JP5614350B2 - Glass substrate for flat panel display - Google Patents

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Description

本発明は、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板に係り、詳しくは、セッター等の作業台の平坦な載置面上に当該ガラス基板を載置(移載)した際に、該載置面上で当該ガラス基板を正確に位置決めするための技術に関する。   The present invention relates to a glass substrate for a flat panel display. Specifically, when the glass substrate is placed (transferred) on a flat placement surface of a work table such as a setter, the glass substrate is placed on the placement surface. The present invention relates to a technique for accurately positioning a glass substrate.

周知のように、プラズマディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ(サーフェイスエミッションディスプレイを含む)、液晶ディスプレイ、及びエレクトロルミネッセンスディスプレイ、有機ELディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ(以下、FPDともいう)は、FPD用ガラス基板を原板として加工等されたパネルガラスを用いて製作される。その場合、原板となるFPD用ガラス基板(以下、単にガラス基板ともいう)の表面には、所要の素子が形成されるが、この素子形成に際しては、ガラス基板に対して熱処理を施すのが通例である。   As is well known, plasma display, field emission display (including surface emission display), liquid crystal display, and flat panel display such as electroluminescence display and organic EL display (hereinafter also referred to as FPD) are made of FPD glass substrates. It is manufactured using the panel glass processed as. In that case, a required element is formed on the surface of the glass substrate for FPD (hereinafter also simply referred to as a glass substrate) as an original plate. In forming this element, it is usual to heat-treat the glass substrate. It is.

この熱処理は、セッターに代表される作業台の平坦な載置面上にガラス基板を載置した状態で、加熱炉内に搬送する手法により行われるのが一般的であるが、ガラス基板に対して適正な熱処理を施すには、当該セッターの載置面に対してガラス基板を適切な姿勢で正確に位置決めした状態を維持することが必要となる。このような要請に応じるには、セッターの載置面上にガラス基板を載置(移載)した際、すなわちガラス基板を載置した直後に、載置面上で当該ガラス基板に滑りが生じないような対策を講じることが重要となる。   This heat treatment is generally performed by a method in which the glass substrate is placed on a flat placement surface of a work table typified by a setter and transported into a heating furnace. In order to perform an appropriate heat treatment, it is necessary to maintain a state where the glass substrate is accurately positioned in an appropriate posture with respect to the mounting surface of the setter. In order to meet such a demand, when a glass substrate is placed (transferred) on the placement surface of the setter, that is, immediately after placing the glass substrate, the glass substrate slips on the placement surface. It is important to take such measures.

その対策の一例として、例えば特許文献1の図1に開示されているように、セッターの載置面上にガラス基板を載置した状態で、当該ガラス基板が一方向に対してのみ円弧状に湾曲した形状をなすようにし、このガラス基板の両端における平行な二辺を載置面に接触させることが行われている。また、同文献の図3には、セッターの載置面上において、当該ガラス基板が中央部の広領域に単一の山部を有する形状にして、このガラス基板の四辺周辺部を載置面に接触させることが開示されている。   As an example of the countermeasure, for example, as disclosed in FIG. 1 of Patent Document 1, with the glass substrate placed on the placement surface of the setter, the glass substrate is arcuate only in one direction. A curved shape is formed, and two parallel sides at both ends of the glass substrate are brought into contact with the mounting surface. Further, in FIG. 3 of the same document, on the setting surface of the setter, the glass substrate has a shape having a single peak in a wide area at the center, and the peripheral portions on the four sides of the glass substrate are set on the mounting surface Is disclosed.

さらに、例えば特許文献2には、セッターの載置面上において、当該ガラス基板が一の辺に沿う方向に連続する山部と谷部とを交互に有する波形状をなすようにして、当該ガラス基板を、セッターの載置面上の複数箇所で線接触させることが開示されている。   Further, for example, in Patent Document 2, the glass substrate has a corrugated shape in which the glass substrate has alternating peaks and valleys in a direction along one side on the setting surface of the setter. It is disclosed that the substrate is brought into line contact at a plurality of locations on the setting surface of the setter.

特開2008−7364号公報JP 2008-7364 A 特開2009−227471号公報JP 2009-227471 A

しかしながら、上述の特許文献1の図1に開示された対策では、ガラス基板が自重により平坦な状態に近づく変形を来たす際に、その変形の度合いが大きいことに起因して、載置面との間の空気層がガラス基板を持ち上げる力を生じさせる。そして、ガラス基板がこのような形状であることに由来して、上記の空気層から空気が抜け出るための時間が長くなり、この事と相俟って、ガラス基板が載置面上に載せられた直後に滑りが生じ易くなる。   However, in the countermeasure disclosed in FIG. 1 of Patent Document 1 described above, when the glass substrate is deformed to approach a flat state by its own weight, the degree of deformation is large, The air layer in between creates a force that lifts the glass substrate. And since the glass substrate has such a shape, it takes a long time for air to escape from the air layer, and in combination with this, the glass substrate is placed on the mounting surface. Slip easily occurs immediately after.

また、上述の特許文献1の図3に開示された対策によれば、ガラス基板が自重により平坦な状態に近づく変形を来たした場合には、載置面との間の空気層が閉鎖状態となって空気の抜け路がなくなるため、ガラス基板を持ち上げる力が増大して、上記の滑りの問題がより一層深刻化する。   In addition, according to the countermeasure disclosed in FIG. 3 of Patent Document 1 described above, when the glass substrate is deformed to approach a flat state by its own weight, the air layer between the mounting surface is in a closed state. Thus, since there is no air passage, the force for lifting the glass substrate increases, and the problem of slipping becomes more serious.

さらに、上記の特許文献2に開示された対策によれば、セッターの載置面上でガラス基板が波形状となって複数の直線状の通気路が形成されるが、これらの通気路は、一方向にのみ空気流動を生じさせるに過ぎないものとなる。そのため、これらの通気路の一方向への空気流動が阻害された場合には、もはや他方向に空気が抜け出ることは有り得なくなるため、その通気路内で空気層が閉鎖状態となり、この空気層の存在により、上記の滑りの問題が生じ得る。なお、通気路の空気流動を阻害する要因としては、ガラス基板が近年の大型薄肉化に伴って予測に反して変形して通気路を塞ぐことや、セッターの載置面が平坦性を維持しつつも一部領域に規則性をもって溝部や凸部を有する場合があり、これが通気路を塞ぐことなどが挙げられる。   Furthermore, according to the measures disclosed in the above-mentioned Patent Document 2, the glass substrate is waved on the mounting surface of the setter to form a plurality of linear air passages. It will only cause air flow in one direction. For this reason, when the air flow in one direction of these ventilation paths is hindered, it is impossible for air to escape in the other direction anymore, so the air layer is closed in the ventilation path, and this air layer The presence can cause the above-mentioned slip problem. Factors that hinder the air flow in the ventilation path include the fact that the glass substrate is deformed unexpectedly as a result of the recent increase in thickness and thickness, blocking the ventilation path, and that the setting surface of the setter is maintained flat. In some cases, however, there may be a groove or a convex part with regularity in a part of the region, which may block the air passage.

そして、特に、この波形状のガラス基板は、全ての通気路が概ね同一の条件で形成されているため、一つの通気路のみが空気流動を阻害されることは想定し難く、むしろ全ての通気路が一律に一方向への空気流動を阻害されて他方向に空気が全く抜け出なくなる可能性が高いと推認できる。このような事態が発生した場合には、多くの空気層が閉鎖状態となるため、上記の滑りの問題はさらに深刻化する。   In particular, in this corrugated glass substrate, since all the air passages are formed under substantially the same conditions, it is difficult to assume that only one air passage impedes air flow. It can be inferred that there is a high possibility that the road is uniformly obstructed by the air flow in one direction and no air escapes in the other direction. When such a situation occurs, many air layers are in a closed state, and thus the problem of slipping becomes more serious.

以上のように、セッター等の作業台の載置面上でガラス基板に滑りが生じると、両者間での正確な位置決めがされていないことになるため、ガラス基板に対する適正な熱処理等の処理が妨げられて、高品位のパネルガラス等が得られなくなるという致命的な問題に発展する。   As described above, if the glass substrate slips on the mounting surface of the work table such as a setter, the glass substrate is not accurately positioned. It is obstructed, and it develops into a fatal problem that high-quality panel glass cannot be obtained.

本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、セッター等の作業台の載置面上にガラス基板を載置した場合における滑りの問題を解消して、正確な位置決めがなされるようにし、これによりガラス基板に適正な処理が施されるようにすることを技術的課題とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and eliminates the problem of slipping when a glass substrate is placed on a placement surface of a workbench such as a setter so that accurate positioning is achieved. This makes it a technical subject to perform an appropriate process to a glass substrate.

上記技術的課題を解決するために創案された本発明は、作業台の平坦な載置面上に載置されて所定の処理が施されると共に、前記載置面上に載置された際に山部と谷部とが存在する形状とされ且つ平面視が略矩形とされたフラットパネルディスプレイ用ガラス基板であって、前記載置面上に載置された際に、該載置面との間に、少なくとも隣接する二辺に開放する通気路が形成される形状とされていると共に、前記載置面と接触する複数の谷部が形成され、これらの谷部は、隣接する二辺にそれぞれ平行な何れの方向に対しても不連続とされていることに特徴づけられる。 This onset Ming was invented in order to solve the above technical problem, it is placed on a workbench of a flat mounting on surface with a predetermined processing is performed, which is placed on the mounting surface A flat panel display glass substrate having a peak portion and a valley portion and having a substantially rectangular shape in plan view, and the mounting surface when placed on the mounting surface And a plurality of valleys that are in contact with the placement surface are formed, and these valleys are formed in two adjacent sides. It is characterized by being discontinuous in any direction parallel to each side .

このような構成によれば、セッター等の作業台の載置面上にガラス基板が載置された際には、載置面とガラス基板との間に、当該ガラス基板の少なくとも二辺(少なくとも直角な二辺)に開放する通気路が形成されることになるため、載置面とガラス基板との間に介在される空気は、ガラス基板の一方向のみならずこれと直角な他方向からも抜け出ることができる。これにより、ガラス基板の一方向から空気が抜け出る通気路と、他方向から空気が抜け出る通気路とが、一律に空気流動を阻害される確率は極めて小さくなる。その結果、これらの通気路に、当該ガラス基板を持ち上げるに足る閉鎖状態の空気層が生じ難くなり、ガラス基板の滑りが抑制されるため、載置面に対するガラス基板の正確な位置決めが可能となって、加熱処理等の処理が適正に行われ得る。   According to such a configuration, when a glass substrate is placed on a placement surface of a work table such as a setter, at least two sides (at least at least) of the glass substrate are placed between the placement surface and the glass substrate. Since air passages that open to two right angles) are formed, the air interposed between the mounting surface and the glass substrate is not only from one direction of the glass substrate but also from the other direction perpendicular thereto. Can also get out. Thereby, the probability that the air flow from which the air escapes from one direction of the glass substrate and the air passage from which the air escapes from the other direction is obstructed uniformly is extremely small. As a result, a closed air layer sufficient to lift the glass substrate is less likely to be generated in these ventilation paths, and slippage of the glass substrate is suppressed, so that the glass substrate can be accurately positioned with respect to the mounting surface. Thus, the heat treatment or the like can be appropriately performed.

この場合、ガラス基板における前記少なくとも隣接する二辺に開放する通気路は、連通していることが好ましい。   In this case, it is preferable that the ventilation path opened to the at least two adjacent sides in the glass substrate is in communication.

このようにすれば、例えば、ガラス基板の一の辺に開放する通気路がその途中や開放端近傍で閉ざされた場合であっても、その通気路内の空気は、上記の一の辺と直角な他の辺に開放する通気路から抜け出ることができるため、これらの通気路に跨って大きな閉鎖状態の空気層が生成される事態が回避され、載置面上でのガラス基板の滑りをより一層確実に抑制することが可能となる。   In this way, for example, even when the air passage opened to one side of the glass substrate is closed in the middle or near the open end, the air in the air passage is Since it is possible to escape from the air passages that open to other sides at right angles, a situation in which a large closed air layer is generated across these air passages can be avoided, and slipping of the glass substrate on the mounting surface can be avoided. It becomes possible to suppress more reliably.

以上の構成において、前記通気路は、外周側の多方向に向かって形成されることが好ましい。   In the above configuration, the air passage is preferably formed in multiple directions on the outer peripheral side.

このようにすれば、空気が抜け難い部位であるガラス基板の中央領域に、単一の空気層または独立した複数の空気層が形成されても、その空気層からは、外周側の多方向に向かう通気路を通過して空気が効率良く抜け出ることになるため、ガラス基板の載置面上での滑りが効果的に回避され得る。   In this way, even if a single air layer or a plurality of independent air layers are formed in the central region of the glass substrate, which is a region where air is difficult to escape, from the air layer, the outer peripheral side is multi-directional. Since the air efficiently escapes through the air passage that faces, slipping on the mounting surface of the glass substrate can be effectively avoided.

本発明では、既述のように、当該ガラス基板には、前記載置面と接触する複数の谷部が形成され、これらの谷部は、当該ガラス基板の隣接する二辺にそれぞれ平行な何れの方向に対しても不連続とされている。 In the present invention, as described above, the glass substrate is formed with a plurality of valleys that are in contact with the placement surface, and these valleys are respectively parallel to two adjacent sides of the glass substrate. The direction is also discontinuous.

このようにすれば、載置面とガラス基板との間において、複数の谷部の相互間に形成される通気路を、当該ガラス基板の少なくとも二辺に開放させることが容易に行えるようになり、そのような形状を有するガラス基板の作製が簡易化される。なお、これら複数の谷部は、あらゆる方向に不連続であることがより好ましく、そのようにした場合には、複数の谷部の相互間に形成される通気路が、何れかの谷部によって塞がれることを阻止できると共に、全ての通気路が連通することになる。したがって、この場合には、載置面とガラス基板との間から、空気が迅速且つ円滑に抜け出ることになり、ガラス基板に滑りを生じさせる要因が可及的に低減する。   In this way, it is possible to easily open the air passage formed between the plurality of troughs between the mounting surface and the glass substrate to at least two sides of the glass substrate. The production of a glass substrate having such a shape is simplified. In addition, it is more preferable that the plurality of valleys are discontinuous in all directions. In such a case, the air passage formed between the plurality of valleys is formed by any valley. Not only can it be blocked, but all the air passages will communicate. Therefore, in this case, air escapes quickly and smoothly from between the placement surface and the glass substrate, and the factors that cause the glass substrate to slip are reduced as much as possible.

このような構成において、前記複数の谷部は、不規則的に散在していることが好ましい。   In such a configuration, it is preferable that the plurality of valleys are scattered irregularly.

このようにすれば、ガラス基板の自重による変形が適度に分散されるため、全ての通気路が一挙に押圧変形を受けて空気流動が悪化するという事態が抑止される。   In this way, since the deformation due to the weight of the glass substrate is moderately dispersed, it is possible to suppress a situation in which all the air passages are subjected to pressure deformation at once and the air flow is deteriorated.

以上のように本発明によれば、セッター等の作業台の載置面上にガラス基板が載置された際には、載置面とガラス基板との間に介在される空気が、ガラス基板の一方向のみならずこれと直角な他方向からも抜け出ることができるため、これらの通気路に、当該ガラス基板を持ち上げるに足る閉鎖状態の空気層が生じ難くなる。これにより、ガラス基板の滑りが抑制されるため、載置面に対するガラス基板の正確な位置決めが可能となって、加熱処理等の処理が適正に行われ得る。   As described above, according to the present invention, when a glass substrate is placed on the placement surface of a work table such as a setter, the air interposed between the placement surface and the glass substrate is Therefore, it is difficult to form an air layer in a closed state sufficient to lift the glass substrate in these ventilation paths. Thereby, since the slip of a glass substrate is suppressed, the exact positioning of a glass substrate with respect to a mounting surface is attained, and processes, such as heat processing, can be performed appropriately.

本発明の第1実施形態に係るガラス基板を誇張して模式的に示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which exaggerates and shows typically the glass substrate which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態に係るガラス基板を平面視で捉えた場合における載置面との接触状態を模式的に示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows typically a contact state with the mounting surface at the time of capturing the glass substrate which concerns on 1st Embodiment of this invention by planar view. 本発明の第1実施形態に係るガラス基板の一部における載置面との高さ関係を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the height relationship with the mounting surface in a part of glass substrate which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態に係るガラス基板を誇張して模式的に示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which exaggerates and shows typically the glass substrate which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態に係るガラス基板を誇張して模式的に示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which exaggerates and shows typically the glass substrate which concerns on 3rd Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態に係るフラットパネルディスプレイ用ガラス基板を添付図面を参照して説明する。   Hereinafter, a glass substrate for a flat panel display according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明の第1実施形態に係るガラス基板1がセッター2の平坦な載置面2a上に載置されている状態を誇張して例示したものである。このガラス基板1は、平面視が略矩形状をなし、一辺の寸法が400〜5000mm、この一辺と直角な他辺の寸法が800〜5000mmであって、平均板厚が0.5〜3.0mmである。このガラス基板1は、同図に示すようにセッター2の載置面2a上に載置された後、図外の加熱炉に搬送されて加熱処理を受ける。   FIG. 1 exaggerates the state in which the glass substrate 1 according to the first embodiment of the present invention is placed on the flat placement surface 2 a of the setter 2. The glass substrate 1 has a substantially rectangular shape in plan view, the dimension of one side is 400 to 5000 mm, the dimension of the other side perpendicular to the one side is 800 to 5000 mm, and the average plate thickness is 0.5 to 3. 0 mm. The glass substrate 1 is placed on the placement surface 2a of the setter 2 as shown in FIG.

同図に示すように、ガラス基板1がセッター2の載置面2a上に載置された際には、山部1aと谷部1bとが不規則的に散在しており、載置面2aとガラス基板1と間には、該ガラス基板1の四つの辺11、12、13、14に開放する通気路3が形成されている。これらの通気路3は、ガラス基板1における外周側の多方向に向かって形成されている。このガラス基板1の山部1a及び谷部1bの高さや広さは一律には揃っておらず、それぞれが相違している。なお、同図においては、それぞれの通気路3を通過する主たる空気の流れ方向を、矢印Aで示している。   As shown in the figure, when the glass substrate 1 is placed on the placement surface 2a of the setter 2, the peaks 1a and valleys 1b are irregularly scattered, and the placement surface 2a. Between the glass substrate 1 and the glass substrate 1, an air passage 3 that opens to the four sides 11, 12, 13, and 14 of the glass substrate 1 is formed. These air passages 3 are formed in multiple directions on the outer peripheral side of the glass substrate 1. The heights and widths of the peaks 1a and valleys 1b of the glass substrate 1 are not uniform and are different from each other. In addition, in the same figure, the direction of the main air flow which passes through each ventilation path 3 is shown by the arrow A.

詳述すると、ガラス基板1は、複数の谷部1bの全部または一部(少なくとも3つの谷部1b)が載置面2aに接触することにより、載置面2a上に支持されており、その接触している谷部1bの相互間に形成される空隙のうち四辺11、12、13、14まで到達している部位が、通気路3となっている。この通気路3の流路面積の大きさは、山部1aの高さや広さなどに応じて異なっている。ここで、山部1aと谷部1bとの区別に関しては、この実施形態では、山部1aと谷部1bとが滑らかに連続している場合には、谷部1bの底端部から山部1aの頂端部までの高さ方向中央を基準として、谷部1bと山部1aとに区分されている。   More specifically, the glass substrate 1 is supported on the mounting surface 2a by contacting all or a part of the plurality of valleys 1b (at least three valleys 1b) with the mounting surface 2a. A part of the gap formed between the contacting valleys 1b reaching the four sides 11, 12, 13, 14 is the air passage 3. The size of the flow path area of the ventilation path 3 varies depending on the height and width of the mountain portion 1a. Here, regarding the distinction between the peak 1a and the valley 1b, in this embodiment, when the peak 1a and the valley 1b are smoothly continuous, the peak from the bottom end of the valley 1b. It is divided into a valley 1b and a peak 1a with reference to the center in the height direction up to the top end of 1a.

図2は、上記のガラス基板1における平面視での形態を模式的に示す概略図である。同図において、クロスハッチングを付した領域Bは、ガラス基板1の谷部1bの最も低い部位であって載置面2aと接触している部位を示し、点線で囲まれた領域Cは、ガラス基板1の山部1aの頂端部周辺を示している。そして、クロスハッチングを付した領域Bの相互間には、間隙が形成されているが、主たる空気の流れ方向、つまり通気路3における空気の抜け出る方向は、矢印Aで示す多方向となる。   FIG. 2 is a schematic view schematically showing a form of the glass substrate 1 in a plan view. In the figure, a region B with cross-hatching indicates the lowest portion of the valley 1b of the glass substrate 1 and is in contact with the placement surface 2a, and a region C surrounded by a dotted line is glass The periphery of the top end of the peak 1a of the substrate 1 is shown. A gap is formed between the cross-hatched regions B, but the main air flow direction, that is, the direction in which air passes through the air passage 3 is multidirectional as indicated by the arrow A.

この場合、複数の谷部1b(特に、クロスハッチングを付した複数の領域B)は、ガラス基板1の一辺11(13)と平行な方向に連続しておらず、且つ、その一辺11(13)に隣接する他辺12(14)と平行な方向にも連続していない。したがって、それらの谷部1bの周囲に形成される全ての通気路3は、相互に連通している。なお、この複数の通気路3については、載置面2aとガラス基板1との間から空気を抜け出させることが可能であれば、それらの一部が非連通であってもよい。   In this case, the plurality of valley portions 1b (particularly, the plurality of regions B with cross-hatching) are not continuous in the direction parallel to the one side 11 (13) of the glass substrate 1 and the one side 11 (13 ) Is not continuous in the direction parallel to the other side 12 (14) adjacent to the other side. Accordingly, all the air passages 3 formed around the valley portions 1b communicate with each other. In addition, about this some ventilation path 3, as long as it is possible to let air escape from between the mounting surface 2a and the glass substrate 1, some of them may be non-communication.

図3は、セッター2の載置面2a上にガラス基板1が載置された状態での一の方向におけるガラス基板1の湾曲形状を示す概略断面図である。同図を参照して、ガラス基板1の形状を説明すると、符号Hは、載置面2aとガラス基板1との間の最大すきまであり、この最大すきまHは、0.15mm以下である。また、符号hは、山部1aと、その両隣の谷部1bのうちの高い方の谷部1bとの高低差であり、これらの高低差hのうちの最大値hmaxは、0.003〜0.1mm、好ましくは、0.007〜0.1mmである。そして、ガラス基板1の長さをLとした場合に、hmax/Lは、0.002%未満であると共に、このような関係を満たす山部1a及び谷部1bは、単位面積(1m2)当たり一箇所以上に存在している。 FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing the curved shape of the glass substrate 1 in one direction in a state where the glass substrate 1 is placed on the placement surface 2 a of the setter 2. The shape of the glass substrate 1 will be described with reference to the figure. The symbol H is up to the maximum clearance between the mounting surface 2a and the glass substrate 1, and the maximum clearance H is 0.15 mm or less. Moreover, the symbol h is a height difference between the peak portion 1a and the higher valley portion 1b of the adjacent valley portions 1b, and the maximum value hmax of these height differences h is 0.003 to 0.003. 0.1 mm, preferably 0.007 to 0.1 mm. When the length of the glass substrate 1 is L, hmax / L is less than 0.002%, and the peak portion 1a and the valley portion 1b satisfying such a relationship have a unit area (1 m 2 ). It exists in one or more locations.

以上のような構成であると、ガラス基板1がセッター2の平坦な載置面2a上に載置された際には、ガラス基板1と載置面2aとの間に、ガラス基板1の四辺11、12、13、14に開放する通気路3が相互に異なる方向を指向するように形成されるため、載置面2aとガラス基板1との間に介在される空気は、ガラス基板1の一方向のみならずこれと異なる他方向からも抜け出ることができる。したがって、自重によってガラス基板1が変形した場合であっても、複数の通気路3が一律に空気流動を阻害されることはないため、ガラス基板1を持ち上げるに足る閉鎖状態の空気層が載置面2aとの間に生じなくなる。これにより、ガラス基板1を載置面2aに移載した直後における載置面2a上での当該ガラス基板1の滑りが抑制されるため、載置面2aに対するガラス基板1の正確な位置決めが可能となって、この後における加熱処理等の処理が適正に行われ得る。   With the above configuration, when the glass substrate 1 is placed on the flat placement surface 2a of the setter 2, the four sides of the glass substrate 1 are placed between the glass substrate 1 and the placement surface 2a. 11, 12, 13, and 14 are formed so that the air passages 3 open in different directions, the air interposed between the mounting surface 2 a and the glass substrate 1 You can escape from one direction as well as another direction. Therefore, even when the glass substrate 1 is deformed by its own weight, the air flow is not inhibited uniformly by the plurality of air passages 3, so that a closed air layer sufficient to lift the glass substrate 1 is placed. It does not occur between the surface 2a. Thereby, since the slip of the said glass substrate 1 on the mounting surface 2a immediately after transferring the glass substrate 1 to the mounting surface 2a is suppressed, exact positioning of the glass substrate 1 with respect to the mounting surface 2a is possible. Thus, the subsequent heat treatment or the like can be appropriately performed.

また、ガラス基板1における一の辺に開放する通気路3が、その途中や開放端近傍で閉じられた場合であっても、ガラス基板1と載置面2aとの間に存在する空気は、ガラス基板1の他の辺に開放する通気路3を通じて抜け出ることができる。したがって、ガラス基板1と載置面2aとの間に、閉鎖状態の大きな空気層が形成されなくなり、このように一部の通気路3が閉鎖された場合にも、載置面2a上でのガラス基板1の滑り抑止効果、ひいてはガラス基板1の正確な位置決めが確保され得る。   Further, even when the air passage 3 that opens to one side of the glass substrate 1 is closed in the middle or in the vicinity of the open end, the air present between the glass substrate 1 and the mounting surface 2a is: It is possible to escape through the air passage 3 that opens to the other side of the glass substrate 1. Therefore, a large air layer in a closed state is not formed between the glass substrate 1 and the placement surface 2a, and even when some of the air passages 3 are closed in this way, The slip suppression effect of the glass substrate 1 and thus the accurate positioning of the glass substrate 1 can be ensured.

図4は、本発明の第2実施形態に係るガラス基板1がセッター2の載置面2a上に載置された際の状態を例示している。この第2実施形態に係るガラス基板1が上述の第1実施形態に係るそれと相違している点は、ガラス基板1に山部1aと谷部1bとが規則的に配列され、且つ、山部1aの高さ及び広さ並びに谷部1bの深さ及び広さが略同一に形成されているところにある。したがって、この第2実施形態に係るガラス基板1の四辺11、12、13、14にそれぞれ開放する通気路3の方向性は、対応する各辺と略直角な方向となり、且つ、全ての通気路3の流路面積等が同一条件になる。このような構成によっても、既述の場合と同様の作用が行われ得ることにより、載置面2a上でのガラス基板1の滑り抑止効果、ひいては載置面2aに対するガラス基板1の正確な位置決めが確保される。その他の構成は、上述の第1実施形態に係るガラス基板1と同一であるので、これと共通の構成要件については図4に同一符号を付し、その説明を省略する。   FIG. 4 illustrates a state when the glass substrate 1 according to the second embodiment of the present invention is placed on the placement surface 2 a of the setter 2. The glass substrate 1 according to the second embodiment is different from that according to the first embodiment described above in that the crests 1a and the troughs 1b are regularly arranged on the glass substrate 1 and the crests The height and width of 1a and the depth and width of the valley portion 1b are substantially the same. Therefore, the directionality of the ventilation path 3 opened to each of the four sides 11, 12, 13, and 14 of the glass substrate 1 according to the second embodiment is substantially perpendicular to each corresponding side, and all the ventilation paths. The flow path area of 3 is the same condition. Even with such a configuration, the same operation as described above can be performed, so that the glass substrate 1 can be prevented from slipping on the mounting surface 2a, and thus the glass substrate 1 can be accurately positioned with respect to the mounting surface 2a. Is secured. Since the other configuration is the same as that of the glass substrate 1 according to the first embodiment described above, the same reference numerals are assigned to the same configuration requirements in FIG. 4 and the description thereof is omitted.

図5は、本発明の第3実施形態に係るガラス基板1がセッター2の載置面2a上に載置された際の状態を例示している。この第3実施形態に係るガラス基板1が上述の第1、第2実施形態に係るそれと相違している点は、対角線上における一方側の隣り合う二辺111、12の周辺に山部1aと谷部1bとが形成され、他方側の隣り合う二辺13,14の周辺には殆ど山部及び谷部が形成されていないことにより、上記一方側の隣り合う二辺11、12のみに通気路3が開放されているところにある。このような構成によっても、載置面2aとガラス基板1との間に介在される空気は、ガラス基板1の一方向のみならずこれと直角な他方向からも抜け出ることができるため、載置面2a上でのガラス基板1の滑り抑止効果、ひいては載置面2aに対するガラス基板1の正確な位置決めが確保される。その他の構成は、上述の第1、第2実施形態に係るガラス基板1と同一であるので、これらと共通の構成要件については図5に同一符号を付し、その説明を省略する。   FIG. 5 illustrates a state when the glass substrate 1 according to the third embodiment of the present invention is placed on the placement surface 2 a of the setter 2. The difference between the glass substrate 1 according to the third embodiment and that according to the first and second embodiments described above is that the peak portion 1a and the periphery of the two adjacent sides 111 and 12 on the diagonal line are A valley 1b is formed, and almost no peaks and valleys are formed around the two adjacent sides 13 and 14 on the other side. Road 3 is open. Even with such a configuration, the air interposed between the mounting surface 2a and the glass substrate 1 can escape not only from one direction of the glass substrate 1 but also from the other direction perpendicular thereto. The slip prevention effect of the glass substrate 1 on the surface 2a, and hence the accurate positioning of the glass substrate 1 with respect to the placement surface 2a are ensured. Since the other configuration is the same as that of the glass substrate 1 according to the first and second embodiments described above, the same components as those in FIG.

以上の第1、第2、第3実施形態に係るガラス基板1は、例えば、以下のようにフロート法を利用して製造される。すなわち、フロートバス内で溶融ガラスを帯状のガラス基板元材に成形した後、軟質の状態にあるガラス基板元材を下方から支持して徐冷炉等に搬送する回転ローラの外周面に、複数の凸部を点在するように形成しておく。このようにすれば、帯状のガラス基板元材には、回転ローラの凸部との接触により山部が形成され、その他の部位が谷部となる。そして、この帯状のガラス基板元材が固化された後、耳部などの不要部分を切除し、さらに複数枚に分割することにより、上述のガラス基板1を得ることができる。なお、回転ローラの外周面に形成される複数の凸部の配列状態を規則的あるいは不規則的にしたり、それらの凸部の大きさをそれぞれ異ならせるなどすれば、上記例示した複数種のガラス基板1を作製することが可能である。   The glass substrate 1 which concerns on the above 1st, 2nd, 3rd embodiment is manufactured using the float process as follows, for example. That is, after forming molten glass into a strip-shaped glass substrate base material in a float bath, a plurality of protrusions are formed on the outer peripheral surface of a rotating roller that supports the glass substrate base material in a soft state from below and transports it to a slow cooling furnace or the like. The portions are formed so as to be scattered. If it does in this way, a peak part will be formed in a strip | belt-shaped glass substrate base material by the contact with the convex part of a rotating roller, and another site | part will become a trough part. And after this strip | belt-shaped glass substrate base material is solidified, the above-mentioned glass substrate 1 can be obtained by excising unnecessary parts, such as an ear | edge part, and also dividing | segmenting into several pieces. In addition, if the arrangement state of the plurality of convex portions formed on the outer peripheral surface of the rotating roller is made regular or irregular, or the sizes of the convex portions are different from each other, the plurality of types of glasses exemplified above are used. The substrate 1 can be manufactured.

1 フラットパネルディスプレイ用ガラス基板(ガラス基板)
1a 山部
1b 谷部
2 セッター(作業台)
2a 載置面
3 通気路
11、12、13、14 ガラス基板の辺
1 Glass substrate for flat panel display (glass substrate)
1a Yamabe 1b Valley 2 Setter (workbench)
2a Placement surface 3 Ventilation path 11, 12, 13, 14 Side of glass substrate

Claims (4)

作業台の平坦な載置面上に載置されて所定の処理が施されると共に、前記載置面上に載置された際に山部と谷部とが存在する形状とされ且つ平面視が略矩形とされたフラットパネルディスプレイ用ガラス基板であって、
前記載置面上に載置された際に、該載置面との間に、少なくとも隣接する二辺に開放する通気路が形成される形状とされていると共に、前記載置面と接触する複数の谷部が形成され、これらの谷部は、隣接する二辺にそれぞれ平行な何れの方向に対しても不連続とされていることを特徴とするフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。
It is mounted on the flat mounting surface of the work table and is subjected to predetermined processing, and has a shape in which peaks and valleys exist when mounted on the mounting surface described above, and in plan view. Is a glass substrate for a flat panel display having a substantially rectangular shape,
When placed on the placement surface, a ventilation path that is open to at least two adjacent sides is formed between the placement surface and contacts the placement surface. A glass substrate for a flat panel display, wherein a plurality of valleys are formed, and these valleys are discontinuous in any direction parallel to two adjacent sides .
前記少なくとも隣接する二辺に開放する通気路が連通していることを特徴とする請求項1に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。   The glass substrate for a flat panel display according to claim 1, wherein an air passage opening to at least two adjacent sides communicates. 前記通気路は、外周側の多方向に向かって形成されることを特徴とする請求項1または2に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。   The glass substrate for a flat panel display according to claim 1, wherein the air passage is formed in multiple directions on the outer peripheral side. 前記複数の谷部は、不規則的に散在していることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。 The glass substrate for a flat panel display according to any one of claims 1 to 3, wherein the plurality of valleys are scattered irregularly.
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