JP5560375B2 - 振動式メータの振動式センサーコンポーネントの温度を求めるための方法および装置 - Google Patents

Description

本発明は、振動式メータに関するものであり、とくに振動式メータの振動式センサーコンポーネントの温度を求めるための方法および装置に関するものである。

たとえばデンシトメータおよびコリオリフローメータの如き振動式センサーが、公知となっており、導管を流れる物質の質量流量および他の情報を測定するために用いられている。この物質は流れていてもよいしまたは静止していてもよい。典型的なコリオリフローメータは、Ｊ．Ｅ．スミスらへそのすべてが付与されている米国特許第４，１０９，５２４号、米国特許第４，４９１，０２５号およびＲｅ第３１，４５０号に開示されている。これらのフローメータは、直線構造または曲線構造を備えた１つ以上の導管を有している。コリオリ式質量フローメータの各導管構造は、単純曲げモード、ねじれモードまたはそれらを組み合わせタイプでありうる一組の固有振動モードを有している。好ましいモードで振動するように各導管を振動させることができる。

物質は、フローメータの流入口側に接続されている配管からフローメータの中に流れ込み、１つ以上の導管を通り、フローメータの流出口側から流出する。物質が充填されている振動するシステムの固有振動モードは、導管の質量および導管内を流れる物質の質量の合計により部分的に決まる。

フローメータになにも流れていないとき、振動力が導管に加えられると、導管に沿ったすべての部位が、同一の位相で振動するか、または僅かな時間だけ遅れて振動する。このゼロ流量で測定される時間遅れを「ゼロオフセット」と呼ぶ。フローメータを物質が流れ始めると、コリオリ力により、導管に沿った各ポイントが異なる位相を有するようになる。たとえば、フローメータの流入口端部の位相は中央のドライバの位置の位相より遅れており、流出口の位相は中央のドライバの位置の位相よりも進んでいる。導管上のピックオフセンサーは当該導管の運動を表す正弦波信号を発生する。ピックオフセンサーから出力される信号が処理されてピックオフセンサー間の位相差が求められる。２つ以上のピックオフセンサー間の時間遅れは、導管を流れる物質の質量流量に比例する。

ドライバに接続されているメータ電子機器は、ドライブ信号を出力してドライバを動作させ、またピックオフセンサーから受け取られる信号から材料の質量流量およびその他の特性を求める。ドライバは、複数の周知の構成のうちの１つの構成を有しうる。しかしながら、磁石および対向するドライブコイルは、振動メータ産業において非常に高い評価を受けている。適切なドライブコイルおよび磁石の構成としては、米国特許第７，６２８，０８３号、米国特許第７，２８７，４３８号に記載されている。これらの特許は、マイクロモーション社に付与されており、それらの内容は、ここで参照することにより本明細書に援用されるものとする。交流が、ドライブコイルに流され、所望のフローチューブの振幅および振動数で導管を振動させる。また、上述のドライバの構成と類似したマグネットとコイルとからなる構成のようにピックオフセンサーを形成することも当該技術分野において知られている。しかしながら、ドライバが運動を引き起こす電流を受け取り、ピックオフセンサーはドライバによって引き起こされる運動を利用して電圧を誘発することができる。ピックオフセンサーによって測定される時間遅れの大きさは非常に小さく、ナノセカンド単位で測られることが多い。したがって、トランスデューサの出力が非常に正確であることが必要となる。

図１には、フローメータ１０とメータ電子機器２０とを有しているコリオリフローメータの形態をとる従来の振動式センサー組立体５の一例が示されている。メータ電子機器２０は、フローメータ１０へ接続され、たとえば密度、質量流量、体積流量、総合質量流量、温度および他の情報の如き流動物質の特性を測定する。

フローメータ１０は、一対のフランジ１０１、１０１’と、一対のマニホールド１０２、１０２’と、一対の導管１０３Ａ、１０３Ｂとを有している。マニホールド１０２、１０２’は、導管１０３Ａ、１０３Ｂの両側の端部に固定されている。従来のコリオリフローメータのフランジ１０１および１０１’は、スペーサ１０６の両端に固定されている。スペーサ１０６は、導管１０３Ａ、１０３Ｂ内の不必要な振動を防止するためにマニホールド１０２とマニホールド１０２’との間の間隔を維持する。導管１０３Ａ、１０３Ｂは、マニホールドから外側に向けてほぼ並列に延出している。流動物質を運ぶ配管システム（図示せず）の中にフローメータ１０が挿入されると、流動物質がフランジ１０１を通ってフローメータ１０の中に流入し、流入口マニホールド１０２を通り、ここで流動物質の全量が導管１０３Ａ、１０３Ｂの中に流され、導管１０３Ａ、１０３Ｂを流れ、流出口マニホールド１０２’の中へ流れ込み、ここでフランジ１０１’からフローメータ１０の外へと流出する。

従来のフローメータ１０はドライバ１０４を備えている。ドライバ１０４は、当該ドライバ１０４が導管１０３Ａ、１０３Ｂをたとえばドライブモードで振動させることができる位置で導管１０３Ａ、１０３Ｂに固定されている。さらに具体的にいえば、ドライバ１０４は、導管１０３Ａに固定される第一のドライブコンポーネント（図示せず）と、導管１０３Ｂに固定される第二のドライブコンポーネント（図示せず）とを有している。ドライバ１０４は、コイルが導管１０３Ａに取り付けられ、対向するマグネットが導管１０３Ｂに取り付けられる構成のような複数の周知の構成のうちの１つの構成を有していてもよい。

従来のコリオリフローメータの本実施形態では、ドライブモードは、第一の逆位相曲げモードである。導管１０３Ａ、１０３Ｂは、それぞれ、曲げ軸線Ｗ−ＷおよびＷ’−Ｗ’に対して実質的に同一の質量分布、慣性モーメントおよび弾性モジュールを有するバランスの取れたシステムを提供するように、選択され、流入口マニホールド１０２および流出口マニホールド１０２’に適切に取り付けられることが好ましい。ドライブモードが第一の逆位相曲げモードである本実施形態では、導管１０３Ａおよび導管１０３Ｂは、それぞれの対応する曲げ軸線Ｗおよび曲げ軸線Ｗ’を中心として、互に逆方向に向けてドライバ１０４によって振動させられるようになっている。交流の形態を有しているドライブ信号が、たとえば経路１１０を介して電子機器２０によって提供され、コイルを通り抜けて両方の導管１０３Ａ、１０３Ｂの振動を引き起こすようになっている。当業者にとって明らかなように、従来のコリオリフローメータにより他のドライブモードが用いられてもよい。

図示されているフローメータ１０は、導管１０３Ａ、１０３Ｂに固定されている一対のピックオフ１０５、１０５’を有している。さらに具体的にいえば、第一のピックオフコンポーネント（図示せず）が導管１０３Ａの位置に設けられ、第二のピックオフコンポーネント（図示せず）が導管１０３Ｂの位置に設けられている。図示されている実施形態では、ピックオフ１０５、１０５’は、導管１０３Ａ、１０３Ｂの速度および位置を表わすピックオフ信号を生じるたとえばピックオフマグネットおよびピックオフコイルである電磁検出器であってもよい。たとえば、ピックオフ１０５、１０５’は、経路１１１、１１１’を通じて電子機器２０へピックオフ信号を送信するようになっていてもよい。当業者にとって明らかなように、導管１０３Ａ、１０３Ｂの運動は、流動物質のなんらかの特性、たとえば導管１０３Ａ、１０３Ｂを流れる物質の質量流量および密度に比例している。

図１に示されている実施形態では、メータ電子機器２０は、ピックオフ１０５、１０５’からピックオフ信号を受信するようになっている。経路２６は、１つ以上の電子機器２０にオペレータと通信させることを可能とする入力手段および出力手段を提供している。メータ電子機器２０は、たとえば位相差、周波数、時間遅延、密度、質量流量、体積流量、総合質量流量、温度、メータ検証、および他の情報の如き流動物質の特性を測定する。さらに具体的にいえば、メータ電子機器２０は、たとえばピックオフ１０５、１０５’および１つ以上の温度センサー１３０から１つ以上の信号を受け取るようになっている。

コリオリフローメータによって達成可能な比較的小さな位相遅れおよび非常に正確な測定により、１つ以上のフロー導管のうちの少なくとも１つの導管の温度は、抵抗型温度検出器（ＲＴＤ）１３０の如き温度計測デバイスを用いて通常測定される。プロセス物質の温度が急速に変わるものでない限り、フロー導管の温度は、プロセス物質の温度と関連し、流体、ＲＴＤおよび周囲温度の間の熱インピーダンスに比例する。したがって、導管の温度を測定することができる場合、個々の用途に依存しうる確実性の許容範囲内で流体の温度を求めることができる。したがって、従来のコリオリフローメータ１０の如き従来の振動式メータは、周知のＲＴＤ１３０を用いてフロー導管の温度測定が行われている。従来のシステムでは、導管、導管を覆うケース、ブレースバーなどの温度測定値を得るために、複数のＲＴＤを用いて複数の測定値が得られている。

ＲＴＤは、正確な温度測定値を提供するものとして広く受け入れられている。ＲＴＤは以下のように動作する。すなわち、ＲＴＤに電力が供給され、ＲＴＤの抵抗が算出される。このことは、通常、ＲＴＤに既知の電流を流して発生する電圧を測定することにより抵抗を計算することによって達成される。ＲＴＤの抵抗は温度に正比例している。たとえば、ほとんどのＲＴＤが、０．００３９／度の比較的線形の抵抗温度係数を有している白金から形成されている。したがって、ＲＴＤの測定抵抗に基づいて温度が求められるようにＲＴＤを正確に校正することができる。ＲＴＤは、正確で、安定していて、かなり線形であるという長所を有し、温度範囲も広い。しかしながら、ＲＴＤを使用する場合の主要な問題のうちの一つは、ＲＴＤの運用に起因するコスト高である。コストの増大は、ＲＴＤ自体に起因することに加えて、ＲＴＤでは通常信号レベルが低いためにその信号を処理することにも起因する。ＲＴＤに関連するコストの増大を正当化できる状況もあれば、ＲＴＤによってもたらされるような温度測定値の変動がないことや精度が高いということを必要としない状況もある。このような１つの例は、プロセス流体の温度が比較的安定しているような状況である。このような状況ではＲＴＤは必要ないかもしれない。というのは、予想される温度範囲が比較的制限されており、密度または体積の測定と比較して温度の影響が小さいからである。

したがって、当該技術分野には、既存のセンサーコンポーネントを用いて振動式メータの導管のうちの少なくとも１つの導管の温度を測定する必要性が存在する。すなわち、従来のコリオリフローメータ１０のＲＴＤ１３０の如き追加のコンポーネントを必要とすることなく温度を測定する必要性が存在する。本発明は、これらおよび他の課題を克服し、当該技術分野の進歩を実現するものである。

本発明のある実施形態に従って、振動式メータの導管と結合される振動式センサーコンポーネントの温度を求めるための方法が提供されている。かかる方法は、振動式センサーコンポーネントに温度決定信号を送るステップと、発生信号を測定するステップとを有している。本発明のある実施形態によれば、かかる方法は、温度決定信号および発生信号に基づいてセンサーコンポーネントの温度を求めるステップをさらに有している。

本発明のある実施形態に従って、振動式センサーの導管と結合されるセンサーコンポーネントの電圧／電流比と温度との間の相関関係を作成する方法が提供されている。かかる方法は、センサーコンポーネントに試験信号を送るステップを有している。かかる方法は、第一の発生信号を測定するステップと、試験信号および発生信号に基づいての第一の電圧／電流比を求めるステップとをさらに有している。本発明のある実施形態によれば、かかる方法は、センサーコンポーネントの第一の温度を測定するステップと、求められた第一の電圧／電流比を測定された第一の温度と共に格納するするステップとを有している。

本発明のある実施形態に従って、１つ以上の導管と、１つ以上の導管と結合される１つ以上のセンサーコンポーネントとを備える振動式メータ用のメータ電子機器が提供されている。かかるメータ電子機器は、１つ以上のセンサーコンポーネントのうちの１つのセンサーコンポーネントに温度決定信号を送るように構成される処理システムを備えている。かかる処理システムは、発生信号を測定するようにさらに構成されている。本発明のある実施形態によれば、かかる方法は、温度決定信号および発生信号に基づいてセンサーコンポーネントの温度を求めるようにさらに構成されている。
態様
本発明のある態様によれば、振動式メータの導管と結合される振動式センサーコンポーネントの温度を求めるための方法は、振動式センサーコンポーネントに温度決定信号を送るステップと、発生信号を測定するステップと、温度決定信号および発生信号に基づいてセンサーコンポーネントの温度を求めるステップとを有している。

好ましくは、センサーコンポーネントの温度を求めるステップは、温度決定信号および測定された発生信号から電圧／電流比を求めるステップと、 求められた電圧／電流比と温度との間の相関関係に基づいてセンサーコンポーネントの温度を求めるステップとを有している。

好ましくは、温度決定信号は、プロセス流体を含む、振動式メータの導管の共振周波数と実質的に等しい周波数を有する交流であり、かかる方法は、前もって決められた時間、温度決定信号を取り除くステップと、電圧を測定するステップと、逆起電力を求めるステップと、電圧／電流比を逆起電力について補償するステップとを有している。

好ましくは、温度決定信号は、プロセス流体を含む、振動式メータの導管の共振周波数とは異なる周波数を有する交流である。

好ましくは、温度決定信号は、プロセス流体を含む、振動式メータの導管の共振周波数と実質的に等しい周波数を有する交流である。

好ましくは、温度決定信号が交流であり、発生信号が電圧である。

好ましくは、温度決定信号が一定電圧であり、発生信号が電流である。

好ましくは、センサーコンポーネントはドライバコイルである。

好ましくは、センサーコンポーネントはピックオフセンサーコイルである。

本発明の他の態様によれば、振動式センサーの導管と結合されるセンサーコンポーネントの電圧／電流比と温度との間の相関関係を作成する方法は、センサーコンポーネントに試験信号を送るステップと、第一の発生信号を測定するするステップと、試験信号および発生信号に基づいて第一の電圧／電流比を求めるステップと、センサーコンポーネントの第一の温度を測定するするステップと、 求められた第一の電圧／電流比を測定された第一の温度と共に格納するするステップとを有している。

好ましくは、かかる方法は、センサーコンポーネント第二の温度を測定するステップと、 センサーコンポーネントの第二の温度が第一の温度から量閾値を超えて変化している場合、第二の発生信号を測定して少なくとも第二の電圧／電流比を求めるステップと、第二の電圧／電流比を第二の温度と共に格納するステップとをさらに有している。

好ましくは、センサーコンポーネントはドライバコイルである。

好ましくは、センサーコンポーネントはピックオフセンサーコイルある。

好ましくは、試験信号が交流であり、発生信号が発生電圧である。

好ましくは、試験信号が一定電圧であり、発生信号は発生電流である。

本発明の他の態様によれば、振動式メータ用のメータ電子機器は、１つ以上の導管と、当該１つ以上の導管と結合される１つ以上のセンサーコンポーネントと、処理システムとを備えており、当該処理システムが、１つ以上のセンサーコンポーネントのうちの１つのセンサーコンポーネントに温度決定信号を送り、発生信号を測定し、温度決定信号および発生信号に基づいてセンサーコンポーネントの温度を求めるように構成されている。

好ましくは、かかる処理システムは、温度決定信号および発生信号に基づいて電圧／電流比を求め、 求められた電圧／電流比と温度との間の相関関係に基づいてセンサーコンポーネントの温度を求めるように構成されている。

好ましくは、温度決定信号は、プロセス流体を含む、振動式メータの導管の共振周波数と実質的に等しい周波数を有する交流であり、処理システムは、前もって決められた時間、温度決定信号を取り除き、電圧を測定し、逆起電力を求め、 電圧／電流比を逆起電力について補償するようにさらに構成されている。

好ましくは、温度決定信号は、プロセス流体を含む、振動式メータの導管の共振周波数と異なる周波数を有する交流である。

好ましくは、温度決定信号は、プロセス流体を含む、振動式メータの導管の共振周波数と実質的に等しい周波数を有する交流である。

好ましくは、温度決定信号が交流であり、発生信号が電圧である。

好ましくは、温度決定信号が一定電圧であり、発生信号が電流である。

好ましくは、センサーコンポーネントはドライブコイルである。

好ましくは、センサーコンポーネントはピックオフコイルである。

従来のコリオリセンサー組立体を示す図である。 本発明のある実施形態にかかる振動式メータを示す図である。 本発明のある実施形態にかかるメータ電子機器を示す図である。 本発明のある実施形態にかかる温度決定ルーチンを示す図である。 本発明のある実施形態にかかるドライブコイルについての抵抗と温度との間の関係を示すグラフである。 本発明のある実施形態にかかるドライブ信号温度ルーチンを示す図である。 本発明のある実施形態にかかる温度相関ルーチンを示す図である。

図２〜図７および下記の記載には、本発明を最良のモードで実施および利用する方法を当業者に教示するための具体的な実施形態が示されている。本発明の原理を教示するために、従来技術の一部が単純化または省略されているものもある。当業者にとって明らかなように、これらの実施形態の変形例もまた本発明の技術範囲内に含まれる。また、当業者にとって明らかなように、以下の記載の構成要素をさまざまな方法で組み合わせて本発明の複数の変形例を形成することもできる。したがって、本発明は、以下の記載の特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲およびその均等物によってのみ限定されるものである。

図２には、センサー組立体２１０と１つ以上のメータ電子機器２２０とを有しているメータの形態をとる振動式メータ２００が示されている。振動式メータ２００は、コリオリフローメータ、体積フローメータ、振動式デンシトメータなどであってもよい。したがって、本発明はコリオリフローメータに限定されるべきではない。メータ電子機器２２０は、リード線２１５を介してセンサー組立体２１０へ接続され、たとえば流体密度、質量流量、体積流量、総合質量流量、温度、および、パス２２６を介した他の情報の如き物質の１つ以上の特性を測定するようになっている。従来のフローメータ５と共通するコンポーネントは、同様の参照番号が用いられるが、その場合、「１」ではなく「２」から始まる番号である。たとえば、従来の導管が１０３Ａおよび１０３Ｂの符号が付けられている場合、本発明の導管は２０３Ａおよび２０３Ｂの符号が付けられる。

さらに、ドライバ２０４は、第一の部分２０４Ａと第二の部分２０４Ｂとを含むように示されている。１つの例示の実施形態では、第一の部分２０４Ａがコイルであり、第二の部分２０４Ｂが磁石である。第一の部分２０４Ａおよび第二の部分２０４Ｂは、ろう付、ボンディング、溶接、接着剤、メカニカルファスナーなどの如き周知の技術によって導管２０３Ａおよび導管２０３Ｂとそれぞれ結合される。いうまでもなく、第一の部分２０４Ａおよび第二の部分２０４Ｂは、マグネット−コイルの組み合わせに限定されるわけではなく、電気的ドライブ信号を受け取り、下記に述べられるように温度に関連付け可能な電気抵抗を提供する他の公知のドライバシステムから構成されていてもよい。他の実施形態は圧電型ドライブシステムから構成されてもよい。したがって、明細書ではドライバおよびピックオフコイル２０４Ａ、２０５Ａ、２０５’Ａについて説明されているが、いうまでもなく、他のタイプのセンサーコンポーネントが用いられてもよい。ドライバ２０４が２つの別個のコンポーネントを含むように示されていることに加えて、ピックオフセンサー２０５、２０５’が第一の部分２０５Ａ、２０５’Ａと第二の部分２０５Ｂ、２０５’Ｂを含むように示されている。ドライバ２０４と同様に、ピックオフセンサー２０５、２０５’は、マグネット−コイルの組み合わせで、コイルが第一の部分２０５Ａ、２０５’Ａであり、磁石が第二の部分２０５Ｂ、２０５’Ｂであってもよい。

振動式メータ２００が２つの導管２０３Ａ、２０３Ｂを有しているように示されているが、いうまでもなく、振動式メータ２００は２つの導管よりも少ない数または多い数の導管を有していてもよい。たとえば、振動式メータ２００が単一導管システムである場合、たとえば、ドライバおよびピックオフの第一の部分２０４Ａ、２０５Ａ、２０５’Ａを導管と結合させることができ、第二の部分２０４Ｂ、２０５Ｂ、２０５’Ｂを静止物と結合させることができる。したがって、ドライバ２０４およびピックオフ２０５、２０５’のうちの、リード線２１０、２１１、２１１’を介してメータ電子機器２２０と通信する部分を単一導管と結合させることができる。さらに、２つの導管２０３Ａ、２０３Ｂが、湾曲した導管であるように示されているが、振動式メータ２００は真っ直ぐな導管形状を有していてもよい。

振動式メータ２００は、導管２０３Ａ、２０３Ｂのうちの１つ以上の導管の温度を測定すること以外は従来のフローメータ５とほとんど同様に動作する。上述のように、従来の振動式メータは、導管とＲＴＤを結合させ、ＲＴＤに電流を流し、生じた電圧を測定することにより温度を求めるようになっている。電流を流して生じた電圧は、ＲＴＤの抵抗を求めるのに用いられる。次いで、ＲＴＤの抵抗は特定温度に関連づけされる。図面から分かるように、本発明にかかる振動式メータ２００はＲＴＤを有していない。有利なことには、ＲＴＤ、配線および回路と関連するコストが必要でなくなる。しかしながら、本発明の振動式メータ２００の場合において、温度測定が必要となる場合もある。本発明のある実施形態によれば、下記に詳細に記載されているような複数のセンサーコンポーネントのうちの１つ以上のセンサーコンポーネントの温度を求めることにより温度測定を実現することが可能となる。本出願において用いられる用語「センサーコンポーネント」は、振動する導管２０３Ａ、２０３Ｂのうちの１つ以上の導管に対して振動を課するまたは振動する導管２０３Ａ、２０３Ｂのうちの１つ以上の導管からの振動を受けるために用いられるトランスデューサのことである。センサーコンポーネントとしては、ドライブコイル２０４、ピックオフコイル２０５Ａ、２０５’Ａの如きピックオフコイル、フォトダイオードピックオフセンサー、圧電型ドライバなどが挙げられる。振動式センサーコンポーネント２０４Ａ、２０５Ａ、２０５’Ａのうちの少なくとも１つの振動式センサーコンポーネントの温度は、メータ電子機器２２０によって提供されるような１つ以上のオペレーティングルーチンによって求めることができる。センサーコンポーネントの温度から、導管２０３Ａ、２０３Ｂおよび導管２０３Ａ、２０３Ｂ内のプロセス流体の温度を求めることができる。

図３には、本発明のある実施形態にかかるメータ電子機器２２０が示されている。メータ電子機器２２０は、インタフェース３０１と、処理システム３０３とを有しうる。処理システム３０３は格納システム３０４を有しうる。格納システム３０４は、図示されているような内部メモリーを有していてもよいし、またはそれに代えて、外部メモリーを有していてもよい。メータ電子機器２２０は、ドライブ信号３１１を発生し、このドライブ信号３１１をドライバ２０４、さらに詳細にいえば、図２示されているリード線２１０を介してドライブコイル２０４Ａへ送ることができる。メータ電子機器２２０は、温度決定信号３１３を発生し、この温度決定信号３１３をドライブコイル２０４Ａへ送ることができる。それに加えて、メータ電子機器２２０は、図２に示されているリード線２１１、２１１’を介してフローメータ２１０から、すなわち、ピックオフセンサー２０５、２０５’などからセンサー信号３１０を受け取ることができる。実施形態によっては、センサー信号３１０はドライバ２０４から受け取られる場合もある。このような構成は、マイクロモーション社に付与されている米国特許第６，２３０，１０４号により明らかであり、その内容はここで参照することによって本明細書に援用されるものとする。メータ電子機器２２０は、デンシトメータとして動作することもできるし、または、コリオリ質量流量メータとして動作することもできる。いうまでもなく、メータ電子機器２２０は、他のタイプの振動式センサー組立体として動作してもよく、どのような具体例が示されるかによって本発明の技術範囲が限定されるべきでない。メータ電子機器２２０は、導管２０３Ａ、２０３Ｂを流れる物質の１つ以上のフロー特性を求めるためにセンサー信号３１０を処理することができる。実施形態によっては、メータ電子機器２２０は、ドライバ２０４およびピックオフ２０５、２０５’のうちの１つ以上のこれらの温度を求めるために、センサー信号３１０を処理して電圧／電流比（Ｖ／Ｉ）を求めるようになっていてもよい。

インタフェース３０１は、リード線２１０、２１１、２１１’を介して、ドライバ２０４またはピックオフセンサー２０５、２０５’からセンサー信号３１０を受け取ることができる。インタフェース３０１は、いかなるフォーマッティング、増幅、バッファリングなどの如きいかなる必要なまたは所望の信号調節を行なうようになっていてもよい。あるいは、信号調節のうちの一部または全部を処理システム３０３において行なうようにすることもできる。それに加えて、インタフェース３０１は、メータ電子機器２２０と外部デバイスとの間の通信を可能とする。インタフェース３０１は、いかなる電子通信、光学通信または無線通信を可能とすることもできる。

一つの実施形態におけるインタフェース３０１は、センサー信号３１０がアナログセンサー信号であるデジタイザー（図示せず）を有することができる。デジタイザーは、アナログセンサー信号をサンプリングし、デジタル化されたセンサー信号を生じることができる。また、デジタイザーは、必要とされる信号処理量を減らして処理時間を短縮するようにデジタルセンサー信号が縮小（ｄｅｃｉｍａｔｅｄ）されるいかなる必要なデシメーションをも実行することもできる。

処理システム３０３は、メータ電子機器２２０のオペレーションを行うことができ、また、フローメータ２１０からのフロー測定結果を処理することもできる。処理システム３０３は、温度決定ルーチン３１３、ドライブ信号温度ルーチン３１８および温度相関ルーチン３２０の如き１つ以上の処理ルーチンを実行し、温度補償された１つ以上の流れ特性を求めるためにフロー測定結果を処理することができる。

処理システム３０３は、汎用コンピュータであってもよいし、マイクロプロセッシングシステムであってもよいし、論理回路であってもよいし、または他のなんらかの汎用のもしくはカスタム化された処理デバイスであってもよい。処理システム３０３は複数の処理デバイス間に分散されるようになっていてもよい。処理システム３０３は、格納システム３０４の如きいかなる統合されたまたは独立した電子格納媒体を有していてもよい。

いうまでもなく、メータ電子機器２２０は、当該技術分野において公知となっているさまざま他の構成要素および機能を有するようになっていてもよい。便宜上、これらさらなる特徴は明細書および図面からは省略されている。したがって、記載のまたは説明されている特定の実施形態によって本発明が限定されるべきではない。

処理システム３０３は、たとえば質量流量または体積流量の如きさまざまなフロー特性を演算するので、プロセス流体、導管２０３Ａ、２０３Ｂまたはその両方の温度変化に起因して、演算された特性には誤差がある恐れがある。たとえば、導管の温度の変化は、式（１）に基づいて質量流量を演算するために用いられるメータのフロー校正係数（ＦＣＦ）に影響を与えてしまう場合がある。

ここで、［数１］は質量流量を示すものであり、ＦＣＦはフロー校正であり、Δｔ_{ｍｅａｓｕｒｅｄ}は、ピックオフ２０５とピックオフ２０５’との間の測定時間遅れであり、Δｔ_０は、ゼロフローにおけるピックオフとピックオフとの間の初期時間遅れである。

フロー校正係数は、たとえば導管２０３Ａ、２０３Ｂの弾性率によって影響を受ける。導管２０３Ａ、２０３Ｂの弾性率は温度とともに変化する。したがって、導管２０３Ａ、２０３Ｂの温度が考慮に入っていなかった場合、フロー校正係数が正確ではない可能性があり、流量計測結果が不正確なものとなる。

図１に関して先に記載したように、振動式メータ２００の動作時、メータ電子機器２２０は、ドライバ２０４のコイルを励磁するために、交流の形態を通常有するドライブ信号３１１をパス２１０を介して提供することができる。ＲＴＤと同様に、ドライバ２０４に用いられるコイル２０４Ａの抵抗が温度とともに変わるので、導管２０３Ａ、２０３Ｂのうちの１つの導管と結合されるコイルの抵抗（または交流を用いた場合、インピーダンス）を求めることができれば、コイルの温度についても、前に算出された相関関係に基づいて求めることができる。いったんシステムが定常状態に達すると、コイルの温度は、導管２０３Ａ、２０３Ｂの温度と実質的に等しくなる。導管がたとえばメータケース（図示せず）によって完全に隔離されている場合、定常状態を早く達成することができる。いったんプロセス流体の温度について定常状態に到達すれば、導管２０３Ａ、２０３Ｂの温度は、プロセス流体の温度と実質的に等しくなりうる。

一つの実施形態によれば、ドライブ信号３１１および／または温度決定信号３１３の形態を有する交流により励起される回路としてドライバ２０４およびリード線２１０を記載することができる。オームの法則によれば、回路に交流が加えられると、生じる電圧は、回路のインピーダンス、この場合ドライバコイル２０４Ａのインピーダンスに依存して異なる。このことは式（２）から分かる。

この式で、Ｖは電圧であり、Ｒは抵抗であり、ｊは−１の平方根であり、ｆは交流の周波数であり、Ｌはコイル２０４Ａのインダクタンスであり、Ｉは電流である。

インピーダンス（Ｒ＋ｊ２πＬ）を求めるために式（２）を解くことができる。

本発明の他の実施形態によれば、交流ではなく直流でコイルを励磁することができる。いうまでもなく、直流を用いた場合にはＤＣ信号がインダクタンスを生じることはないので、式（２）は式（３）まで簡略化することができる。

本発明の他の実施形態によれば、交流をドライブコイル２０４Ａに流す場合に計算を単純化させるために、誘導リアクタンスの項（ｊ２πｆＬ）を無視することができる。このことは、交流の周波数が比較的小さく、それにより抵抗項が著しく大きくなる場合に容認可能となる。たとえば、典型的なドライブ信号３１１は約２５０Ｈｚであるが、温度を求めるためにコイルに送られる信号が約１００Ｈｚまで減らされた場合、誘導リアクタンス項が無視されてもよい。したがって、インピーダンスは抵抗へと単純化できることが多いので、特に断りのない限り、ＡＣ信号が提供されている場合であっても、明細書の後述の部分では、電圧／電流比（Ｖ／Ｉ）を「抵抗」の点から記載する。当業者にとって明らかなように、より高い精度が望まれる場合、コイル２０４Ａのインダクタンスを次の方法によって考慮に入れることができる：たとえば、加えられた信号に対する既知のインダクタンス（Ｌ）を用いる方法、または、ＡＣ信号の周波数および初期校正中に求められたコイルのインダクタンスに基づいて誘導リアクタンス項（ｊ２πｆＬ）を算出する方法である。

本発明のある実施形態によれば、導管２０３Ａおよび導管２０３Ｂのうちの少なくとも１つの導管の温度を下記の方法のうちの１つに従って求めることができる。下記の方法の各々では、かかる温度は、温度決定信号から求められる。温度決定信号は、ドライブ信号および測定された発生信号を含んでいてもよい。本発明のある実施形態によれば、かかる温度は、ＲＴＤの抵抗と温度との間の相関ではなく、Ｖ／Ｉ比と、関連するセンサーコンポーネントの温度との間の相関から求められる。有利なことには、本発明は、温度を求めるために既存のセンサーコンポーネントを用いている。

本発明の一つの実施形態によれば、センサーコンポーネント２０４Ａ、２０５Ａ、２０５’Ａのうちの少なくとも１つのセンサーコンポーネントの温度を温度決定ルーチン３１２に従って求めるようにメータ電子機器２２０を構成することができる。

図４には、本発明のある実施形態にかかる温度決定ルーチン３１２が示されている。温度決定ルーチン３１２は、センサーコンポーネントに温度決定信号３１３を加えらるステップ４０１から開始される。本発明のある実施形態によれば、センサーコンポーネントはドライブコイル２０４Ａである。本発明の他の実施形態によれば、センサーコンポーネントは、ピックオフコイル２０５Ａまたはピックオフコイル２０５’Ａの如きピックオフコイルである。したがって、実施形態によっては、メータ電子機器２２０は、ピックオフ２０５、２０５’への信号の送信およびピックオフ２０５、２０５’からの信号の受取りの両方を行うように構成されている場合もある。整合性を保つために、本温度決定ルーチン３１２がドライブコイル２０４Ａに信号を送信するように記載されているが、発明をそのように限定すべきではない。

本発明のある実施形態によれば、温度決定信号３１３は、正常動作中にドライブコイル２０４Ａへ送信されるドライブ信号３１１とは異なっている。しかしながら、他の実施形態によれば、温度決定信号にはドライブ信号３１１が含まれる。温度決定信号３１３は、ドライブ信号３１１に代えてまたはドライブ信号３１１に加えて、ドライブコイル２０４Ａへ送られるようになっていてもよい。たとえば、温度決定信号３１３はドライブ信号３１１に重畳されてもよい。あるいは、温度決定信号３１２がピックオフセンサー２０５、２０５’のうちの一つに送られる場合であっても、ドライブ信号３１１を今までどおりドライバ２０４に送ることができる。

本発明のある実施形態によれば、温度決定信号３１３は、既知の振幅および周波数を有する交流である。しかしながら、他の実施形態では、それに代えて、温度決定信号３１３は一定電圧である。本発明のある実施形態によれば、温度決定信号３１３は、ドライブ信号３１１の周波数であることが一般的である、流体で満たされている導管の共振周波数とは異なる周波数を有している。好ましくは、温度決定信号３１３は、ドライブ信号３１１より低い周波数を有している。しかしながら、温度決定信号３１３は、ドライブ信号３１１より高い周波数を有するようになっていてもよい。たとえば、図２に示されているようなＵ字型の導管の場合、ドライブ信号３１１は約２５０Ｈｚで送られる（真っ直ぐな導管型の振動式メータの場合、ドライブ信号は１０００Ｈｚに近くてもよいし１０００Ｈｚを超えていてもよいし）。しかしながら、本発明のある実施形態によれば、約１００Ｈｚで温度決定信号３１３を送ることができる。

ステップ４０２では、発生信号が測定される。温度決定信号が交流または直流である実施形態によれば、発生信号には、コイル２０４Ａの両端の電圧Ｖｃが含まれる場合もある。コイルの両端の電圧Ｖｃはたとえば電圧計（図示せず）を用いて求められてもよい。この電圧計は、メータ電子機器２２０の一体的なコンポーネントであってもよいし、または外部のコンポーネントであってもよい。あるいは、温度決定信号３１３に一定電圧が含まれている場合、発生信号は、電流であり、たとえばオーム計で測定することができる。さらに他の実施形態では、発生信号は、オーム計（図示せず）を用いて求められうる抵抗でありうる。整合性を保つため、電圧Ｖｃについて説明する。

ステップ４０３では、センサーコンポーネントの温度を温度決定信号および発生信号に基づいて求めることができる。本発明のある実施形態によれば、電圧／電流比Ｖ／Ｉに基づいてセンサーコンポーネントの温度を求めることができる。上述の式（３）を用いると、電圧／電流比をドライブコイル２０４Ａの抵抗に簡略化することができる。Ｖ／Ｉ比は抵抗に簡略化されてもよいしまたはインピーダンスに簡略化されてもよい。いずれの場合であっても、Ｖ／Ｉ比は温度とともに変わる。したがって、参照表、チャート、グラフ、式などを用いて、求められるＶ／Ｉ比と温度との相関関係を求めることができる。相関関係を格納システム３０４に格納し、必要なときに検索することができる。したがって、図３に示されているように、格納システム３０４は、参照表３１５、温度相関関係式３１６またはグラフ３１７を有することができる。適切な相関式の一例が式（４）に示されている。

この式で、Ｒは求められる抵抗であり、Ｒ_ｒｅｆは基準温度における抵抗であり、αは導体材料の抵抗の温度係数であり、Ｔは温度であり、 Ｔ_ｒｅｆは基準温度である。

したがって、ドライブコイル２０４Ａの基準抵抗が初期校正時に基準温度で求められた場合、ステップ４０３で求められた抵抗に基づいてＴの解を求めるように式（４）を再整理することができる。ドライブコイル２０４Ａの抵抗の温度係数αはドライブコイルに用いられる材料に基づくものである。この材料として、通常銅または同様の公知の金属もしくは合金が挙げられる。銅は約０．００４／℃の抵抗温度係数αを有している。計算例として、ドライブコイル２０４Ａが銅を含む場合、２０℃の基準温度におけるＲ_ｒｅｆは２５オームであると求められる。０．００５Ａの電流が供給されると、２０℃において測定された基準電圧は０．１２５ボルトであった。したがって、基準抵抗は２５オーム（０．１２５Ｖ／．００５Ａ）となる。０．００５Ａの同一電流がドライブコイル２０４Ａに加えられ、０．１５２ボルトの電圧が測定される場合、ドライブコイル２０４Ａの抵抗は３０．４オームまで増大する。温度の解を求めるように再整理された式（４）を用いると、コイル温度は７４．０℃となる。定常状態に達している場合、ドライブコイル２０４Ａの温度は、プロセス流体の温度と関連する、上述の導管２０３Ｂの温度とほぼ等しい。したがって、センサーコンポーネント、この場合ドライブコイル２０４Ａを用いて導管２０３Ｂの温度測定値を求めるために温度決定ルーチン３１２を用いることができる。それに加えて、定常状態では、導管２０３Ｂの温度は導管内のプロセス材料の温度とほぼ等しくなり、それにより、導管内のプロセス流体の温度が良好に推定される。

上述のように、グラフを用いて、温度もＶ／Ｉまたは抵抗とに関連づけされるようにしてもよい。図５には、コイル抵抗をコイル温度に関連づけする相関グラフ５００が示されている。したがって、実施形態によっては、温度決定信号がセンサーコンポーネントに送られる場合もあり、また、発生信号がオーム計（図示せず）により求められるような抵抗である場合もある。オーム計は、メータ電子機器２２０の一体的なコンポーネントであってもよいしまたは外部のコンポーネントであってもよい。したがって、相関グラフ５００は、Ｖ／Ｉ比を求める必要もなく、オーム計により求められるコイル抵抗とコイル温度と間の相関関係を直接提供することが可能である。

他の相関関係は、以下の表１に記載の参照表の形態を有していてもよい。

たとえば、表１は、たとえばオーブンを用いてさまざまな前もって決められた温度にコイルをさらす初期校正ルーチン時に作成されるようになっていてもよい。それに代えてまたはそれに加えて、温度は、ＲＴＤの如き温度計測デバイスを用いて確認するようにされてもよい。表１は、上述の式の相関関係を求めるために用いられた電流と同じ電流値を用いて作成されている。いうまでもなく、求められた抵抗３０．４オームを用いて補間法により温度を求めることができる。抵抗３０．４オームから７４．０℃の温度が求められる。（７０＋（１００−７０）（３０．４−３０）／（３３−３０）＝７４）。

上述の例では、抵抗と温度との間の相関関係が記載されているが、他の相関関係が用いられてもよい。たとえば、式（２）の誘導リアクタンス項を考慮に入れるためにインピーダンスと温度との間の相関関係を同様に作成することができる。したがって、実施形態によっては、対象となる値としては、抵抗だけである必要はなく、Ｖ／Ｉ比も含まれる。したがって、参照表またはグラフは、Ｖ／Ｉ対温度の相関関係であってもよい。しかしながら、このアプローチを用いる場合、コイルのインダクタンスおよび周波数に応じて変わる式（２）の誘導リアクタンスを考慮するために、相関関係の作成時の電流の周波数およびアンペア数が運転時のものと同一であればさらに正確な校正を達成することができる。

上述の例では、温度決定信号３１３は、ドライブ信号周波数３１１とは異なる周波数の交流であった。それに代えて、本発明の他の実施形態によれば、温度決定信号３１３は、センサーコンポーネントに一定電圧を与えることができる。この実施形態によれば、電圧／電流比（Ｖ／Ｉ）を求めるために電圧計ではなく電流計を用いて発生電流が測定されうる。さらに他の実施形態によれば、温度決定信号３１３はＤＣ信号であってもよい。この実施形態では、インピーダンスは実質的にゼロであり、推定する必要もなければ、無視される必要もない。

本発明の他の実施形態によれば、メータ電子機器２２０は、第二の信号を送るのではなく、ドライブ信号温度ルーチン３１７を用いてドライブコイル２０４Ａの温度を求めるためにドライブ信号３１１を用いることができる。換言すれば、温度決定信号３１３はドライブ信号３１１であってもよい。

図６には、本発明のある実施形態にかかるドライブ信号温度ルーチン３１７が示されている。本発明のある実施形態によれば、メータ電子機器２０は、ドライブ信号温度ルーチン３１７を実行するように構成されていてもよい。本発明のある実施形態によれば、ドライブ信号温度ルーチン３１７は、温度決定信号がドライブコイル２０４Ａに送られるステップ６０１から開始される。本発明のある実施形態によれば、温度決定信号は、ドライブコイル２０４Ａに送られるドライブ信号３１１であってもよい。本発明のある実施形態によれば、ドライブ信号３１１は、既知の振幅および周波数を有する交流であってもよい。ドライブ信号温度ルーチン３１７において用いられるドライブ信号３１１は、振動式メータ２００の正常動作時に用いられるのと同一のドライブ信号３１１であってもよい。プロセス流体で満たされている導管の共振周波数で１つ以上の導管２０３Ａ、２０３Ｂを振動させるためにドライブ信号３１１を提供することができる。

ステップ６０２では、発生電圧が上述のように求められる。

ステップ６０３では、前もって決められた時間、ドライブ信号３１１が取り除かれる。プロセス流体に満たされている導管の共振周波数でドライブ信号３１１が送られるので、ドライブ信号３１１はゼロまで落とされる。したがって、ドライブ信号３１１がドライブコイル２０４Ａに送られると、導管２０３Ａ、２０３Ｂは共振周波数で振動する。その結果、測定電圧Ｖｃは、ドライブ信号電流、ドライブコイルの両端の抵抗、ドライブコイルのインダクタンス、および逆起電力（ＥＭＦ）により影響を受ける。逆起電力は式（５）に記載のように電流に対抗する電圧のことである。

この式で、Ｖｃは電圧であり、Ｉは電流であり、Ｒは抵抗であり、ｊは−１の平方根であり、ｆはドライブ信号周波数であり、 Ｌはドライブコイルインダクタンスである。

導管が共振して振動しているので、逆起電力が生じる。したがって、ドライブ信号３１１が一時的に取り除かれると、Ｒ、ＬおよびＩはゼロにまで落ちることになる。

ステップ６０４では、ドライブコイル２０４Ａの両端の電圧を先の場合と同様に求めることができる。電圧（Ｖｃ）は、ステップ４０２に記載の方法と同様に求めることができる。ドライブ信号３１１を一時的に取り除き、電圧を再び測定し、ステップ６０５で、逆起電力（ｂａｃｋ ＥＭＦ）を求めることができる。逆起電力を求めると、Ｖ／Ｉ比は、ステップ６０２で求められた電圧を用いて逆起電力に関して補償され、コイルの抵抗が求められる。たとえば、Ｖ／Ｉ比と温度との間の相関関係には逆起電力が含まれていない場合もある。したがって、Ｖ／Ｉ比から逆起電を引き、相関関係に用いる正確なＶ／Ｉ比を求めることができる。

ステップ６０６では、ドライブコイル２０４Ａの抵抗が求められる。さらに詳細にいえば、Ｖ／Ｉ比が求められる。先に記載の実施形態と同様に、「抵抗」について記載されているが、ドライブコイルのインダクタンスＬが既知の場合、抵抗ではなくインピーダンスを算出することができる。

ステップ６０７では、ドライブコイル２０４Ａの温度を上述のように求めることができる。

上述の実施形態では、Ｖ／Ｉと温度との間の相関関係またはその分散が前もって求められている。しかしながら、下記に記載の相関ルーチン３２０に従って振動式メータに対する初期の相関を更新するまたは実行することが望ましい場合もある。

図７には、本発明のある実施形態にかかる相関ルーチン３２０が示されている。相関ルーチン３３０は、たとえばメータ電子機器２２０により実行されてもよい。相関ルーチン３３０は、ユーザによって実行されてもよいしまたはオペレータによって実行されてもよい。相関ルーチン３３０は、製造業者によって実行されてもよい。相関ルーチン３２０は、振動式メータのセンサーコンポーネントのうちの１つ以上のセンサーコンポーネントのＶ／Ｉ比と温度との間の相関関係を作成するために実行することができる。たとえば、ドライブコイル２０４Ａの抵抗とドライブコイル２０４Ａの温度との間の相関関係を作成するために相関ルーチン３２０を実行することができる。

相関ルーチン３２０は、試験信号がセンサーコンポーネント、この場合ドライバコイル２０４Ａに送られるステップ７０１から開始される。たとえば、試験信号は交流であってもよい。あるいは、試験信号は一定電圧または直流であってもよい。

ステップ７０２では、第一の発生信号が測定される。発生信号は、試験信号が交流である場合には電圧であってもよい。あるいは、発生信号は、一定電圧が試験信号として送られる場合には、測定電流であってもよい。

ステップ７０３では、試験信号および第一の発生信号に基づいて第一のＶ／Ｉ比が求められる。実施形態によっては、Ｖ／Ｉ比は、センサーコンポーネントの抵抗である場合もある。他の実施形態では、Ｖ／Ｉ比は、センサーコンポーネントのインピーダンスである場合もある。さらに他の実施形態では、Ｖ／Ｉ比は、抵抗、インピーダンスおよび／または逆起電力を組み合わせたものである場合もある。

ステップ７０４では、第一の温度が測定される。温度は、たとえばＲＴＤまたは熱電対の如き温度計測デバイスから測定されてもよい。温度計測デバイスは センサーコンポーネントと結合されていてもよいしまたはセンサーコンポーネントの近傍に設けられてもよい。実施形態によっては、温度計測デバイスの温度がセンサーコンポーネントの温度となるような定常状態が達成されたときに、相関ルーチン３２０が実行されるようになっている場合もある。オーブン内で校正を行うことにより温度測定値を正確なものとするようになっていてもよい。

ステップ７０５では、第一のＶ／Ｉ比が第一の測定温度と共に格納される。

ステップ７０６では、第二の温度測定値を得るために温度がもう一度測定される。第二の温度が、あるしきい値を超える値だけ第一の測定温度と異なる場合、相関ルーチン３２０が、第二の発生信号が求められるステップ７０２まで戻るようになっていてもよい。第二の温度が前の測定温度と同じまたは差閾値内に含まれる場合、相関ルーチン３２０が終了するようになっていてもよい。Ｖ／Ｉ比と温度との間の複数の相関関係を求めるためにシステム温度を変えることができる。複数の相関関係は、表、チャート、グラフ、式などを含むさまざまな手法で格納することができ、センサーコンポーネントの温度を求めるために使用時に検索することができる。

上述の発明は、振動式メータのセンサーコンポーネントの温度を求めるための方法および装置を提供している。ＲＴＤの如きコンポーネントのさらなる使用を必要とする従来のアプローチとは対照的に、本発明は、センサーコンポーネント自体のＶ／Ｉと温度との間の相関関係を利用している。有利には、センサーコンポーネントの温度を求めることができ、次いで、この温度を用いてセンサーコンポーネントと結合されている導管の温度を求めることが可能となる。ＲＴＤの必要性を排除することによって、ＲＴＤおよび配線に関連するコストをなくすことができる。

上述の実施形態の詳細な記載は、本発明の技術範囲内に含まれるものとして本発明者が考えているすべての実施形態を完全に網羅するものではない。さらに正確にいえば、当業者にとって明らかなように、上述の実施形態のうちの一部の構成部材をさまざまに組み合わせてまたは除去してさらなる実施形態を作成してもよいし、また、このようなさらなる実施形態も本発明の技術範囲内および教示範囲内に含まれる。また、当業者にとって明らかなように、本発明の技術および教示の範囲に含まれるさらなる実施形態を作成するために、上述の実施形態を全体的にまたは部分的に組み合わせてもよい。

以上のように、本発明の特定の実施形態または実施例が例示の目的で記載されているが、当業者にとって明らかなように、本発明の技術範囲内において、さまざまな変更が可能である。本明細書に記載の教示を上述のかつそれに対応する図に記載の実施形態のみでなく他の振動式メータにも適用することができる。したがって、本発明の技術範囲は添付の請求項によって決められる。

Claims (24)

1. 振動式メータの導管と結合される振動式センサーコンポーネントの温度を求めるための方法であって、
   前記振動式センサーコンポーネントに温度決定信号を送ることと、
   発生信号を測定することと、
   前記温度決定信号および前記発生信号に基づいて前記センサーコンポーネントの温度を求めることと
   を含む、方法。
2. 前記センサーコンポーネントの温度を求めるステップが、前記温度決定信号および測定された前記発生信号から電圧／電流比を求めることと、 求められた前記電圧／電流比と温度との間の相関関係に基づいて前記センサーの温度を求めることとを含む、請求項１に記載の方法。
3. 前記温度決定信号が、プロセス流体を含む、前記振動式メータの前記導管の共振周波数と実質的に等しい周波数を有する交流であり、前記方法が、前もって決められた時間、前記温度決定信号を取り除くステップと、電圧を測定するステップと、逆起電力を求めるステップと、前記電圧／電流比を前記逆起電力について補償するステップとを有する、請求項２に記載の方法。
4. 前記温度決定信号が、プロセス流体を含む、前記振動式メータの前記導管の共振周波数とは異なる周波数を有する交流である、請求項１に記載の方法。
5. 前記温度決定信号が、プロセス流体を含む、前記振動式メータの前記導管の共振周波数と実質的に等しい周波数を有する交流である、請求項１に記載の方法。
6. 前記温度決定信号が交流であり、前記発生信号が電圧である、請求項１に記載の方法。
7. 前記温度決定信号が一定電圧であり、前記発生信号が電流である、請求項１に記載の方法。
8. 前記センサーコンポーネントがドライバコイルである、請求項１に記載の方法。
9. 前記センサーコンポーネントがピックオフセンサーコイルである、請求項１に記載の方法。
10. 振動式センサーの導管と結合されるセンサーコンポーネントの電圧／電流比と温度との間の相関関係を作成する方法であって、
    前記センサーコンポーネントに試験信号を送ることと、
    第一の発生信号を測定することと、
    前記試験信号および前記発生信号に基づいて第一の電圧／電流比を求めることと、
    前記センサーコンポーネントの第一の温度を測定することと、
    求められた前記第一の電圧／電流比を測定された前記第一の温度と共に格納することとを含む、方法。
11. 前記センサーコンポーネントの第二の温度を測定するステップと、
    前記センサーコンポーネント前記第二の温度が前記第一の温度から量閾値を超えて変化している場合、第二の発生信号を測定して少なくとも第二の電圧／電流比を求めるステップと、
    前記第二の電圧／電流比を前記第二の温度と共に格納するステップとをさらに有する、請求項１０に記載の方法。
12. 前記センサーコンポーネントがドライバコイルである、請求項１０に記載の方法。
13. 前記センサーコンポーネントがピックオフセンサーコイルである、請求項１０に記載の方法。
14. 前記試験信号が交流であり、前記発生信号が電圧である、請求項１０に記載の方法。
15. 前記試験信号が一定電圧であり、前記発生信号が電流である、請求項１０に記載の方法。
16. 振動式メータ（２００）用のメータ電子機器（２２０）であって、
    １つ以上の導管（２０３Ａ、２０３Ｂ）と、
    前記１つ以上の導管（２０３Ａ、２０３Ｂ）と結合される１つ以上のセンサーコンポーネント（２０４Ａ、２０５Ａ、２０５’Ａ）と、
    処理システム（３０３）とを備えており、該処理システム（３０３）が、
    前記１つ以上のセンサーコンポーネント（２０４Ａ、２０５Ａ、２０５’Ａ）のうちの１つのセンサーコンポーネント（２０４Ａ、２０５Ａ、２０５’Ａ）に温度決定信号を送り、
    発生信号を測定し、
    前記温度決定信号および前記発生信号に基づいて前記センサーコンポーネントの温度を求めるように構成されてなる、メータ電子機器。
17. 前記処理システム（３０３）が、前記温度決定信号および前記発生信号に基づいて電圧／電流比を求め、求められた前記電圧／電流比と温度との間の相関関係に基づいて、前記センサーコンポーネントの前記温度を求めるように構成されてなる、請求項１６に記載のメータ電子機器（２２０）。
18. 前記温度決定信号が、プロセス流体を含む、前記振動式メータの前記導管の共振周波数と実質的に等しい周波数を有する交流であり、
    前記処理システム（３０３）が、前もって決められた時間、前記温度決定信号を取り除き、電圧を測定し、逆起電力を求め、前記電圧／電流比を前記逆起電力について補償するようにさらに構成されてなる、請求項１７に記載のメータ電子機器（２２０）。
19. 前記温度決定信号が、プロセス流体を含む、前記振動式メータ（２００）の前記導管（２０３Ａ、２０３Ｂ）の共振周波数とは異なる周波数を有する交流である、請求項１６に記載のメータ電子機器（２２０）。
20. 前記温度決定信号が、プロセス流体を含む、前記振動式メータ（２００）の前記導管（２０３Ａ、２０３Ｂ）の共振周波数と実質的に等しい周波数を有する交流である、請求項１６に記載のメータ電子機器（２２０）。
21. 前記温度決定信号が交流であり、前記発生信号が電圧である、請求項１６に記載のメータ電子機器（２２０）。
22. 前記温度決定信号が一定電圧であり、前記発生信号が電流である、請求項１６に記載のメータ電子機器（２２０）。
23. 前記センサーコンポーネントがドライブコイル（２０４Ａ）である、請求項１６に記載のメータ電子機器（２２０）。
24. 前記センサーコンポーネントがピックオフコイル（２０５Ａ、２０５’Ａ）である、請求項１６に記載のメータ電子機器（２２０）。

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