JP5607694B2 - 自重を用いる半田ボール実装装置、これを含む半田ボール実装システム、及びこれを用いる半田ボール実装方法 - Google Patents

Description

本発明は、自重を用いる半田ボール実装装置、これを含む半田ボール実装システム、及びこれを用いる半田ボール実装方法に関する。

従来、ＰＣＢ（Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｂｏａｒｄ）上に半田バンプを形成し、その上にデバイスを実装するフリップチップ（Ｆｌｉｐ Ｃｈｉｐ）方式の適用が益々増加している。

特に、大容量のデータを高速に演算するＣＰＵ及びグラフィック用演算装置の場合、従来のＡｕワイヤー（ｗｉｒｅ）を用いて基板とデバイスを連結する方式から基板とデバイスを半田バンプ（Ｓｏｌｄｅｒ Ｂｕｍｐ）で連結して接続抵抗を改善させたフリップチップ方式への転換が急激に増加している傾向にある。

このような半田バンプは、半田ペースト（Ｓｏｌｄｅｒ Ｐａｓｔｅ）を基板に印刷してリフロー（Ｒｅｆｌｏｗ）して形成する方式、微細な半田ボール（Ｓｏｌｄｅｒ Ｂａｌｌ）を基板に実装して形成する方式、溶融された半田を基板に直接またはマスクを用いて注入して形成する方法に分類することができる。このように基板に形成された半田バンプは、チップに形成されたＣｕパッドまたは半田バンプとの接続のために溶融されて金属間結合をするようになる。

このような半田バンプを形成する方法は、特許文献１に記載されているように、マスク（Ｍａｓｋ）に同じ大きさの開口部を形成した後、半田ボールをスクイージを用いてスクイージングし、半田ボールがマスク開口部を通して基板の入力／出力パッドに実装するボールプレイシング（Ｂａｌｌ Ｐｌａｃｉｎｇ）方式、またはジグ（Ｊｉｇ）に基板パターンと同じに真空ホールを形成し、半田ボールを真空にピックアップ（ｐｉｃｋ−ｕｐ）して基板に実装する方式を例として挙げることができる。

ピックアップ方式の場合、まず、ジグの真空ホールを機械的に加工し、化学的にエッチングして形成する時、半田ボールの個数が増加してボール間のピッチ（Ｐｉｔｃｈ）が減少するにつれて、真空ホールの加工コストが急激に増加する。それだけでなく、ジグの真空ホールを形成する時、大きさの制約があるため、真空に十分にボールをピックアップすることができなくてボールがジグから抜け出されて不良が生じる場合もある。

また、ピックアップ方式は、半田ボールをピックアップして実装する時、ジグが基板に事前に塗布したフラックス（Ｆｌｕｘ）により汚染される場合、フラックスに汚染されたジグ部分に所望しない半田ボールがピックアップされて基板に装着されて不良が生じる場合もある。

一方、ボールプレイシング方式の場合、マスクに半田ボールを投入し、これをスクイージでスクイージングして半田ボールを実装する過程中に、半田ボールがスクイージに押さえられてマスクのホール（Ｈｏｌｅ）を埋めたり、またはスクイージング時、半田ボールが互いに衝突して表面が割れて酸化が急激に発生することができる。

従って、このような欠陥により、リフロー（ｒｅｆｌｏｗ）工程過程で半田ボールが基板の入力／出力パッドと金属結合をすることができなくて不良が発生する。

韓国公開特許第２００８−００１４１４３号公報

本発明の観点は、上記の問題点を解消するために、スクイージ無しに自重を用いて半田ボールを実装することができる半田ボール実装装置を提供することである。

本発明の他の観点は、上記の問題点を解消するために、スクイージ無しに自重を用いて半田ボールを実装することができる半田ボール実装システムを提供することである。

本発明の別の観点は、上記の問題点を解消するために、スクイージ無しに自重を用いて半田ボールを実装することができる半田ボール実装装置を用いる半田ボール実装方法を提供することである。

本発明の一実施例による半田ボール実装装置は、印刷回路基板を上部面に装着したテーブルと、前記テーブルの一側または両側に接して前記テーブルの左右方向に傾斜させる位置調整部と、前記印刷回路基板の各パッドに対応するそれぞれの開口部を備え、前記テーブルとの間に前記印刷回路基板を介在して前記テーブルに重畳装着された実装用マスクと、を含む。

本発明の一実施例による半田ボール実装装置において、前記テーブルは、内部の一側に軸方向に振動を発生させるようにモータに連結された振動軸をさらに含む。

本発明の一実施例による半田ボール実装装置において、前記位置調整部は、シリンダまたはモータを用いて上下軸方向に変位する。

本発明の一実施例による半田ボール実装装置において、前記実装用マスクは、前記開口部を備えた実装面と、前記実装面の周縁に沿って形成された側壁と、を含む。

本発明の他の実施例による半田ボール実装装置は、印刷回路基板を上部面に装着したテーブルと、前記テーブルの下部の一側に備えられて振動を発生させる振動部と、前記テーブルの下部に備えられた支持板と、前記支持板の上部面と前記テーブルの下部面との間の両側に備えられ、軸に沿って往復運動を遂行するガイド部と、前記支持板の一側または両側に接して前記テーブルの左右方向に傾斜させる位置調整部と、前記印刷回路基板の各パッドに対応するそれぞれの開口部を備え、前記テーブルとの間に前記印刷回路基板を介在して前記テーブルに重畳装着された実装用マスクと、を含む。

本発明の他の実施例による半田ボール実装装置において、前記振動部は、前記テーブルと支持板との間の一側に備えられたカムと、前記支持板に備えられて前記カムを駆動させるモータと、を含む。

本発明の他の実施例による半田ボール実装装置において、前記ガイド部は、ＬＭガイド（Ｌｉｎｅａｒ Ｍｏｔｉｏｎ Ｇｕｉｄｅ）を含む。

本発明の他の実施例による半田ボール実装装置において、前記位置調整部は、シリンダまたはモータを用いて上下軸方向に変位する。

本発明の他の実施例による半田ボール実装装置において、前記実装用マスクは、前記開口部を備えた実装領域を中心に両側の端部にスロープ（ｓｌｏｐｅ）形態の捕集領域で形成される。

また、本発明の他の実施例による半田ボール実装システムは、半田ボール実装装置と、前記半田ボール実装装置に連結された制御部と、半田ボール実装装置の上部に備えられて前記制御部にイメージ情報を伝達する撮像部と、前記制御部に連結されたディスプレイ部と、を含む。

本発明の他の実施例による半田ボール実装システムにおいて、前記半田ボール実装装置は、印刷回路基板を上部面に装着したテーブルと、前記テーブルの一側または両側に接して前記テーブルの左右方向に傾斜させる位置調整部と、前記印刷回路基板の各パッドに対応するそれぞれの開口部を備え、前記テーブルとの間に前記印刷回路基板を介在して前記テーブルに重畳装着された実装用マスクと、を含む。

本発明の他の実施例による半田ボール実装システムにおいて、前記半田ボール実装装置は、印刷回路基板を上部面に装着したテーブルと、前記テーブルの下部の一側に備えられて振動を発生させる振動部と、前記テーブルの下部に備えられた支持板と、前記支持板の上部面と前記テーブルの下部面との間の両側で軸に沿って往復運動のために備えられたガイド部と、前記支持板の一側または両側に接して前記テーブルの左右方向に傾斜させる位置調整部と、前記印刷回路基板の各パッドに対応するそれぞれの開口部を備え、前記テーブルとの間に前記印刷回路基板を介在して前記テーブルに重畳装着された実装用マスクと、を含む。

また、本発明の他の実施例による半田ボール実装方法は、（Ａ）半田ボールを実装する印刷回路基板を用意する段階と、（Ｂ）前記印刷回路基板を半田ボール実装装置のテーブルと実装用マスクとの間に装着する段階と、（Ｃ）前記実装用マスクに前記半田ボールを多数供給し、制御部の制御によって前記半田ボール実装装置のテーブルに振動を発生させて前記テーブルを左右方向に各々鋭角だけ傾ける段階と、（Ｄ）前記制御部が、各々前記実装用マスクの開口部に前記半田ボールが埋められるかどうかを判断する段階と、（Ｅ）前記判断結果によって、前記制御部は、前記テーブルに振動を発生させて前記テーブルを左右方向に各々鋭角だけ再び繰り返して傾ける段階と、を含む。

本発明の他の実施例による半田ボール実装方法において、前記（Ｃ）段階は、（Ｃ−１）前記実装用マスクに前記半田ボールを多数供給する段階と、（Ｃ−２）前記テーブルの内部の一側に備えられた振動軸を用いて振動を発生させる段階と、（Ｃ−３）前記制御部が前記テーブルの一側または両側に接した位置調整部を用いて前記テーブルの左右方向に各々鋭角だけ傾斜させる段階と、を含む。

本発明の他の実施例による半田ボール実装方法において、前記振動部のカムを用いて振動を発生させる。

本発明の他の実施例による半田ボール実装方法において、前記（Ｄ）段階は、前記制御部が前記半田ボール実装装置の上部に備えられた撮像部から受信した前記実装用マスクのイメージ情報を分析し、前記半田ボールの装着完了可否を判断する。

本発明の他の実施例による半田ボール実装方法は、（Ｆ）前記半田ボールに対するリフロー工程を遂行する段階をさらに含む。

本発明による半田ボール実装装置を用いる実装方法は、従来、スクイージ無しに自重を用いて多数の半田ボールを実装用マスクの開口部を通して実装するため、半田ボールがスクイージに押さえられてマスクの開口部を埋めたり、またはスクイージング時、半田ボールが互いに衝突して表面が割れて酸化が急激に発生する問題点を解消し、半田ボール実装の信頼性を向上させることができる効果がある。

本発明の一実施例による半田ボール実装装置を含むシステムを図示する構成図である。 本発明の一実施例による半田ボール実装装置を用いる実装方法を説明するための例示図である。 本発明の一実施例による半田ボール実装装置を用いる実装方法を説明するための例示図である。 本発明の他の実施例による半田ボール実装装置を含むシステムを図示する構成図である。 本発明の他の実施例による半田ボール実装装置の動作を説明するための例示図である。 本発明の他の実施例による半田ボール実装装置の動作を説明するための例示図である。 本発明の他の実施例による半田ボール実装装置を用いる実装方法を説明するための例示図である。

本発明の目的、特定の長所及び新規の特徴は、添付図面に係る以下の詳細な説明及び好ましい実施例によってさらに明らかになるであろう。本明細書において、各図面の構成要素に参照番号を付け加えるに際し、同一の構成要素に限っては、たとえ異なる図面に示されても、できるだけ同一の番号を付けるようにしていることに留意しなければならない。また、「一面」、「他面」、「第１」、「第２」などの用語は、一つの構成要素を他の構成要素から区別するために用いられるものであり、構成要素が前記用語によって限定されるものではない。以下、本発明を説明するにあたり、本発明の要旨を不明瞭にする可能性がある係る公知技術についての詳細な説明は省略する。

以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。

図１は、本発明の一実施例による半田ボール実装装置を含むシステムを図示する構成図であり、図２Ａ及び図２Ｂは、本発明の一実施例による半田ボール実装装置を用いる実装方法を説明するための例示図である。

本発明の一実施例による半田ボール実装装置を含むシステムは、半田ボール実装装置、半田ボール実装装置に連結された制御部４００、半田ボール実装装置の上部に備えられた撮像部６００、及び制御部４００に連結されたディスプレイ部５００を含む。

特に、半田ボール実装装置は、印刷回路基板３００を上部面に装着したテーブル１００、テーブル１００の両側に接してテーブル１００の左右方向に傾斜させる位置調整部１３１、１３２、及び印刷回路基板３００の各パッドに対応するそれぞれの開口部２１０を備えて印刷回路基板３００上でテーブル１００に重畳装着された実装用マスク２００を含む。

テーブル１００は、上部面に印刷回路基板３００を装着して支持する部材であり、クランプなどの結合手段を用いて実装用マスク２００が重畳装着されながら、テーブル１００と実装用マスク２００との間に印刷回路基板３００が固定介在されて装着されることができる。

このようなテーブル１００は、中央に振動軸１１０を備え、制御部４００の制御により振動軸１１０の軸方向に前後往復運動を遂行し、これによって、実装用マスク２００が前後に振動を有するようにする。ここで、振動軸１１０は、軸方向に前後往復運動を遂行するように、例えば、リニアモータなどに連結されることができる。

位置調整部１３１、１３２は、例えば、シリンダ（Ｃｙｌｉｎｄｅｒ）または電動モータを用いてテーブル１００の両側に各々接して備えられ、制御部４００の制御により上下軸方向に移動されることができ、これによって、テーブル１００を左右方向に鋭角だけ傾斜させた形態に変換させる。

実装用マスク２００は、金属、合成樹脂、及びドライフィルム（ｄｒｙ ｆｉｌｍ）などの材質を一つまたは混用して形成されることができ、特に、金属材質の板にドライフィルムをコーティングした形態で形成されることができる。

このような実装用マスク２００は、印刷回路基板３００の各パッドに対応するそれぞれの開口部２１０を多数備えた実装面、及び実装面の周縁に沿って形成された側壁で構成される。このような実装用マスク２００は、印刷回路基板３００の各パッドに実装される多数の半田ボール１２０の供給を受ける。

このように構成された本発明の一実施例による半田ボール実装装置に対し、制御部４００は、テーブル１００の振動軸１１０と位置調整部１３１、１３２を制御し、テーブル１００と共に実装用マスク２００を両側左右に各々鋭角だけ傾斜させると同時に振動軸１１０を通して振動を発生させることができる。

このような本発明の一実施例による半田ボール実装装置を含むシステムを用いて半田ボールを印刷回路基板３００の各パッドに実装することができる。

具体的に、図２Ａに図示されたように、制御部４００は、振動軸１１０の軸方向に振動を発生させながら、同時に左側位置調整部１３１の高さを高め、右側位置調整部１３２の高さを低め、テーブル１００と共に実装用マスク２００を右側に“α”だけ鋭角に傾けた状態に転換することができる。

次に、図２Ｂに図示されたように、制御部４００は、振動軸１１０の軸方向に振動を発生させながら、同時に左側位置調整部１３１の高さを低め、右側位置調整部１３２の高さを高め、テーブル１００と共に実装用マスク２００を左側に“β”だけ鋭角に傾けた状態に転換する。

このように実装用マスク２００を水平線を中心に左右方向に各々鋭角に傾ける過程が繰り返して遂行されることができ、これによって、多数の半田ボール１２０は、自重（ｇｒａｖｉｔｙ）により傾けられている実装面に沿って左右に移動しながら、実装用マスク２００の開口部２１０に各々埋められる。

ここで、実装用マスク２００を鋭角だけ傾ける理由は、鋭角を超えて実装用マスク２００を傾けるようになると、実装用マスク２００の開口部２１０に各々埋められた半田ボール１２０が再度抜け出されるためである。

以後、制御部４００は、半田ボール実装装置の上部に位置する撮像部６００を通して受信した実装用マスク２００の面に関するイメージ情報から実装用マスク２００の開口部２１０に半田ボール１２０が全部装着された完了状態かどうかを把握することができる。この時、制御部４００は、撮像部６００から受信した実装用マスク２００の面に関するイメージ情報をディスプレイ部５００を通してユーザにディスプレイすることができる。

半田ボール１２０が全部装着されない未完了状態と判断されると、制御部４００は、振動軸１１０と位置調整部１３１、１３２を制御し、実装用マスク２００を再び左右側に傾斜させた状態を繰り返して形成することによって、半田ボール１２０を全部開口部２１０に装着することができる。

従って、本発明の一実施例による半田ボール実装装置を用いる実装方法は、従来、スクイージ無しに自重を用いて半田ボール１２０を全部実装用マスク２００の開口部２１０に埋め、以後、印刷回路基板３００の各パッドに半田ボール１２０を実装することができる。

これによって、従来、半田ボールがスクイージに押さえられてマスクの開口部を埋めたり、またはスクイージング時、半田ボールが互いに衝突して表面が割れて酸化が急激に発生する問題点を解消し、半田ボール実装の信頼性を向上させることができる。

以下、本発明の他の実施例による半田ボール実装装置を含むシステム及びこれを用いる実装方法に対して図３から図５を参照して説明する。図３は、本発明の他の実施例による半田ボール実装装置を含むシステムを図示する構成図であり、図４Ａ及び図４Ｂは、本発明の他の実施例による半田ボール実装装置の動作を説明するための例示図であり、図５は、本発明の他の実施例による半田ボール実装装置を用いる実装方法を説明するための例示図である。

図３に図示されたように、本発明の他の実施例による半田ボール実装装置を含むシステムは、半田ボール実装装置、半田ボール実装装置に連結された制御部４０００、半田ボール実装装置の上部に備えられた撮像部６０００、及び制御部４０００に連結されたディスプレイ部５０００を含む。

具体的に、半田ボール実装装置は、印刷回路基板３０００を上部面に装着したテーブル１０００、テーブル１０００の下部面の両側に備えられて支持板１０１０の上部に装着されたガイド部１１００、テーブル１０００と支持板１０１０との間の一側に備えられてテーブル１０００に振動を発生させる振動部１２００、支持板１０１０の下部面の両側に連結されて支持板１０１０と共にテーブル１０００を左右方向に傾斜させる位置調整部１３１０、１３２０、及び印刷回路基板３０００の各パッドに対応するそれぞれの開口部２１００（図５参照）を備えて印刷回路基板３０００上でテーブル１０００に重畳装着された実装用マスク２０００を含む。

テーブル１０００は、上部面に印刷回路基板３０００を装着して支持する部材であり、クランプなどの結合手段を用いて実装用マスク２０００が重畳装着されながら、テーブル１０００と実装用マスク２０００との間に印刷回路基板３０００が介在されて固定装着されることができる。

ガイド部１１００は、テーブル１０００の下部面の両側に備えられて軸に沿って前後方向（地面を基準に）に往復動自在に装着され、振動部１２００により発生した振動によって、テーブル１０００は、ガイド部１１００に沿って前後方向に移動して振動する。ここで、ガイド部１１００は、前後方向に移動可能に、例えば、ＬＭガイド（Ｌｉｎｅａｒ Ｍｏｔｉｏｎ Ｇｕｉｄｅ）を利用することができる。

振動部１２００は、テーブル１０００と支持板１０１０との間の一側に備えられたカム１２２０、及び支持板１０１０の下部に装着されて制御部４０００の制御によりカム１２２０を駆動させるモータ１２１０を含む。

特に、振動部１２００のカム１２２０が往復運動することによって、テーブル１０００は、ガイド部１１００に沿って前後方向に往復して振動するようになる。これによって、テーブル１０００と共に装着された実装用マスク２０００にも振動が伝達されて多数の半田ボール２５００が前後に拡散されながら移動することができる。

位置調整部１３１０、１３２０は、例えば、シリンダ（Ｃｙｌｉｎｄｅｒ）または電動モータを用いて支持板１０１０の両側に各々連結され、制御部４０００の制御により上下軸方向に移動されることができ、これによって、テーブル１０００の左右方向に鋭角だけ傾斜させた形態に変換させる。

実装用マスク２０００は、金属、合成樹脂、及びドライフィルム（ｄｒｙ ｆｉｌｍ）などの材質を一つまたは混用して形成されることができ、特に、金属材質の板にドライフィルムをコーティングした形態で形成されることができる。

このような実装用マスク２０００は、印刷回路基板３０００の各パッドに対応するそれぞれの開口部２１００を備えた中央領域、及び両側の端部に剰余の半田ボール２５００を集めることができるスロープ（ｓｌｏｐｅ）形態の捕集領域で形成される。

また、実装用マスク２０００は、印刷回路基板３０００の各パッドに実装される多数の半田ボール２５００を捕集領域で供給を受け、開口部２１００を備えた中央領域を通して多数の半田ボール２５００を印刷回路基板３０００の各パッドに実装することができる。

このように構成された本発明の他の実施例による半田ボール実装装置に対し、制御部４０００は、振動部１２００と位置調整部１３１０、１３２０を制御し、テーブル１０００と共に実装用マスク２０００を両側左右に各々鋭角に傾斜させると同時にガイド部１１００に沿って実装用マスク２０００が前後方向に往復して振動させることができる。

このような本発明の他の実施例による半田ボール実装システムを用いた実装方法によって多数の半田ボール２５００を印刷回路基板３０００の各パッドに実装することができる。

具体的に、図４Ａに図示されたように、制御部４０００は、振動部１２００を通して振動を発生させながら、同時に左側位置調整部１３１０の高さを高め、右側位置調整部１３２０の高さを低め、テーブル１０００と共に実装用マスク２０００を右側に鋭角だけ傾けた状態に転換することができる。

次に、図４Ｂに図示されたように、制御部４０００は、振動部１２００を通して振動を発生させながら、同時に左側位置調整部１３１０の高さを低め、右側位置調整部１３２０の高さを高め、テーブル１０００と共に実装用マスク２０００を左側に鋭角だけ傾けた状態に転換することができる。

このように実装用マスク２０００を水平線を中心に左右方向に各々鋭角に傾ける過程が繰り返して遂行されることができ、これによって、多数の半田ボール２５００は、自重（ｇｒａｖｉｔｙ）により傾けられている実装用マスク２０００の実装面に沿って左右に移動しながら、実装用マスク２０００の開口部２１００に各々埋められる。

また、実装用マスク２０００の開口部２１００に埋められない剰余の半田ボール２５００は、実装用マスク２０００の両側の端部に形成された捕集領域に集めることができる。

具体的に、図５に図示されたようにテーブル１０００と共に実装用マスク２０００を右側に鋭角（θ）だけ傾けた状態で、実装用マスク２０００の左側捕集領域に存在する多数の半田ボール２５００は、“Ｉ”の初期段階で自重により加速され、“ＩＩ”の中間段階で速度が減少しながら、実装用マスク２０００の開口部２１００に各々自然に埋められ、“ＩＩＩ”の末期段階で剰余の半田ボール２５００が右側捕集領域に自然に集まるようになる。

これによって、本発明の他の実施例による半田ボール実装方法は、従来、半田ボールがスクイージに押さえられてマスクの開口部を埋めたり、またはスクイージング時、半田ボールが互いに衝突して表面が割れて酸化が急激に発生する問題点を解消し、自重を用いて多数の半田ボールを自然に実装用マスク２０００の開口部２１００に埋めてリフロー（ｒｅｆｌｏｗ）工程に処理することができる。

従って、本発明の他の実施例による半田ボール実装方法は、自重を用いて自然に開口部２１００に埋められた半田ボールを印刷回路基板３０００の各パッドに実装するため、半田ボール実装方法の信頼性を向上させることができる。

以上、本発明を具体的な実施例に基づいて詳細に説明したが、これは本発明を具体的に説明するためのものであり、本発明はこれに限定されず、該当分野において、通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想内にての変形や改良が可能であることは明白であろう。

本発明の単純な変形乃至変更はいずれも本発明の領域に属するものであり、本発明の具体的な保護範囲は添付の特許請求の範囲により明確になるであろう。

本発明は、自重を用いる半田ボール実装装置、これを含む半田ボール実装システム、及びこれを用いる半田ボール実装方法に適用可能である。

１００ テーブル
１１０ 振動軸
１２０ 半田ボール
１３１ 左側位置調整部（位置調整部）
１３２ 右側位置調整部（位置調整部）
２００ 実装用マスク
２１０ 開口部
３００ 印刷回路基板
４００ 制御部
５００ ディスプレイ部
６００ 撮像部
１０００ テーブル
１０１０ 支持板
１１００ ガイド部
１２００ 振動部
１２１０ モータ
１２２０ カム
１３１０ 左側位置調整部（位置調整部）
１３２０ 右側位置調整部（位置調整部）
２０００ 実装用マスク
２１００ 開口部
２５００ 半田ボール
３０００ 印刷回路基板
４０００ 制御部
５０００ ディスプレイ部
６０００ 撮像部

Claims (9)

1. 半田ボール実装装置と、
   前記半田ボール実装装置に連結された制御部と、
   半田ボール実装装置の上部に備えられて前記制御部にイメージ情報を伝達する撮像部と、
   前記制御部に連結されたディスプレイ部と、を含み、
   前記半田ボール実装装置は、
   印刷回路基板を上部面に装着したテーブルと、
   前記テーブルの一側または両側に接して前記テーブルの左右方向に傾斜させる位置調整部と、
   前記印刷回路基板の各パッドに対応するそれぞれの開口部を備え、前記テーブルとの間に前記印刷回路基板を介在して前記テーブルに重畳装着された実装用マスクと、を含み、
   前記テーブルは、前記制御部の制御によって内部の一側に軸方向に前後往復運動を遂行するようにモータに連結された振動軸をさらに含み、
   前記位置調整部は、前記制御部の制御によって上下軸方向に変位するシリンダまたはモータを含み、
   前記制御部が前記半田ボール実装装置の上部に備えられた撮像部から受信した前記実装用マスクのイメージ情報を分析し、前記半田ボールの装着完了可否を判断して装着完了されない場合にモータを制御して振動を発生させ、位置調整部を制御して左右方向に傾斜させる、半田ボール実装システム。
2. 半田ボール実装装置と、
   前記半田ボール実装装置に連結された制御部と、
   半田ボール実装装置の上部に備えられて前記制御部にイメージ情報を伝達する撮像部と、
   前記制御部に連結されたディスプレイ部と、を含み、
   前記半田ボール実装装置は、
   印刷回路基板を上部面に装着したテーブルと、
   前記テーブルの下部の一側に備えられて前後方向に移動させる振動部と、
   前記テーブルの下部に備えられた支持板と、
   前記支持板の上部面と前記テーブルの下部面との間の両側で軸に沿って往復運動のために備えられたガイド部と、
   前記支持板の両側に接して前記テーブルの左右方向に傾斜させる位置調整部と、
   前記印刷回路基板の各パッドに対応するそれぞれの開口部を備え、前記テーブルとの間に前記印刷回路基板を介在して前記テーブルに重畳装着された実装用マスクと、を含み、
   前記振動部は、
   前記テーブルと支持板との間の一側に備えられたカムと、
   前記支持板に備えられて前記カムを駆動させるモータと、を含み、
   前記位置調整部は、シリンダまたはモータを用いて上下軸方向に変位する、半田ボール実装システム。
3. 前記ガイド部は、ＬＭガイド（Ｌｉｎｅａｒ Ｍｏｔｉｏｎ Ｇｕｉｄｅ）を含む、請求項２に記載の半田ボール実装システム。
4. 前記実装用マスクは、前記開口部を備えた実装領域を中心に両側の端部にスロープ（ｓｌｏｐｅ）形態の捕集領域で形成される、請求項２に記載の半田ボール実装システム。
5. 前記制御部が、前記半田ボール実装装置の上部に備えられた撮像部から受信した前記実装用マスクのイメージ情報を分析し、前記半田ボールの装着完了可否を判断して装着完了されない場合に、振動部を制御して前記テーブルを前後方向に移動させ、位置調整部を制御して前記テーブルを左右方向に傾斜させる、請求項２に記載の半田ボール実装システム。
6. （Ａ）半田ボールを実装する印刷回路基板を用意する段階と、
   （Ｂ）前記印刷回路基板を半田ボール実装装置のテーブルと実装用マスクとの間に装着する段階と、
   （Ｃ）前記実装用マスクに前記半田ボールを多数供給し、制御部の制御によって前記半田ボール実装装置のテーブルを前後方向に移動させ、前記テーブルを左右方向に各々鋭角だけ傾ける段階と、
   （Ｄ）前記制御部が、各々前記実装用マスクの開口部に前記半田ボールが埋められるかどうかを判断する段階と、
   （Ｅ）前記判断結果によって、前記制御部は、前記テーブルを前後方向に移動させ前記テーブルを左右方向に各々鋭角だけ再び繰り返して傾ける段階と、を含み、
   前記テーブルは、前記制御部の制御によって内部の一側に軸方向に往復運動するようにモータに連結された振動軸をさらに含み、
   前記（Ｃ）段階は、
   （Ｃ−１）前記実装用マスクに前記半田ボールを多数供給する段階と、
   （Ｃ−２）前記テーブルの内部の一側に備えられた振動軸を用いて前記テーブルを前後方向に移動させる段階と、
   （Ｃ−３）前記制御部が前記テーブルの一側または両側に接した位置調整部を用いて前記テーブルの左右方向に各々鋭角だけ傾斜させる段階と、を含み、
   前記位置調整部は、前記制御部の制御によって上下軸方向に変位するシリンダまたはモータを含み、
   前記（Ｄ）段階は、前記制御部が前記半田ボール実装装置の上部に備えられた撮像部から受信した前記実装用マスクのイメージ情報を分析し、前記半田ボールの装着完了可否を判断する、半田ボール実装方法。
7. （Ａ）半田ボールを実装する印刷回路基板を用意する段階と、
   （Ｂ）前記印刷回路基板を半田ボール実装装置のテーブルと実装用マスクとの間に装着する段階と、
   （Ｃ）前記実装用マスクに前記半田ボールを多数供給し、制御部の制御によって前記半田ボール実装装置のテーブルを前後方向に移動させ、前記テーブルを左右方向に各々鋭角だけ傾ける段階と、
   （Ｄ）前記制御部が、各々前記実装用マスクの開口部に前記半田ボールが埋められるかどうかを判断する段階と、
   （Ｅ）前記判断結果によって、前記制御部は、前記テーブルを前後方向に移動させ前記テーブルを左右方向に各々鋭角だけ再び繰り返して傾ける段階と、を含み、
   前記振動部のカムを用いて往復運動を発生させ、
   前記位置調整部は、シリンダまたはモータを用いて上下軸方向に変位し、
   前記（Ｃ）段階は、
   （Ｃ−１）前記実装用マスクに前記半田ボールを多数供給する段階と、
   （Ｃ−２）前記テーブルの下部の一側に備えられた振動部を用いて前後方向に移動させる段階と、
   （Ｃ−３）前記制御部が少なくても一つのガイド部を媒介にして前記テーブルに連結された支持板の両側に備えられた位置調整部を用いて前記テーブルを左右方向に各々鋭角だけ傾斜させる段階と、を含む、半田ボール実装方法。
8. 前記（Ｄ）段階は、前記制御部が前記半田ボール実装装置の上部に備えられた撮像部から受信した前記実装用マスクのイメージ情報を分析し、前記半田ボールの装着完了可否を判断する、請求項７に記載の半田ボール実装方法。
9. （Ｆ）前記半田ボールに対するリフロー工程を遂行する段階をさらに含む、請求項７に記載の半田ボール実装方法。

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