらに好ましい。   The film thickness of the thin metal wire and the low conductive wire forming the high conductive wire of the transparent conductive material of the present invention is preferably 0.01 to 20 μm, more preferably 0.1 to 10 μm.

本発明において、低導電線の作製方法として、線幅の調整、膜厚の調整等を挙げることができる。また、印刷により低導電線を設ける場合には、ペースト中の金属比率を下げたり、あるいは金属に変わってカーボンブラック等の非金属含有ペーストを用いて印刷することもできる。低導電線の線幅、膜厚は高導電線を形成する金属細線と比較して、線幅で50〜100%、膜厚で0.01〜100%とすることが目安である。これ以下になると透明導電性材料を目視したときの違和感のため美観を損ねてしまう場合がある。なお、低導電線は絶縁体であっても良い。   In the present invention, examples of a method for producing a low conductive line include adjustment of line width and adjustment of film thickness. Moreover, when providing a low conductive wire by printing, the metal ratio in the paste can be reduced, or printing can be performed using a non-metal containing paste such as carbon black instead of metal. As a guideline, the line width and film thickness of the low conductive line are 50 to 100% in terms of line width and 0.01 to 100% in terms of film thickness, as compared with the thin metal wire forming the high conductive line. If it is less than this, the aesthetic appearance may be impaired due to a sense of discomfort when the transparent conductive material is visually observed. The low conductive line may be an insulator.

本発明の透明導電性材料の細線メッシュパターンの形状は正方形、菱形、(正)六角形等が好ましい。   The shape of the fine wire mesh pattern of the transparent conductive material of the present invention is preferably a square, a rhombus, a (regular) hexagon, or the like.

本発明に用いる透明導電性材料の光透過性支持体としては、例えばポリエチレンテレフタレート等のポリエステル樹脂、ジアセテート樹脂、トリアセテート樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリイミド樹脂、セロハン、セルロイド等のプラスチック樹脂フィルム等の光透過性支持体を用いる。ここで光透過性とは全光線透過率が80%以上であることを意味する。これらは本発明の目的を妨げない程度に着色していても良く、さらにこれら各種光透過性支持体を単体で使うこともできるが、これらを組み合わせた積層体であっても良い。光透過性支持体の厚みは5〜300μmが好ましい。   Examples of the light transmissive support of the transparent conductive material used in the present invention include polyester resins such as polyethylene terephthalate, diacetate resins, triacetate resins, acrylic resins, polycarbonate resins, polyvinyl chloride, polyimide resins, cellophane, and celluloid. A light transmissive support such as a plastic resin film is used. Here, the light transmittance means that the total light transmittance is 80% or more. These may be colored to such an extent that they do not interfere with the object of the present invention, and these various light-transmitting supports can be used alone, but a laminate obtained by combining them may also be used. The thickness of the light transmissive support is preferably 5 to 300 μm.

本発明の導電性材料の細線パターンに使用される金属としては、銅、アルミニウム、ニッケル、鉄、金、銀、ステンレス、タングステン、クロム、チタン等の金属の内の1種または2種以上の金属、あるいは2種以上を組み合わせた合金を使用することができる。   As a metal used for the thin wire pattern of the conductive material of the present invention, one or more metals among metals such as copper, aluminum, nickel, iron, gold, silver, stainless steel, tungsten, chromium, titanium, etc. Alternatively, an alloy in which two or more kinds are combined can be used.

本発明の透明導電性材料において、表面抵抗率は任意に設定できるが、例えばアナログ方式の抵抗膜式タッチパネル用途としては、100〜1000Ω/□が好ましい。   In the transparent conductive material of the present invention, the surface resistivity can be arbitrarily set. For example, for an analog resistive film type touch panel, 100 to 1000Ω / □ is preferable.

本発明の透明導電性材料において、金属細線パターンを支持体上に形成させる方法としては、サブトラクティブ法、フルアディティブ法、セミアディティブ法等フォトレジスト剤を使用し画像形成する方法、金属ペーストを支持体上にスクリーン印刷法やインクジェット印刷法等で印刷し、焼結等させる方法、無電解めっき触媒を有するペーストを基板上にスクリーン印刷法やインクジェット印刷法等で印刷し、無電解めっきを施す方法、銀塩写真感光材料により得られた画像にめっきを施す方法、銀塩拡散転写法を用いる方法等がある。   In the transparent conductive material of the present invention, as a method of forming a fine metal wire pattern on a support, a method of forming an image using a photoresist agent such as a subtractive method, a full additive method, a semi-additive method, or a metal paste is supported. A method of printing on a body by a screen printing method, an ink jet printing method, or the like, a method of sintering, a method of printing a paste having an electroless plating catalyst on a substrate by a screen printing method, an ink jet printing method, or the like, and applying electroless plating There are a method of plating an image obtained from a silver salt photographic light-sensitive material, a method of using a silver salt diffusion transfer method, and the like.

その中でも、本発明の透明導電性材料の特徴である、高導電線及び低導電線でメッシュパターンを形成するには、均一で高精細なパターンを簡易にかつ安定に作ることができるという観点から、銀塩拡散転写法を使用する方法が好ましい。以下に本発明の透明導電性材料の作製に好ましく用いられる銀塩拡散転写法による金属細線パターンの形成方法について説明する。   Among them, in order to form a mesh pattern with a high conductive line and a low conductive line, which is a feature of the transparent conductive material of the present invention, from the viewpoint that a uniform and high-definition pattern can be made easily and stably. A method using a silver salt diffusion transfer method is preferred. A method for forming a fine metal wire pattern by a silver salt diffusion transfer method, which is preferably used for producing the transparent conductive material of the present invention, will be described below.

銀塩拡散転写法による透明導電性材料の製造方法は、透明導電性材料前駆体を像様に露光後、銀塩拡散転写現像により金属銀を析出させる。導電性材料前駆体は支持体上に少なくとも物理現像核層、ハロゲン化銀乳剤層を支持体に近い方からこの順で有する。さらには、非感光性層を支持体から最も遠い最外層及びまたは物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層との間の中間層、あるいは支持体と物理現像核層との間の下引き層として有していても良い。なお、透明導電性材料前駆体が有する支持体は前述の透明導電性材料の光透過性支持体と同義であり、また、この前駆体が有する支持体は本発明の光透過性支持体に相当する。   In the method for producing a transparent conductive material by the silver salt diffusion transfer method, after the transparent conductive material precursor is imagewise exposed, metallic silver is deposited by silver salt diffusion transfer development. The conductive material precursor has at least a physical development nucleus layer and a silver halide emulsion layer on the support in this order from the side closer to the support. Further, the non-light-sensitive layer is used as an outermost layer farthest from the support and / or an intermediate layer between the physical development nucleus layer and the silver halide emulsion layer, or an undercoat layer between the support and the physical development nucleus layer. You may have. In addition, the support body which a transparent conductive material precursor has is synonymous with the light transmissive support body of the above-mentioned transparent conductive material, and the support body which this precursor has is equivalent to the light transmissive support body of this invention. To do.

導電性材料前駆体の物理現像核層が含有する物理現像核としては、重金属あるいはその硫化物からなる微粒子(粒子サイズは1〜数十nm程度)が用いられる。例えば、金、銀等のコロイド、パラジウム、亜鉛等の水溶性塩と硫化物を混合した金属硫化物等が挙げられる。これらの物理現像核の微粒子層は、コーティング法または浸漬処理法によって、前記下引き層を形成させた支持体上に設けることができる。生産効率の面からコーティング法が好ましく用いられる。物理現像核層における物理現像核の含有量は、固形分で1mあたり0.1〜10mg程度が適当である。 As the physical development nuclei contained in the physical development nuclei layer of the conductive material precursor, fine particles (particle size is about 1 to several tens of nm) made of heavy metals or sulfides thereof are used. Examples thereof include colloids such as gold and silver, metal sulfides obtained by mixing water-soluble salts such as palladium and zinc and sulfides, and the like. The fine particle layer of these physical development nuclei can be provided on the support on which the undercoat layer is formed by a coating method or an immersion treatment method. From the viewpoint of production efficiency, a coating method is preferably used. The content of physical development nuclei in the physical development nuclei layer is suitably about 0.1 to 10 mg per m 2 in terms of solid content.

導電性材料前駆体に用いる物理現像核層は、水溶性高分子化合物を含有することもできる。水溶性高分子化合物を用いる場合の添加量は、物理現像核に対して0〜500質量%程度が好ましい。水溶性高分子化合物としては、アラビアゴム、セルロース、アルギン酸ナトリウム、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、アクリルアミドとビニルイミダゾールの共重合体等を用いることができる。   The physical development nucleus layer used for the conductive material precursor can also contain a water-soluble polymer compound. When the water-soluble polymer compound is used, the addition amount is preferably about 0 to 500% by mass relative to the physical development nucleus. Examples of the water-soluble polymer compound include gum arabic, cellulose, sodium alginate, polyvinyl alcohol, polyvinyl pyrrolidone, polyacrylamide, a copolymer of acrylamide and vinyl imidazole, and the like.

導電性材料前駆体の物理現像核層は架橋剤を含有することもできる。該架橋剤としては、例えばクロム明ばんのような無機化合物、ホルムアルデヒド、グリオキザール、マレアルデヒド、グルタルアルデヒドのようなアルデヒド類、尿素やエチレン尿素等のN−メチロール化合物、ムコクロル酸、2,3−ジヒドロキシ−1,4−ジオキサンのようなアルデヒド等価体、2,4−ジクロロ−6−ヒドロキシ−s−トリアジン塩や、2,4−ジヒドロキシ−6−クロロ−トリアジン塩のような活性ハロゲンを有する化合物、ジビニルスルホン、ジビニルケトンやN,N,N−トリアクリロイルヘキサヒドロトリアジン、活性な三員環であるエチレンイミノ基やエポキシ基を分子中に二個以上有する化合物類、高分子硬膜剤としてのジアルデヒド澱粉等の種々の化合物の1種もしくは2種以上を用いることができる。架橋剤の中でも、好ましくは、グリオキザール、グルタルアルデヒド、3−メチルグルタルアルデヒド、サクシンアルデヒド、アジポアルデヒド等のジアルデヒド類であり、より好ましい架橋剤は、グルタルアルデヒドである。架橋剤は、物理現像核層に含まれる水溶性高分子に対して、0.1〜30質量%を物理現像核層に含有させるのが好ましく、特に1〜20質量%が好ましい。   The physical development nucleus layer of the conductive material precursor can also contain a crosslinking agent. Examples of the crosslinking agent include inorganic compounds such as chromium alum, aldehydes such as formaldehyde, glyoxal, malealdehyde, and glutaraldehyde, N-methylol compounds such as urea and ethyleneurea, mucochloric acid, and 2,3-dihydroxy. Aldehyde equivalents such as -1,4-dioxane, compounds having an active halogen such as 2,4-dichloro-6-hydroxy-s-triazine salt and 2,4-dihydroxy-6-chloro-triazine salt, Divinyl sulfone, divinyl ketone, N, N, N-triacryloyl hexahydrotriazine, compounds having two or more active three-membered ethyleneimino groups and epoxy groups in the molecule, and dimers as polymer hardeners One or more of various compounds such as aldehyde starch can be usedAmong the crosslinking agents, dialdehydes such as glyoxal, glutaraldehyde, 3-methylglutaraldehyde, succinaldehyde, and adipaldehyde are preferable, and glutaraldehyde is more preferable. The crosslinking agent is preferably contained in the physical development nucleus layer in an amount of 0.1 to 30% by mass, particularly preferably 1 to 20% by mass, based on the water-soluble polymer contained in the physical development nucleus layer.

物理現像核層の塗布には、例えばディップコーティング、スライドコーティング、カーテンコーティング、バーコーティング、エアーナイフコーティング、ロールコーティング、グラビアコーティング、スプレーコーティング等の塗布方式で塗布することができる。   The physical development nucleus layer can be applied by an application method such as dip coating, slide coating, curtain coating, bar coating, air knife coating, roll coating, gravure coating, spray coating and the like.

導電性材料前駆体においては光センサーとしてハロゲン化銀乳剤層が設けられる。ハロゲン化銀に関する銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等で用いられる技術はそのまま用いることもできる。なお、本発明の副露光により前述の優れた効果が得られるハロゲン化銀乳剤はネガタイプのハロゲン化銀乳剤である。   In the conductive material precursor, a silver halide emulsion layer is provided as an optical sensor. Techniques used in silver halide photographic films, photographic papers, printing plate-making films, emulsion masks for photomasks, etc. relating to silver halide can be used as they are. The silver halide emulsion capable of obtaining the above-described excellent effects by the subexposure of the present invention is a negative type silver halide emulsion.

ハロゲン化銀乳剤層に用いられるハロゲン化銀乳剤粒子の形成には、順混合、逆混合、同時混合等の、Research Disclosure Item 17643(1978年12月)及び18716(1979年11月)、308119(1989年12月)で記載されているような公知の手法を用いることができる。中でも同時混合法の1種で、粒子形成される液相中のpAgを一定に保ついわゆるコントロールドダブルジェット法を用いることが、粒径のそろったハロゲン化銀乳剤粒子が得られる点において好ましい。本発明の導電性材料前駆体においては、好ましいハロゲン化銀乳剤粒子の平均粒径は0.25μm以下、特に好ましくは0.05〜0.2μmである。本発明に用いられるハロゲン化銀乳剤のハロゲン化物組成には好ましい範囲が存在し、塩化物を80モル%以上含有するのが好ましく、90モル%以上が塩化物であることが特に好ましい。   For formation of silver halide emulsion grains used in the silver halide emulsion layer, Research Disclosure Item 17643 (December 1978) and 18716 (November 1979), 308119 (such as forward mixing, reverse mixing, and simultaneous mixing) are used. (December 1989) can be used. Of these, the so-called controlled double jet method, which is one of the simultaneous mixing methods and keeps pAg in the liquid phase in which the grains are formed, is preferable from the viewpoint of obtaining silver halide emulsion grains having a uniform particle diameter. In the conductive material precursor of the present invention, the preferred silver halide emulsion grains have an average grain size of 0.25 μm or less, particularly preferably 0.05 to 0.2 μm. There is a preferred range for the halide composition of the silver halide emulsion used in the present invention, and it is preferable to contain 80 mol% or more of chloride, particularly preferably 90 mol% or more of chloride.

ハロゲン化銀乳剤の製造においては、必要に応じてハロゲン化銀粒子の形成あるいは物理熟成の過程において、亜硫酸塩、鉛塩、タリウム塩、あるいはロジウム塩もしくはその錯塩、イリジウム塩もしくはその錯塩等VIII族金属元素の塩、もしくはその錯塩を共存させても良い。また、種々の化学増感剤によって増感することができ、イオウ増感法、セレン増感法、貴金属増感法等、当業界で一般的な方法を、単独、あるいは組み合わせて用いることができる。また本発明に用いる導電性材料前駆体においてハロゲン化銀乳剤は必要に応じて色素増感することもできる。   In the production of silver halide emulsions, group VIII such as sulfite, lead salt, thallium salt, rhodium salt or complex salt thereof, iridium salt or complex salt thereof, in the process of silver halide grain formation or physical ripening as necessary A metal element salt or a complex salt thereof may coexist. Further, it can be sensitized by various chemical sensitizers, and methods commonly used in the industry such as sulfur sensitization method, selenium sensitization method and noble metal sensitization method can be used alone or in combination. . In the conductive material precursor used in the present invention, the silver halide emulsion can be dye-sensitized as necessary.

また、ハロゲン化銀乳剤層に含有するハロゲン化銀量とゼラチン量の比率は、ハロゲン化銀(銀換算)とゼラチンとの質量比(銀/ゼラチン)が1.2以上、より好ましくは1.5以上である。また、ハロゲン化銀乳剤層が含有するハロゲン化銀量は銀換算で2〜10g/mであることが好ましい。 The ratio of the amount of silver halide and the amount of gelatin contained in the silver halide emulsion layer is such that the mass ratio of silver halide (silver equivalent) to gelatin (silver / gelatin) is 1.2 or more, more preferably 1. 5 or more. The amount of silver halide contained in the silver halide emulsion layer is preferably 2 to 10 g / m 2 in terms of silver.

ハロゲン化銀乳剤層には、さらに種々の目的のために、公知の写真用添加剤を用いることができる。これらは、Research Disclosure Item 17643(1978年12月)及び18716(1979年11月)、308119(1989年12月)に記載、あるいは引用された文献に記載されている。   In the silver halide emulsion layer, known photographic additives can be used for various purposes. These are described in Research Disclosure Item 17643 (December 1978) and 18716 (November 1979) and 308119 (December 1989) or cited.

導電性材料前駆体にはハロゲン化銀乳剤層と物理現像核層の間やハロゲン化銀乳剤層の上の層に非感光性層を設けることができる。これらの非感光性層は、水溶性高分子化合物を主たるバインダーとする層である。ここでいう水溶性高分子化合物とは、現像液で容易に膨潤し、下層のハロゲン化銀乳剤層、物理現像核層まで現像液を容易に浸透させるものであれば任意のものが選択できる。   In the conductive material precursor, a non-photosensitive layer can be provided between the silver halide emulsion layer and the physical development nucleus layer or on the silver halide emulsion layer. These non-photosensitive layers are layers containing a water-soluble polymer compound as a main binder. As the water-soluble polymer compound mentioned here, any compound can be selected as long as it easily swells with the developer and allows the developer to easily penetrate into the lower silver halide emulsion layer and the physical development nucleus layer.

具体的には、ゼラチン、アルブミン、カゼイン、ポリビニルアルコール等を用いることができる。特に好ましい水溶性高分子化合物は、ゼラチン、アルブミン、カゼイン等のタンパク質である。本発明の効果を十分に得るためには、この非感光性層のバインダー量としては、ハロゲン化銀乳剤層の総バインダー量に対して20〜100質量%の範囲が好ましく、特に30〜80質量%が好ましい。   Specifically, gelatin, albumin, casein, polyvinyl alcohol, or the like can be used. Particularly preferred water-soluble polymer compounds are proteins such as gelatin, albumin and casein. In order to sufficiently obtain the effects of the present invention, the amount of the binder in the non-photosensitive layer is preferably in the range of 20 to 100% by mass, particularly 30 to 80% by mass, based on the total amount of binder in the silver halide emulsion layer. % Is preferred.

これら非感光性層には、必要に応じてResearch Disclosure Item 17643(1978年12月)及び18716(1979年11月)、308119(1989年12月)に記載されているような公知の写真用添加剤を含有させることができる。また、処理後のハロゲン化銀乳剤層の剥離を妨げない限りにおいて、架橋剤により硬膜させることも可能である。   These non-photosensitive layers may be added to known photographic additives as described in Research Disclosure Item 17643 (December 1978) and 18716 (November 1979), 308119 (December 1989), if necessary. An agent can be included. Further, the film can be hardened with a crosslinking agent as long as the peeling of the silver halide emulsion layer after the treatment is not prevented.

導電性材料前駆体にはハロゲン化銀乳剤層の感光波長域に吸収極大を有する非増感性染料または顔料を、画質向上のためのハレーション、あるいはイラジエーション防止剤として用いることは好ましい。ハレーション防止剤としては、好ましくは上記した下引き層あるいは物理現像核層、あるいは物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層の間に必要に応じて設けられる中間層、または支持体を挟んで設けられる裏塗り層に含有させることができる。イラジエーション防止剤としては、ハロゲン化銀乳剤層に含有させるのが良い。添加量は、目的の効果が得られるのであれば広範囲に変化しうるが、例えばハレーション防止剤として裏塗り層に含有させる場合、1mあたり約20mg〜約1gの範囲が望ましく、好ましくは、極大吸収波長における吸光度として0.5以上である。 As the conductive material precursor, it is preferable to use a non-sensitizing dye or pigment having an absorption maximum in the photosensitive wavelength region of the silver halide emulsion layer as a halation for improving image quality or an irradiation prevention agent. The antihalation agent is preferably provided with the above-described undercoat layer or physical development nucleus layer, or an intermediate layer provided as necessary between the physical development nucleus layer and the silver halide emulsion layer, or a support. It can be contained in the backing layer. An irradiation inhibitor is preferably contained in the silver halide emulsion layer. The amount added may vary widely as long as the desired effect can be obtained, but for example, when it is contained in the backing layer as an antihalation agent, the range of about 20 mg to about 1 g per 1 m 2 is desirable, preferably maximum The absorbance at the absorption wavelength is 0.5 or more.

上記導電性材料前駆体を用いて、本発明の導電性材料を製造するための方法について説明する。導電性材料前駆体から本発明の透明導電性材料の特徴である高導電線及び低導電線で描画されたメッシュパターンを形成する。上述した導電性材料前駆体を像様(高導電線及び低導電線となる異なる線幅及び膜厚を持つメッシュパターン)に露光後、拡散転写現像液で処理し、その後物理現像核層上の不要な各層を水洗等で除去して本発明のメッシュパターンを得る。   A method for producing the conductive material of the present invention using the conductive material precursor will be described. A mesh pattern drawn with a high conductive line and a low conductive line, which is a feature of the transparent conductive material of the present invention, is formed from the conductive material precursor. The conductive material precursor described above is exposed imagewise (mesh patterns with different line widths and film thicknesses to be high and low conductive lines), then processed with a diffusion transfer developer, and then on the physical development nucleus layer. Unnecessary layers are removed by washing with water to obtain the mesh pattern of the present invention.

導電性材料前駆体の露光について説明する。高導電線及び低導電線を異なる線幅で形成する場合、導電性材料前駆体のハロゲン化銀乳剤層は像様に露光されるが、露光方法として、高導電線及び低導電線となる異なる線幅のあるメッシュパターンの透過原稿とハロゲン化銀乳剤層を密着して露光する方法、あるいは各種レーザー光を用いて高導電線及び低導電線となる異なる線幅のあるメッシュパターンを走査露光する方法等がある。   The exposure of the conductive material precursor will be described. When the high conductive line and the low conductive line are formed with different line widths, the silver halide emulsion layer of the conductive material precursor is exposed imagewise, but as an exposure method, the high conductive line and the low conductive line are different. A method in which a transparent original having a line width and a silver halide emulsion layer are in close contact with each other for exposure, or a mesh pattern having different line widths to be high and low conductive lines is scanned and exposed using various laser beams. There are methods.

また、露光量の差で高導電線部と低導電線部の線幅及び膜厚を変化させる方法では、高導電線部と低導電線部の透過濃度の異なる透過原稿とハロゲン化銀乳剤層を密着して露光する方法や、位置合わせを確実に行った上で、2種類の透過原稿を用いて、ハロゲン化銀乳剤層を密着してそれぞれ露光を行う方法や、あるいは各種レーザー光を用いて高導電線部及び低導電線部に異なる光量を照射し、異なる線幅及び膜厚のあるメッシュパターンを走査露光する方法等がある。   Further, in the method of changing the line width and film thickness of the high conductive line portion and the low conductive line portion depending on the exposure amount, the transmission original and the silver halide emulsion layer having different transmission densities of the high conductive line portion and the low conductive line portion are used. The method of exposing with close contact, the method of performing exposure by using two types of transmission originals with close contact with the silver halide emulsion layer, or using various laser beams For example, there is a method of irradiating the high conductive line portion and the low conductive line portion with different amounts of light and scanning and exposing mesh patterns having different line widths and film thicknesses.

上記したレーザー光で露光する方法においては、例えば400〜430nmに発振波長を有する青色半導体レーザー(バイオレットレーザーダイオードともいう)を用いることができる。   In the above-described method of exposing with laser light, for example, a blue semiconductor laser (also referred to as a violet laser diode) having an oscillation wavelength of 400 to 430 nm can be used.

露光量の差で高導電線及び低導電線を形成する方法において、以下に2種類の透過原稿を使用する方法を説明する。図1のように高導電線を形成する金属細線1、低導電線1の割合で交互に配列するメッシュパターンを作製する場合、図2及び図4のメッシュパターンを有する2種類の透過原稿マスクを使用することにより、露光部(現像処理後光透過部)、未露光部(現像処理後高導電線部)及び少量露光部(現像処理後低導電線部)を持つ導電性材料前駆体を作製する。   A method of using two types of transparent originals in the method of forming a high conductive line and a low conductive line with a difference in exposure amount will be described below. In the case of producing a mesh pattern alternately arranged at a ratio of the fine metal wires 1 and the low conductivity wires 1 forming the high conductive lines as shown in FIG. 1, two kinds of transparent original masks having the mesh patterns of FIGS. 2 and 4 are used. By using it, a conductive material precursor having an exposed part (light transmission part after development processing), an unexposed part (high conductive line part after development process) and a small amount of exposed part (low conductive line part after development process) is produced. To do.

これらのマスクの細線が重なる(図2の細線と図4の細線の一つ飛ばしの細線とが重なる)ようにマスクを重ね合わせ、位置合わせに用いるピンバー用の穴を空ける。このとき予めマスクの四隅に位置合わせ用のトンボ等の印を入れておくと重ね合わせが容易に行うことができる。使用する導電性材料前駆体にも同様の穴を空ける。まず、露光面上にピンバーを設置する。図4のメッシュパターンを有するマスクと導電性材料前駆体のハロゲン化銀乳剤層を有する側の膜面同士が密着するようにピンバーで固定し露光する(以下、第1露光)。次に図2のメッシュパターンを有するマスクと第1露光を施した導電性材料前駆体のハロゲン化銀乳剤層を有する側の膜面同士が密着するようにピンバーで固定し露光する(以下、第2露光)。第1露光により高導電線を、第2露光で低導電線を形成する。第2露光の光量は、拡散転写現像液で処理したとき、露光された箇所のハロゲン化銀の一部が拡散転写により、物理現像核層上に銀画像を形成する程度の露光量である。   The masks are overlaid so that the fine lines of these masks overlap (the thin line in FIG. 2 overlaps one of the thin lines in FIG. 4), and a pin bar hole used for alignment is made. At this time, if marks such as register marks for alignment are put in advance at the four corners of the mask, superposition can be easily performed. A similar hole is made in the conductive material precursor to be used. First, a pin bar is installed on the exposure surface. The mask having the mesh pattern shown in FIG. 4 and the film surface on the side having the silver halide emulsion layer of the conductive material precursor are fixed with a pin bar so that the film surfaces are in close contact with each other (hereinafter, first exposure). Next, the mask having the mesh pattern of FIG. 2 and the film surface on the side having the silver halide emulsion layer of the conductive material precursor subjected to the first exposure are fixed with a pin bar so that the film surfaces are in close contact with each other (hereinafter referred to as the first pattern). 2 exposure). A high conductive line is formed by the first exposure, and a low conductive line is formed by the second exposure. The amount of light for the second exposure is such that when processed with a diffusion transfer developer, a portion of the exposed silver halide forms a silver image on the physical development nucleus layer by diffusion transfer.

導電性材料前駆体の銀塩拡散転写現像液による現像処理について説明する。上記のように像様に露光された導電性材料前駆体のハロゲン化銀乳剤層は、銀塩拡散転写現像液で処理することにより物理現像が起こり、現像可能なだけの潜像核を有さないハロゲン化銀が可溶性銀錯塩形成剤により溶解されて銀錯塩となり、物理現像核上で還元されて金属銀が析出し、例えばメッシュパターンの銀薄膜を得ることができる。一方、露光により現像可能なだけの潜像核を有するハロゲン化銀はハロゲン化銀乳剤層中で化学現像されて黒化銀となる。現像後、不要になったハロゲン化銀乳剤層(黒化銀もこれに含まれる)及び中間層、保護層等は除去されて、銀薄膜が表面に露出する。   A development process using a silver salt diffusion transfer developer of a conductive material precursor will be described. The silver halide emulsion layer of the conductive material precursor exposed imagewise as described above undergoes physical development by processing with a silver salt diffusion transfer developer, and has latent image nuclei that can be developed. Silver halide is dissolved in a soluble silver complex salt forming agent to form a silver complex salt, which is reduced on the physical development nuclei to precipitate metallic silver. For example, a silver thin film having a mesh pattern can be obtained. On the other hand, silver halide having latent image nuclei that can be developed by exposure is chemically developed in the silver halide emulsion layer to become blackened silver. After development, unnecessary silver halide emulsion layers (including blackened silver), intermediate layers, protective layers and the like are removed, and a silver thin film is exposed on the surface.

現像処理後のハロゲン化銀乳剤層等の物理現像核層の上に設けられた層の除去方法は、水洗除去あるいは剥離紙等に転写剥離する方法がある。水洗除去は、スクラビングローラ等を用いて温水シャワーを噴射しながら除去する方法や温水をノズル等でジェット噴射しながら水の勢いで除去する方法がある。また、剥離紙等で転写剥離する方法は、ハロゲン化銀乳剤層上の余分なアルカリ液(銀錯塩拡散転写用現像液)を予めローラ等で絞り取っておき、ハロゲン化銀乳剤層等と剥離紙を密着させてハロゲン化銀乳剤層等をプラスチック樹脂フィルムから剥離紙に転写させて剥離する方法である。剥離紙としては吸水性のある紙や不織布、あるいは紙の上にシリカのような微粒子顔料とポリビニルアルコールのようなバインダーとで吸水性の空隙層を設けたものが用いられる。   As a method for removing a layer provided on a physical development nucleus layer such as a silver halide emulsion layer after development, there is a method of removing by washing with water or transferring to a release paper. There are two methods for removing the water washing: a method of removing hot water using a scrubbing roller or the like while jetting a hot water shower, or a method of removing hot water by jetting with a nozzle or the like. In addition, the method of transferring and peeling with a release paper or the like is to squeeze the excess alkali solution (silver complex diffusion transfer developer) on the silver halide emulsion layer in advance with a roller or the like, and remove the silver halide emulsion layer and the release paper. In this method, the silver halide emulsion layer and the like are transferred from a plastic resin film to a release paper and peeled off. As the release paper, water-absorbing paper or non-woven fabric, or paper having a water-absorbing void layer formed of fine pigment such as silica and binder such as polyvinyl alcohol on the paper is used.

導電性材料前駆体の現像処理において使用する、銀塩拡散転写現像の現像液について説明する。現像液は、可溶性銀錯塩形成剤及び還元剤を含有するアルカリ液である。可溶性銀錯塩形成剤は、ハロゲン化銀を溶解し可溶性の銀錯塩を形成させる化合物であり、還元剤はこの可溶性銀錯塩を還元して物理現像核上に金属銀を析出させるための化合物である。   A developing solution for silver salt diffusion transfer development used in the development processing of the conductive material precursor will be described. The developer is an alkaline solution containing a soluble silver complex salt forming agent and a reducing agent. The soluble silver complex salt forming agent is a compound that dissolves silver halide to form a soluble silver complex salt, and the reducing agent is a compound for reducing the soluble silver complex salt to deposit metallic silver on the physical development nucleus. .

現像液に用いられる可溶性銀錯塩形成剤としては、チオ硫酸ナトリウムやチオ硫酸アンモニウムのようなチオ硫酸塩、チオシアン酸ナトリウムやチオシアン酸アンモニウムのようなチオシアン酸塩、亜硫酸ナトリウムや亜硫酸水素カリウムのような亜硫酸塩、オキサゾリドン類、2−メルカプト安息香酸及びその誘導体、ウラシルのような環状イミド類、アルカノールアミン、ジアミン、特開平9−171257号公報に記載のメソイオン性化合物、米国特許第5,200,294号明細書に記載のようなチオエーテル類、5,5−ジアルキルヒダントイン類、アルキルスルホン類、他に、「The Theory of the photographic Process(4th edition,p474〜475)」、T.H.James著に記載されている化合物が挙げられる。   Soluble silver complex forming agents used in the developer include thiosulfates such as sodium thiosulfate and ammonium thiosulfate, thiocyanates such as sodium thiocyanate and ammonium thiocyanate, and sulfites such as sodium sulfite and potassium hydrogen sulfite. Salts, oxazolidones, 2-mercaptobenzoic acid and derivatives thereof, cyclic imides such as uracil, alkanolamines, diamines, mesoionic compounds described in JP-A-9-171257, US Pat. No. 5,200,294 Thioethers, 5,5-dialkylhydantoins, alkylsulfones, and others described in the specification, “The Theory of the Photographic Process (4th edition, p474-475)”, T. et al. H. Examples include compounds described in James.

これらの可溶性銀錯塩形成剤は単独で、または複数組み合わせて使用することができる。   These soluble silver complex salt forming agents can be used alone or in combination.

現像液に用いられる還元剤は、Research Disclosure Item 17643(1978年12月)及び18716(1979年11月)、308119(1989年12月)に記載されているような写真現像の分野で公知の現像主薬を用いることができる。例えば、ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、メチルハイドロキノン、クロロハイドロキノン等のポリヒドロキシベンゼン類、アスコルビン酸及びその誘導体、1−フェニル−4,4−ジメチル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−4−メチル−4−ヒドロキシメチル−3−ピラゾリドン等の3−ピラゾリドン類、パラメチルアミノフェノール、パラアミノフェノール、パラヒドロキシフェニルグリシン、パラフェニレンジアミン等が挙げられる。これらの還元剤は単独で、または複数組み合わせて使用することができる。   The reducing agent used in the developer is a development known in the field of photographic development as described in Research Disclosure Item 17643 (December 1978) and 18716 (November 1979), 308119 (December 1989). The main drug can be used. For example, polyhydroxybenzenes such as hydroquinone, catechol, pyrogallol, methylhydroquinone, chlorohydroquinone, ascorbic acid and its derivatives, 1-phenyl-4,4-dimethyl-3-pyrazolidone, 1-phenyl-3-pyrazolidone, 1- Examples include 3-pyrazolidones such as phenyl-4-methyl-4-hydroxymethyl-3-pyrazolidone, paramethylaminophenol, paraaminophenol, parahydroxyphenylglycine, paraphenylenediamine, and the like. These reducing agents can be used alone or in combination.

可溶性銀錯塩形成剤の含有量は、現像液1Lあたり0.001〜5モルが好ましく、より好ましくは0.005〜1モルの範囲である。還元剤の含有量は現像液1Lあたり0.01〜1モルが好ましく、より好ましくは0.05〜1モルの範囲である。   The content of the soluble silver complex salt forming agent is preferably 0.001 to 5 mol, more preferably 0.005 to 1 mol, per liter of the developer. The content of the reducing agent is preferably from 0.01 to 1 mol, more preferably from 0.05 to 1 mol, per liter of the developer.

現像液のpHは10以上が好ましく、さらに11〜14が好ましい。所望のpHに調整するために、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ剤、リン酸、炭酸等の緩衝剤を単独、または組み合わせて含有させる。また、本発明の現像液には、亜硫酸ナトリウムや亜硫酸カリウム等の保恒剤を含むことが好ましい。   The pH of the developer is preferably 10 or more, and more preferably 11-14. In order to adjust to a desired pH, an alkali agent such as sodium hydroxide or potassium hydroxide, or a buffering agent such as phosphoric acid or carbonic acid is contained alone or in combination. The developer of the present invention preferably contains a preservative such as sodium sulfite or potassium sulfite.

また、上記現像処理及び水洗処理することで得られた導電性材料の銀画像は後処理を施すこともできる。後処理液としては例えば還元性物質、水溶性リンオキソ酸化合物、水溶性ハロゲン化合物等の水溶液が一例としてあげられる。このような後処理液により50〜70℃、さらに好ましくは60〜70℃で10秒以上、好ましくは30秒〜3分処理となるようにすれば、導電性は向上するが、高温高湿下でもその表面抵抗率が変動しなくなるので好ましい。   In addition, the silver image of the conductive material obtained by the development treatment and the water washing treatment can be subjected to post-treatment. Examples of the post-treatment liquid include aqueous solutions of a reducing substance, a water-soluble phosphorus oxo acid compound, a water-soluble halogen compound, and the like. If the post-treatment liquid is used for treatment at 50 to 70 ° C., more preferably 60 to 70 ° C. for 10 seconds or longer, and preferably 30 seconds to 3 minutes, the conductivity is improved. However, it is preferable because the surface resistivity does not change.

以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、無論この記述により本発明が制限されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but it is needless to say that the present invention is not limited by this description.

(実施例1)
本発明のメッシュパターンを作製するための30cm四方の露光用マスク(透過原稿)1〜10を用意した。用意した露光用マスク(透過原稿)1〜10を表1に示す。
Example 1
30 cm square exposure masks (transmission originals) 1 to 10 for preparing the mesh pattern of the present invention were prepared. Table 1 shows the prepared exposure masks (transmission originals) 1 to 10.

Figure 0005632617
Figure 0005632617

透過原稿1はピッチ300μm、線幅18μmのメッシュパターン、透過原稿2、3は透過原稿1に対してピッチを2倍、3倍に広げたものである。透過原稿4、5、6は、それぞれピッチ300μmで線幅12μm、14μm及び16μmのメッシュパターンである。透過原稿7は同じく300μmピッチのメッシュパターンであるが、18μmと12μmを交互に配置した図1に示したような透過原稿である。透過原稿8は同じく18μmと14μmを交互に配置した図1に示したような透過原稿である。透過原稿9は同じく18μmと16μmを交互に配置した図1に示したような透過原稿である。透過原稿10も同じく300μmピッチのメッシュパターンであるが、18μm、12μm、12μmを繰り返す図5に示したような透過原稿である。   The transparent original 1 has a mesh pattern with a pitch of 300 μm and a line width of 18 μm, and the transparent originals 2 and 3 have a pitch doubled or tripled with respect to the transparent original 1. The transparent originals 4, 5, and 6 are mesh patterns having a pitch of 300 μm and line widths of 12 μm, 14 μm, and 16 μm, respectively. The transparent original 7 has a mesh pattern with a pitch of 300 μm, but is a transparent original as shown in FIG. 1 in which 18 μm and 12 μm are alternately arranged. The transparent original 8 is a transparent original as shown in FIG. 1 in which 18 μm and 14 μm are alternately arranged. Similarly, the transparent original 9 is a transparent original as shown in FIG. 1 in which 18 μm and 16 μm are alternately arranged. The transparent original 10 is also a 300 μm pitch mesh pattern, but is a transparent original as shown in FIG. 5 that repeats 18 μm, 12 μm, and 12 μm.

表1に示した原稿とは別に、1cm間隔の左右のベタ部を表2に示した線幅でつないだ透過原稿をそれぞれ作製した。   Separately from the original document shown in Table 1, transparent originals were produced by connecting the left and right solid portions at 1 cm intervals with the line width shown in Table 2.

Figure 0005632617
Figure 0005632617

次に導電性材料前駆体を作製した。光透過性支持体として全光線透過率が90%、厚み100μmの塩化ビニリデンを含有する層により易接着加工が施されたポリエチレンテレフタレートフィルムを用いた。物理現像核層を塗布する前に、このフィルムにゼラチンが50mg/mの下引き層を塗布し乾燥した。 Next, a conductive material precursor was prepared. As the light transmissive support, a polyethylene terephthalate film which was subjected to easy adhesion processing with a layer containing vinylidene chloride having a total light transmittance of 90% and a thickness of 100 μm was used. Before the physical development core layer was applied, an undercoat layer of 50 mg / m 2 of gelatin was applied to the film and dried.

次に、硫化パラジウムゾル液を下記のようにして作製し、得られたゾルを用いて物理現像核液を作製した。   Next, a palladium sulfide sol solution was prepared as follows, and a physical development nucleus solution was prepared using the obtained sol.

<硫化パラジウムゾルの調製>
A液 塩化パラジウム 5g
塩酸 40mL
蒸留水 1000mL
B液 硫化ソーダ 8.6g
蒸留水 1000mL
A液とB液を撹拌しながら混合し、30分後にイオン交換樹脂の充填されたカラムに通し硫化パラジウムゾルを得た。
<Preparation of palladium sulfide sol>
Liquid A Palladium chloride 5g
Hydrochloric acid 40mL
Distilled water 1000mL
B liquid sodium sulfide 8.6g
Distilled water 1000mL
Liquid A and liquid B were mixed with stirring, and 30 minutes later, the solution was passed through a column filled with an ion exchange resin to obtain palladium sulfide sol.

<物理現像核液組成/1mあたり>
前記硫化パラジウムゾル 0.4mg
2質量%のグルタルアルデヒド溶液 0.08mL
<Physical development nuclei solution composition / 1 m 2 per>
The palladium sulfide sol 0.4mg
0.08 mL of 2% glutaraldehyde solution

この物理現像核液を硫化パラジウムが固形分で0.4mg/mになるように、下引き層の上に塗布し、乾燥した。 This physical development nuclei solution was applied on the undercoat layer so that palladium sulfide was 0.4 mg / m 2 in solid content, and dried.

続いて、上記物理現像核層を塗布した側と反対側の面に下記組成の裏塗り層を塗布した。
<裏塗り層組成/1mあたり>
ゼラチン 2g
不定形シリカマット剤(平均粒径5μm) 20mg
染料1 200mg
界面活性剤(S−1) 400mg
Subsequently, a backing layer having the following composition was applied to the surface opposite to the side on which the physical development nucleus layer was applied.
<Undercoat layer composition / per 1 m 2 >
2g gelatin
Amorphous silica matting agent (average particle size 5μm) 20mg
Dye 1 200mg
Surfactant (S-1) 400mg

Figure 0005632617
Figure 0005632617

Figure 0005632617
Figure 0005632617

続いて、支持体に近い方から順に下記組成の中間層、ハロゲン化銀乳剤層、及び最外層を上記物理現像核層の上に塗布した。ハロゲン化銀乳剤は、写真用ハロゲン化銀乳剤の一般的なダブルジェット混合法で製造した。このハロゲン化銀乳剤は、塩化銀95モル%と臭化銀5モル%で、平均粒径が0.15μmになるように調製した。このようにして得られたハロゲン化銀乳剤を定法に従いチオ硫酸ナトリウムと塩化金酸を用い、金イオウ増感を施した。こうして得られたハロゲン化銀乳剤は銀1gあたり0.5gのゼラチンを含む。   Subsequently, an intermediate layer, a silver halide emulsion layer, and an outermost layer having the following composition were coated on the physical development nucleus layer in order from the side closer to the support. The silver halide emulsion was prepared by a general double jet mixing method for photographic silver halide emulsions. This silver halide emulsion was prepared with 95 mol% of silver chloride and 5 mol% of silver bromide, and an average grain size of 0.15 μm. The silver halide emulsion thus obtained was subjected to gold sulfur sensitization using sodium thiosulfate and chloroauric acid according to a conventional method. The silver halide emulsion thus obtained contains 0.5 g of gelatin per gram of silver.

<中間層組成/1mあたり>
ゼラチン 0.5g
界面活性剤(S−1) 5mg
<Intermediate layer composition / per 1 m 2 >
Gelatin 0.5g
Surfactant (S-1) 5mg

<ハロゲン化銀乳剤層組成/1mあたり>
ゼラチン 1.0g
ハロゲン化銀乳剤 4.0g銀相当
1−フェニル−5−メルカプトテトラゾール 3.0mg
界面活性剤(S−1) 20mg
<Silver halide emulsion layer composition / 1m 2 per>
Gelatin 1.0g
Silver halide emulsion 4.0 g equivalent to silver 1-phenyl-5-mercaptotetrazole 3.0 mg
Surfactant (S-1) 20mg

<最外層組成/1mあたり>
ゼラチン 1g
不定形シリカマット剤(平均粒径3.5μm) 10mg
界面活性剤(S−1) 10mg
<Outermost layer composition / per 1 m 2 >
1g of gelatin
Amorphous silica matting agent (average particle size 3.5μm) 10mg
Surfactant (S-1) 10mg

このようにして得た導電性材料前駆体を、水銀灯を光源とする密着プリンターで先に作製した透過原稿s1〜s4を密着させて露光した。露光量は透明導電性材料の細線幅が透過原稿の細線幅と同じになる露光量で行った。   The conductive material precursor thus obtained was exposed by closely contacting the transmission originals s1 to s4 previously produced by a contact printer using a mercury lamp as a light source. The exposure amount was such that the thin line width of the transparent conductive material was the same as the thin line width of the transparent original.

その後、露光した導電性材料前駆体を下記現像液中に20℃で60秒間浸漬した後、続いてハロゲン化銀乳剤層、中間層、最外層及び裏塗り層を40℃の温水で水洗除去し、乾燥処理した。露光したサンプルからは透過原稿と同様な銀薄膜が形成された透明導電性材料を得た。得られた細線画像の細線幅を光学顕微鏡で確認したところ、露光用マスクの細線幅と同じであった。   Thereafter, the exposed conductive material precursor was immersed in the following developer at 20 ° C. for 60 seconds, and then the silver halide emulsion layer, intermediate layer, outermost layer and backing layer were removed by washing with warm water at 40 ° C. And dried. From the exposed sample, a transparent conductive material on which a silver thin film similar to a transparent original was formed was obtained. When the fine line width of the obtained fine line image was confirmed with an optical microscope, it was the same as the fine line width of the exposure mask.

<拡散転写現像液組成>
水酸化カリウム 25g
ハイドロキノン 18g
1−フェニル−3−ピラゾリドン 2g
亜硫酸カリウム 80g
N−メチルエタノールアミン 15g
臭化カリウム 1.2g
全量を水で1000mLとする。
pH=12.2に調整する。
<Diffusion transfer developer composition>
Potassium hydroxide 25g
Hydroquinone 18g
1-phenyl-3-pyrazolidone 2g
Potassium sulfite 80g
N-methylethanolamine 15g
Potassium bromide 1.2g
Bring the total volume to 1000 mL with water.
Adjust to pH = 12.2.

上記のようにして得られたメッシュパターン状銀薄膜が形成された透明導電性材料の後処理として、15質量%リン酸1ナトリウム水溶液を用いて60℃で60秒処理を実施した。   As a post-treatment of the transparent conductive material on which the mesh-patterned silver thin film obtained as described above was formed, a 15 mass% monosodium phosphate aqueous solution was used for 60 seconds at 60 ° C.

得られた画像の電気抵抗を市販のテスターを用いて測定した。これらの結果を表3に示す。   The electric resistance of the obtained image was measured using a commercially available tester. These results are shown in Table 3.

Figure 0005632617
Figure 0005632617

上記方法と同様に透過原稿1〜10を用いて、導電性材料を作製した。得られたメッシュパターン画像の細線幅、ピッチを光学顕微鏡で確認したところ、露光用マスクの細線幅、ピッチと同じであった。また共焦点顕微鏡でメッシュパターンの細線膜厚を測定し、全試料ともほぼ同一であることを確認した。   A conductive material was produced using transparent originals 1 to 10 in the same manner as described above. When the fine line width and pitch of the obtained mesh pattern image were confirmed with an optical microscope, they were the same as the fine line width and pitch of the exposure mask. Moreover, the fine wire film thickness of the mesh pattern was measured with the confocal microscope, and it confirmed that all the samples were substantially the same.

次に、透過原稿1〜10から得られたメッシュパターン状銀薄膜が形成された30cm四方の導電性材料について下記の評価を実施した。   Next, the following evaluation was performed on the 30 cm square conductive material on which the mesh-patterned silver thin film obtained from the transparent originals 1 to 10 was formed.

(1)表面抵抗率の平均値及び面内の均一性
JIS−K7194に準拠し、(株)ダイアインスツルメンツ製、ロレスターGP/ESPプローブを用いて測定した。測定場所は30cm四方の正方形の四隅(左上、左下、右上、右下)及び中心部の5箇所とした。測定結果の平均値(Ω/□)を表4に示す。また、面内の均一性を表す指標として、平均値に対する最大値と最小値の差の割合(%)を用いた。これらの値も表4に示す。表面抵抗率の平均値は100〜1000Ω/□を可とし、表面抵抗率の平均値に対する最大値と最小値の差の割合(%)は20%以内を可とした。
(1) Average value of surface resistivity and in-plane uniformity Based on JIS-K7194, it was measured using a Lorester GP / ESP probe manufactured by Dia Instruments Co., Ltd. The measurement locations were four corners (upper left, lower left, upper right, lower right) and five central portions of a 30 cm square. Table 4 shows the average value (Ω / □) of the measurement results. In addition, the ratio (%) of the difference between the maximum value and the minimum value with respect to the average value was used as an index representing in-plane uniformity. These values are also shown in Table 4. The average value of the surface resistivity was allowed to be 100 to 1000Ω / □, and the ratio (%) between the maximum value and the minimum value with respect to the average value of the surface resistivity was allowed to be within 20%.

(2)金属細線の視認性及び面の質感
得られた透明導電性材料をライトテーブル上で50cm離れた位置から目視し、外観品質を評価した。評価項目は金属細線の視認性、及び透明導電性材料の面の質感である。何れも5段階で評価し、金属細線の視認性については、1:金属細線をほとんど視認できない最も良いレベル、2:凝視することで金属細線を僅かに視認できるレベル、3:凝視することで金属細線が視認できるレベル、4:一目で金属細線が視認できるレベル、5:金属細線の視認性が高い最も悪いレベルと規定した。1、2を可、3〜5を不可レベルと規定した。この結果を表4に示す。面の質感については、1:均一で全くざらつき感がない最も良いレベル、2:凝視すると不均一であることがわかるが、ざらつき感はないレベル、3:凝視するとざらつきを感じるレベル、4:一目でざらつきを感じるレベル、5:ざらつき感が強く最も悪いレベルと規定した。同じく1、2を可、3〜5を不可レベルと規定した。これらの結果を表4に示す。
(2) Visibility of fine metal wires and surface texture The obtained transparent conductive material was visually observed from a position 50 cm away on a light table, and the appearance quality was evaluated. Evaluation items are the visibility of fine metal wires and the texture of the surface of the transparent conductive material. All are evaluated in 5 stages, and the visibility of the fine metal wire is as follows: 1: the best level at which the fine metal wire is hardly visible, 2: the level at which the fine metal wire is slightly visible by staring, 3: the metal by staring. The level at which the fine line can be visually recognized, 4: the level at which the fine metal line can be visually recognized at a glance, and 5: the worst level at which the visibility of the fine metal line is high. 1 and 2 were defined as acceptable, and 3 to 5 as unacceptable levels. The results are shown in Table 4. Regarding the texture of the surface, it is 1: the best level that is uniform and has no rough feeling, 2: the level that is not uniform when staring, but the level that does not feel rough, 3: the level that feels rough when staring, 4: the glance The level which feels rough and 5: The rough feeling is strong and is defined as the worst level. Similarly, 1 and 2 were defined as acceptable, and 3 to 5 as unacceptable levels. These results are shown in Table 4.

Figure 0005632617
Figure 0005632617

(実施例2)
透過原稿s1を用いて、実施例1と同じ光量で第1露光を実施し、次にパターンを描画していないフィルムを介して、第1露光の50%の光量で第2露光を行った。他は実施例1と同様にして透明導電性材料を作製した。実施例1と同じく、テスターで電気抵抗を測定したところ、1560kΩ/cmであった。
(Example 2)
Using the transparent original s1, the first exposure was performed with the same light amount as in Example 1, and then the second exposure was performed with a light amount of 50% of the first exposure through a film on which no pattern was drawn. Otherwise, a transparent conductive material was produced in the same manner as in Example 1. As in Example 1, when the electrical resistance was measured with a tester, it was 1560 kΩ / cm.

次に上記第1露光と同じ光量で透過原稿1を用いて第1露光、続いて透過原稿2を用いて上記第2露光と同じ光量で第2露光を行い、図1に示したような高導電線及び低導電線を持つ透明導電性材料を作製した。その他は実施例1と同様にして導電性材料を作製し、実施例1と同様に評価を実施した。得られたメッシュパターン画像の細線幅、ピッチを光学顕微鏡で確認したところ、ピッチは300μm、線幅は高導電線、低導電線ともほぼ18μmであった。また線の膜厚を共焦点顕微鏡で測定したところ、高導電線は試料1とほぼ同一であり、低導電線は高導電線を形成する細線よりも薄く、おおよそ60〜70%であることが確認できた(試料11)。   Next, the first exposure is performed using the transparent original 1 with the same light amount as the first exposure, and then the second exposure is performed using the transparent original 2 with the same light amount as the second exposure. A transparent conductive material having a conductive line and a low conductive line was produced. Others were produced in the same manner as in Example 1, and evaluated in the same manner as in Example 1. When the fine line width and pitch of the obtained mesh pattern image were confirmed with an optical microscope, the pitch was 300 μm, and the line width was about 18 μm for both the high and low conductive lines. Further, when the film thickness of the line was measured with a confocal microscope, the high conductive line was almost the same as Sample 1, and the low conductive line was thinner than the thin line forming the high conductive line, and was about 60 to 70%. It was confirmed (Sample 11).

比較として透過原稿1を用いて第1露光、続いてパターンを描画していないフィルムを介して上記第2露光の光量と同じ光量で露光し、低導電線のみの透明導電性材料を作製し、実施例1と同様に評価を実施した。線の膜厚はほぼ上記透明導電性材料の低導電線と同じであった(試料12)。これらの結果を表5に示す。   For comparison, the transparent original 1 is used for the first exposure, followed by exposure with the same amount of light as that of the second exposure through a film on which no pattern is drawn, and a transparent conductive material having only low conductive lines is produced. Evaluation was carried out in the same manner as in Example 1. The film thickness of the wire was almost the same as the low conductive wire of the transparent conductive material (Sample 12). These results are shown in Table 5.

Figure 0005632617
Figure 0005632617

表4及び表5の結果から、本発明の有効性が理解できる。   From the results of Tables 4 and 5, the effectiveness of the present invention can be understood.

以上の結果から明らかなように、本発明により表面抵抗率が高く、かつ均一であり、さらにメッシュ細線の視認性が低い透明導電性材料が得られる。   As is clear from the above results, the present invention provides a transparent conductive material having high surface resistivity and uniformity, and further low visibility of fine mesh wires.

本発明のメッシュパターンは、透明導電性フィルムの表面抵抗率を、面内の均一性を保持しつつ変化させる方法として有用である。   The mesh pattern of the present invention is useful as a method for changing the surface resistivity of a transparent conductive film while maintaining in-plane uniformity.

a 高導電線を形成する金属細線
b 低導電線
x ピッチ
y ピッチ
z ピッチ
a Metal thin wire forming high conductive wire b Low conductive wire x Pitch y Pitch z Pitch

Claims (1)

光透過性支持体上に電気抵抗が5kΩ/cm〜500kΩ/cmの金属細線からなるメッシュパターンと、該金属細線の5倍以上の電気抵抗を有する細線とで構成されるパターンを有し、該メッシュパターンを形成する金属細線、および該金属細線の5倍以上の電気抵抗を有する細線の線幅が、1〜50μmである透明導電性材料。 On the light transmissive support, has a pattern composed of a mesh pattern composed of fine metal wires having an electric resistance of 5 kΩ / cm to 500 kΩ / cm , and fine wires having an electric resistance of 5 times or more that of the fine metal wires , A thin metal wire forming a mesh pattern, and a transparent conductive material having a line width of 1 to 50 μm , which has an electric resistance of 5 times or more that of the metal wire .
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