JP5580136B2 - Discharge lamp - Google Patents

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Description

本発明は、発光管内に電極を配置させた放電ランプに関し、特に、ショートアーク型放電ランプなど高輝度放電ランプ(HIDランプ)に使用される電極の表面構造に関する。   The present invention relates to a discharge lamp in which an electrode is arranged in an arc tube, and more particularly to a surface structure of an electrode used for a high-intensity discharge lamp (HID lamp) such as a short arc type discharge lamp.

ショートアーク型放電ランプでは、石英ガラス製の放電管に陰極、陽極を対向配置させており、陰極から陽極への電子放出によってアーク放電が生じ、放電発光する。電極材料としては、点灯中の電極溶融を防ぐため、高融点のタングステン(W)が一般的に用いられる。   In a short arc type discharge lamp, a cathode and an anode are disposed opposite to a quartz glass discharge tube, and arc discharge is generated by emission of electrons from the cathode to the anode, and discharge light is emitted. As an electrode material, tungsten (W) having a high melting point is generally used to prevent electrode melting during lighting.

また、高輝度放電ランプに使用される陰極の場合、電子放出能力を高めて高輝度発光させるため、動作温度が比較的低い電子放射性物質(電子放出材料)である酸化トリウム(ThO)をドーピングしたタングステン陰極(通称、トリタン陰極)が用いられる(例えば、特許文献1、2参照)。 In addition, in the case of a cathode used in a high-intensity discharge lamp, doping with thorium oxide (ThO 2 ), which is an electron-emitting material (electron-emitting material) having a relatively low operating temperature, is performed in order to increase electron emission capability and emit high-intensity light. A tungsten cathode (commonly known as a tritan cathode) is used (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

アーク放電している間、電子放出によって陰極先端部および陽極先端部の温度が上昇する。電極材料の融点付近まで温度が上昇すると、陰極先端部、陽極先端部が溶融、蒸発し、電極が消耗する。蒸発した金属は放電管内壁に付着し、これによって発光管内壁が黒化する。すなわち、金属の付着が透過率の低下を招き、ランプの光出力が低下する。更に、発光管内壁が黒化すると、黒化した部分が局所的に高温となることで発光管に熱歪が蓄積され、ランプが破裂する場合がある。   During arc discharge, the temperature of the cathode tip and anode tip rises due to electron emission. When the temperature rises to near the melting point of the electrode material, the cathode tip and anode tip are melted and evaporated, and the electrode is consumed. The evaporated metal adheres to the inner wall of the discharge tube, thereby blackening the inner wall of the arc tube. That is, the adhesion of metal causes a decrease in transmittance, and the light output of the lamp decreases. Further, when the inner wall of the arc tube is blackened, the blackened portion is locally heated to accumulate heat distortion in the arc tube, and the lamp may burst.

トリタン陰極の場合、トリウムが還元作用によって単原子層を電極表面に形成するが、表面からトリウムから分離した酸素が陽極先端部のタングステンと結合し、これが陽極先端部の融点を低下させ、電極を消耗させる。このような電極消耗を防ぐため、例えば、トリタン陰極を成形した後、真空加熱処理によって、酸化トリウムの含まれない層(脱トリウム層)を陰極表面付近に形成する(特許文献3参照)。   In the case of a tritan cathode, thorium forms a monoatomic layer on the electrode surface by the reduction action, but oxygen separated from thorium from the surface binds to tungsten at the tip of the anode, which lowers the melting point of the anode tip, Exhaust. In order to prevent such electrode consumption, for example, after a tritan cathode is formed, a layer not containing thorium oxide (a thorium oxide layer) is formed near the cathode surface by vacuum heat treatment (see Patent Document 3).

あるいは、透明な多結晶体であるアルミナ(Al)を発光管内面にコーティングすることにより、発光管の黒化を防ぐことが出来る(特許文献4、5参照)。アルミナは放電管材料の石英ガラスよりも化学的、物理的に安定であり、点灯中に電極から放出される金属、イオンなどの荷電粒子、化合物等に反応せず、発光管の黒化現象を防ぐ。 Alternatively, it is possible to prevent blackening of the arc tube by coating the inner surface of the arc tube with transparent polycrystalline alumina (Al 2 O 3 ) (see Patent Documents 4 and 5). Alumina is chemically and physically more stable than quartz glass, a discharge tube material, and does not react with charged particles such as metals and ions emitted from electrodes during lighting, compounds, etc. prevent.

特開昭57−9044号公報JP-A-57-9044 特開2003−22780号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-22780 特開2003−257365号公報JP 2003-257365 A 特開昭61−294752号公報JP-A 61-294752 特開2002−157974号公報JP 2002-157974 A

脱トリウム層のような特殊な金属層を陰極表面付近に形成する工程は、煩雑な作業工程であり、ランプ生産効率を低下させる。また、アーク放電中、陰極表面に適度なトリウム層が形成されなければ、放電管の黒化現象、あるいは輝度低下を招く。例えば、電子放出するため陰極表面に再結晶するトリウムが多すぎると、電極温度の上昇によってトリウムが蒸発し、放電管に付着する。逆にトリウムが少なすぎると、陰極の電子放出能力が上がらない。   The process of forming a special metal layer such as a thorium-free layer in the vicinity of the cathode surface is a complicated work process and reduces lamp production efficiency. Further, if an appropriate thorium layer is not formed on the cathode surface during arc discharge, the discharge tube will be blackened or the luminance will be reduced. For example, if too much thorium is recrystallized on the cathode surface in order to emit electrons, thorium evaporates as the electrode temperature rises and adheres to the discharge tube. Conversely, if the amount of thorium is too small, the electron emission capability of the cathode will not increase.

一方、放電管内面にアルミナなどをコーティングする工程も煩雑な作業工程であり、生産効率を悪化させる。また、コーティングしても、加熱成形した放電管自身が熱をもつため、熱の影響よって十分なコーティング性能が満たされず、透過率が低下する。   On the other hand, the process of coating the inner surface of the discharge tube with alumina or the like is also a complicated work process, which deteriorates the production efficiency. Even when coating is performed, the heat-formed discharge tube itself has heat, so that sufficient coating performance is not satisfied due to the influence of heat, and the transmittance is reduced.

本発明の放電ランプは、煩雑な作業工程をする必要なく、放電容器の黒化を防ぐことができる放電ランプであり、放電容器と、放電容器内に対向配置される陽極および陰極とを備える。例えば、ショートアーク型放電ランプなど、電極が高温状態で高輝度の光を出力する放電ランプが構成される。ただし、ショートアーク型放電ランプ以外の放電ランプの電極に適用してもよい。放電容器は、光を透過する石英ガラスなどによって構成すればよく、電極はタングステンなどの金属材料によって構成すればよい。また、陽極にカリウムを含ませてもよい。   The discharge lamp of the present invention is a discharge lamp that can prevent blackening of the discharge vessel without requiring a complicated work process, and includes a discharge vessel, and an anode and a cathode that are arranged to face each other in the discharge vessel. For example, a discharge lamp such as a short arc type discharge lamp that outputs high-intensity light when the electrode is at a high temperature is configured. However, you may apply to the electrode of discharge lamps other than a short arc type discharge lamp. The discharge vessel may be made of quartz glass that transmits light, and the electrode may be made of a metal material such as tungsten. Further, potassium may be contained in the anode.

本発明では、少なくとも陽極表面に対して微小な凹凸が形成されている。例えば、表面処理を施すことで微小な凹凸形成が可能である。ここでの、微小な凹凸とは、例えば、光沢のないザラザラした状態(梨地状態)をいい、数十μmオーダーの凹凸をいう。表面処理としては、ショットブラスト、湿式ブラスト、サンドブラストなどのブラスト処理によって表面仕上げを行うことが可能である。あるいは、機械的仕上げや、レーザ加工、放電加工などの表面処理以外の方法によって微細な凹凸(数百μmオーダーの凹凸)を形成する、すなわち表面を粗くすることも可能である。これらの微小な凹凸に黒化抑制体が入り込むことで陽極表面に付着しやすくなる。   In the present invention, fine irregularities are formed at least on the anode surface. For example, minute unevenness can be formed by performing a surface treatment. Here, the fine unevenness refers to, for example, a rough and glossy state (texture state), and refers to unevenness on the order of several tens of μm. As the surface treatment, surface finishing can be performed by blasting such as shot blasting, wet blasting, and sand blasting. Alternatively, fine unevenness (unevenness of the order of several hundreds μm) can be formed by a method other than surface treatment such as mechanical finishing, laser processing, or electrical discharge machining, that is, the surface can be roughened. When the blackening suppressor enters these minute irregularities, it easily adheres to the anode surface.

そして、本発明では、放電容器の黒化を防ぐもの(以下、黒化抑制体という)が、微小凹凸の形成された陽極表面に散在、付着している。ここで、「黒化抑制体」とは、放電容器の組成材料(例えば、石英ガラス)に反応せず(黒化現象を生じさせず)、放電容器内面に付着しても光の透過率をできるだけ低下させない粒状物質、組成物であることを示す。また、「散在する」とは、表面上でまばらに(均一的に分散した状態で)点在していることを示し、例えば黒化抑制体が隈無く陽極表面を覆う状態とは相違する。黒化抑制体は、例えば粒体、粉末のように微小な塊の集合体によって構成されており、その大きさは限定されない。陽極表面の微小凹凸の程度(サイズ)も、黒化抑制体のサイズに応じて定めることができる。   And in this invention, what prevents blackening of a discharge vessel (henceforth a blackening suppression body) is scattered and adhering to the anode surface in which micro unevenness | corrugation was formed. Here, the “blackening inhibitor” means that the light transmittance does not react with the composition material (for example, quartz glass) of the discharge vessel (it does not cause the blackening phenomenon) and adheres to the inner surface of the discharge vessel. It shows that it is a granular material and composition that are not lowered as much as possible. “Dispersed” indicates that the surface is scattered sparsely (in a uniformly dispersed state), and is different from, for example, a state in which the blackening suppression body covers the anode surface without any defects. The blackening suppressor is composed of an aggregate of minute lumps such as granules and powder, and the size is not limited. The degree (size) of minute irregularities on the anode surface can also be determined according to the size of the blackening inhibitor.

アーク放電によって陽極温度が上昇すると、陽極表面に付着した黒化抑制体は溶融し、蒸発する。陽極表面が荒らされているため、黒化抑制体が蒸発しやすい。放電容器内で生じている熱対流により、蒸発した黒化抑制体は、放電容器内面と接触し、固体となって付着する。黒化抑制体は陽極表面に散在しているため、陽極表面からランダムに蒸発し、熱対流によって放電容器に付着する。このように本発明では、ランプ製造後の点灯動作によって、コーティングのような保護処理が、放電容器内面に対して点灯時間経過とともに行われる。   When the anode temperature rises due to the arc discharge, the blackening inhibitor adhering to the anode surface melts and evaporates. Since the anode surface is roughened, the blackening suppressor tends to evaporate. Due to the thermal convection generated in the discharge vessel, the evaporated blackening suppression body comes into contact with the inner surface of the discharge vessel and adheres as a solid. Since the blackening inhibitor is scattered on the anode surface, it is evaporated randomly from the anode surface and adheres to the discharge vessel by thermal convection. As described above, in the present invention, the protection process such as coating is performed on the inner surface of the discharge vessel with the lighting time by the lighting operation after the lamp is manufactured.

タングステン、トリウムなど電極材料となる金属は、電極が加熱されると溶融、蒸発し、放電容器内に付着すると放電容器内面の黒化現象を引き起こす。特に、ショートアーク型放電ランプの場合、陰極、陽極先端部は2000℃付近まで高温になり、電極金属が蒸発しやすい。   Metals such as tungsten and thorium, which are electrode materials, melt and evaporate when the electrode is heated, and cause blackening on the inner surface of the discharge vessel when attached to the discharge vessel. In particular, in the case of a short arc type discharge lamp, the cathode and anode tips are heated up to about 2000 ° C., and the electrode metal is likely to evaporate.

しかしながら、本願発明では、ランプ製造後に点灯始動するとあらかじめ陽極表面に付着させた黒化抑制体が蒸発し、放電容器に付着する。放電容器内面に付着した黒化抑制体は、放電容器と反応せず、光の透過率を下げないため、放電容器を黒化させない。   However, in the present invention, when the lighting is started after the lamp is manufactured, the blackening suppression body previously adhered to the anode surface evaporates and adheres to the discharge vessel. The blackening suppression body attached to the inner surface of the discharge vessel does not react with the discharge vessel and does not lower the light transmittance, so that the discharge vessel is not blackened.

その一方で、黒化抑制体が放電容器内面に付着すると、タングステンなど電極から蒸発する電極材料の金属、あるいは水銀など発光のため放電管内に封入された金属がガラスと反応しない。すなわち、黒化を招く金属が放電容器に付着するのを妨げる。その結果、ランプを長時間使用しても黒化現象が進行せず、安定した照度でランプが点灯し続ける。   On the other hand, when the blackening suppressor adheres to the inner surface of the discharge vessel, the metal of the electrode material evaporating from the electrode such as tungsten or the metal enclosed in the discharge tube for light emission such as mercury does not react with the glass. That is, the metal that causes blackening is prevented from adhering to the discharge vessel. As a result, even if the lamp is used for a long time, the blackening phenomenon does not proceed and the lamp continues to be lit with a stable illuminance.

ランプ製造工程から点灯開始まで、黒化抑制体を剥離せずに確実に陽極表面に固定させる方法としては、表面処理を施すのが望ましい。表面処理によって陽極表面が粗くなるため黒化抑制体が陽極表面に強く付着し、電極加熱処理などランプ製造工程の過程で黒化抑制体が陽極表面から剥離せず、製造後に初めてランプを点灯するまで黒化抑制体が強固に陽極表面に対し固定されている。   From the lamp manufacturing process to the start of lighting, it is desirable to perform surface treatment as a method of securely fixing the blackening suppressing body to the anode surface without peeling off. Since the surface of the anode becomes rough due to the surface treatment, the blackening inhibitor strongly adheres to the anode surface, and the blackening inhibitor does not peel off from the anode surface during the lamp manufacturing process such as electrode heating, and the lamp is turned on for the first time after production. The blackening inhibitor is firmly fixed to the anode surface.

特に、簡易な方法で黒化抑制体を確実に付着させるため、ブラスト処理を施し、陽極表面に黒化抑制体を衝突させるのがよい。黒化抑制体を陽極表面に高圧縮で吹き付けることにより、凹凸状態(梨地状態)が陽極表面に形成される一方、衝突した黒化抑制体の一部は、陽極表面を陥没させながら衝突固定している。ブラスト処理であるため、黒化抑制体は散在した状態で陽極表面に付着する。   In particular, in order to reliably attach the blackening suppressing body by a simple method, it is preferable to perform a blasting process so that the blackening suppressing body collides with the anode surface. By spraying the blackening suppressor onto the anode surface with high compression, an uneven state (satin finish) is formed on the anode surface, while some of the collided blackening suppressors are fixed by collision while the anode surface is depressed. ing. Since it is a blast process, the blackening suppression body adheres to the anode surface in a scattered state.

また、黒化抑制体を陽極表面の凹部に付着させることで、黒化抑制体が陽極表面から突出するのを防ぎ、真空排気処理など、ランプ製造工程の真空排気処理などで発光管内に流れが生じても、黒化抑制体が剥離しない。   In addition, by attaching the blackening suppressor to the concave portion of the anode surface, the blackening suppressor is prevented from protruding from the anode surface, and the flow into the arc tube during the vacuum exhausting process of the lamp manufacturing process such as the vacuum exhausting process. Even if it occurs, the blackening inhibitor does not peel off.

タングステンなどの電極金属が蒸発すると、放電容器内で蒸発した金属が浮遊している。点灯開始からできるだけ早く黒化抑制体を蒸発させ、放電容器内面に付着させるためには、陽極の電極材料である金属よりも先に蒸発する黒化抑制体を使用するのがよい。   When electrode metal such as tungsten evaporates, the evaporated metal floats in the discharge vessel. In order to evaporate the blackening suppression body as soon as possible from the start of lighting and adhere it to the inner surface of the discharge vessel, it is preferable to use a blackening suppression body that evaporates before the metal that is the electrode material of the anode.

また、水銀が放電容器に封入される場合、石英などの放電容器は水銀、あるいは酸化水銀と反応する。放電容器内に水銀が入り込むと、発光に寄与する水銀量が減少し、照度が低下してしまう。これを防ぐため、黒化抑制体は、放電容器の組成材料(石英ガラスなど)と比べ、金属あるいは金属化合物と化学反応を起こさない黒化抑制体であるのが望ましい。   Further, when mercury is sealed in the discharge vessel, the discharge vessel such as quartz reacts with mercury or mercury oxide. When mercury enters the discharge vessel, the amount of mercury that contributes to light emission decreases and the illuminance decreases. In order to prevent this, it is desirable that the blackening suppressor is a blackening suppressor that does not cause a chemical reaction with a metal or a metal compound as compared with a composition material (such as quartz glass) of the discharge vessel.

黒化抑制体としては、金属黒化抑制体、あるいは、金属酸化物などの金属化合物黒化抑制体を使用すればよい。例えば石英ガラスに対して反応しないアルミナ(酸化アルミニウム)を使用するのが望ましい。アルミナは物理的、化学的に安定な多結晶体であり、例えば透明アルミナが使用される。   As the blackening suppressor, a metal blackening suppressor or a metal compound blackening suppressor such as a metal oxide may be used. For example, it is desirable to use alumina (aluminum oxide) that does not react with quartz glass. Alumina is a physically and chemically stable polycrystal, and for example, transparent alumina is used.

ランプ始動後できるだけ早く黒化抑制体を溶融、蒸発させる目的から、黒化抑制体を付着させる陽極表面領域については、最も効率よく黒化抑制体が溶融、蒸発する領域を定めることができる。   For the purpose of melting and evaporating the blackening suppression body as soon as possible after starting the lamp, the region where the blackening suppression body melts and evaporates can be determined most efficiently for the anode surface region to which the blackening suppression body adheres.

一方、陽極を上方にして電極を鉛直方向に配置した形で放電ランプが設置される場合、陽極表面の温度分布が特有なものになる。すなわち、陰極からの電子放出によって陽極先端部が非常に高温状態となり、陰極側に近い電極先端部に比べて電極支持棒側の陽極端面では温度が低くなる。また、陽極外周面(側面)に沿って対流が放電管内で生じている。   On the other hand, when the discharge lamp is installed in such a manner that the electrode is arranged in the vertical direction with the anode facing upward, the temperature distribution on the anode surface becomes unique. That is, due to electron emission from the cathode, the anode tip becomes extremely hot, and the temperature at the anode end surface on the electrode support bar side is lower than that on the electrode tip near the cathode side. Further, convection is generated in the discharge tube along the outer peripheral surface (side surface) of the anode.

したがって、陽極の外周面(側面)に沿って黒化抑制体を付着させることによって、黒化抑制体を早く溶融させ、放電管内面に付着させることが可能となる。周方向に沿って部分的に付着させることも可能であり、黒化抑制体を周方向前面に渡って付着させてもよい。例えば、陽極がテーパー状先端部と柱状胴体部から構成される場合、黒化抑制体を前記胴体部の外周面に付着させればよい。特に、点灯中の陽極温度分布を分析し、黒化抑制体が最も蒸発しやすい領域を電極軸方向に沿って定め、集中的に黒化抑制体を付着させることができる。   Therefore, by attaching the blackening suppression body along the outer peripheral surface (side surface) of the anode, the blackening suppression body can be quickly melted and attached to the inner surface of the discharge tube. It is also possible to adhere partially along the circumferential direction, and the blackening suppression body may be adhered over the front surface in the circumferential direction. For example, when the anode is composed of a tapered tip portion and a columnar body portion, a blackening suppression body may be attached to the outer peripheral surface of the body portion. In particular, it is possible to analyze the anode temperature distribution during lighting, determine a region where the blackening suppressor is most likely to evaporate along the electrode axis direction, and attach the blackening suppressor intensively.

アルミナを確実に陽極表面に付着させるためには、黒化抑制体が嵌るような微細溝(例えば、μmオーダーの溝)を(例えば周方向に沿って)形成するのが望ましい。このような微細溝に黒化抑制体が嵌ることにより、陽極表面に付着しやすくなる。また、黒化抑制体が蒸発すると、微細溝が放熱構造として機能する。例えば、陽極の温度分布から最適な領域に微細溝を形成するのがよい。   In order to ensure that the alumina adheres to the anode surface, it is desirable to form (for example, along the circumferential direction) a fine groove (for example, a μm order groove) into which the blackening suppressor fits. By fitting the blackening suppressing body into such a fine groove, it becomes easy to adhere to the anode surface. Further, when the blackening suppression body evaporates, the fine groove functions as a heat dissipation structure. For example, it is preferable to form a fine groove in an optimum region from the temperature distribution of the anode.

黒化抑制体の付着量を増やすためには、陽極の外周面において、断面波形状(コルゲート状)溝を周方向に沿って形成するのが望ましい。この溝は、上記微細溝よりもはるかにサイズの大きな溝(例えばmmオーダー)であり、陽極表面に傾斜面が形成される。その結果、表面処理などでより多くの黒化抑制体を付着させることができる。例えば、温度分布を考慮して最も適した領域に断面波形状溝を形成すればよい。   In order to increase the adhesion amount of the blackening suppressor, it is desirable to form a cross-sectional corrugated groove along the circumferential direction on the outer peripheral surface of the anode. This groove is a groove (for example, mm order) much larger than the fine groove, and an inclined surface is formed on the anode surface. As a result, more blackening suppressors can be attached by surface treatment or the like. For example, the cross-sectional corrugated groove may be formed in the most suitable region in consideration of the temperature distribution.

陽極表面の微細な凹凸が形成されていると、ランプ製造工程において凸部の剥離が生じやすく、また、塵などの異物が陽極表面に付着しやすくなる。これを防ぐためには、陽極に陽極外径よりも小さい外径の縮径部を設け、前記黒化抑制体を、前記縮径部表面に付着させるのがよい。陽極表面、とくに外周面に微細溝、断面波形状溝が形成されている場合にも、効果的である。   If fine irregularities are formed on the anode surface, the projections are easily peeled off in the lamp manufacturing process, and foreign substances such as dust are likely to adhere to the anode surface. In order to prevent this, it is preferable that the anode is provided with a reduced diameter portion having an outer diameter smaller than the outer diameter of the anode, and the blackening suppressing body is adhered to the surface of the reduced diameter portion. This is also effective when fine grooves and corrugated grooves are formed on the anode surface, particularly on the outer peripheral surface.

一方、蒸発した黒化抑制体を放電管内の対流に乗せて放電管内面の黒化が生じやすい領域へ速やかに付着させるためには、陽極の電極支持棒側後端面に凹部を形成するのがよい。鉛直上方から下方(陰極側)に向けて電極支持棒に沿って降下する気流が凹部に衝突し上昇気流となるので、陽極の外周面(側面)に沿った上昇気流が黒化抑制体を放電管内面の黒化現象が生じやすい領域へ重点的に運ぶことができる。よって、黒化に起因する放電容器の歪を抑制することができる。例えば、周方向に沿って比較的大きな溝を形成する。   On the other hand, in order to place the evaporated blackening suppression body on the convection in the discharge tube and quickly attach it to the region where the blackening of the inner surface of the discharge tube is likely to occur, a recess is formed on the rear end surface of the anode on the electrode support rod side. Good. Since the airflow descending along the electrode support rod from the vertical upward to the downward (cathode side) collides with the concave portion and becomes an upward airflow, the upward airflow along the outer peripheral surface (side surface) of the anode discharges the blackening inhibitor. It can be intensively transported to a region where the blackening phenomenon on the inner surface of the tube is likely to occur. Therefore, the distortion of the discharge vessel due to blackening can be suppressed. For example, a relatively large groove is formed along the circumferential direction.

本発明の放電ランプの製造方法は、ブラスト処理により黒化抑制体を陽極表面に投射し、前記黒化抑制体を前記陽極表面に散在、付着させ、前記黒化抑制体の融点以下の温度によって、不純物を除去するための加熱処理を陽極に対して行うことを特徴とする。   The method for producing a discharge lamp according to the present invention projects a blackening inhibitor on the anode surface by blasting, and disperses and adheres the blackening inhibitor on the anode surface, depending on the temperature below the melting point of the blackening inhibitor. The heat treatment for removing impurities is performed on the anode.

本発明によれば、煩雑な作業工程を伴うことなく、放電容器の黒化を防ぐことが出来る。また、黒化に起因した放電容器の熱歪の蓄積を抑制し、放電容器の破損を防ぐことができる。   According to the present invention, blackening of the discharge vessel can be prevented without complicated work steps. In addition, accumulation of thermal strain in the discharge vessel due to blackening can be suppressed, and damage to the discharge vessel can be prevented.

第1の実施形態であるショートアーク型放電ランプの概略的断面図である。It is a schematic sectional drawing of the short arc type discharge lamp which is 1st Embodiment. 陽極の側面側から見た拡大平面図である。It is the enlarged plan view seen from the side surface side of an anode. 第2の実施形態における陽極表面の拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the anode surface in a 2nd embodiment. 第3の実施形態における陽極平面図である。It is an anode top view in a 3rd embodiment. 第4の実施形態における陽極平面図である。It is an anode top view in a 4th embodiment. 第5の実施形態における陽極断面図である。It is an anode sectional view in a 5th embodiment. ブラスト処理前とブラスト処理後の陽極側面の電子顕微鏡拡大写真である。It is an electron microscope enlarged photograph of the anode side surface before blasting and after blasting. 本実施例である放電ランプの陽極表面を上から見た電子顕微鏡拡大写真である。It is the electron microscope enlarged photograph which looked at the anode surface of the discharge lamp which is a present Example from the top. 陽極表面を斜め方向から見た電子顕微鏡拡大写真である。It is the electron microscope enlarged photograph which looked at the anode surface from the diagonal direction.

以下では、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、第1の実施形態であるショートアーク型放電ランプの概略的断面図である。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a short arc type discharge lamp according to a first embodiment.

ショートアーク型放電ランプ10は、透明な石英ガラス製の発光管12を備え、発光管12内には陰極20、陽極30が所定間隔をもって対向配置される。発光管12の両側には、石英ガラス製の封止管13A、13Bが発光管12と連設し、一体的に形成されている。発光管12内の放電空間Sには、水銀、およびアルゴンガスなどの希ガスが封入されている。   The short arc type discharge lamp 10 includes an arc tube 12 made of transparent quartz glass, and a cathode 20 and an anode 30 are disposed in the arc tube 12 so as to face each other with a predetermined interval. On both sides of the arc tube 12, quartz glass sealing tubes 13 </ b> A and 13 </ b> B are connected to the arc tube 12 and are integrally formed. The discharge space S in the arc tube 12 is filled with rare gas such as mercury and argon gas.

封止管13A、13Bの内部には、陰極20、陽極30を支持する導電性の電極支持棒17A、17Bが配設されている。電極支持棒17A、17Bは、それぞれ金属箔16A、16Bを介して導電性のリード棒15A、15Bと接続される。封止管13A、13Bは、その両端が口金19A、19Bによって塞がれるとともに、内部に設けられたガラス管21、ガラス棒(図示せず)と溶着し、これによって発光管12が封止される。   Conductive electrode support rods 17A and 17B that support the cathode 20 and the anode 30 are disposed inside the sealing tubes 13A and 13B. The electrode support rods 17A and 17B are connected to conductive lead rods 15A and 15B through metal foils 16A and 16B, respectively. Both ends of the sealing tubes 13A and 13B are blocked by the caps 19A and 19B, and are welded to the glass tube 21 and the glass rod (not shown) provided inside, thereby the arc tube 12 is sealed. The

リード棒15A、15Bは外部の電源部(図示せず)に接続されており、リード棒15A、15Bを介して陰極20、陽極30に電力が供給される。電圧が陰極20、陽極30の間に印加されると、陰極20、陽極30の電極間でアーク放電が発生し、発光管12の外部に向けて光が放射される。ここでは、陽極20、30が鉛直方向に沿って並ぶように放電ランプ10が配置されている。   The lead bars 15A and 15B are connected to an external power source (not shown), and power is supplied to the cathode 20 and the anode 30 via the lead bars 15A and 15B. When a voltage is applied between the cathode 20 and the anode 30, an arc discharge is generated between the electrodes of the cathode 20 and the anode 30, and light is emitted toward the outside of the arc tube 12. Here, the discharge lamp 10 is arranged so that the anodes 20 and 30 are arranged along the vertical direction.

図2は、側面側から見た陽極の拡大平面図である。   FIG. 2 is an enlarged plan view of the anode viewed from the side surface side.

陽極30は、タングステン電極にカリウム0.002パーセントを含有させた電極であり、電極支持棒17Bと連結する円柱状胴体部30Bと、胴体部30Bから陰極20に向けてテーパー状に形成された先端部30Aから構成されている。ランプ点灯中、陰極先端部から電子が放出し、陰極20、陽極30の間でアーク放電が生じる。   The anode 30 is an electrode containing 0.002 percent potassium in a tungsten electrode, and a cylindrical body part 30B connected to the electrode support rod 17B, and a tip formed in a tapered shape from the body part 30B toward the cathode 20 30A. During lamp operation, electrons are emitted from the tip of the cathode, and arc discharge occurs between the cathode 20 and the anode 30.

外径が一定である胴体部30Bの外周面(側面)30Cには、透明な多結晶体であるアルミナ26(Al)が付着領域R内で散在し、付着している。付着領域Rは、電極軸X方向に沿って所定の幅をもち、周方向全体に渡る領域として定められる。なお、付着領域Rの幅は点灯中の電極軸Xに沿った陽極表面温度分布を考慮して定めることができるが、少なくとも高温になる先端部側陽極表面を含むように定めればよい。 Alumina 26 (Al 2 O 3 ), which is a transparent polycrystalline body, is scattered and adhered in the adhesion region R on the outer peripheral surface (side surface) 30C of the body portion 30B having a constant outer diameter. The adhesion region R is defined as a region having a predetermined width along the electrode axis X direction and extending over the entire circumferential direction. The width of the adhesion region R can be determined in consideration of the anode surface temperature distribution along the electrode axis X during lighting, but it may be determined so as to include at least the tip end side anode surface that becomes high in temperature.

アルミナ26は、物理的、化学的に安定した結晶体であり、石英ガラスの発光管12と反応しない。アルミナ26は、陽極30に対する表面処理によって付着されている。本実施形態では、表面処理としてブラスト処理、具体的には、アルミナを陽極30に高圧で噴射するショットブラストを行っている。ショットブラストするとき、所定の範囲の粒径(105μm〜125μm)であるアルミナ粉末を、外周面30Cの付着領域30Rに向けて高圧で噴射する。   The alumina 26 is a physically and chemically stable crystal and does not react with the arc tube 12 made of quartz glass. The alumina 26 is attached to the anode 30 by a surface treatment. In the present embodiment, blasting is performed as the surface treatment, specifically, shot blasting in which alumina is injected onto the anode 30 at a high pressure. When shot blasting, alumina powder having a predetermined range of particle size (105 μm to 125 μm) is injected at a high pressure toward the adhesion region 30R of the outer peripheral surface 30C.

陽極30の外周面30Cの付着領域Rは、アルミナによって叩き付けられる結果、梨地状、凹凸状に形成される。すなわち、微小な凹凸のある粗い表面になる。また、外周面30Cに衝突したアルミナの一部は、外周面30Cに陥没した状態で突き刺さり(食い込み)、自らの衝突によって外周面30Cを凹ませながら、外周面30Cに衝突固定されている。   The adhesion region R of the outer peripheral surface 30C of the anode 30 is formed in a satin shape or an uneven shape as a result of being struck by alumina. That is, it becomes a rough surface with minute irregularities. A part of the alumina colliding with the outer peripheral surface 30C is stabbed into the outer peripheral surface 30C (bite), and is collided and fixed to the outer peripheral surface 30C while the outer peripheral surface 30C is recessed by its own collision.

また、ショットブラストのとき、アルミナ粉末を外周面30Cに向けて均一に噴射する。そのため、付着するアルミナは外周面30C全体に分散し、疏らになって散在する。表面処理を行う噴射装置(図示せず)では、アルミナが外周面30Cに衝突した後にそのまま付着するように、噴射圧力が設定されている。   Further, during shot blasting, the alumina powder is uniformly sprayed toward the outer peripheral surface 30C. For this reason, the adhering alumina is dispersed throughout the outer peripheral surface 30C and scattered. In an injection device (not shown) that performs surface treatment, the injection pressure is set so that alumina adheres as it is after colliding with the outer peripheral surface 30C.

ブラスト処理が行われると、真空雰囲気で陽極20を加熱する。加熱処理は、アルミナの融点よりも低い温度で行い、アルミナの蒸発を防ぐ。例えば、約1600℃で数分〜数十分間、陽極30を加熱する。これにより、陽極30に付着したアルミナが外周面30Cに馴染んで固定されるとともに、電極組立時の工程で電極に含まれた不純物が除去される。   When the blast process is performed, the anode 20 is heated in a vacuum atmosphere. The heat treatment is performed at a temperature lower than the melting point of alumina to prevent evaporation of alumina. For example, the anode 30 is heated at about 1600 ° C. for several minutes to several tens of minutes. Thereby, the alumina adhering to the anode 30 is familiar and fixed to the outer peripheral surface 30C, and impurities contained in the electrode are removed in the process of assembling the electrode.

ランプ製造後にランプを点灯始動さると、陽極30の温度がアルミナの融点付近(約2000℃)にまで達する。その結果、アルミナ26が溶融、蒸発する。点灯時間の経過とともにアルミナ26が次々に蒸発し、最終的には陽極30に付着していたほとんどのアルミナは陽極30から離れる。蒸発したアルミナは、発光管12内の熱対流によって発光管12の内面の所定領域において付着する。この領域は、熱対流によって金属などが比較的付着しやすい領域となっている。   When the lamp is turned on after the lamp is manufactured, the temperature of the anode 30 reaches the vicinity of the melting point of alumina (about 2000 ° C.). As a result, the alumina 26 melts and evaporates. As the lighting time elapses, the alumina 26 evaporates one after another, and most of the alumina adhering to the anode 30 finally leaves the anode 30. The evaporated alumina adheres to a predetermined region on the inner surface of the arc tube 12 by thermal convection in the arc tube 12. This region is a region where metal or the like is relatively easily attached by thermal convection.

発光管12の内面全体に渡って付着するアルミナは、コーティング膜と同じ機能を働かせる。すなわち、発光管12内で蒸発し、浮遊しているタングステン、トリウム、あるいは放電発光によって生じる酸化水銀、その他の不純物などは、発光管12の内面のアルミナが付着した領域には付着せず、アルミナに付着していない領域に付着するか、あるいは浮遊し続ける。   Alumina deposited over the entire inner surface of the arc tube 12 performs the same function as the coating film. That is, tungsten, thorium evaporated in the arc tube 12, thorium, mercury oxide generated by discharge light emission, and other impurities do not adhere to the area on the inner surface of the arc tube 12 to which alumina has adhered, and alumina. It will stick to areas that are not attached to it, or will continue to float.

このように本実施形態によれば、ショットブラストによって陽極30の外周面30Cにアルミナを噴射させ、散在した状態でアルミナ26を側面30Cに付着させる。そして、アルミナ26の融点以下で陽極30を真空加熱処理し、不純ガスを取り除く。ランプを点灯始動させると、陽極30の温度上昇に伴ってアルミナ26が溶融、蒸発する。そして、蒸発したアルミナが発光管12の内面に付着する。   Thus, according to the present embodiment, alumina is sprayed onto the outer peripheral surface 30C of the anode 30 by shot blasting, and the alumina 26 is adhered to the side surface 30C in a scattered state. Then, the anode 30 is subjected to vacuum heat treatment at a temperature equal to or lower than the melting point of the alumina 26 to remove impure gas. When the lamp is turned on, the alumina 26 melts and evaporates as the temperature of the anode 30 rises. The evaporated alumina adheres to the inner surface of the arc tube 12.

タングステンの融点は非常に高いが、陰極先端面、陽極先端面が非常に加熱されると、タングステンが蒸発する。また、発光管内に封入された水銀は、酸素と反応して酸化水銀が生成され、これが発光管内面に付着する。このような酸化水銀、タングステンの付着は、発光管の黒化を進行させる。   Although the melting point of tungsten is very high, tungsten is evaporated when the cathode tip surface and anode tip surface are heated very much. The mercury sealed in the arc tube reacts with oxygen to produce mercury oxide, which adheres to the inner surface of the arc tube. Such adhesion of mercury oxide and tungsten promotes blackening of the arc tube.

一方、アルミナは透明な多結晶体であり、発光管12の材料である石英ガラスと比べ、タングステン、水銀、あるいは放電発光中に発生する不純ガス、荷電粒子などと反応を起こさず、安定している。   Alumina, on the other hand, is a transparent polycrystal and does not react with tungsten, mercury, impure gas generated during discharge light emission, charged particles, or the like, stably compared to quartz glass, which is the material of the arc tube 12. Yes.

本実施形態では、ランプ製造後に点灯始動させてしばらくすると、アルミナが蒸発して発光管12内に付着する。このアルミナの付着はタングステンの蒸発よりも時期的に早く、また、陰極先端部から蒸発するトリウム蒸発とほぼ同時期である。その結果、陽極側面030Cに付着していたアルミナ26は、黒化を防ぐように、発光管12の内面上に先に移動する。   In this embodiment, after a lamp is started after the lamp is manufactured, alumina is evaporated and adheres to the arc tube 12 after a while. The deposition of alumina is earlier than the evaporation of tungsten, and almost at the same time as the thorium evaporation evaporating from the cathode tip. As a result, the alumina 26 adhering to the anode side surface 030 </ b> C first moves onto the inner surface of the arc tube 12 so as to prevent blackening.

そのため、タングステン、酸化水銀が発光管12内で浮遊しても、発光管12に付着せず、タングステン、酸化水銀が発光管内面に付着して発光管が黒化する(透過率が低下する)のを全体的に防ぐことができる。また、発光管12内では熱対流が生じているため、蒸発したアルミナは発光管12の内面の黒化現象が生し易い領域へ重点的に付着し、発光管12を黒化から防ぐ。   Therefore, even if tungsten and mercury oxide float in the arc tube 12, they do not adhere to the arc tube 12, but tungsten and mercury oxide adhere to the inner surface of the arc tube and the arc tube becomes black (the transmittance decreases). Can be prevented as a whole. In addition, since heat convection is generated in the arc tube 12, the evaporated alumina is mainly attached to a region where the blackening phenomenon of the inner surface of the arc tube 12 is likely to occur, thereby preventing the arc tube 12 from being blackened.

このようなコーティングによる保護機能を、ランプ製造工程でコーティング作業することなく実現させているため、ランプ製造工程に煩雑な作業を特別に設ける必要がない。さらに、電極表面の表面仕上げとしてブラスト処理を行い、それに合わせてアルミナを付着させることが可能であり、アルミナを付着するための工程を特別に設ける必要がない。   Since such a protective function by coating is realized without performing a coating operation in the lamp manufacturing process, it is not necessary to provide a complicated operation in the lamp manufacturing process. Furthermore, it is possible to perform blasting as the surface finish of the electrode surface and deposit alumina in accordance therewith, and there is no need to provide a special process for depositing alumina.

陽極表面を粗くして凹凸を設けた状態でアルミナが表面に突き刺さる、食い込む、あるいは陥没した状態で付着しているため、アルミナ26は確実に陽極表面に付着する。そのため、ランプ点灯始動前の製造工程途中で剥離することが防止される。さらに、アルミナは、陽極が一体成形された後に、陽極表面に付着固定している。すなわち、陽極内部に混入した場合と比較して、アルミナは陽極表面に対して強固な結合体を形成していないため、電極温度がアルミナ融点付近まで上昇すると、アルミナが陽極表面から容易に蒸発する。   Alumina 26 adheres to the anode surface with certainty because the surface of the anode is rough and provided with irregularities so that alumina sticks, bites, or is depressed. Therefore, it is possible to prevent peeling during the manufacturing process before starting the lamp lighting. Further, alumina is adhered and fixed to the anode surface after the anode is integrally formed. That is, alumina does not form a strong bonded body with respect to the anode surface as compared with the case where it mixes inside the anode, so when the electrode temperature rises to near the melting point of alumina, alumina easily evaporates from the anode surface. .

放電ランプ点灯中、陽極が陰極上方に配置されており、放電空間内の熱対流によって陽極側面に沿って上昇流が生じている。本実施形態では、アルミナが陽極側面に付着されているため、アルミナが早期に蒸発し、また電極軸上方に向かう対流によって放電空間内をすばやく移動し、発光管内に付着する。さらに、アルミナの付着領域Rが点灯中の陽極温度分布に基づいて定められているため、確実にアルミナを蒸発させることが可能となる。   While the discharge lamp is on, the anode is disposed above the cathode, and an upward flow is generated along the side surface of the anode due to thermal convection in the discharge space. In the present embodiment, since alumina is attached to the side surface of the anode, the alumina evaporates early, and quickly moves in the discharge space by the convection directed above the electrode axis, and adheres to the arc tube. Furthermore, since the alumina adhesion region R is determined based on the anode temperature distribution during lighting, the alumina can be reliably evaporated.

本実施形態では、放電空間内で対流に乗って移動しやすい陽極側面にアルミナを付着させたが、それ以外の陽極表面部分に対してアルミナを付着させてもよい。また、アルミナ以外の粉末、粒体を陽極に対し噴射させてもよい。噴射する粒体としては、発光管の透過率を下げないような透明性のある結晶体であって、石英ガラスなど発光管材料、あるいはタングステン、水銀、放電ガスなど発光管内部で対流する物質、化合物と化学反応を起こさず、物理的、化学的に安定した粒体(金属粒体、金属酸化物など)であればよい。   In the present embodiment, alumina is attached to the anode side surface that is easy to move by convection in the discharge space. However, alumina may be attached to other anode surface portions. Moreover, you may spray the powder and granule other than an alumina with respect to an anode. The particles to be sprayed are transparent crystals that do not lower the transmittance of the arc tube, such as quartz glass and other materials that convect inside the arc tube, such as tungsten, mercury, discharge gas, Any particles (metal particles, metal oxides, etc.) that do not cause a chemical reaction with the compound and are physically and chemically stable may be used.

ブラスト処理としては、サンドブラスト、湿式ブラスト(液体ホーニング)、ショットブラストいずれの方法で行っても良い。また、ブラスト以外によって陽極を表面加工処理し、アルミナを付着させるように構成してもよい。さらに、表面加工処理以外の方法によって(例えば、粒体を強く押付けて陽極表面より内部に入り込ませるなど)粒体を陽極表面に散在、付着させてもよい。   As the blasting treatment, any of sand blasting, wet blasting (liquid honing), and shot blasting may be used. Further, the anode may be subjected to a surface processing treatment other than blasting, and alumina may be adhered. Furthermore, the particles may be scattered and adhered to the anode surface by a method other than the surface processing (for example, by strongly pressing the particles to enter the inside from the anode surface).

次に、図3を用いて第2の実施形態である放電ランプについて説明する。第2の実施形態では、陽極表面の周方向に沿って微細な溝が形成されている。それ以外の構成については、実質的に第1の実施形態と同じである。   Next, the discharge lamp which is 2nd Embodiment is demonstrated using FIG. In the second embodiment, fine grooves are formed along the circumferential direction of the anode surface. Other configurations are substantially the same as those in the first embodiment.

図3は、第2の実施形態における陽極表面の拡大断面図である。   FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the anode surface in the second embodiment.

陽極130の表面130Cには、レーザ加工、ブレード加工、放電加工などにより、微小ピッチの溝130N(ここでは、微細溝という)が周方向に沿って形成され、一連の溝が軸方向に所定幅をもって形成されている。   On the surface 130C of the anode 130, a minute pitch groove 130N (herein referred to as a fine groove) is formed along the circumferential direction by laser machining, blade machining, electric discharge machining, or the like, and a series of grooves have a predetermined width in the axial direction. It is formed with.

微細溝130Nの凹部130Gは楔状(鋭角状)に形成され、ブラスト処理のときにアルミナが凹部130Gに嵌るように、マイクロメートル(μm)をオーダーとするピッチ130Jで溝が形成されている。微細溝130Nの形成される陽極表面領域は、実施形態1で示した付着領域Rの一部、あるいは全体領域であり、特に点灯中アルミナが蒸発しやすい領域に定められる。   The recesses 130G of the fine grooves 130N are formed in a wedge shape (acute angle), and grooves are formed at a pitch 130J on the order of micrometers (μm) so that alumina fits into the recesses 130G during blasting. The anode surface region in which the fine groove 130N is formed is a part or the entire region of the adhesion region R shown in the first embodiment, and is particularly determined as a region where alumina is easily evaporated during lighting.

微細溝130Nと交互に現れる表面凸部130Tが剥離して(欠けて)自身の凹部130Gに嵌るのを防ぐため、微細溝130NのピッチJは相対的に大きく定められている。すなわち、凸部130Tの幅は凹部130Gの幅よりも十分に大きい。   The pitch J of the fine grooves 130N is set to be relatively large in order to prevent the surface convex portions 130T appearing alternately with the fine grooves 130N from being peeled (not chipped) and fitted into the concave portions 130G. That is, the width of the convex portion 130T is sufficiently larger than the width of the concave portion 130G.

このような微細溝を形成することにより、サンドブラスト処理によってアルミナがよりいっそう確実に表面付着し、ランプ製造時においても密着する。また、電極軸方向に沿った温度分布に基づき、最も効果的にアルミナ蒸発を実現される領域に微細溝130を形成しているため、アルミナ蒸発が確実になる。さらに、アルミナが蒸発した後、微細溝130が放熱フィンの機能を果たし、電極の過熱を防ぐことができる。   By forming such fine grooves, the surface of the alumina is more reliably adhered by the sandblasting process and adheres even during lamp manufacturing. Further, since the fine groove 130 is formed in a region where the alumina evaporation is most effectively realized based on the temperature distribution along the electrode axis direction, the alumina evaporation is ensured. Furthermore, after the alumina has evaporated, the fine groove 130 functions as a heat radiating fin and can prevent the electrode from overheating.

なお、ブラスト処理以外の処理によってアルミナを微細溝に付着させてもよい。例えば、アルミナを陽極表面に押し付けることによって付着させることも可能である。また、アルミナ付着領域をより特定の領域に集中させてもよい。   Note that alumina may be attached to the fine groove by a process other than the blast process. For example, it is possible to deposit alumina by pressing it against the anode surface. Moreover, you may concentrate an alumina adhesion area | region to a more specific area | region.

次に、図4を用いて第3の実施形態である放電ランプについて説明する。第3の実施形態では、陽極表面にコルゲート状(断面波形状)の溝が形成されている。それ以外の構成については、第1の実施形態と同じである。   Next, the discharge lamp which is 3rd Embodiment is demonstrated using FIG. In the third embodiment, corrugated (cross-sectional wave shape) grooves are formed on the anode surface. About another structure, it is the same as 1st Embodiment.

図4は、第3の実施形態における陽極平面図である。   FIG. 4 is an anode plan view according to the third embodiment.

陽極230の外周面230Cには、コルゲート状溝230Wがアルミナの付着領域Rの一部である領域Wに形成されている。コルゲート状溝230Wは、電極軸方向に沿って一連の鋸状断面波形を形成する溝であり、アルミナ粒子よりも十分大きな(視認できる)凹部が形成されている。ここでは、切削加工などにより、ミリメートル(mm)のオーダーで溝230Wが外周面230Cの周方向に沿って形成されている。   On the outer peripheral surface 230C of the anode 230, a corrugated groove 230W is formed in a region W that is a part of the alumina adhesion region R. The corrugated groove 230W is a groove that forms a series of sawtooth cross-sectional waveforms along the electrode axis direction, and has a recess that is sufficiently larger (visible) than the alumina particles. Here, the grooves 230 </ b> W are formed along the circumferential direction of the outer peripheral surface 230 </ b> C in the order of millimeters (mm) by cutting or the like.

コルゲート状溝230Wが周方向に沿って形成されることにより、陽極表面の面積が拡大する。そのため、アルミナの付着量が増加するとともに、斜め方向からサンドブラストすることによってアルミナの付着が容易になる。   By forming the corrugated groove 230W along the circumferential direction, the area of the anode surface is enlarged. For this reason, the amount of alumina adhered increases, and it becomes easier to adhere alumina by sandblasting from an oblique direction.

なお、第2の実施形態と同様、ブラスト処理以外の処理によってアルミナを微細溝に付着させてもよい。また、第2の実施形態で説明した微細溝を、コルゲート状溝の上へさらに形成するように構成してもよい。   As in the second embodiment, alumina may be attached to the fine groove by a process other than the blast process. Further, the fine groove described in the second embodiment may be further formed on the corrugated groove.

次に、図5を用いて第4の実施形態である放電ランプについて説明する。第4の実施形態では、陽極表面に外径の小さい細径部が形成されている。それ以外の構成については、第3の実施形態と実質的に同じである。   Next, the discharge lamp which is 4th Embodiment is demonstrated using FIG. In the fourth embodiment, a small diameter portion having a small outer diameter is formed on the anode surface. About another structure, it is substantially the same as 3rd Embodiment.

図5は、第4の実施形態における陽極平面図である。陽極330には、電極支持棒付近の端部330Aにおける外径に比べて相対的に外径が小さい細径部330Bが幅Zに渡って形成されている。そして、陽極表面330Cの一部領域Rにおいて、アルミナがサンドブラスト処理によって付着されている。さらに、コルゲート状溝330Wが領域Wに渡って周方向に形成されている。   FIG. 5 is a plan view of an anode according to the fourth embodiment. The anode 330 is formed with a small-diameter portion 330B having a relatively small outer diameter over the width Z as compared with the outer diameter of the end portion 330A near the electrode support rod. Alumina is adhered to the partial region R of the anode surface 330C by sandblasting. Further, a corrugated groove 330 </ b> W is formed in the circumferential direction over the region W.

このような細径部を陽極に形成することにより、ランプ製造時に付着したアルミナが剥離するのを防止するこができる。また、アルミナが微小な塵など異物と一緒になって陽極表面に付着することを防ぐ。さらに、サンドブラスト処理によって表面に形成された微細な凸部分、あるいは微細溝の凸部分が剥離するのを防ぎ、あるいは異物が一緒に付着するのを防ぐ。   By forming such a small diameter portion on the anode, it is possible to prevent the alumina adhered at the time of lamp manufacture from peeling off. In addition, it prevents alumina from adhering to the anode surface together with foreign matter such as fine dust. Further, the fine convex portions formed on the surface by the sandblasting process or the convex portions of the fine grooves are prevented from peeling off, or foreign matters are prevented from adhering together.

なお、サンドブラストなどの表面処理以外の方法によってアルミナを付着させてもよい。また、コルゲート状溝を形成しなくてもよく、微細溝を形成しなくてもよい。   Note that alumina may be attached by a method other than surface treatment such as sandblasting. Further, the corrugated groove may not be formed, and the fine groove may not be formed.

次に、図6を用いて第5の実施形態である放電ランプについて説明する。第5の実施形態では、電極背面側に凹部が形成されている。それ以外の構成については、第3の実施形態と実質的に同じである。   Next, the discharge lamp which is 5th Embodiment is demonstrated using FIG. In the fifth embodiment, a recess is formed on the back side of the electrode. About another structure, it is substantially the same as 3rd Embodiment.

図6は、第5の実施形態における陽極断面図である。陽極430の電極支持棒側端面には、溝430Mが周方向に沿って円を描くように形成されている。アルミナは領域Rに渡って付着し、コルゲート状溝430Wが領域Wに渡って周方向に形成されている。   FIG. 6 is a cross-sectional view of the anode according to the fifth embodiment. A groove 430M is formed on the end surface of the anode 430 on the electrode support rod side so as to draw a circle along the circumferential direction. Alumina adheres over the region R, and corrugated grooves 430W are formed in the circumferential direction over the region W.

このような窪みとなる凹部を陽極端面側に設けることにより、ランプ点灯中に生じる下降気流が電極と衝突し、上昇気流とともに上方へ流れていく。これに乗ったアルミナが放電管内の漂着し易い部分に早く移動することになり、予めアルミナ付着させる領域を集中させてコーティング効果を高めることができる。   By providing such a recess as a depression on the anode end face side, the downdraft generated during lamp lighting collides with the electrode and flows upward together with the updraft. The alumina riding on this quickly moves to the portion where it tends to drift in the discharge tube, and it is possible to enhance the coating effect by concentrating the area to which the alumina adheres in advance.

以下において、放電ランプの実施例について説明する。   Hereinafter, embodiments of the discharge lamp will be described.

本実施例の放電ランプは、第1の実施形態で説明した放電ランプに相当する。   The discharge lamp of this example corresponds to the discharge lamp described in the first embodiment.

図7は、ブラスト処理前とブラスと処理後の陽極側面の電子顕微鏡拡大写真である。図7(A)に示すように、ブラスト処理前では、陽極側面はほぼ平滑である。一方、ブラスト処理後の陽極側面は、光沢のないザラザラした状態(梨地状態)となっていて、微細な凹凸形状になっている。図7(B)の拡大写真では、アルミナの鋭利状に突き刺さった部分、電極破片が付着している部分とともに、アルミナが陽極側面に衝突し、食い込んだ状態で固定されている部分が写っている。   FIG. 7 is an electron microscope enlarged photograph of the anode side surface before blasting, after blasting, and after processing. As shown in FIG. 7A, the anode side surface is almost smooth before the blasting treatment. On the other hand, the side surface of the anode after the blasting treatment is in a lustrous state (matte state) with no gloss, and has a fine uneven shape. In the enlarged photograph of FIG. 7 (B), a portion where alumina is sharply pierced, a portion where electrode fragments are attached, and a portion where alumina collides with the side surface of the anode and bites in are shown. .

本実施例は、第2の実施形態における放電ランプに相当する。   This example corresponds to the discharge lamp in the second embodiment.

図8は、本実施例である放電ランプの陽極表面を上から見た電子顕微鏡拡大写真である。図9は、陽極表面を斜め方向から見た電子顕微鏡拡大写真である。   FIG. 8 is an electron microscope enlarged photograph of the anode surface of the discharge lamp according to the present embodiment as viewed from above. FIG. 9 is an electron microscope magnified photograph of the anode surface viewed from an oblique direction.

図8、図9から明らかなように、陽極表面には溝ピッチが溝幅よりも大きい微細溝が周方向に沿って形成されている。そして、大量のアルミナが微細溝の部分にしっかりと嵌り、付着していることがわかる。   As is apparent from FIGS. 8 and 9, fine grooves having a groove pitch larger than the groove width are formed on the anode surface along the circumferential direction. It can be seen that a large amount of alumina is firmly fitted and adhered to the fine groove portion.

本実施例の放電ランプは、第5の実施形態で説明した放電ランプに相当する。   The discharge lamp of this example corresponds to the discharge lamp described in the fifth embodiment.

アルミナを陽極表面に付着させたときに発光管の黒化を抑制する効果を確認する実験を行った。実施例のショートアーク型放電ランプは、外径121mm、容積885cc、石英ガラスから成る発光管を備える。発光管内には、約30mg/ccの水銀を封入した。また、常温時で約190kPaとなるようにアルゴンガスを封入した。   An experiment was conducted to confirm the effect of suppressing the blackening of the arc tube when alumina was adhered to the anode surface. The short arc type discharge lamp of the embodiment has an outer diameter of 121 mm, a volume of 885 cc, and an arc tube made of quartz glass. About 30 mg / cc of mercury was enclosed in the arc tube. Moreover, argon gas was enclosed so that it might become about 190 kPa at normal temperature.

陽極は、重量比約0.002%のカリウムを含むタングステン電極である。陰極は、重量比約2%の酸化トリウム(ThO)をドーピングしたタングステン電極であり、電極間距離は約12mmに設定されている。陽極、陰極形状は上記実施形態に示した形状とほぼ同じである。陰極には、テーパー状先端部が形成されている。 The anode is a tungsten electrode containing about 0.002% potassium by weight. The cathode is a tungsten electrode doped with thorium oxide (ThO 2 ) at a weight ratio of about 2%, and the distance between the electrodes is set to about 12 mm. The anode and cathode shapes are almost the same as those shown in the above embodiment. The cathode has a tapered tip.

陽極のコルゲード状溝が形成された側面に対し、アルミナ(Al)を吹き付けるブラスト処理を行い、陽極側面を表面加工した。粒径約115μmのアルミナ粉末を使用し、加圧ガスの噴射圧力でアルミナ粉末を陽極側面の所定領域に衝突させ、表面仕上げをするとともに、アルミナを付着させた。 A blasting process of spraying alumina (Al 2 O 3 ) was performed on the side surface on which the corrugated groove of the anode was formed, and the anode side surface was surface processed. Alumina powder having a particle size of about 115 μm was used, and the alumina powder was made to collide with a predetermined region on the side surface of the anode with the injection pressure of the pressurized gas to finish the surface and adhere alumina.

一方、比較例として、アルミナの付着を除けば本実施例と同じ構成であるショートアーク型放電ランプを用意した。   On the other hand, as a comparative example, a short arc type discharge lamp having the same configuration as that of this example except for the adhesion of alumina was prepared.

そして、アルミナ蒸発の確認実験を行った。ここでは、陽極を真空環境で加熱処理を行い、実際にランプ点灯時の電極温度環境(1500℃以上)を作り出し、アルミナ融点より低い電極温度、高い電極温度でアルミナ残留量を調べた。   And confirmation experiment of alumina evaporation was conducted. Here, the anode was heat-treated in a vacuum environment to actually create an electrode temperature environment (1500 ° C. or higher) when the lamp was turned on, and the residual amount of alumina was examined at an electrode temperature lower than the alumina melting point and higher electrode temperature.

電極を1500℃に加熱したときにはアルミナが残留していたが、2200℃まで加熱すると、アルミナは残留していなかった。   When the electrode was heated to 1500 ° C., alumina remained, but when heated to 2200 ° C., alumina did not remain.

次に、アルミナを陽極表面に付着させることで黒化を防止する確認実験を行った。ここでは、上記実施例のショートアーク型放電ランプに対し、12kWの電力で点灯させ、1000時間の点灯後の発光管内面の黒化状態を検査した。   Next, a confirmation experiment was conducted to prevent blackening by attaching alumina to the anode surface. Here, the short arc type discharge lamp of the above example was turned on with a power of 12 kW, and the blackened state on the inner surface of the arc tube after lighting for 1000 hours was inspected.

照度維持率は、350nm付近に感度を有する照度計により測定した。コルゲート状溝が形成されず、サンドブラスト処理によるアルミナ付着のない従来ランプの照度維持率が67%であるのに対し、実施例である本ランプの照度維持率は75%になり、発光管の黒化を抑制することが確認された。   The illuminance maintenance rate was measured with an illuminometer having sensitivity around 350 nm. While the corrugated groove is not formed and the illuminance maintenance ratio of the conventional lamp without the alumina adhesion by the sandblasting process is 67%, the illuminance maintenance ratio of the present embodiment lamp is 75%, and the black color of the arc tube It was confirmed that the conversion was suppressed.

10 ショートアーク型放電ランプ
12 発光管(放電容器)
20 陰極
26 アルミナ
30 陽極
10 Short arc type discharge lamp 12 Arc tube (discharge vessel)
20 Cathode 26 Alumina 30 Anode

Claims (16)

放電容器と、
前記放電容器内に対向配置される陽極および陰極とを備え、
少なくとも陽極表面に微小な凹凸が形成され、
金属酸化物が、前記陽極表面に散在し、付着していて、点灯時に蒸発することを特徴とする放電ランプ。
A discharge vessel;
An anode and a cathode disposed opposite to each other in the discharge vessel,
At least minute irregularities are formed on the anode surface,
A discharge lamp characterized in that metal oxide is scattered and adhered to the surface of the anode, and evaporates during lighting.
前記金属酸化物が、前記陽極の電極材料である金属よりも、先に蒸発することを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ。 The discharge lamp according to claim 1, wherein the metal oxide evaporates before a metal that is an electrode material of the anode. 前記金属酸化物が、前記放電容器の組成材料と比べ、点灯時に前記放電容器内で浮遊する金属もしくは金属化合物と化学反応を起こさないことを特徴とする請求項1乃至2のいずれかに記載の放電ランプ。 3. The metal oxide according to claim 1, wherein the metal oxide does not cause a chemical reaction with a metal or a metal compound floating in the discharge vessel during lighting, as compared with a composition material of the discharge vessel. Discharge lamp. 前記金属酸化物が、アルミナを含むことを特徴とする請求項1乃至のいずれか一項に記載の放電ランプ。 The discharge lamp according to any one of claims 1 to 3 , wherein the metal oxide contains alumina. 前記金属酸化物が、前記陽極表面の凹部に付着していることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の放電ランプ。 The discharge lamp according to any one of claims 1 to 4, wherein the metal oxide is attached to a concave portion on the surface of the anode. 前記陽極表面に前記金属酸化物を衝突させるブラスト処理によって前記陽極が表面処理され、
前記金属酸化物が、前記陽極表面を陥没させながら衝突固定していることを特徴とする請求項1乃至のいずれか一項に記載の放電ランプ。
The anode is surface-treated by a blasting treatment in which the metal oxide collides with the anode surface,
The discharge lamp according to any one of claims 1 to 5 , wherein the metal oxide is collision-fixed while the anode surface is depressed.
前記金属酸化物が、陽極外周面に付着していることを特徴とする請求項1乃至のいずれか一項に記載の放電ランプ。 The discharge lamp according to any one of claims 1 to 6 , wherein the metal oxide is attached to an outer peripheral surface of the anode. 前記陽極が、テーパー状先端部と柱状胴体部とを有し、
前記金属酸化物が、前記胴体部の外周面に付着していることを特徴とする請求項1乃至のいずれか一項に記載の放電ランプ。
The anode has a tapered tip and a columnar body,
The discharge lamp according to any one of claims 1 to 7 , wherein the metal oxide is attached to an outer peripheral surface of the body portion.
前記陽極の外周面において、前記金属酸化物が嵌るように微細溝が形成されていることを特徴とする請求項1乃至のいずれか一項に記載の放電ランプ。 The discharge lamp according to any one of claims 1 to 8 , wherein a fine groove is formed on the outer peripheral surface of the anode so as to fit the metal oxide . 前記微細溝の溝間隔が、前記金属酸化物の大きさ以上であることを特徴とする請求項に記載の放電ランプ。 The discharge lamp according to claim 9 , wherein a gap between the fine grooves is equal to or larger than a size of the metal oxide . 前記陽極の外周面において、断面波形状溝が形成されていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の放電ランプ。 The discharge lamp according to any one of claims 1 to 10 , wherein a cross-sectional wave-shaped groove is formed on an outer peripheral surface of the anode. 前記陽極が、陽極外径よりも小さい外径の縮径部を有し、
前記金属酸化物が、前記縮径部表面に付着していることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の放電ランプ。
The anode has a reduced diameter portion having an outer diameter smaller than the outer diameter of the anode;
Wherein the metal oxide is a discharge lamp according to any one of claims 1 to 11, characterized in that attached to the reduced diameter portion surface.
前記陽極が、カリウムを含むことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか一項に記載の放電ランプ。 The discharge lamp according to any one of claims 1 to 12 , wherein the anode contains potassium. 前記陽極の電極支持棒側後端面に、凹部が形成されていることを特徴とする請求項1乃至13のいずれか一項に記載の放電ランプ。 The discharge lamp according to any one of claims 1 to 13 , wherein a concave portion is formed on a rear end surface of the anode on the electrode support rod side. ブラスト処理により金属酸化物を陽極表面に投射し、前記金属酸化物を前記陽極表面に散在、付着させ、
前記金属酸化物の融点以下の温度によって、不純物を除去するための加熱処理を陽極に対して行うことを特徴とする放電ランプの製造方法。
The metal oxide is projected on the anode surface by blasting, interspersed said metal oxide to said anode surface, is deposited,
A method for manufacturing a discharge lamp, wherein a heat treatment for removing impurities is performed on the anode at a temperature lower than the melting point of the metal oxide .
放電容器と、A discharge vessel;
前記放電容器内に対向配置される陽極および陰極とを備え、An anode and a cathode disposed opposite to each other in the discharge vessel,
少なくとも陽極表面に微小な凹凸が形成され、At least minute irregularities are formed on the anode surface,
金属酸化物が、前記陽極表面に散在し、付着していて、点灯時に蒸発し、Metal oxide is scattered and adhered to the anode surface, and evaporates during lighting.
前記陽極の表面において、断面波形状溝が形成されていることを特徴とする放電ランプ。A discharge lamp characterized in that a cross-sectional groove is formed on the surface of the anode.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6483020B2 (en) * 2013-07-22 2019-03-13 株式会社オーク製作所 Discharge lamp, discharge lamp manufacturing method, and discharge lamp electrode
JP6294901B2 (en) * 2015-03-31 2018-03-14 Hoya Candeo Optronics株式会社 Mercury discharge lamp
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57158941A (en) * 1981-03-27 1982-09-30 Toshiba Corp Metal halide lamp
US6369502B1 (en) * 1999-11-29 2002-04-09 General Electric Company Low pressure mercury vapor discharge lamp with doped phosphor coating
JP4295527B2 (en) * 2003-02-27 2009-07-15 株式会社アライドマテリアル Discharge lamp and its electrode structure
JP5036361B2 (en) * 2007-03-23 2012-09-26 株式会社オーク製作所 Discharge lamp using electrode having heat dissipation structure of stepped groove
JP4993478B2 (en) * 2007-03-23 2012-08-08 株式会社オーク製作所 Discharge lamp and method of manufacturing electrode thereof
JP2009104865A (en) * 2007-10-23 2009-05-14 Seiko Epson Corp Discharge lamp, light source device, projection type display device
JP4650562B2 (en) * 2008-12-03 2011-03-16 ウシオ電機株式会社 Short arc type discharge lamp
JP2009105059A (en) * 2009-01-05 2009-05-14 Allied Material Corp Electrode structure for discharge lamp
JP5325615B2 (en) * 2009-03-12 2013-10-23 株式会社オーク製作所 Discharge lamp

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