JP5531171B2 - Mems測定装置 - Google Patents
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Description
また、レーザドップラ振動計の例としては、特開平10−221159号公報(特許文献3)や、特開平2−132395号公報(特許文献4)に開示されるものがある。
また、本発明に係るMEMS測定装置は必要に応じて、前記MEMSに振動を加える起振部を備えるものである。
前記各図において本実施形態に係るMEMS測定装置1は、光の周波数がそれぞれ異なる多数のレーザ光を同時発生させる光源部10と、この光源部10からのレーザ光より、光の周波数を所定周波数だけシフトさせた参照光を得る周波数シフト部20と、前記光源部10からの各レーザ光をその周波数ごとに進行方向を変化させてMEMS80に向わせる分光部30と、光源部10と分光部30の間で、分光部30に向うレーザ光を透過させる一方、MEMSから反射された反射光を所定方向に反射するビームスプリッタ40と、このビームスプリッタ40で反射されたMEMS80からの反射光と前記参照光とを組合わせて干渉させた干渉光を検出して検出信号を出力する光検出部50と、検出信号を各レーザ光の周波数成分ごとに分析し、MEMS80における各レーザ光の照射位置での変位を求める信号処理部60と、MEMS80を振動させる起振部70とを備える構成である。
10 光源部
11 レーザ光源
12 光コム発生器
20 周波数シフト部
30 分光部
40 ビームスプリッタ
50 光検出部
60 信号処理部
70 起振部
80 MEMS
Claims (5)
- 光の周波数がそれぞれ異なる多数のレーザ光を同時に発生させる光源部と、
当該光源部からのレーザ光から、光の周波数を所定周波数だけシフトさせた参照光を得る周波数シフト部と、
前記光源部から一様に入射した各レーザ光を周波数ごとに進行方向を変化させ、周波数ごとに異なる照射位置としてMEMSへ向わせ、振動しているMEMSの多数箇所にそれぞれ周波数の異なるレーザ光を同時照射すると共に、前記MEMSから反射された反射光を入射側へ透過させる分光部と、
前記光源部と分光部の間で、分光部に向うレーザ光を透過させる一方、MEMSから反射されて分光部を透過した反射光を所定方向に反射するビームスプリッタと、
当該ビームスプリッタで反射された前記MEMSからの反射光と前記参照光とを組合わせて干渉させた干渉光を検出し、干渉光に応じた検出信号を出力する光検出部と、
前記検出信号を各レーザ光の周波数成分ごとに分析し、検出信号より抽出される各レーザ光の反射前後におけるドップラシフトに基づく周波数変化から、MEMSにおける各レーザ光の照射位置での振動状態を求める信号処理部とを備え、
前記光源部が、所定周波数のレーザ光を発生させるレーザ光源と、当該レーザ光源で生じたレーザ光から、当該レーザ光の周波数を中心に等周波数間隔で多数のサイドバンドとしての周波数の異なるレーザ光を発生させる光コム発生器とを有するものであり、
前記分光部が、回折格子であり、入射した各レーザ光をMEMSに対しレーザ光同時照射位置がMEMS上で所定間隔をなして一直線状に並ぶ状態で進行させることを
特徴とするMEMS測定装置。 - 前記請求項1に記載のMEMS測定装置において、
前記MEMSに振動を加える起振部を備えることを
特徴とするMEMS測定装置。 - 前記請求項1又は2に記載のMEMS測定装置において、
前記各レーザ光が、MEMSに対し各レーザ光の照射位置が一直線状に並んだ方向と直交する向きへの走査を伴いつつ照射されることを
特徴とするMEMS測定装置。 - 前記請求項1ないし3のいずれかに記載のMEMS測定装置において、
MEMSの前記振動状態を、当該MEMSと同種類の良品における既知の振動状態と比較し、振動状態が同じ場合は良品と、また振動状態が異なる場合は不良品とそれぞれ判定する判定手段を備えることを
特徴とするMEMS測定装置。 - 前記請求項4に記載のMEMS測定装置において、
前記判定手段が、MEMSの振動状態と、当該MEMSと同種類の良品における既知の振動状態との比較を、多数の各レーザ光の照射位置のうち代表として抽出した所定の数箇所における振動状態についてのみそれぞれ実行し、前記数箇所の振動状態がそれぞれ同じ場合は良品と、また振動状態が異なる場合は不良品とそれぞれ判定することを
特徴とするMEMS測定装置。
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