JP5548225B2 - 半導体基板製品の製造方法及びエッチング液 - Google Patents
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Description
〔1〕p型不純物とn型不純物とをそれぞれ含む2層以上のシリコンの層と酸化シリコンの層とを有する半導体基板にエッチング液を適用して、前記酸化シリコンの層を選択的にエッチングする半導体基板製品の製造方法であって、前記エッチング液が水とフッ酸化合物と有機溶剤とを含有する半導体基板製品の製造方法。
〔2〕前記フッ酸化合物濃度が3質量%以下である〔1〕に記載の半導体基板製品の製造方法。
〔3〕前記有機溶剤がアルコール化合物および/またはエーテル化合物である記載の〔1〕または〔2〕に半導体基板製品の製造方法。
〔4〕前記エッチング液中の有機溶剤の含有率が25質量%以上80質量%以下である〔1〕〜〔3〕のいずれか1つに記載の半導体基板製品の製造方法。
〔5〕前記有機溶剤がアルキレングリコールアルキルエーテルである〔1〕〜〔4〕のいずれか1つに記載の半導体基板製品の製造方法。
〔6〕前記エッチングは前記基板上の前記エッチング液の液温が30℃以下で行う〔1〕〜〔5〕のいずれか1つに記載の半導体基板製品の製造方法。
〔7〕前記エッチングは、枚葉式エッチング装置にて行う〔1〕〜〔6〕のいずれか1つに記載の半導体基板製品の製造方法。
〔8〕前記エッチング後の前記エッチング液は循環させて再び前記エッチングに用いる〔1〕〜〔7〕のいずれか1つに記載の半導体基板製品の製造方法。
〔9〕前記エッチング後にイソプロパノールを用いて前記基板表面をリンスする〔1〕〜〔8〕のいずれか1つに記載の半導体基板製品の製造方法。
〔10〕前記不純物を含むシリコンの層が、さらにゲルマニウムを含む〔1〕〜〔9〕のいずれか1つに記載の半導体基板製品の製造方法。
〔11〕前記有機溶剤が、比誘電率5〜40の化合物からなる〔1〕〜〔10〕のいずれか1つに記載の半導体基板製品の製造方法。
〔12〕前記有機溶剤が、引火点20〜500℃の化合物からなる〔1〕〜〔11〕のいずれか1つに記載の半導体基板製品の製造方法。
〔13〕前記p型不純物層がB + およびBF 2 + から選ばれる少なくとも1つを含む〔1〕〜〔12〕のいずれか1つに記載の半導体基板製品の製造方法。
〔14〕前記n型不純物層がP + 、As + 、およびSb + から選ばれる少なくとも1つを含む〔1〕〜〔13〕のいずれか1つに記載の半導体基板製品の製造方法。
〔15〕前記p型不純物とn型不純物とをそれぞれ含む2層以上のシリコンの層が、前記酸化シリコンの層の下地の層である〔1〕〜〔14〕のいずれか1つに記載の半導体基板製品の製造方法。
〔16〕前記p型不純物とn型不純物とをそれぞれ含む2層以上のシリコンの層のガルバニック腐食によるボイドの発生を抑制もしくは防止して、前記酸化シリコンの層をエッチングすることができる〔1〕〜〔15〕のいずれか1つに記載の半導体基板製品の製造方法。
〔17〕p型不純物とn型不純物とをそれぞれ含む2層以上のシリコンの層と酸化シリコンの層とを有する半導体基板に適用して前記酸化シリコンの層を選択的にエッチングするエッチング液であって、水とフッ酸化合物と有機溶剤を含有するエッチング液。
〔18〕前記フッ酸化合物濃度が3質量%以下である〔17〕に記載のエッチング液。
〔19〕前記有機溶剤が25質量%以上80質量以下である〔17〕または〔18〕に記載のエッチング液。
〔20〕前記有機溶剤が、比誘電率5〜40の化合物からなる〔17〕〜〔19〕のいずれか1つに記載のエッチング液。
〔21〕前記有機溶剤が、引火点20〜500℃の化合物からなる〔17〕〜〔20〕のいずれか1つに記載のエッチング液。
〔22〕前記p型不純物とn型不純物とをそれぞれ含む2層以上のシリコンの層のガルバニック腐食によるボイドの発生を抑制もしくは防止して、前記酸化シリコンの層をエッチングすることができる〔17〕〜〔21〕のいずれか1つに記載のエッチング液。
〔23〕前記p型不純物とn型不純物とをそれぞれ含む2層以上のシリコンの層が、前記酸化シリコンの層の下地の層である〔17〕〜〔22〕のいずれか1つに記載のエッチング液。
〔24〕シリコンの層にp型の不純物をドーピングしてなるp型不純物層と、シリコンの層にn型の不純物をドーピングしてなるn型不純物層と、酸化シリコンの層とを表面に露出した状態で有するシリコン基板を準備する工程、
水とフッ酸化合物と有機溶剤とを含有するエッチング液を準備する工程、
前記シリコン基板に前記エッチング液を適用して、前記酸化シリコン層を選択的にエッチングする半導体基板製品の製造方法。
〔25〕前記p型不純物とn型不純物とをそれぞれ含む2層以上のシリコンの層が、前記酸化シリコンの層の下地の層である〔24〕に記載の半導体基板製品の製造方法。
〔26〕〔1〕〜〔16〕のいずれか1つで規定される工程を経て半導体基板製品を製造し、これに加工を加えて半導体製品とする半導体製品の製造方法。
また、本発明のエッチング液は、前記優れた品質を達成する半導体基板製品ないし半導体装置の製造への適用に有用である。
図1(工程(a))に示すように、基板11として単結晶シリコン基板を用いる。基板11には、トランジスタが形成される領域にウエル12を形成し、さらにチャネルドープ層13を形成する。ウエル12は、nMOSトランジスタを作製する場合にはp型ウエルとする。例えば、イオン注入法によってイオン種にホウ素(B+)用い、注入エネルギー100keV〜2MeV、ドーズ量1×1011atom/cm2〜1×1012atom/cm2とする。なお、pMOSトランジスタを作製する場合にはn型ウエルとする。基板11の導電型によっては、ウエル12を作製しない場合がある。
また、チャネルドープ層13は、nMOSトランジスタを作製する場合にはp型とする。例えば、イオン注入法によってイオン種にホウ素(B+)用い、注入エネルギー10keV〜20keV、ドーズ量1×1012atom/cm2〜2×1013atom/cm2とする。なおpMOSトランジスタを作製する場合にはn型とする。なお、ウエル12形成の前もしくは後に、トランジスタ等の素子形成領域を電気的に区分する素子分離(図示せず)を絶縁膜素子分離(例えばSTI:Shallow Trench Isolation)もしくは拡散層素子分離で形成するのが一般的である。
上記基板11には、上記単結晶シリコン基板の他に、SOI(Silicon On Insulator)基板、SOS(Silicon On Sapphire)基板、シリコン層を有する化合物半導体基板等、シリコン層を有する種々の基板を用いることができ、基板11に予め回路、素子等が形成されてもよい。
次にリソグラフィー技術を用いて、ダミーゲート膜、ダミー膜を加工して、ダミーゲート(図示せず)を形成する。このとき、ダミーゲート下部には、同時加工されたダミー膜14が残される。
さらに、イオン注入技術を用いて、エクステンション層15,16下部のソース17端、ドレイン18端となる位置にハロ層19,20を形成する。例えば、p型不純物のイオン種にBF2 +を用い、注入エネルギー10keV〜15keV、ドーズ量1×1013atom/cm2〜1×1014atom/cm2とする。ハロ層19,20は、短チャネル効果に伴って発生するパンチスルーの影響を軽減し、トランジスタの特性を所望値に合わせ込むためのもので、ソース17,ドレイン18と逆導電型の不純物をイオン注入することで形成され、一般的にはチャネルドープ層13の不純物濃度よりも高濃度に形成される。図1(a)はハロ層19,20を形成した直後の状態を示している。ダミー膜14を除去する前にハロ層19,20の形成を行うことにより、ダミー膜14が緩衝膜になり、イオン注入によるチャネルドープ層13へのダメージが抑制される利点がある。
上記、ゲート絶縁膜には、High−k膜を用いることができる。High−k膜としては、酸化ハフニウム(HfO2)、酸化アルミニウムハフニウム(HfAlO2)、酸化シリコンハフニウム(HfSiO)、酸化タンタル(Ta2O5)や酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化ジルコニウム(ZrO2)等が挙げられる。これらの膜の成膜には、原子層蒸着(ALD:Atomic layer deposition)法、化学的気相成長(CVD:Chemical Vapor Deposition)法等の一般的な成膜方法を用いる。また、ゲート絶縁膜の膜厚は1nm〜3nmとする。また、酸化シリコン膜、酸窒化シリコン膜との積層膜としてもよい。
上記ゲート電極には、窒化チタン(TiN)、チタン(Ti)、チタンシリコン(TiSi)、ニッケル(Ni)、ニッケルシリサイド(NiSi)、ハフニウム(Hf)、ハフニウムシリサイド(HfSi)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、タンタルシリサイド(TaSi)、窒化タンタルシリサイド(TaSiN)、コバルト(Co)、コバルトシリサイド(CoSi)、ルテニウム(Ru)やインジウム(Ir)等が挙げられる。これらの膜は、一般にALD法や物理的気相堆積(PVD:Physical Vapor Deposition)法を用いて成膜される。
その後、層間絶縁膜を形成し、配線形成工程、その他の素子形成工程を行う。
なお、上記イオン注入工程におけるドーズ量、注入エネルギーは一例であって、トランジスタと特性に合わせて適宜決定される。
次に、上記ダミー膜14を除去する工程において説明したウエットエッチングに極めて効果的に用いることができる本願発明のエッチング液の好ましい実施形態について説明する。本実施形態のエッチング液は、水とフッ酸化合物と有機溶剤とを含む。これにより、上述のような酸化シリコン膜の除去を、下地の不純物をドープしたシリコン層をエッチングすることなく行うことを可能にした。
本発明のエッチング液は、その媒体として水が適用されており、各含有成分が均一に溶解した水溶液であることが好ましい。水は、エッチング液の全質量に対してフッ酸化合物および有機溶剤を除く残部であり、全体で100質量%となることを意味している。水としては、本発明の効果を損ねない範囲で溶解成分を含む水性媒体であってもよく、あるいは不可避的な微量混合成分を含んでいてもよい。なかでも、蒸留水やイオン交換水、もしくは超純水といった浄化処理を施された水が好ましく、半導体基板製品製造に使用される超純水を用いることが特に好ましい。
フッ酸化合物とは、系内でフッ素イオン(F−)を生じる化合物を意味し、フッ酸(フッ化水素酸)及びその塩を含むものと定義する。具体的には、フッ酸、フッ化アルカリ金属塩(NaF,KFなど)、アミンのフッ化水素酸塩(フッ化水素酸モノエチルアミン、トリエチルアミン三フッ化水素酸など)、ピリジンフッ化水素酸、フッ化アンモニウム、第4級アルキルアンモニウムフッ化物(フッ化テトラメチルアンモニウム、フッ化テトラ−n−ブチルアンモニウムなど)、H2SiF6、HBF4、HPF6が挙げられる。なかでも、フッ酸、アミンのフッ化水素酸塩(フッ化水素酸モノエチルアミン、トリエチルアミン三フッ化水素酸など)、ピリジンフッ化水素酸、フッ化アンモニウム、第4級アルキルアンモニウムフッ化物(フッ化テトラメチルアンモニウム、フッ化テトラ−n−ブチルアンモニウムなど)、H2SiF6、HBF4、HPF6が好ましく、フッ酸、フッ化アンモニウム、第4級アルキルアンモニウムフッ化物(フッ化テトラメチルアンモニウム)、H2SiF6、HBF4、HPF6、がより好ましく、フッ酸が特に好ましい。
なお、本明細書において「化合物」と末尾に付して示すとき、あるいは化合物をその名称で表示するときを含め、当該化合物そのもののほか、その塩、錯体、そのイオンを含む意味に用いる。また、所望の効果を奏する範囲で、所定の一部を変化させた誘導体を含む意味である。さらに、置換・無置換を明記していない化合物について、任意の置換基を有していてもよい意味であるも同義である。
本実施形態のエッチング液を構成するのに使われる有機溶剤としては、特に限定されないが、誘電率が低く、水媒体に均一に分散するあるいは溶解するものであることが好ましく、所定の含有量で均一に溶解するものであることがより好ましい。誘電率は低ければ低いほど好ましい。このような水溶性有機溶媒としては、アルコール化合物とエーテル化合物がある。
(水溶性有機溶剤)
水溶性有機溶剤は、腐食防止の点でよい。例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、1−プロピルアルコール、2−プロピルアルコール、2−ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン、1,6−ヘキサンジオール、シクロヘキサンジオール、ソルビトール、キシリトール、2−メチル−2,4−ペンタンジオール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール等のアルコール化合物溶剤、アルキレングリコールアルキルエーテル(エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等)を含むエーテル化合物溶剤、ホルムアミド、モノメチルホルムアミド、ジメチルホルムアミド、アセトアミド、モノメチルアセトアミド、ジメチルアセトアミド、モノエチルアセトアミド、ジエチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド化合物溶剤、ジメチルスルホン、ジメチルスルホキシド、スルホラン等の含硫黄化合物溶剤、γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン等のラクトン化合物溶剤等が挙げられる。
これらの中で好ましいのは炭素数1〜4のアルコール化合物、炭素数3〜10のエーテル化合物である。更に好ましくは、水酸基とエーテル基とを有するアルコール・エーテル化合物であり、なかでもアルキレングリコールアルキルエーテル(好ましくは炭素数3〜10)が好ましく、エチレングリコールアルキルエーテルがより好ましく、エチレングリコールモノブチルエーテル特に好ましい。水溶性有機溶剤は単独でも2種類以上適宜組み合わせて用いてもよい。なお、本明細書においては、水酸基(−OH)とエーテル基(−O−)とを分子内にもつ化合物は、原則的にはエーテル化合物に含まれるものとし(アルコール化合物とはしない)、いずれとも区別するときには上記のとおりアルコール・エーテル化合物と称することがある。
HF 有機溶剤
好ましくは 0.01−10質量% 10−90質量%
より好ましくは 0.1−5質量% 20−85質量%
特に好ましくは 0.1−3質量% 25−80質量%
なお、上記引火点および比誘電率の値は、講談社「サイエンティフィック(第4版)」溶剤ハンドブックを参照することができる。
加工される半導体基板製品の構造、形状、寸法等は特に限定されないが、上述したような、ダミーゲート、ダミー膜およびサイドウォールを用いてエクステンション層およびソース、ドレインを形成する絶縁ゲート型電界効果トランジスタの作製工程において、特にダミーゲート除去後のダミー膜のエッチングに高い効果が得られ好ましい。
本発明の半導体基板製品の製造方法およびエッチング液は、上述の製造工程にのみ適用されるのではなく、特に制限なく種々のエッチングに用いることができる。
本発明で用いられるエッチング装置としては、特に限定されないが、枚葉式を用いることができる。枚葉式はウエハを1枚ずつエッチング処理する方式である。枚葉式の実施形態の一つとしては、スピンコーターでウエハ表面全体にエッチング液を行き渡らせてエッチングする方法がある。
エッチング液の液温、エッチング液の吐出量、スピンコーターのウエハの回転数は、エッチング対象となる基板の選択によって、適した値に選択して用いられる。
本発明において、温調した薬液供給ライン形式は、特に限定されないが、好ましい例を以下に記す。ここでいう温調とは、薬液を所定の温度に保持することをいう。通常は薬液を加熱して所定の温度に保持する。
薬液の供給ライン例
(1)(a)薬液保管タンク→(b)温調タンク→(c)インライン温調→(d)ウエハに吐出→(a)または(b)へ戻る。
(2)(a)薬液タンク→(b)温調タンク→(d)ウエハに吐出→(a)または(b)へ戻る。
(3)(a)薬液タンク→(c)インライン温調→(d)ウエハに吐出→(a)へ戻る。
(4)(a)薬液タンク→(b)温調タンク→(e)エッチング浴槽(循環温調)。
(5)(a)薬液タンク→(e)エッチング浴槽(循環温調)。
(6)(b)温調タンク→(d)ウエハに吐出→(b)へ戻る。
(7)(b)温調タンク→(c)インライン温調→(d)ウエハに吐出→(b)へ戻る。
(8)(b)温調タンク→(e)エッチング浴槽(循環温調)などの使用方法がある。
本発明における被エッチング層は、構成元素がシリコンと酸素のものをいう。具体的には、二酸化シリコン(SiO2)、二酸化シリコンのSiに未結合手(ダングリングボンド)が存在するもの、二酸化シリコンのSiの未結合手に水素が結合したもの、等であり、さらにそれらにゲルマニウムもしくは炭素を含むものであってもよい。
本実施形態の酸化シリコンのエッチング液は、異なる導電型不純層を有するシリコン層が下地であっても、ガルバニック腐食を起こさず酸化シリコンまたはゲルマニウムもしくは炭素を含む酸化シリコンの被エッチング層をエッチングにより除去することができる。
以下の表1に示す各試験No.の成分および組成(質量%)としたエッチング液(試験液)を調液した。
上記実施形態で説明した製造方法により作製した前記図1(工程a)に示したパターンを用意した。
基板には単結晶<100>シリコン基板を用い、チャネルドープ層をドーズ量3×1014atom/cm2、注入エネルギー210keVでホウ素をイオン注入して形成した。さらにエクステンション層を形成するよう、ドーズ量1.0×1015atom/cm2、注入エネルギー3keVでヒ素をイオン注入した。
サイドウォールには窒化シリコン膜を用い、ダミー膜にはSiO2膜を用いた。
上述のようなダミー膜とサイドウォールが形成された基板を、枚葉式装置(SPS−Europe B.V.社製、POLOS(商品名)))にて下記の条件でエッチングした。
(エッチング条件)
・薬液温度:25℃
・吐出量:2L/min.
・ウエハ回転数500rpm
エッチング後、水にてリンスを行い、乾燥させた。
上記の薬液温度は下記のようにして測定した。株式会社堀場製作所製の放射温度計IT−550Fを枚葉式装置内のウェハ上30cmの高さに固定した。ウェハ中心から2cm外側のウェハ表面上に温度計を向け、薬液を流しながら温度を計測した。温度は、放射温度計からデジタル出力し、パソコンで記録した。なお、測定の時機についてエッチング処理の初期の温度が上昇過程にあり低くなることから、十分に安定した時機として、処理時間の最終の10秒間の温度を平均した値をウエハ上の温度とした。
評価は、チャネルドープ層上のSiO2膜の除去性とエクステンション層のボイドの有無について行った。いずれの評価も、TEMによりエクステンション層の断面観察を行い、目視により行った。なお、除去率はエッチング前後で計測されたエクステンション層の面積の比率で評価した。
(SiO2膜除去性)
SiO2膜の除去性の評価は、下記のように区分して行った。
A:除去率が100%の場合
B:除去率が80%以上100%未満の場合
C:除去率が50%以上80%未満の場合
D:除去率が50%未満の場合
(ボイド有無)
ボイドの評価は、エクステンション層にボイドが発生しているか、否かで判定し、ボイドが発生している場合には有と表し、ボイドが発生していない場合には無と表した。
IP:イソプロパノール
EG:エチレングリコール
EGmME:エチレングリコールモノメチルエーテル
EGmEE:エチレングリコールモノエチルエーテル
EGmBE:エチレングリコールモノブチルエーテル
PGmME:プロピレングリコールモノメチルエーテル
DPGmME:ジプロピレングリコールモノメチルエーテル
よって、ダミーゲートおよびダミー膜を除去して、ゲート絶縁膜およびゲート電極を形成する工程を有するMISトランジスタの製造プロセスにおいて、特にダミー膜の除去工程に本発明の方法を適用することが非常に有効であり、トランジスタの信頼性に対して優れた効果を奏することが分かる。
前述のエッチング試験後、実施例で用いたエッチング液(前記薬液No.104、105)を循環させて、上述の実施例のエッチング試験と同様のエッチングを3回行った。そのエッチング性能としては、SiO2膜を残りなくエッチングでき、しかもエクステンション層にボイドを発生しないことが確認できた。
エッチング液(前記薬液No.104、105)によりエッチングした後のリンスを水の代わりにイソプロパノールを用いて行った。その結果、ウエハ面内の欠陥数が著しく減少することが確認できた。この欠陥とはウォーターマークの発生をいう。
12 ウエル
13 チャネルドープ層
14 ダミー膜
15,16 エクステンション層
17,18 ハロ層
19 ソース
20 ドレイン
21 サイドウォール
22 層間絶縁膜
v ボイド(窪み)
Claims (26)
- p型不純物とn型不純物とをそれぞれ含む2層以上のシリコンの層と酸化シリコンの層とを有する半導体基板にエッチング液を適用して、前記酸化シリコンの層を選択的にエッチングする半導体基板製品の製造方法であって、前記エッチング液が水とフッ酸化合物と有機溶剤とを含有する半導体基板製品の製造方法。
- 前記フッ酸化合物濃度が3質量%以下である請求項1に記載の半導体基板製品の製造方法。
- 前記有機溶剤がアルコール化合物および/またはエーテル化合物である記載の請求項1または2に半導体基板製品の製造方法。
- 前記エッチング液中の有機溶剤の含有率が25質量%以上80質量%以下である請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体基板製品の製造方法。
- 前記有機溶剤がアルキレングリコールアルキルエーテルである請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体基板製品の製造方法。
- 前記エッチングは前記基板上の前記エッチング液の液温が30℃以下で行う請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体基板製品の製造方法。
- 前記エッチングは、枚葉式エッチング装置にて行う請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体基板製品の製造方法。
- 前記エッチング後の前記エッチング液は循環させて再び前記エッチングに用いる請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体基板製品の製造方法。
- 前記エッチング後にイソプロパノールを用いて前記基板表面をリンスする請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体基板製品の製造方法。
- 前記不純物を含むシリコンの層が、さらにゲルマニウムを含む請求項1〜9のいずれか1項に記載の半導体基板製品の製造方法。
- 前記有機溶剤が、比誘電率5〜40の化合物からなる請求項1〜10のいずれか1項に記載の半導体基板製品の製造方法。
- 前記有機溶剤が、引火点20〜500℃の化合物からなる請求項1〜11のいずれか1項に記載の半導体基板製品の製造方法。
- 前記p型不純物層がB + およびBF 2 + から選ばれる少なくとも1つを含む請求項1〜12のいずれか1項に記載の半導体基板製品の製造方法。
- 前記n型不純物層がP + 、As + 、およびSb + から選ばれる少なくとも1つを含む請求項1〜13のいずれか1項に記載の半導体基板製品の製造方法。
- 前記p型不純物とn型不純物とをそれぞれ含む2層以上のシリコンの層が、前記酸化シリコンの層の下地の層である請求項1〜14のいずれか1項に記載の半導体基板製品の製造方法。
- 前記p型不純物とn型不純物とをそれぞれ含む2層以上のシリコンの層のガルバニック腐食によるボイドの発生を抑制もしくは防止して、前記酸化シリコンの層をエッチングすることができる請求項1〜15のいずれか1項に記載の半導体基板製品の製造方法。
- p型不純物とn型不純物とをそれぞれ含む2層以上のシリコンの層と酸化シリコンの層とを有する半導体基板に適用して前記酸化シリコンの層を選択的にエッチングするエッチング液であって、水とフッ酸化合物と有機溶剤を含有するエッチング液。
- 前記フッ酸化合物濃度が3質量%以下である請求項17に記載のエッチング液。
- 前記有機溶剤が25質量%以上80質量以下である請求項17または18に記載のエッチング液。
- 前記有機溶剤が、比誘電率5〜40の化合物からなる請求項17〜19のいずれか1項に記載のエッチング液。
- 前記有機溶剤が、引火点20〜500℃の化合物からなる請求項17〜20のいずれか1項に記載のエッチング液。
- 前記p型不純物とn型不純物とをそれぞれ含む2層以上のシリコンの層のガルバニック腐食によるボイドの発生を抑制もしくは防止して、前記酸化シリコンの層をエッチングすることができる請求項17〜21のいずれか1項に記載のエッチング液。
- 前記p型不純物とn型不純物とをそれぞれ含む2層以上のシリコンの層が、前記酸化シリコンの層の下地の層である請求項17〜22のいずれか1項に記載のエッチング液。
- シリコンの層にp型の不純物をドーピングしてなるp型不純物層と、シリコンの層にn型の不純物をドーピングしてなるn型不純物層と、酸化シリコンの層とを表面に露出した状態で有するシリコン基板を準備する工程、
水とフッ酸化合物と有機溶剤とを含有するエッチング液を準備する工程、
前記シリコン基板に前記エッチング液を適用して、前記酸化シリコン層を選択的にエッチングする半導体基板製品の製造方法。 - 前記p型不純物とn型不純物とをそれぞれ含む2層以上のシリコンの層が、前記酸化シリコンの層の下地の層である請求項24に記載の半導体基板製品の製造方法。
- 請求項1〜16のいずれか1項で規定される工程を経て半導体基板製品を製造し、これに加工を加えて半導体製品とする半導体製品の製造方法。
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