JP5554930B2 - 自己較正を備えた容量性バルク弾性波ディスク・ジャイロスコープ - Google Patents
自己較正を備えた容量性バルク弾性波ディスク・ジャイロスコープ Download PDFInfo
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Description
Claims (20)
- 閉ループ・モードで動作される容量性バルク弾性波ディスク・ジャイロと、
前記容量性バルク弾性波ディスク・ジャイロに動作的に結合された自己較正システムと、
を備えており、前記ジャイロのジャイロ・バイアスの自己較正は、前記ジャイロのアンチノーダル軸とノーダル軸とを相互に交換することによって実現されることを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、前記ジャイロは、ノーダル・ピックオフ電極と、アンチノーダル・ピックオフ電極と、ノーダル強制電極と、アンチノーダル強制電極とを含む複数の電極を有し、前記アンチノーダル強制電極は前記ノーダル・ピックオフ電極と相互に交換され、前記アンチノーダル・ピックオフ電極は前記ノーダル強制電極と相互に交換されて、前記ジャイロの前記アンチノーダル軸と前記ノーダル軸との相互交換が実現されることを特徴とする装置。
- 単結晶シリコン(100)の機械的対称性を有する共振器を有する容量性バルク弾性波ディスク・ジャイロと、
前記共振器に動作的に結合されておりn=3モードで前記共振器を駆動する駆動システムと、
前記共振器と前記駆動システムとに動作的に結合された自己較正システムと、
を備えており、前記ジャイロのジャイロ・バイアスの自己較正は、前記ジャイロのアンチノーダル軸とノーダル軸とを相互に交換することによって実現されることを特徴とする装置。 - 請求項3記載の装置において、前記ジャイロは減衰的なバルク弾性モードで動作されることを特徴とする装置。
- 請求項3記載の装置において、前記ジャイロは駆動軸と感知軸とを有し、前記ジャイロは複数の電極を有し、前記駆動軸と前記感知軸とは、それぞれ、前記複数の電極の中で、ピックオフ電極である3つの電極と強制電極である更に3つの電極とを有することを特徴とする装置。
- 請求項3記載の装置において、前記ジャイロはピックオフ電極と強制電極とを含む複数の電極を有し、アンチノーダル強制電極はノーダル・ピックオフ電極と相互に交換され、アンチノーダル・ピックオフ電極はノーダル強制電極と相互に交換されて、前記ジャイロの前記アンチノーダル軸と前記ノーダル軸との相互交換が実現されることを特徴とする装置。
- 請求項3記載の装置において、動的な動作条件にある慣性系では、交代する極性を有する2つのジャイロを更に備えていることを特徴とする装置。
- 請求項3記載の装置において、動的な動作条件にある慣性系では、軸ごとに交代する極性を有する2つの共振器を備えた単一のジャイロを更に備えていることを特徴とする装置。
- 請求項3記載の装置において、前記ジャイロにおけるアンチノーダル軸とノーダル軸とを相互に交換することにより、ジャイロ・スケール・ファクタは極性を反転させるのに対し、ジャイロ・バイアス極性は変化することなく維持されることを特徴とする装置。
- 単結晶シリコン(111)の機械的対称性を有する共振器を有する容量性バルク弾性波ディスク・ジャイロと、
前記共振器に動作的に結合されておりn=2モードで前記共振器を駆動する駆動システムと、
前記共振器と前記駆動システムとに動作的に結合された自己較正システムと、
を備えており、前記ジャイロのジャイロ・バイアスの自己較正は、前記ジャイロのアンチノーダル軸とノーダル軸とを相互に交換することによって実現されることを特徴とする装置。 - 請求項10記載の装置において、前記ジャイロは減衰的なバルク弾性モードで動作されることを特徴とする装置。
- 請求項10記載の装置において、前記ジャイロは駆動軸と感知軸とを有し、前記ジャイロは複数の電極を有し、前記駆動軸と前記感知軸とは、それぞれ、前記複数の電極の中で、ピックオフ電極である2つの電極と強制電極である更に2つの電極とを有することを特徴とする装置。
- 請求項10記載の装置において、前記ジャイロはピックオフ電極と強制電極とを含む複数の電極を有し、アンチノーダル強制電極とノーダル・ピックオフ電極とが相互に交換され、アンチノーダル・ピックオフ電極とノーダル強制電極とが相互に交換され、前記ジャイロの前記アンチノーダル軸と前記ノーダル軸との相互交換が実現されることを特徴とする装置。
- 請求項10記載の装置において、動的な動作条件にある慣性系では、交代する極性を有する2つのジャイロを更に備えていることを特徴とする装置。
- 請求項10記載の装置において、動的な動作条件にある慣性系では、軸ごとに交代する極性を有する2つの共振器を備えた単一のジャイロを更に備えていることを特徴とする装置。
- 請求項10記載の装置において、前記ジャイロにおけるアンチノーダル軸とノーダル軸とを相互に交換することにより、ジャイロ・スケール・ファクタは極性を反転させるのに対し、ジャイロ・バイアス極性は変化することなく維持されることを特徴とする装置。
- 閉ループ・モードで容量性弾性波ディスク・ジャイロを動作させるステップと、
前記ジャイロのアンチノーダル軸とノーダル軸とを交換して前記ジャイロのジャイロ・バイアスの自己較正を実現するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項17記載の方法において、前記ジャイロはピックオフ電極と強制電極とを含む複数の電極を有し、アンチノーダル強制電極とノーダル・ピックオフ電極とが相互に交換され、アンチノーダル・ピックオフ電極とノーダル強制電極とが相互に交換され、前記ジャイロの前記アンチノーダル軸と前記ノーダル軸との相互交換が実現されることを特徴とする方法。
- 請求項17記載の方法において、前記ジャイロにおけるアンチノーダル軸とノーダル軸とを相互に交換することにより、ジャイロ・スケール・ファクタは極性を反転させるのに対し、ジャイロ・バイアス極性は変化することなく維持されることを特徴とする方法。
- 請求項17記載の方法において、前記容量性バルク弾性波ディスク・ジャイロは単結晶シリコンにおいて実現されることを特徴とする方法。
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