JP5576735B2 - 有限系レンズの作動距離測定装置及び作動距離測定方法 - Google Patents
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Description
10 主光源部
20 光源移動用ステージ
30 試料台
40 試料台移動用ステージ
50 レンズユニット
60 落射光源部
70 テレビジョンカメラ
Claims (7)
- 第1のレーザ光を射出して集光させる第1の光源と、
前記第1のレーザ光の集光点を前記第1のレーザ光の光路に沿った方向に移動させる集光点移動手段と、
前記集光点移動手段による前記集光点の移動距離を計測する第1の距離計測手段と、
前記第1のレーザ光の光路と有限系レンズである被検レンズの光軸とが一致するように該被検レンズを保持するレンズ保持部材と、
前記レンズ保持部材を前記第1のレーザ光の光路に沿った方向に移動させるレンズ移動手段と、
前記レンズ移動手段による前記被検レンズの移動距離を計測する第2の距離計測手段と、
前記被検レンズに対して、前記第1の光源と反対側に配置され、前記第1のレーザ光の光路と光軸が一致するよう位置決めされており且つ前記第1の光源側に正のパワーを有するレンズユニットと、
前記レンズユニットに対して、前記被検レンズと反対側から、該レンズユニットの光軸に沿った方向に平行光である第2のレーザ光を入射させる第2の光源と、
前記レンズユニットの焦点位置にある前記第1又は第2のレーザ光による像を撮影する撮像手段と、
前記被検レンズの作動距離を測定する作動距離測定手段と、
を有し、
前記集光点移動手段は、
前記レンズ保持部材に前記被検レンズが取り付けられていない状態で、前記撮像手段が前記第1のレーザ光による点像を得る第1の位置に前記集光点を移動させ、
前記レンズ移動手段は、
前記レンズ保持部材に前記被検レンズが取り付けられている状態で、前記撮像手段が該被検レンズの表面で反射して前記レンズユニットを通過する前記第2のレーザ光による点像を得る第2の位置に前記レンズ保持部材を移動させ、
前記レンズ移動手段は、
前記レンズ保持部材に前記被検レンズが取り付けられている状態で、前記第2の位置から所定の距離だけ前記第1の光源に近い第3の位置に前記レンズ保持部材を移動させ、
前記集光点移動手段は、
前記第3の位置に移動されたレンズ保持部材に前記被検レンズが取り付けられている状態で、前記撮像手段が前記第1のレーザ光による点像を得る第4の位置に前記集光点を移動させ、
前記第2の距離計測手段は、
前記第2の位置から前記第3の位置までの第1の距離を計測し、
前記第1の距離計測手段は、
前記第1の位置から前記第4の位置までの第2の距離を計測し、
前記作動距離測定手段は、
前記第1の距離、前記第2の距離及び前記被検レンズの前記レンズユニット側の表面と前記第1の光源に最も近い面との間隔に基づいて該被検レンズの作動距離を測定する、
有限系レンズの作動距離測定装置。 - 前記第1のレーザ光と前記第2のレーザ光は、
同一の波長を有するレーザ光である、
請求項1に記載の有限系レンズの作動距離測定装置。 - 前記レンズ移動手段は、
前記レンズ保持部材を、前記第1のレーザ光の光路に沿った方向を含む直交三軸方向に移動可能である、
請求項1又は請求項2に記載の有限系レンズの作動距離測定装置。 - 前記第1及び第2のレーザ光が赤外光であり、
前記撮像手段は、
可視光に対して高い感度を有する撮像素子と、
前記赤外光を可視光に変換するフィルタと、
を有するものである、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の有限系レンズの作動距離測定装置。 - 前記第1の距離をd1と定義し、前記第2の距離をd2と定義し、前記被検レンズの前記レンズユニット側の表面と前記第1の光源に最も近い面との間隔をd3と定義し、前記被検レンズの作動距離をWdと定義した場合に、次式
Wd=d2-d1-d3
が満たされる、
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の有限系レンズの作動距離測定装置。 - 前記被検レンズの前記レンズユニット側の表面と前記第1の光源に最も近い面との間隔は、予め計測された値である、
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の有限系レンズの作動距離測定装置。 - 第1のレーザ光を射出して集光させる第1の光源と、
前記第1のレーザ光の光路と有限系レンズである被検レンズの光軸とが一致するように該被検レンズを保持するレンズ保持部材と、
前記被検レンズに対して、前記第1の光源と反対側に配置され、前記第1のレーザ光の光路と光軸が一致するよう位置決めされており且つ前記第1の光源側に正のパワーを有するレンズユニットと、
前記レンズユニットに対して、前記被検レンズと反対側から、該レンズユニットの光軸に沿った方向に平行光である第2のレーザ光を入射させる第2の光源と、
前記レンズユニットの焦点位置にある前記第1又は第2のレーザ光による像を撮影する撮像手段と、
前記被検レンズの作動距離を測定する作動距離測定手段と、
を有する有限系レンズの作動距離測定装置を用いた有限系レンズの作動距離測定方法であって、
前記レンズ保持部材に前記被検レンズが取り付けられていない状態で、前記撮像手段が前記第1のレーザ光による点像を得る第1の位置に前記第1のレーザ光の集光点を移動させるステップと、
前記レンズ保持部材に前記被検レンズが取り付けられている状態で、前記撮像手段が該被検レンズの表面で反射して前記レンズユニットを通過する前記第2のレーザ光による点像を得る第2の位置に前記レンズ保持部材を移動させるステップと、
前記レンズ保持部材に前記被検レンズが取り付けられている状態で、前記第2の位置から所定の距離だけ前記第1の光源に近い第3の位置に前記レンズ保持部材を移動させるステップと、
前記第3の位置に移動されたレンズ保持部材に前記被検レンズが取り付けられている状態で、前記撮像手段が前記第1のレーザ光による点像を得る第4の位置に前記集光点を移動させるステップと、
前記第2の位置から前記第3の位置までの第1の距離を計測するステップと、
前記第1の位置から前記第4の位置までの第2の距離を計測するステップと、
前記第1の距離、前記第2の距離及び前記被検レンズの前記レンズユニット側の表面と前記第1の光源に最も近い面との間隔に基づいて該被検レンズの作動距離を測定するステップと、
を含む、
有限系レンズの作動距離測定方法。
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JP2010165856A JP5576735B2 (ja) | 2010-07-23 | 2010-07-23 | 有限系レンズの作動距離測定装置及び作動距離測定方法 |
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JP2012027240A JP2012027240A (ja) | 2012-02-09 |
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JP2005003465A (ja) * | 2003-06-11 | 2005-01-06 | Minolta Co Ltd | 保持部材付光学レンズの後方作動距離の測定方法 |
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