JP5569713B2 - 厚付け用の無電解銅めっき装置、厚付け用の無電解銅めっき方法及び多層プリント配線板の製造方法 - Google Patents
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Description
(1) 貫通孔を有する板状の被めっき体の複数枚を、間隔を開けて重ねて垂直方向に保持するラックと、このラックが浸漬されるめっき槽と、このめっき槽内の被めっき体下方に配置されたエア吐出配管と、前記ラックの駆動機構とを備える厚付け用の無電解銅めっき装置において、前記駆動機構が、前記ラックに垂直方向の衝撃を伴う振動を間欠的に与えつつ、前記ラックを前記被めっき体の表裏面側に交互に傾けるものであって、前記垂直方向の衝撃を伴う振動が、前記ラックが前記被めっき体の表裏面側のそれぞれに傾けられた状態で、所定の周期で間欠的に与えられる厚付け用の無電解銅めっき装置。
(2) 上記(1)において、被めっき体が表裏面側の何れかに傾けられたとき、この傾斜の内側となる面に沿って、エア吐出配管から吐出されたエアが移動し、このエア吐出配管からのエアの移動に伴って、めっき液が被めっき体の表裏面に沿って流れ、前記めっき液の流速が、被めっき体の表裏面によって異なることにより、貫通孔内のめっき液が前記傾斜の外側から傾斜の内側に向かって移動する厚付け用の無電解銅めっき装置。
(3) 上記(1)又は(2)において、ラックに与えられる垂直方向の衝撃を伴う振動が、1秒間〜10秒間に1回の上下動を1分間〜5分間継続後、この上下動を停止し静止した状態で所定時間保持することを1サイクルとして、このサイクルを20分間〜60分間に1回、周期的に繰り返すことにより、所定の周期で間欠的に行われる厚付け用の無電解銅めっき装置。
(4) 上記(1)から(3)の何れかにおいて、前記被めっき体の表裏面側への傾斜角が、3度から15度である厚付け用の無電解銅めっき装置。
(5) 上記(1)から(4)の何れかの厚付け用の無電解銅めっき装置を用いる厚付け用の無電解銅めっき方法であって、貫通孔を有する板状の被めっき体の複数枚を、間隔を開けて重ねて垂直方向に保持したラックを垂直に保持し、前記被めっき体の下方からエアレーションを行いながら、垂直方向の衝撃を伴う振動を被めっき体に所定の周期で間欠的に与える工程と、前記ラックを被めっき体の表裏面の一方側に所定傾斜角に傾けて保持し、前記被めっき体の下方からエアレーションを行いながら、垂直方向の衝撃を伴う振動を被めっき体に所定の周期で間欠的に与える工程と、前記ラックを被めっき体の表裏面の他方側に所定傾斜角に傾けて保持し、前記被めっき体の下方からエアレーションを行いながら、垂直方向の衝撃を伴う振動を被めっき体に所定の周期で間欠的に与える工程と、前記ラックを垂直に戻して保持し、前記被めっき体の下方からエアレーションを行いながら、垂直方向の衝撃を伴う振動を被めっき体に所定の周期で間欠的に与える工程と、を有する厚付け用の無電解銅めっき方法。
(6) 上記(5)において、被めっき体が表裏面側の何れかに傾けられたとき、この傾斜の内側となる面に沿って、エア吐出配管から吐出されたエアが移動し、このエア吐出配管からのエアの移動に伴って、めっき液が被めっき体の表裏面に沿って流れ、前記めっき液の流速が、被めっき体の表裏面によって異なることにより、貫通孔内のめっき液が前記傾斜の外側から傾斜の内側に向かって移動する厚付け用の無電解銅めっき方法。
(7) 上記(5)又は(6)において、ラックに与えられる垂直方向の衝撃を伴う振動が、1秒間〜10秒間に1回の上下動を1分間〜5分間継続後、この上下動を停止し静止した状態で所定時間保持することを1サイクルとして、このサイクルを20分間〜60分間に1回、周期的に繰り返すことにより、所定の周期で間欠的に行われる厚付け用の無電解銅めっき方法。
(8) 上記(5)から(7)の何れかにおいて、前記被めっき体の表裏面側への傾斜角が、3度から15度である厚付け用の無電解銅めっき方法。
(9) 上記(5)から(8)の何れかの厚付け用の無電解銅めっき方法を用いる、板厚が3.0mm以上でアスペクト比が15以上の多層プリント配線板の製造方法。
被めっき体として、縦横のサイズが500mm×600mmで、板厚が3.0mm、貫通孔の孔径0.2mm(アスペクト比15)の仕様の多層プリント配線板を準備した。基材として、MCL−E679(日立化成工業株式会社製、商品名)を用い、内層回路を形成した後に、プリプレグを介して銅箔を重ね、積層プレス機により加圧、加熱する工程を繰り返して作製したものを用いた。貫通孔の孔明けは、ドリルマシーンを用いて行い、一般的なアルカリ過マンガン酸を用いたデスミア処理を行なった。
被めっき体として、縦横のサイズが500mm×600mmで、板厚が4.0mm、貫通孔の孔径0.2mm(アスペクト比20)の仕様の多層プリント配線板を用いた以外は、実施例1と同様である。
被めっき体として、縦横のサイズが500mm×600mmで、板厚が5.0mm、貫通孔の孔径0.2mm(アスペクト比25)の仕様の多層プリント配線板を用いた以外は、実施例1と同様である。
無電解銅めっきを行う際の被めっき体の表裏面側への傾きの角度(傾斜角)を、3度とした以外は、実施例2と同様である。
無電解銅めっきを行う際の被めっき体の表裏面側への傾きの角度(傾斜角)を、15度とした以外は、実施例2と同様である。
動作(A)〜(C))における、それぞれの保持時間を20秒間とした以外は、実施例2と同様である。
動作(A)〜(C))における、それぞれの保持時間を40秒間とした以外は、実施例2と同様である。
振動の継続を3分間、振動を停止した静止状態での保持を17分間とすることで、サイクルの周期を20分間とした以外は、実施例2と同様である。
振動の継続を3分間、振動を停止した静止状態での保持を57分間とすることで、サイクルの周期を60分間とした以外は、実施例2と同様である。
図7に示すように、無電解銅めっきを行う際の被めっき体2の表裏面側への傾きの角度(傾斜角21)を、0度とした以外は、実施例2と同様である。即ち、本比較例は、ラックを垂直状態に保ったまま、傾斜を行なわず、振動だけを間欠的に加えた。
動作(A)〜(C))における、それぞれの保持時間を60秒間とした以外は、実施例2と同様である。
振動の継続を3分間、振動を停止した静止状態での保持を87分間とすることで、サイクルの周期を90分間とした以外は、実施例2と同様である。
Claims (9)
- 貫通孔を有する板状の被めっき体の複数枚を、間隔を開けて重ねて垂直方向に保持するラックと、このラックが浸漬されるめっき槽と、このめっき槽内の被めっき体下方に配置されたエア吐出配管と、前記ラックの駆動機構とを備える厚付け用の無電解銅めっき装置において、前記駆動機構が、前記ラックに垂直方向の衝撃を伴う振動を間欠的に与えつつ、前記ラックを前記被めっき体の表裏面側に交互に傾けるものであって、前記垂直方向の衝撃を伴う振動が、前記ラックが前記被めっき体の表裏面側のそれぞれに傾けられた状態で、所定の周期で間欠的に与えられる厚付け用の無電解銅めっき装置。
- 請求項1において、被めっき体が表裏面側の何れかに傾けられたとき、この傾斜の内側となる面に沿って、エア吐出配管から吐出されたエアが移動し、このエア吐出配管からのエアの移動に伴って、めっき液が被めっき体の表裏面に沿って流れ、前記めっき液の流速が、被めっき体の表裏面によって異なることにより、貫通孔内のめっき液が前記傾斜の外側から傾斜の内側に向かって移動する厚付け用の無電解銅めっき装置。
- 請求項1又は2において、ラックに与えられる垂直方向の衝撃を伴う振動が、1秒間〜10秒間に1回の上下動を1分間〜5分間継続後、この上下動を停止し静止した状態で所定時間保持することを1サイクルとして、このサイクルを20分間〜60分間に1回、周期的に繰り返すことにより、所定の周期で間欠的に行われる厚付け用の無電解銅めっき装置。
- 請求項1から3の何れかにおいて、前記被めっき体の表裏面側への傾斜角が、3度から15度である厚付け用の無電解銅めっき装置。
- 請求項1から4の何れかの厚付け用の無電解銅めっき装置を用いる厚付け用の無電解銅めっき方法であって、
貫通孔を有する板状の被めっき体の複数枚を、間隔を開けて重ねて垂直方向に保持したラックを垂直に保持し、前記被めっき体の下方からエアレーションを行いながら、垂直方向の衝撃を伴う振動を被めっき体に所定の周期で間欠的に与える工程と、
前記ラックを被めっき体の表裏面の一方側に所定傾斜角に傾けて保持し、前記被めっき体の下方からエアレーションを行いながら、垂直方向の衝撃を伴う振動を被めっき体に所定の周期で間欠的に与える工程と、
前記ラックを被めっき体の表裏面の他方側に所定傾斜角に傾けて保持し、前記被めっき体の下方からエアレーションを行いながら、垂直方向の衝撃を伴う振動を被めっき体に所定の周期で間欠的に与える工程と、
前記ラックを垂直に戻して保持し、前記被めっき体の下方からエアレーションを行いながら、垂直方向の衝撃を伴う振動を被めっき体に所定の周期で間欠的に与える工程と、を有する厚付け用の無電解銅めっき方法。 - 請求項5において、
被めっき体が表裏面側の何れかに傾けられたとき、この傾斜の内側となる面に沿って、エア吐出配管から吐出されたエアが移動し、このエア吐出配管からのエアの移動に伴って、めっき液が被めっき体の表裏面に沿って流れ、前記めっき液の流速が、被めっき体の表裏面によって異なることにより、貫通孔内のめっき液が前記傾斜の外側から傾斜の内側に向かって移動する厚付け用の無電解銅めっき方法。 - 請求項5又は6において、ラックに与えられる垂直方向の衝撃を伴う振動が、1秒間〜10秒間に1回の上下動を1分間〜5分間継続後、この上下動を停止し静止した状態で所定時間保持することを1サイクルとして、このサイクルを20分間〜60分間に1回、周期的に繰り返すことにより、所定の周期で間欠的に行われる厚付け用の無電解銅めっき方法。
- 請求項5から7の何れかにおいて、前記被めっき体の表裏面側への傾斜角が、3度から15度である厚付け用の無電解銅めっき方法。
- 請求項5から8の何れかの厚付け用の無電解銅めっき方法を用いる、板厚が3.0mm以上でアスペクト比が15以上の多層プリント配線板の製造方法。
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