JP5612408B2 - 熱膨張係数の差異によって生じる変形に適応可能な位置決めピン及び半導体製造装置 - Google Patents
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Description
複数の側表面を有する中空多辺形柱体であり、前記複数の側表面は、第一側表面、第二側表面、第三側表面及び第四側表面を有し、そのうち、前記第一側表面は前記第二側表面に対し平行であり、前記第三側表面と前記第四側表面は、前記第一側表面と前記第二側表面との間に位置し且つ前記第一側表面と前記第二側表面とに対し垂直である第二部分と、
複数の側表面を有する中空多辺形柱体であり、前記第一部分と前記第二部分と一体同軸成型され、前記第二部分を前記第一部分との間に介し、前記複数の側表面は、第五側表面、第六側表面、第七側表面及び第八側表面を有し、前記第五側表面は前記第六側表面に対し平行であり、前記第七側表面と前記八側表面は、前記第五側表面と前記第六側表面との間に位置し且つ前記第五側表面と前記第六側表面に垂直であり、前記第一側表面と前記第五側表面は共平面であり、前記第二側表面と前記第六側表面が共平面であり、前記第三側表面と前記第七側表面が共平面であり、及び前記第四側表面と第八側表面が共平面である第三部分と、
共平面である前記第三側表面と前記第七側表面に沿って前記第一部分、前記第二部分及び前記第三部分に連続して形成され、且つ前記第一部分、前記第二部分及び前記第三部分を貫通する第一溝部と、
前記第二部分の前記第四側表面に形成され、前記第二部分を貫通し、前記第一溝部に対して平行である前記第二溝部と、を有する。
前記第二溝部はそれぞれ前記位置決めピンの軸方向に前記第一部分と前記第三部分まで延伸可能である。前記第一側表面と前記第五側表面は非共平面でもよく、また前記第二側表面と前記第六側表面は非共平面でもよい。前記第二溝部はそれぞれ前記位置決めピンの軸方向に前記第一部分と前記第三部分まで延伸可能である。
3 静電チャック
5 フォーカスリング
7 下層石英リング
51 ピン穴
51a 長辺
51b 長辺
100 位置決めピン
110 溝部
120 第一側表面
120’ 第二側表面
130 第三側表面
200 位置決めピン
210 第一溝部
220 第一側表面
220’ 第二側表面
225 第三側表面
225’ 第四側表面
230 第五側表面
230’ 第六側表面
235 第七側表面
235’ 第八側表面
240 第二溝部
300 位置決めピン
310 第一部分
320 第二部分
330 第一溝部
335 貫通孔
340 第二溝部
345 貫通孔
350 第一側表面
350’ 第二側表面
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355’ 第四側表面
400 位置決めピン
410 第一部分
420 第二部分
430 第三部分
440 第一溝部
445 貫通孔
450 第二溝部
455 貫通孔
460 第三溝部
465 貫通孔
470 第一側表面
470’ 第二側表面
475 第三側表面
475’ 第四側表面
480 第五側表面
480’ 第六側表面
485 第七側表面
485’ 第八側表面
500 位置決めピン
510 第一部分
520 第二部分
530 第三部分
540 第一溝部
545 貫通孔
550 第二溝部
560 第三溝部
570 第一側表面
570’ 第二側表面
575 第三側表面
575’ 第四側表面
580 第五側表面
580’ 第六側表面
585 第七側表面
585’ 第八側表面
A 第一部分
B 第二部分
A’ 第一部分
B’ 第二部分
C’ 第三部分
M 半導体製造装置
Claims (20)
- 位置決めピンであって、
中空円柱体である第一部分と、
複数の側表面を有する中空多辺形柱体であって、前記第一部分と一体同軸成型され、前記複数の側表面は第一側表面、第二側表面、第三側表面及び第四側表面を有し、前記第一側表面は前記第二側表面に対して平行であり、前記中空多辺形柱体の軸方向に対して垂直方向の断面視において、前記第一側表面の長さと前記第二側表面の長さはそれぞれ前記第一側表面と前記第二側表面との間の長さよりも長く、前記第三側表面と第四側表面は前記第一側表面と前記第二側表面との間に位置する第二部分と、を有し、
前記第一部分における前記円柱体の側表面には、当該円柱体の軸方向に沿って平行に2箇所以上に延伸する溝である第一溝部が形成され、
前記第二部分における前記第三側表面と前記第四側表面には、それぞれ前記中空多辺円柱体の軸方向に沿って平行に延伸する溝である第二溝部が形成され、
少なくとも前記第一溝部と前記第二溝部との一方における溝の両端部には貫通孔が形成され、
前記第一溝部の両端部に貫通孔が形成されている場合には、当該貫通孔は前記第一溝部よりも大きい幅を有し、
前記第二溝部の両端部に貫通孔が形成されている場合には、当該貫通孔は前記第二溝部よりも大きい幅を有することを特徴とする位置決めピン。 - 請求項1に記載の位置決めピンであって、
前記第三側表面は前記第四側表面に対して平行であり、前記第三側表面と前記第四側表面は前記第一側表面と前記第二側表面に垂直であることを特徴とする位置決めピン。 - 請求項1又は2に記載の位置決めピンであって、
前記第一溝部は、前記円柱体の円周方向に等間隔に形成されていることを特徴とする位置決めピン。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の位置決めピンであって、
前記第一部分と前記第二部分との間に設けられ、前記第一部分及び前記第二部分と一体同軸成形された第三部分と、
前記第三部分において、前記第三側表面に沿った側表面と前記第四側表面に沿った側表面にそれぞれ形成された第三溝部と、を有し、
少なくとも前記第一溝部、前記第二溝部又は前記第三溝部の両端部には前記貫通孔が形成され、
前記第一溝部の両端部に貫通孔が形成されている場合には、当該貫通孔は前記第一溝部よりも大きい幅を有し、
前記第二溝部の両端部に貫通孔が形成されている場合には、当該貫通孔は前記第二溝部よりも大きい幅を有し、
前記第三溝部の両端部に貫通孔が形成されている場合には、当該貫通孔は前記第三溝部よりも大きい幅を有することを特徴とする位置決めピン。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の位置決めピンであって、
前記第一部分と前記第二部分との間に設けられた第三部分を有し、
前記第二溝部は前記第二部分及び前記第三部分の軸方向に沿って前記第三部分まで延伸していることを特徴とする位置決めピン。 - 請求項4又は5に記載の位置決めピンであって、
前記第三部分は、複数の側表面を有する中空多辺形柱体であって、
前記複数の側表面は第五側表面、第六側表面、第七側表面及び第八側表面を有し、前記第五側表面は前記第六側表面に対向して平行であり、前記第七側表面と前記第八側表面は前記第五側表面と前記第六側表面との間に位置し且つ前記第五側表面と第六側表面に垂直であり、前記第一側表面と前記第五側表面は共平面であり、前記第二側表面と前記第六側表面は共平面であり、前記第三側表面と前記第七側表面は共平面であり、前記第四側表面と前記第八側表面は共平面であることを特徴とする位置決めピン。 - 請求項4又は5に記載の位置決めピンであって、
前記第三部分は、複数の側表面を有する中空柱体であって、
前記複数の側表面は第五側表面、第六側表面、第七側表面及び第八側表面を有し、前記第五側表面は前記第六側表面に対向して平行であり、前記第七側表面と前記第八側表面は前記第五側表面と前記第六側表面との間に位置し且つ湾曲し、前記第一側表面と前記第五側表面は共平面であり、前記第二側表面と前記第六側表面は共平面であることを特徴とする位置決めピン。 - 請求項6又は7に記載の位置決めピンであって、
前記第一側表面と前記第五側表面が非共平面であり、前記第二側表面と前記第六側表面が非共平面であることを特徴とする位置決めピン。 - 請求項1〜8のいずれかに記載の位置決めピンであって、
前記貫通孔は側面視において長方形状を有することを特徴とする位置決めピン。 - 請求項1〜8のいずれかに記載の位置決めピンであって、
前記貫通孔は側面視において円形状を有することを特徴とする位置決めピン。 - 半導体製造装置であって、
静電チャックと、当該静電チャックの周辺部材と、前記静電チャック及び前記周辺部材に用いられる位置決めピンと、を有し、
前記位置決めピンは、
中空円柱体である第一部分と、
複数の側表面を有する中空多辺形柱体であって、前記第一部分と一体同軸成型され、前記複数の側表面は第一側表面、第二側表面、第三側表面及び第四側表面を有し、前記第一側表面は前記第二側表面に対して平行であり、前記中空多辺形柱体の軸方向に対して垂直方向の断面視において、前記第一側表面の長さと前記第二側表面の長さはそれぞれ前記第一側表面と前記第二側表面との間の長さよりも長く、前記第三側表面と第四側表面は前記第一側表面と前記第二側表面との間に位置する第二部分と、を有し、
前記第一部分における前記円柱体の側表面には、当該円柱体の軸方向に沿って平行に2箇所以上に延伸する溝である第一溝部が形成され、
前記第二部分における前記第三側表面と前記第四側表面には、それぞれ前記中空多辺円柱体の軸方向に沿って平行に延伸する溝である第二溝部が形成され、
少なくとも前記第一溝部と前記第二溝部との一方における溝の両端部には貫通孔が形成され、
前記第一溝部の両端部に貫通孔が形成されている場合には、当該貫通孔は前記第一溝部よりも大きい幅を有し、
前記第二溝部の両端部に貫通孔が形成されている場合には、当該貫通孔は前記第二溝部よりも大きい幅を有し、
前記位置決めピンは、前記静電チャック及び前記周辺部材に用いられ、前記位置決めピンが前記静電チャック及び前記周辺部材内に挿入されることにより、前記第一部分が前記静電チャックの円形ピン穴に緊密に挿入され且つ前記第二部分の前記第一側表面及び前記第二側表面がそれぞれ前記周辺部材の長円形ピン穴の二つの対向する平行な長辺に緊密に接触し、
前記静電チャックと前記周辺部材の同一円周上に等間隔で少なくとも3本の前記位置決めピンが設置されることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項11に記載の半導体製造装置であって、
前記周辺部材がフォーカスリングを有することを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項12に記載の半導体製造装置であって、
前記周辺部材が下層石英リングをさらに有することを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項11〜13のいずれかに記載の半導体製造装置であって、
前記位置決めピンは、前記第一部分と前記第二部分との間に設けられた第三部分を有し、
前記第三部分は、複数の側表面を有する中空多辺形柱体であって、
前記複数の側表面は第五側表面、第六側表面、第七側表面及び第八側表面を有し、前記第五側表面は前記第六側表面に対向して平行であり、前記第七側表面と前記第八側表面は前記第五側表面と前記第六側表面との間に位置し且つ前記第五側表面と第六側表面に垂直であり、前記第一側表面と前記第五側表面は共平面であり、前記第二側表面と前記第六側表面は共平面であり、前記第三側表面と前記第七側表面は共平面であり、前記第四側表面と前記第八側表面は共平面であることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項11〜13のいずれかに記載の半導体製造装置であって、
前記位置決めピンは、前記第一部分と前記第二部分との間に設けられた第三部分を有し、
前記第三部分は、複数の側表面を有する中空柱体であって、
前記複数の側表面は第五側表面、第六側表面、第七側表面及び第八側表面を有し、前記第五側表面は前記第六側表面に対向して平行であり、前記第七側表面と前記第八側表面は前記第五側表面と前記第六側表面との間に位置し且つ湾曲し、前記第一側表面と前記第五側表面は共平面であり、前記第二側表面と前記第六側表面は共平面であることを特徴とする半導体製造装置。 - 位置決めピンであって、
中空円柱体である第一部分と、
複数の側表面を有する中空多辺形柱体であり、前記第一部分と一体同軸成型され、前記複数の側表面は第一側表面、第二側表面及び第三側表面を有し、前記第一側表面は前記第二側表面に対して平行であり、前記第三側表面は前記第一側表面と前記第二側表面との間に位置し、且つ前記第一側表面と前記第二側表面に垂直である第二部分と、
前記第三側表面に沿って前記第一部分と前記第二部分に連続して形成され、且つ前記第一部分と前記第二部分を貫通している溝部と、
を有することを特徴とする位置決めピン。 - 請求項16に記載の位置決めピンであって、
前記位置決めピンは、静電チャック及びその周辺部材に用いられ、前記位置決めピンが前記静電チャック及び前記周辺部材内に挿入されることにより、前記第一部分が前記静電チャックの円形ピン穴に緊密に挿入され且つ前記第二部分の前記第一側表面及び前記第二側表面がそれぞれ前記周辺部材の長円形ピン穴の二つの対向する平行な長辺に緊密に接触し、
前記静電チャックと前記周辺部材の同一円周上に等間隔で少なくとも3本の前記位置決めピンが設置されることを特徴とする位置決めピン。 - 位置決めピンであって、
中空円柱体である第一部分と、
複数の側表面を有する中空多辺形柱体であって、前記複数の側表面は、第一側表面、第二側表面、第三側表面及び第四側表面を有し、前記第一側表面は前記第二側表面に対向して平行であり、前記第三側表面と前記第四側表面は前記第一側表面と前記第二側表面との間に位置し、且つ前記第一側表面と前記第二側表面に垂直である第二部分と、
複数の側表面を有する中空多辺形柱体であって、且つ前記第一部分及び前記第二部分と一体同軸成型され、前記第二部分を前記第一部分との間に介し、前記複数の側表面は第五側表面、第六側表面、第七側表面及び第八側表面を有し、前記第五側表面は前記第六側表面に対向して平行であり、前記第七側表面と前記第八側表面は前記第五側表面と前記第六側表面との間に位置し且つ前記第五側表面と第六側表面に垂直であり、前記第一側表面と前記第五側表面は共平面であり、前記第二側表面と前記第六側表面は共平面であり、前記第三側表面と前記第七側表面は共平面であり、前記第四側表面と前記第八側表面は共平面である第三部分と、
共平面である前記第三側表面と前記第七側表面に沿って、前記第一部分、前記第二部分及び前記第三部分に連続して形成され、且つ前記第一部分、前記第二部分及び前記第三部分を貫通する第一溝部と、
前記第二部分の前記第四側表面に形成され、前記第二部分を貫通し、前記第一溝部に対向して平行である第二溝部と、
を有することを特徴とする位置決めピン。 - 請求項18に記載の位置決めピンであって、
前記位置決めピンは、静電チャック及びその周辺部材に用いられ、前記周辺部材はフォーカスリング及び下層石英リングを有し、前記位置決めピンが前記静電チャック、前記フォーカスリング及び前記下層石英リングに挿入されることにより、前記第一部分が前記静電チャックの円形ピン穴に緊密に挿入され、前記第二部分の前記第一側表面及び前記第二側表面がそれぞれ前記下層石英リングの長円形ピン穴の二つの対向する平行な長辺と緊密に接触し、且つ前記第三部分の前記第五側表面及び前記第六側表面がそれぞれ前記フォーカスリングの長円形ピン穴の二つの対向する平行な長辺に緊密に接触し、
前記静電チャックと前記周辺部材の同一円周上に等間隔で、少なくとも3本の前記位置決めピンが設置されることを特徴とする位置決めピン。 - 請求項18に記載の位置決めピンであって、
前記第二溝部はそれぞれ前記第二部分及び前記第三部分の軸方向に前記第一部分及び前記第三部分まで延伸可能であることを特徴とする位置決めピン。
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