JP5569687B2 - 評価指標算出装置、評価指標算出プログラム、記憶媒体 - Google Patents
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Description
総重み係数=Σt=1 mWt
評価指標=((ΣSDi)/SS)×(総重み係数+1)
により評価指標を求めるとよい。ここで、総重み係数を算出する際のmは、m=nでもよいし、いくつかの欠陥に限って第1重み係数を加算することとして1≦m<nの範囲で決定してもよい。例えば大きさの順に欠陥を選択するとよい。別の具体例としては、
評価指標=(ΣSDi・Wi)/SS
で評価指標を求めてもよい。
総重み係数=Σt=1 mWt
評価指標=((ΣSDi)/SS)×(総重み係数+1)×w
により評価指標を求めるとよい。ここで、総重み係数を算出する際のmについては第1の実施の形態における動作例で説明した通りである。別の具体例としては、
評価指標=(ΣSDi・Wi)・w/SS
で評価指標を求めてもよい。
Claims (7)
- 画像中の検査の対象となる検査領域の面積を算出する検査領域面積算出手段と、前記検査領域に存在する欠陥の面積を算出する欠陥面積算出手段と、人間の検出感度特性に対応して前記欠陥の面積がある区間において増加するに従って大きくなる第1重み係数を前記欠陥ごとに設定する第1重み係数設定手段と、前記第1重み係数設定手段で設定した第1重み係数の総和と前記欠陥面積算出手段で算出した欠陥の面積の総和及び前記検査領域面積算出手段で算出した検査領域の面積、あるいは、前記第1重み係数と前記欠陥の面積との積の総和及び前記検査領域の面積を用いて、前記検査領域の欠陥の度合いを示す評価の指標である評価指標を算出する評価指標算出手段を有することを特徴とする評価指標算出装置。
- 前記第1重み係数設定手段は、前記欠陥の明度を用いて前記第1重み係数を設定することを特徴とする請求項1に記載の評価指標算出装置。
- さらに、前記画像における明度に関する特徴に対応する第2重み係数を設定する第2重み係数設定手段を有し、前記評価指標算出手段は、さらに前記第2重み係数設定手段で設定した第2重み係数による重み付けを行って前記評価指標を算出することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の評価指標算出装置。
- 前記第2重み係数設定手段は、前記検査領域とそれ以外の領域とのコントラストを用いて前記第2重み係数を設定することを特徴とする請求項3に記載の評価指標算出装置。
- 画像中の検査の対象となる検査領域の面積を算出する検査領域面積算出手段と、前記検査領域に存在する欠陥の面積を算出する欠陥面積算出手段と、前記画像における前記検査領域とそれ以外の領域とのコントラストが大きいほど大きな値となる第2重み係数を設定する第2重み係数設定手段と、前記欠陥面積算出手段で算出した欠陥の面積及び前記検査領域面積算出手段で算出した検査領域の面積を用いて算出された値に前記第2重み係数設定手段で設定した第2重み係数による重み付けを行って前記検査領域の欠陥の度合いを示す評価の指標である評価指標を算出する評価指標算出手段を有することを特徴とする評価指標算出装置。
- コンピュータに、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の評価指標算出装置の機能をコンピュータに実行させるものであることを特徴とする評価指標算出プログラム。
- 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の評価指標算出装置の機能をコンピュータに実行させる評価指標算出プログラムを格納したことを特徴とするコンピュータが読取可能な記憶媒体。
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