CN108332731B - 微机械单振子三轴陀螺仪 - Google Patents

微机械单振子三轴陀螺仪 Download PDF

Info

Publication number
CN108332731B
CN108332731B CN201810077230.6A CN201810077230A CN108332731B CN 108332731 B CN108332731 B CN 108332731B CN 201810077230 A CN201810077230 A CN 201810077230A CN 108332731 B CN108332731 B CN 108332731B
Authority
CN
China
Prior art keywords
vibrator
axis
driving
gyroscope
electrodes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201810077230.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108332731A (zh
Inventor
黄占喜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Allwinner Technology Co Ltd
Original Assignee
Allwinner Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Allwinner Technology Co Ltd filed Critical Allwinner Technology Co Ltd
Priority to CN201810077230.6A priority Critical patent/CN108332731B/zh
Publication of CN108332731A publication Critical patent/CN108332731A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108332731B publication Critical patent/CN108332731B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

本发明公开了一种微机械单振子三轴陀螺仪，包括一个在x轴和y轴对称的环形振子(1)、四根支撑梁(3)和一个万向节(2)，万向节(2)设置于振子(1)中心，通过四根支撑梁(3)连接振子(1)和万向节(2)，在振子(1)设置有多个振子电极Vdc(12)，在振子电极Vdc(12)上方排布多个固定电极(4‑11)，多个固定电极(4‑11)中部分是驱动电极(4‑7)，部分是检测电极(8‑11)，检测电极(8‑11)用于检测振子(1)，驱动电极(4‑7)驱动振子(1)作一定频率的同频振动，振动的振幅恒定，相位差恒定。本发明采用单振子三轴结构，可以实现陀螺仪的结构紧凑，使得陀螺仪体积小、检测的精度高和降低陀螺仪的制造成本。

Description

微机械单振子三轴陀螺仪
技术领域
本发明涉及一种微机械陀螺仪，尤其涉及一种微机械单振子三轴陀螺仪，属于微机电系统(MEMS)领域。
背景技术
陀螺仪是一种重要的惯性传感器，在诸多领域有着广泛应用。陀螺仪按检测轴数分为单轴、双轴、三轴三种，很多应用场合中都需要三轴陀螺仪。在消费电子等低精度场合一般采用多振子单片集成实现小体积，低功耗；而在中高精度的应用场合，一般采用三个独立单轴陀螺仪机械装配的方法来实现三轴陀螺仪，但这种方式的陀螺仪体积较大，限制了其应用场合。现有的微机械三轴陀螺仪，一般采用多振子单片集成，此类陀螺仪体积小，精度低，或者采用三个单轴陀螺进行装配，此类陀螺仪的体积大，成本高。
发明内容
本发明的目的在于提供一种小体积、高精度和低成本的微机械单振子三轴陀螺仪。
本发明的微机械单振子三轴陀螺仪，包括一个在x轴和y轴对称的环形振子(1)、多个支撑梁(3)和一个万向节(2)，所述万向节(2)设置于所述振子(1)中心，通过所述多个支撑梁(3)连接所述振子(1)和所述万向节(2)，所述振子(1)可在所述x轴和所述y轴上进行弹性振动，在所述振子(1)表面上设置有多个振子电极Vdc(12)，在所述振子电极Vdc(12)上方排布多个固定电极(4、5、6、7、8、9、10、11)，所述振子电极Vdc(12)与其上方排布的所述多个固定电极(4、5、6、7、8、9、10、11)一一对应，所述多个固定电极(4、5、6、7、8、9、10、11)中部分是驱动电极(4、5、6、7)，部分是检测电极(8、9、10、11)，所述驱动电极(4、5、6、7)和所述检测电极(8、9、10、11)相互交替分布，所述检测电极(8、9、10、11)用于检测振子(1)在所述x轴、所述y轴和z轴的角速度，驱动模块连接所述驱动电极Vx+(4)、Vx-(5)、Vy+(6)、Vy-(7)和所述振子(1)，驱动所述振子(1)在正交的所述x轴和所述y轴作一定频率的同频振动，所述振子(1)在所述x轴和所述y轴所作振动的振幅恒定，相位差恒定；当所述振子(1)发生振动时，所述检测电极(8、9、10、11)和所述振子电极Vdc(12)之间的电容产生相应的电容变化量ΔCzx+、ΔCzx-、ΔCzy+、ΔCzy-，所述驱动模块产生控制变量V、驱动谐振频率和相位；还包括检测模块，所述电容变化量ΔCzx+、ΔCzx-、ΔCzy+、ΔCzy-、所述控制变量V、所述驱动谐振频率、所述相位经检测模块处理后得到所述角速度。
进一步的，所述振子(1)为圆环形或多边环形。
进一步的，所述支撑梁(3)为四根。
进一步的，所述检测电极(8、9、10、11)为栅型电极。
进一步的，所述多个固定电极(4、5、6、7、8、9、10、11)包括四个驱动电极Vx+(4)、Vx-(5)、Vy+(6)、Vy-(7)。
进一步的，所述多个固定电极(4、5、6、7、8、9、10、11)包括四个检测电极Vzx+(8)、Vzx-(9)、Vzy+(10)、Vzy-(11)。
进一步的，所述驱动电极Vx+(4)、Vx-(5)和振子构成一个x轴角振动谐振器，用于所述振子(1)的x轴驱动，驱动所述振子(1)在所述x轴的振动。
进一步的，所述驱动电极Vy+(6)、Vy-(7)和振子构成一个y轴角振动谐振器，用于所述振子(1)的y轴驱动，驱动所述振子(1)在所述y轴的振动。
进一步的，所述振子(1)在所述x轴和所述y轴所作振动的振幅相同或不同。
进一步的，所述驱动模块包括锁相环(PLL)模块，锁相环(PLL)模块由相位探测器(PD)、低通滤波器(LPF)、压控振荡器(VCO)组成，所述x轴驱动通过所述锁相环(PLL)模块锁定频率。
进一步的，所述驱动模块包括自动增益控制模块(AGC)，自动增益控制(AGC)模块由整流器(Rectifier)、低通滤波器(LPF)，比例积分控制器(PI Controller)组成，所述x轴驱动通过所述自动增益控制(AGC)模块锁定振幅。
本发明采用单振子结构，振子在两个垂直的轴(xy轴)上驱动做角振动，可以对三轴的角速度敏感，两驱动轴(xy轴)振动振幅锁定、定频驱动且频率相同，在z轴产生的检测量经过两个频率信号同相解调可以得到xy轴角速度，z轴角速度会在两驱动轴上产生响应，对驱动轴谐振器输出信号进行解调滤波可以得出z轴角速度，最终实现单振子三轴角速度测量。
下面结合附图及具体实施方式对本发明作进一步的详细说明。
附图说明
图1为单振子三轴陀螺仪动力学结构示意图。
图2为单振子三轴陀螺仪结构示意图。
图3为单振子正交驱动三轴陀螺系统结构示意图。
图4为驱动模块系统框图。
图5为检测模块系统框图。
图中：1、机械振子；2、万向节；3、支撑梁；4、x驱动轴正电极Vx+；5、x驱动轴负电极Vx-；6、y驱动轴正电极Vy+；7、y驱动轴负电极Vy-；8、z轴栅型检测电极Vzx+；9、z轴栅型检测电极Vzy+；10、z轴栅型检测电极Vzx-；11、z轴栅型检测电极Vzy-；12、振子电极Vdc。
具体实施方式
本发明的微机械单振子三轴陀螺仪，利用科里奥利效应对振动刚体的作用来检测三轴角速度。如图1所示，一个圆对称转动刚体绕xyz轴的转动惯量分别为Ix,Iy,Iz，在载体坐标系中的角速度为ωx,ωy,ωz，相对惯性坐标系的角速度为Ωx,Ωy,Ωz，而科里奥利效应产生的扭矩为Mx,My,Mz。当xy轴的角度以不同频率变化，且z轴转角为很小时，即θx＝θ0xsinω1t，θy＝θ0ysinω2t，θz≈0(θ0x、θ0y为角振动振幅，ω1、ω2为角振动频率)，在小角度线性近似情况下可以得到科里奥利效应产生的扭矩为：
Figure GDA0002356896720000031
可以通过自动增益控制方法(AGC)锁定xy轴的振幅，谐振器输出的信号包含两种频率成分，环路带通滤波器(BPF)只允许该驱动轴的频率信号通过，可以抑制其他频率干扰。而谐振器另引出一路信号经过带通滤波和同相解调，就可以求得z轴角速度Ωz。此外，z轴扭矩Mz会产生一个角度响应θz，这个角度由扭矩Mz和振子结构本身的性质决定，即
Figure GDA0002356896720000032
其中：Iz为振子对z轴的转动惯量；Dz为振子z轴的阻尼系数；Kz为振子z的轴弹性系数。
当振动频率ω1、ω2远大于待测角速度带宽时，可以求得角度θz可以近似为稳态解：
Figure GDA0002356896720000041
其中：K为响应的增益；
Figure GDA0002356896720000042
为响应的相移。
角度θz(或其导致的其它物理量，如检查电容)，经过
Figure GDA0002356896720000043
和
Figure GDA0002356896720000044
解调就可以得到xy轴的角速度Ωx,Ωy。
如图2所示的微机械单振子三轴陀螺仪，振子(1)用四根支撑梁(3)固定在万向节(2)上，振子(1)可在x轴或y轴做弹性振动，万向节(2)为锚点，振子(1)为xy轴对称的圆环形或多边环形，振子(1)上方排布着多个固定电极，其中电极Vx+(4)、Vx-(5)、Vy+(6)、Vy-(7)为驱动电极，栅型电极Vzx+(8)、Vzx-(9)、Vzy+(10)、Vzy-(11)为检测电极，振子电极Vdc(12)固定设置在表面绝缘的圆盘上，具有相同的直流电位。所述振子电极Vdc(12)与其上方排布的所述多个固定电极(4-11)一一对应。电极Vx+(4)、Vx-(5)和振子(1)构成一个x轴角振动谐振器，电极Vy+(6)、Vy-(7)和振子(1)构成一个y轴角振动谐振器，栅型电极Vzx+(8)、Vzx-(9)、Vzy+(10)、Vzy-(11)和振子电极Vdc(12)构成四个检测电容，可以检测振子(1)z轴角位移。
本发明的微机械单振子三轴陀螺仪采用静电驱动、电容检测，如图3-5所示，检测系统由驱动模块和检测模块组成，陀螺在驱动模块闭环控制下，沿xy两轴自激振荡，振幅固定，频率相同，相位正交，同时产生一个与z轴角速度相关的变量V。z轴方向上四个固定电极对应的四个检测电容分别为Czx+、Czx-、Czy+、Czy-，电容值(Czx++Czx-)-(Czx++Czx-)与z轴转角成正比。将变量V和四个电容Czx+、Czx-、Czy+、Czy-输入到检测模块，经过C-V变换后得到电压信号，再用
Figure GDA0002356896720000045
和
Figure GDA0002356896720000046
两个正交信号分别进行解调、滤波、补偿等处理后可以得到待测角速度Ωx,Ωy,Ωz，采用正交信号进行驱动和解调，检测加速度之间的耦合很小，信号处理更为简便。
驱动模块(Driving Module)连接陀螺仪驱动电极Vx+、Vx-、Vy+、Vy-和陀螺振子，驱动xy轴做作同频振动，两驱动轴振幅恒定，相位差恒定，同时产生控制变量V、驱动谐振频率和相位(Driving Frequency and Phase Reference)。当有角速度输入时，栅型检测电极Vzx+、Vzx-、Vzy+、Vzy-和振子结构之间的电容产生相应的变化量ΔCzx+、ΔCzx-、ΔCzy+、ΔCzy-。电容变化量和驱动环路产生的控制变量V、频率、相位输入到检测模块(SensingModule)，经过检测模块处理后得到三轴角速度输出量。
x轴驱动通过锁相环(Phase Locked Loop，PLL)锁定频率，通过自动增益控制(Auto Gain Control，AGC)来锁定振幅。PLL模块由相位探测器(Phase Detector，PD)、低通滤波器(Low Frequency Filter，LPF)、压控振荡器(Voltage Controlled Oscillator，VCO)组成，AGC模块由整流器(Rectifier)、低通滤波器(LPF)，比例积分控制器(PIController)组成。振子在x轴相当于一个谐振器(xResonator)，驱动扭矩τx经过和外界z轴角速度(大小为Ωz)引起的科里奥利效应扭矩会使xResonator产生一个角度。x轴谐振器经过跨阻放大器(Trans Impedance Amp，TIA)、PLL模块组成闭环可以锁定谐振频率，而与AGC模块组成的闭环可以锁定振幅，振幅大小可以通过变量Vxref调节。
PLL中LPF的输出信号V与z角速度有关，可以用来测量z轴角速度。
PLL输出信号(VCO端输出)进行一定相移(例如-90°相移)输入到y轴谐振器(yResonator)作为参考驱动信号，y轴谐振器与TIA和AGC组成闭环。y轴的稳定频率与x轴相同，幅度锁定，其大小可以由变量Vyref设定。此外，y轴谐振器也会受到z轴角度的影响。
当三个环路稳定时，xy轴两个谐振器频率相等ωd、相差恒定(例如-90°)。此时，x轴角度为θ0xcos(ωdt+Δφ)，y轴角速度为θ0ysin(ωdt+Δφ)，z轴角速度科里奥利效应在x轴产生的扭矩为-Ixωdθ0ycos(ωdt+Δφ)，在y轴产生的扭矩为-Iyωdθ0xcos(ωdt+Δφ)，其中，θox,θoy分别为xy轴的角振动幅度，Ix,Iy分别为xy轴的转动惯量。
检测电容变化量ΔCzx+和ΔCzx-经过CV变换后求和，ΔCzy+和ΔCzy-经过CV变换后求和，两个量再求差，然后经过解调、低通滤波(LPF)后求得xy轴角速度Ωx和Ωy。差量解调参考信号相位相差90°，即cos(ωdt+Δφ)和sin(ωdt+Δφ)。
以上只是本发明的优选实施方式，本领域技术人员在不脱离本发明原理的前提下，对本发明的改进或变动，应当理解为仍属于本发明的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种微机械单振子三轴陀螺仪，包括一个在x轴和y轴对称的环形振子(1)、多个支撑梁(3)和一个万向节(2)，所述万向节(2)设置于所述振子(1)中心，通过所述多个支撑梁(3)连接所述振子(1)和所述万向节(2)，所述振子(1)可在所述x轴和所述y轴上进行弹性振动，在所述振子(1)表面上设置有多个振子电极Vdc(12)，在所述振子电极Vdc(12)上方排布多个固定电极(4、5、6、7、8、9、10、11)，所述振子电极Vdc(12)与其上方排布的所述多个固定电极(4、5、6、7、8、9、10、11)一一对应，所述多个固定电极(4、5、6、7、8、9、10、11)中部分是驱动电极(4、5、6、7)，部分是检测电极(8、9、10、11)，所述驱动电极(4、5、6、7)和所述检测电极(8、9、10、11)相互交替分布，所述检测电极(8、9、10、11)用于检测振子(1)在所述x轴、所述y轴和z轴的角速度，驱动模块连接所述驱动电极Vx+(4)、Vx-(5)、Vy+(6)、Vy-(7)和所述振子(1)，驱动所述振子(1)在正交的所述x轴和所述y轴作一定频率的同频振动，所述振子(1)在所述x轴和所述y轴所作振动的振幅恒定，相位差恒定；当所述振子(1)发生振动时，所述检测电极(8、9、10、11)和所述振子电极Vdc(12)之间的电容产生相应的电容变化量ΔCzx+、ΔCzx-、ΔCzy+、ΔCzy-，所述驱动模块产生控制变量V、驱动谐振频率和相位；
还包括检测模块，所述电容变化量ΔCzx+、ΔCzx-、ΔCzy+、ΔCzy-、所述控制变量V、所述驱动谐振频率、所述相位经检测模块处理后得到所述x轴角速度、所述y轴角速度和所述z轴角速度，其中，ΔCzx+、ΔCzx-、ΔCzy+、ΔCzy-用于得到所述x轴角速度和所述y轴角速度，控制变量V用于得到所述z轴角速度。
2.如权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于：所述振子(1)为圆环形或多边环形。
3.如权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于：所述支撑梁(3)为四根。
4.如权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于：所述检测电极(8、9、10、11)为栅型电极。
5.如权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于：所述多个固定电极(4、5、6、7、8、9、10、11)包括四个驱动电极Vx+(4)、Vx-(5)、Vy+(6)、Vy-(7)。
6.如权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于：所述多个固定电极(4、5、6、7、8、9、10、11)包括四个检测电极Vzx+(8)、Vzx-(9)、Vzy+(10)、Vzy-(11)。
7.如权利要求4所述的陀螺仪，其特征在于：所述驱动电极Vx+(4)、Vx-(5)和振子构成一个x轴角振动谐振器，用于所述振子(1)的x轴驱动，驱动所述振子(1)在所述x轴的振动。
8.如权利要求5所述的陀螺仪，其特征在于：所述驱动电极Vy+(6)、Vy-(7)和振子构成一个y轴角振动谐振器，用于所述振子(1)的y轴驱动，驱动所述振子(1)在所述y轴的振动。
9.如权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于：所述振子(1)在所述x轴和所述y轴所作振动的振幅相同或不同。
10.如权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于：所述驱动模块包括锁相环(PLL)模块，锁相环(PLL)模块由相位探测器(PD)、低通滤波器(LPF)、压控振荡器(VCO)组成，所述x轴驱动通过所述锁相环(PLL)模块锁定频率。
11.如权利要求10所述的陀螺仪，其特征在于：所述驱动模块包括自动增益控制模块(AGC)，自动增益控制(AGC)模块由整流器(Rectifier)、低通滤波器(LPF)，比例积分控制器(PI Controller)组成，所述x轴驱动通过所述自动增益控制(AGC)模块锁定振幅。
CN201810077230.6A 2018-01-26 2018-01-26 微机械单振子三轴陀螺仪 Active CN108332731B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810077230.6A CN108332731B (zh) 2018-01-26 2018-01-26 微机械单振子三轴陀螺仪

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810077230.6A CN108332731B (zh) 2018-01-26 2018-01-26 微机械单振子三轴陀螺仪

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108332731A CN108332731A (zh) 2018-07-27
CN108332731B true CN108332731B (zh) 2020-05-19

Family

ID=62925819

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810077230.6A Active CN108332731B (zh) 2018-01-26 2018-01-26 微机械单振子三轴陀螺仪

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108332731B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117091581B (zh) * 2023-08-21 2024-08-23 东南大学 一种基于双轴频分复用的振动陀螺阻尼耦合抑制方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102947673A (zh) * 2010-05-17 2013-02-27 硅石传感系统有限公司 具有正交抑制的速度传感器
CN203014748U (zh) * 2012-11-29 2013-06-19 杭州士兰微电子股份有限公司 微机械陀螺仪闭环驱动自动增益控制电路
CN103575262A (zh) * 2013-10-11 2014-02-12 上海交通大学 摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺
CN106643685A (zh) * 2016-11-07 2017-05-10 中北大学 一种全新的u形折叠梁硅微环形振动陀螺

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI245902B (en) * 2004-05-14 2005-12-21 Chung Shan Inst Of Science Microstructure angular velocity sensor device
US9506757B2 (en) * 2013-03-14 2016-11-29 Invensense, Inc. Duty-cycled gyroscope

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102947673A (zh) * 2010-05-17 2013-02-27 硅石传感系统有限公司 具有正交抑制的速度传感器
CN203014748U (zh) * 2012-11-29 2013-06-19 杭州士兰微电子股份有限公司 微机械陀螺仪闭环驱动自动增益控制电路
CN103575262A (zh) * 2013-10-11 2014-02-12 上海交通大学 摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺
CN106643685A (zh) * 2016-11-07 2017-05-10 中北大学 一种全新的u形折叠梁硅微环形振动陀螺

Also Published As

Publication number Publication date
CN108332731A (zh) 2018-07-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10209270B2 (en) Inertial sensors
KR101178692B1 (ko) 코리올리 자이로스코프
TW466334B (en) Angular rate producer with microelectromechanical system technology
JP4690652B2 (ja) マイクロ電子機械システム
US5987986A (en) Navigation grade micromachined rotation sensor system
US10809061B2 (en) Vibratory gyroscope including a plurality of inertial bodies
JP5554930B2 (ja) 自己較正を備えた容量性バルク弾性波ディスク・ジャイロスコープ
JP2007519925A (ja) 電子結合を持つ微小機械加工振動ジャイロスコープ、及び方法
CN109596115A (zh) 一种嵌套环式振动陀螺非线性效应抑制方法
CN114383590A (zh) 速率积分陀螺的相位误差辨识和补偿方法
EP2685210A2 (en) Class ii coriolis vibratory rocking mode gyroscope with central fixed post
CN111024056A (zh) 一种高动态输入的mems陀螺带宽扩展闭环控制方法
Liu et al. Digital closed-loop control based on adaptive filter for drive mode of a MEMS gyroscope
CN108332732B (zh) 微机械单振子三轴陀螺仪的驱动和检测装置
CN108332731B (zh) 微机械单振子三轴陀螺仪
CN108318019B (zh) 测量微机械单振子三轴陀螺仪的三轴角速度的方法
Fan et al. High performance MEMS disk gyroscope with force-to-rebalance operation mode
CN108332734B (zh) 测量微机械单振子三轴陀螺仪的三轴角速度的方法
CN108332733B (zh) 微机械单振子三轴陀螺仪的驱动和检测装置
CN108318018B (zh) 微机械单振子三轴陀螺仪
KR100203315B1 (ko) 2축 내비게이션 그레이드 마이크로머신드 회전 센서 시스템
US11073391B2 (en) Coriolis vibratory accelerometer system
Bo et al. Research on a new decoupled dual-mass micro-gyroscope
JP2000503756A (ja) ２軸のナビゲーショングレードのミクロ機械加工回転センサシステム
Parajuli et al. Closed-Loop Operation of a High-Q Silicon MEMS Quatrefoil Suspension Gyroscope

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant