JP5591300B2 - インピーダンス測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、インピーダンス測定装置に関し、さらに詳しく言えば、インピーダンス測定装置の信号変換回路に含まれている誤差成分を消去する技術に関するものである。

インピーダンス測定装置では、信号源より被測定試料に測定用の交流信号を与え、これに伴って被測定試料の両端に発生する電圧信号と被測定試料に流れる電流信号（この電圧信号と電流信号を含めて「測定信号」ということがある。）とから演算によって被測定試料のインピーダンスを求める。

この演算にはＣＰＵなどの演算処理手段が用いられるため、その前段で上記測定信号をＡ／Ｄ変換器にてデジタル信号に変換するようにしているが、分解能の高いＡ／Ｄ変換器でも、そのサンプリング速度は数百ｋサンプル／秒が限界と言われている。

そこで、図５に例示するように、Ａ／Ｄ変換器１１の前段に周波数変換回路１２を接続し、上記測定信号を所定に周波数変換してからＡ／Ｄ変換器１１に入力することが一般的に行われている（例えば特許文献１参照）。

この周波数変換回路１２には、上記測定信号（被測定試料から得られるアナログの電圧信号，電流信号）に対して、図示しないローカル発振器からの変調信号（周波数ｆ_Ｍ）を乗算する乗算器（ミキサ）１２ａと、ローパスフィルタ１２ｂとが含まれている。

この周波数変換はヘテロダイン方式で、上記測定信号の周波数をｆ_Ａとすると、乗算器１２ａから（ｆ_Ａ＋ｆ_Ｍ）なる和周波数信号と、（ｆ_Ａ−ｆ_Ｍ）なる差周波数信号が出力されるため、ローパスフィルタ１２ｂにて差周波数信号を被測定信号として抽出し、この差周波数信号をＡ／Ｄ変換器１１にてデジタル信号に変換したうえで、ＣＰＵ（演算処理手段）などからなる制御手段２０に与える。

この場合、乗算器１２ａおよびローパスフィルタ１２ｂの各特性は、他の電気・電子部品と同様に、温度や経時などにより変化し、これが原因で測定値に誤差が生ずることがある。ここでは、乗算器１２ａとローパスフィルタ１２ｂで生ずる誤差を（ｋ_Ｅｒｒｅｘｐｊθ_Ｅｒｒ）としているが、特性が比較的安定していると言われるＡ／Ｄ変換器１１においても、温度や経時などにより特性が変化することがある。

そのため従来では、図５に示すように、電圧信号（Ｖｅｘｐｊθ_Ｖ）と電流信号（Ｉｅｘｐｊθ_Ｉ）に対して周波数変換回路１２を共用し、スイッチＳＷを介して電圧信号と電流信号とを周波数変換回路１２に交互に与えるようにしている。

これによれば、制御手段２０でインピーダンスＺを計算する際、次式（１）に示されるように、上記電圧信号と上記電流信号とにそれぞれ含まれる誤差（ｋ_Ｅｒｒｅｘｐｊθ_Ｅｒｒ）が打ち消されることになる。

特開２００４−２９４２６９号公報（図１）

ところで、測定信号にホワイトノイズが含まれている場合、測定値の安定性は計測時間の平方根に比例するが、上記従来例では、電圧信号と電流信号を交互に測定しているため、計測時間に無駄が生ずる。

例えば、電圧信号と電流信号の各計測時間が１ｍｓであるとした場合、双方の信号を計測するトータル時間は２ｍｓであるが、実際の計測時間は各信号ともに１ｍｓであり、測定値の高い安定性が得られない、という問題がある。

したがって、本発明の課題は、被測定試料から得られる電圧信号と電流信号とを同時に測定しながら、測定信号の出力系統に含まれている信号変換回路で生ずる誤差を確実に打ち消せるようにすることにある。

上記課題を解決するため、本発明は、請求項１に記載されているように、被測定試料に測定用の交流信号を印加する測定信号源と、上記被測定試料から得られる電圧信号と電流信号の各々を所定の信号形態に変換する信号変換回路と、上記信号変換回路から出力される変換後電圧信号と変換後電流信号とに基づいて上記被測定試料のインピーダンスを求める制御手段とを備え、上記信号変換回路に上記被測定試料から得られる電圧信号と電流信号の各々にローカル発振器からの変調信号を乗算する乗算器が含まれているインピーダンス測定装置において、
上記信号変換回路として、上記電圧信号の出力系に設けられる第１信号変換回路と、上記電流信号の出力系に設けられる第２信号変換回路とを備えているとともに、上記ローカル発振器の変調信号とは異なる周波数の基準信号を出力する基準信号出力部と、上記第１信号変換回路を上記電圧信号の出力系もしくは上記基準信号出力部のいずれか一方に選択的に接続する第１スイッチと、上記第２信号変換回路を上記電流信号の出力系もしくは上記基準信号出力部のいずれか一方に選択的に接続する第２スイッチとを有し、
上記制御手段は、スイッチ切り換えステップとして、上記第１，第２スイッチをともに上記基準信号出力部側に切り換えて、上記第１信号変換回路と上記第２信号変換回路とに上記基準信号を入力する第１ステップと、上記第１，第２スイッチをともに上記各出力系側に切り換えて、上記第１信号変換回路には上記電圧信号を入力し、上記第２信号変換回路には上記電流信号を入力する第２ステップとを備え、
上記制御手段は、上記第１ステップで上記第１，第２信号変換回路よりそれぞれ出力される変換後基準信号からキャリブレーションデータＺ_３を算出し、上記第２ステップで上記第１信号変換回路より出力される変換後電圧信号と上記第２信号変換回路より出力される変換後電流信号とからインピーダンスＺ_４を算出したのち、上記インピーダンスＺ_４を上記キャリブレーションデータＺ_３にて除算（Ｚ_４／Ｚ_３）して、上記被測定試料のインピーダンスＺを求めることを特徴としている。

本発明において、請求項２に記載されているように、上記基準信号出力部は、上記測定信号源から上記基準信号を得ることが好ましい。

また、請求項３に記載されているように、上記被測定試料が複数個で、その各々が所定の搬送手段により順次測定ステージに搬送されてインピーダンス測定が行われる場合においては、好ましくは、上記被測定試料の搬送中に上記第１ステップが実行されて上記キャリブレーションデータＺ_３が算出され、上記測定ステージに搬送後の測定時に上記第２ステップが実行されて上記インピーダンスＺ_４が算出される。

本発明によれば、第１ステップでは、基準信号がともに第１，第２信号変換回路に入力され、その変換後の基準信号によりキャリブレーションデータＺ_３が算出され、次の第２ステップでは、第１信号変換回路に電圧信号が入力され、第２信号変換回路に電流信号が入力され、それら変換後の電圧信号と電流信号とによりインピーダンスＺ_４が算出され、その後、インピーダンスＺ_４をキャリブレーションデータＺ_３にて除算（Ｚ_４／Ｚ_３）して、被測定試料のインピーダンスＺを求めるようにしたことにより、演算過程で各信号変換回路の誤差が打ち消されるため、測定値の高い安定性が得られる。また、Ｚ_３の測定開始からＺ_４の測定を終えるまでのごく短時間の間、安定していればよいため、基準信号と信号変換回路を安価に構成できる。

また、第１ステップでは、電圧，電流の測定信号を必要としないため、例えば被測定試料が複数個で、その各々が所定の搬送手段により順次測定ステージに搬送されてインピーダンス測定が行われる場合においては、被測定試料の搬送中に第１ステップを実行してキャリブレーションデータを得ることができる。

本発明の第１実施形態（参考実施形態）に係るインピーダンス測定装置の要部を示すブロック図。 本発明の第２実施形態に係るインピーダンス測定装置の要部を示すブロック図。 上記第２実施形態に係るインピーダンス測定装置が好適に適用される測定工程を例示した模式図。 図３の測定工程で実施される測定手順を示したフロー図。 従来のインピーダンス測定装置における信号変換回路の部分を示すブロック図。

まず、図１により本発明の第１実施形態（参考実施形態）について説明し、次に図２ないし図４により本発明の第２実施形態について説明する。図１は第１実施形態に係るインピーダンス測定装置における信号変換回路の部分を示すブロック図で、（ａ）は第１ステップ時でのスイッチ切り換え状態を示し、（ｂ）は第２ステップ時でのスイッチ切り換え状態を示している。

図１に示すように、第１実施形態に係るインピーダンス測定装置は、電圧出力チャンネル（電圧出力系統）１と、電流出力チャンネル（電流出力系統）２の各出力チャンネルから制御手段２０に至る信号経路間で並列に接続される第１および第２の２つの信号変換回路１００，２００を備えている。

電圧出力チャンネル１には、測定信号源４００より被測定試料ＤＵＴ（ともに図２参照）に測定用の交流信号を与え、これに伴って被測定試料の両端に発生する電圧信号（Ｖｅｘｐｊθ_Ｖ）が現れ、また、電流出力チャンネル２には、上記被測定試料に流れる電流信号（Ｉｅｘｐｊθ_Ｉ）が現れる。制御手段２０には、ＣＰＵ（演算処理手段）やマイクロコンピュータなどが用いられてよい。

第１および第２信号変換回路１００，２００は同一構成であり、この例では、各信号変換回路１００，２００には、Ａ／Ｄ変換器１１０，２１０と、それらの前段に接続される周波数変換回路１２０，２２０とが含まれている。

また、周波数変換回路１２０，２２０には、ローカル発振器３００を共用とし、このローカル発振器３００からの変調信号（周波数ｆ_Ｍ）と測定信号（電圧信号，電流信号）とを乗算する乗算器（ミキサ）１２１，２２１と、ローパスフィルタ１２２，２２２とが含まれている。

先に説明した従来例と同じく、周波数変換はヘテロダイン方式で、上記測定信号の周波数をｆ_Ａとすると、乗算器１２１，２２１から（ｆ_Ａ＋ｆ_Ｍ）なる和周波数信号と、（ｆ_Ａ−ｆ_Ｍ）なる差周波数信号が出力されるため、ローパスフィルタ１２２，２２２にて差周波数信号を被測定信号として抽出する。

なお、温度や経時などにより、第１信号変換回路１００の周波数変換回路１２０で生ずる誤差をｋ_ｅ１ｅｘｐｊθ_ｅ１とし、第２信号変換回路２００の周波数変換回路２２０で生ずる誤差をｋ_ｅ２ｅｘｐｊθ_ｅ２とする。

第１信号変換回路１００は、第１スイッチＳＷ１を介して電圧出力チャンネル１と電流出力チャンネル２のいずれかに選択的に接続され、また、第２信号変換回路２００も、第２スイッチＳＷ２を介して電圧出力チャンネル１と電流出力チャンネル２のいずれかに選択的に接続される。各スイッチＳＷ１，ＳＷ２は制御手段２０により、その切り換えが制御される。

このインピーダンス測定装置では、電圧出力チャンネル１と電流出力チャンネル２とから制御手段２０に至る信号経路をスイッチＳＷ１，ＳＷ２により切り換えることにより、各信号変換回路１００，２００で生ずる誤差を打ち消す。

そのため、まず第１ステップとして、図１（ａ）に示すように、第１スイッチＳＷ１を電圧出力チャンネル１側に切り換えるとともに、第２スイッチＳＷ２を電流出力チャンネル２側に切り換える。

これにより、電圧信号（Ｖｅｘｐｊθ_Ｖ）は第１信号変換回路１００の周波数変換回路１２０で所定に周波数変換されたのち、Ａ／Ｄ変換器１１０でデジタル信号に変換されて制御手段２０に入力される。また、電流信号（Ｉｅｘｐｊθ_Ｉ）は第２信号変換回路２００の周波数変換回路２２０で所定に周波数変換されたのち、Ａ／Ｄ変換器２１０でデジタル信号に変換されて制御手段２０に入力される。

制御手段２０は、これら電圧信号と電流信号とから次式（２）により、第１ステップでのインピーダンスＺ_１を算出する。

次に、第２ステップとして、図１（ｂ）に示すように、第１スイッチＳＷ１を電流出力チャンネル２側に切り換えるとともに、第２スイッチＳＷ２を電圧出力チャンネル１側に切り換える。

これにより、電圧信号（Ｖｅｘｐｊθ_Ｖ）は第２信号変換回路２００の周波数変換回路２２０で所定に周波数変換されたのち、Ａ／Ｄ変換器２１０でデジタル信号に変換されて制御手段２０に入力される。また、電流信号（Ｉｅｘｐｊθ_Ｉ）は第１信号変換回路１００の周波数変換回路１２０で所定に周波数変換されたのち、Ａ／Ｄ変換器１１０でデジタル信号に変換されて制御手段２０に入力される。

制御手段２０は、これら電圧信号と電流信号とから次式（３）により、第２ステップでのインピーダンスＺ_２を算出する。なお、第２ステップでの計測時間は、第１ステップでの計測時間と同じ時間とすることが好ましい。

第２ステップでの測定後、制御手段２０は、次式（４）に示すように、第１ステップでのインピーダンスＺ_１と第２ステップでのインピーダンスＺ_２との積の平方根√Ｚ_１・Ｚ_２を演算して、被測定試料のインピーダンスＺを求める。

この式（４）から分かるように、平方根√Ｚ_１・Ｚ_２の演算により、第１信号変換回路１００の誤差（ｋ_ｅ１ｅｘｐｊθ_ｅ１）と、第２信号変換回路２００の誤差（ｋ_ｅ２ｅｘｐｊθ_ｅ２）とが打ち消されるが、この第１実施形態の場合、電圧信号と電流信号とが同時に測定され、計測時間に無駄がないことから、上記従来例に比べて測定値の安定性（Ｓ／Ｎ比）は√２倍程度高くなる。

なお、上記第１ステップおよび第２ステップにおけるインピーダンスＺ_１，Ｚ_２の測定時間は例えば１ｍｓ程度の短時間であり、この程度の時間であれば、上記の各誤差（ｋ_ｅ１ｅｘｐｊθ_ｅ１），（ｋ_ｅ２ｅｘｐｊθ_ｅ２）は安定しているため、上記式（４）にて打ち消すことができる。また、上記の例では、第１ステップを先に行い、その後に第２ステップを実行するようにしているが、第２ステップを先に行い、その後に第１ステップを実行するようにしてもよい。

なお、別の例として、第１ステップで得られたインピーダンスＺ_１の絶対値｜Ｚ_１｜を次式（５．１），その位相θ_１を次式（５．２）とし、また、第２ステップで得られたインピーダンスＺ_２の絶対値｜Ｚ_２｜を次式（６．１），その位相θ_２を次式（６．２）として、次式（７．１），（７．２）により、被測定試料のインピーダンス｜Ｚ｜と位相θとを求めることもできる。

なお、上記第１実施形態において、第１，第２信号変換回路１００，２００は、必ずしも上記周波数変換回路１２０，２２０を含むことを必要とせず、例えばＡ／Ｄ変換器１１０，２１０のみを含む形態であってもよい。

次に、図２ないし図４により本発明の第２実施形態について説明する。なお、この第２実施形態の説明において、上記第１実施形態と同一の構成要素には同じ参照符号が用いられている。

図２に示すように、この第２実施形態に係るインピダーンス測定装置においても、電圧出力チャンネル（電圧出力系統）１と、電流出力チャンネル（電流出力系統）２の各出力チャンネルから制御手段２０に至る信号経路間で並列に接続される第１および第２の２つの信号変換回路１００，２００を備えている。

図２には、被測定試料ＤＵＴおよび測定信号源４００が示されている。測定信号源４００より被測定試料ＤＵＴに測定用の交流信号が与えられ、これに伴って被測定試料の両端に発生する電圧信号（Ｖｅｘｐｊθ_Ｖ）が電圧アンプ４１０を介して電圧出力チャンネル１に現れる。

また、電流出力チャンネル２には、電流検出手段４２１にて検出された被測定試料ＤＵＴに流れる電流信号（Ｉｅｘｐｊθ_Ｉ）が電流アンプ４２０を介して現れる。制御手段２０には、ＣＰＵ（演算処理手段）やマイクロコンピュータなどが用いられてよい。

第１および第２信号変換回路１００，２００は同一構成であり、上記第１実施形態と同じく、各信号変換回路１００，２００には、Ａ／Ｄ変換器１１０，２１０と、それらの前段に接続される周波数変換回路１２０，２２０とが含まれている。

また、周波数変換回路１２０，２２０には、ローカル発振器３００を共用とし、このローカル発振器３００からの変調信号（周波数ｆ_Ｍ）と測定信号（電圧信号，電流信号）とを乗算する乗算器（ミキサ）１２１，２２１と、ローパスフィルタ１２２，２２２とが含まれている。

上記第１実施形態と同じく、温度や経時などにより、第１信号変換回路１００の周波数変換回路１２０で生ずる誤差をｋ_ｅ１ｅｘｐｊθ_ｅ１とし、第２信号変換回路２００の周波数変換回路２２０で生ずる誤差をｋ_ｅ２ｅｘｐｊθ_ｅ２とする。

この第２実施形態においては、ローカル発振器３００の変調信号とは異なる周波数の基準信号（Ｓｅｘｐｊθ_ｓ）を出力する基準信号出力部４４０を備えている。

この場合、構成の簡素化をはかるため、基準信号出力部４４０は、測定信号源４００より発生される測定用の交流信号を減衰器４３０を介して基準信号として得ている。この例において、基準信号は１ＭＨｚで、ローカル発振器３００の変調信号は９９９ｋＨｚに設定している。

第１信号変換回路１００は、第１スイッチＳＷ１を介して電圧出力チャンネル１と基準信号出力部４４０のいずれかに選択的に接続され、また、第２信号変換回路２００は、第２スイッチＳＷ２を介して電流出力チャンネル２と基準信号出力部４４０のいずれかに選択的に接続される。各スイッチＳＷ１，ＳＷ２は制御手段２０により、その切り換えが制御される。

この第２実施形態に係るインピーダンス測定装置では、次のようにスイッチＳＷ１，ＳＷ２を切り換えることにより、各信号変換回路１００，２００で生ずる誤差を打ち消す。

まず第１ステップとして、図２（ａ）に示すように、第１スイッチＳＷ１および第２スイッチＳＷ２をともに基準信号出力部４４０側に切り換える。

これにより、基準信号（Ｓｅｘｐｊθ_ｓ）は、第１信号変換回路１００の周波数変換回路１２０で所定に周波数変換されたのち、Ａ／Ｄ変換器１１０でデジタル信号に変換され、変換後基準信号（Ｓｅｘｐｊθ_ｓ・ｋ_ｅ１ｅｘｐｊθ_ｅ１ ）として制御手段２０に入力される。

また、基準信号（Ｓｅｘｐｊθ_ｓ）は、第２信号変換回路２００の周波数変換回路２２０で所定に周波数変換されたのち、Ａ／Ｄ変換器２１０でデジタル信号に変換され、変換後基準信号（Ｓｅｘｐｊθ_ｓ・ｋ_ｅ２ｅｘｐｊθ_ｅ２ ）として制御手段２０に入力される。

制御手段２０は、これらの各変換後基準信号（Ｓｅｘｐｊθ_ｓ・ｋ_ｅ１ｅｘｐｊθ_ｅ１ ），（Ｓｅｘｐｊθ_ｓ・ｋ_ｅ２ｅｘｐｊθ_ｅ２ ）から次式（８）により、第１ステップでのキャリブレーションデータＺ_３を算出する。

次に、第２ステップとして、図２（ｂ）に示すように、第１スイッチＳＷ１を電圧出力チャンネル１側に切り換えるとともに、第２スイッチＳＷ２を電流出力チャンネル２側に切り換える。

これにより、電圧信号（Ｖｅｘｐｊθ_Ｖ）は、第１信号変換回路１００の周波数変換回路１２０で所定に周波数変換されたのち、Ａ／Ｄ変換器２１０でデジタル信号に変換され、変換後電圧信号（Ｖｅｘｐｊθ_Ｖ・ｋ_ｅ１ｅｘｐｊθ_ｅ１ ）として制御手段２０に入力される。

また、電流信号（Ｉｅｘｐｊθ_Ｉ）は、第２信号変換回路２００の周波数変換回路２２０で所定に周波数変換されたのち、Ａ／Ｄ変換器１１０でデジタル信号に変換され、変換後電流信号（Ｉｅｘｐｊθ_Ｉ・ｋ_ｅ２ｅｘｐｊθ_ｅ２ ）として制御手段２０に入力される。

制御手段２０は、これら変換後の電圧信号と電流信号とから次式（９）により、第２ステップでのインピーダンスＺ_４を算出する。

第２ステップでの測定後、制御手段２０は、次式（１０）に示すように、第２ステップでのインピーダンスＺ_４を第１ステップでのキャリブレーションデータＺ_３で除算（Ｚ_４／Ｚ_３）演算して、被測定試料ＤＵＴのインピーダンスＺを求める。

この式（１０）から分かるように、（Ｚ_４／Ｚ_３）の演算により、第１信号変換回路１００の誤差（ｋ_ｅ１ｅｘｐｊθ_ｅ１）と、第２信号変換回路２００の誤差（ｋ_ｅ２ｅｘｐｊθ_ｅ２）とが消去される。

以後、各被測定試料ＤＵＴごとに、上記第１ステップと第２ステップとが繰り返して実行されるが、この第２実施形態は、図３に例示するように、各被測定試料ＤＵＴ１，ＤＵＴ２，ＤＵＴ３，…が所定の搬送手段Ｃにてインピーダンス測定部Ｍに順次運ばれて測定が行われる測定工程にとって特に好ましく適用される。

すなわち、図４の測定工程のフローに示すように、搬送中に第１ステップを実行して基準信号によるキャリブレーションデータＺ_３を得、インピーダンス測定部Ｍでの測定で電圧・電流によるインピーダンスＺ_４を得ることにより、合理的なインピーダンス測定を行うことができる。

また、第２実施形態での基準信号は、少なくともキャリブレーションデータＺ_３の測定を開始してからインピーダンスＺ_４を測定し終えるまでのごく短時間安定していればよいため、基準信号出力部４４０を安価に構成することができる。

なお、別の例として、上記第１実施形態と同じく、第１ステップで得られたキャリブレーションデータＺ_３の絶対値｜Ｚ_３｜を次式（１１．１），その位相θ_３を次式（１１．２）とし、また、第２ステップで得られたインピーダンスＺ_４の絶対値｜Ｚ_４｜を次式（１２．１），その位相θ_４を次式（１１．２）として、次式（１３．１），（１３．２）により、被測定試料のインピーダンス｜Ｚ｜と位相θとを求めることもできる。

１ 電圧出力チャンネル
２ 電流出力チャンネル
２０ 制御手段
１００ 第１信号変換回路
２００ 第２信号変換回路
１１０，２１０ Ａ／Ｄ変換器
１２０，２２０ 周波数変換器
１２１，２２１ 乗算器
１２２，２２２ ローパスフィルタ
３００ ローカル発振器
ＳＷ１，ＳＷ２ スイッチ
４００ 測定信号源
４４０ 基準信号出力部
ＤＵＴ 被測定試料

Claims (3)

1. 被測定試料に測定用の交流信号を印加する測定信号源と、上記被測定試料から得られる電圧信号と電流信号の各々を所定の信号形態に変換する信号変換回路と、上記信号変換回路から出力される変換後電圧信号と変換後電流信号とに基づいて上記被測定試料のインピーダンスを求める制御手段とを備え、上記信号変換回路に上記被測定試料から得られる電圧信号と電流信号の各々にローカル発振器からの変調信号を乗算する乗算器が含まれているインピーダンス測定装置において、
   上記信号変換回路として、上記電圧信号の出力系に設けられる第１信号変換回路と、上記電流信号の出力系に設けられる第２信号変換回路とを備えているとともに、上記ローカル発振器の変調信号とは異なる周波数の基準信号を出力する基準信号出力部と、上記第１信号変換回路を上記電圧信号の出力系もしくは上記基準信号出力部のいずれか一方に選択的に接続する第１スイッチと、上記第２信号変換回路を上記電流信号の出力系もしくは上記基準信号出力部のいずれか一方に選択的に接続する第２スイッチとを有し、
   上記制御手段は、スイッチ切り換えステップとして、上記第１，第２スイッチをともに上記基準信号出力部側に切り換えて、上記第１信号変換回路と上記第２信号変換回路とに上記基準信号を入力する第１ステップと、上記第１，第２スイッチをともに上記各出力系側に切り換えて、上記第１信号変換回路には上記電圧信号を入力し、上記第２信号変換回路には上記電流信号を入力する第２ステップとを備え、
   上記制御手段は、上記第１ステップで上記第１，第２信号変換回路よりそれぞれ出力される変換後基準信号からキャリブレーションデータＺ_３を算出し、上記第２ステップで上記第１信号変換回路より出力される変換後電圧信号と上記第２信号変換回路より出力される変換後電流信号とからインピーダンスＺ_４を算出したのち、上記インピーダンスＺ_４を上記キャリブレーションデータＺ_３にて除算（Ｚ_４／Ｚ_３）して、上記被測定試料のインピーダンスＺを求めることを特徴とするインピーダンス測定装置。
2. 上記基準信号出力部は、上記測定信号源から上記基準信号を得ることを特徴とする請求項１に記載のインピーダンス測定装置。
3. 上記被測定試料が複数個で、その各々が所定の搬送手段により順次測定ステージに搬送されてインピーダンス測定が行われる場合において、上記被測定試料の搬送中に上記第１ステップが実行されて上記キャリブレーションデータＺ_３が算出され、上記測定ステージに搬送後の測定時に上記第２ステップが実行されて上記インピーダンスＺ_４が算出されることを特徴とする請求項１または２に記載のインピーダンス測定装置。

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