JP3996561B2 - レーザドップラ振動計 - Google Patents
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Description
すなわち、レーザビームの光軸上に、回転体の回転軸が正確に位置していないと、回転体の周速の影響が測定結果に混入し、測定精度が劣化する。また、回転体の反射面で生じた正反射光以外の散乱光成分の受光ユニット5への入射による精度劣化の程度が比較的大きい。
図1に、本実施形態に係るレーザドップラ振動計の構成を示す。
図示するように、レーザドップラ振動計は、レーザ光源1、第1ビームスプリッタ2、音響光学素子3、第2ビームスプリッタ4、受光ユニット5、第3ビームスプリッタ6、送受光ヘッド7、ミラー8、解析装置9、回転センサ10とを備えている。すなわち、本レーザドップラ振動計は、図7に示したレーザドップラ振動計に回転センサ10を追加した構成を有している。
まず、本実施形態における変位算出の原理の概要について図2を用いて示す。
いま、速度信号Vに含まれる測定物100の真の変位によって生じる速度成分がa1に示すものであり、速度信号Vに含まれるレーザビームの光軸と回転体の回転軸との位置ずれや散乱光によって生じる速度成分がa2に示すように一様な速度を持つものであるとする。
この場合、速度信号Vを積分して得られる変位は、測定物100の真の変位によるa1の速度成分を積分して得られるb1の変位と、レーザビームの光軸と回転体の回転軸との位置ずれや散乱光によって生じるa2の速度成分を積分して得られる見かけの変位b2を加算した変位Pとなる。
そして、レーザビームの光軸と回転体の回転軸との位置ずれや散乱光によって生じるa2が一様である場合には、差分Dからレーザビームの光軸と回転体の回転軸との位置ずれや散乱光によって各時点における生じる見かけの変位Eを推定することができ、変位Pを推定値Eの推定に要する時間遅延させた変位P’から、この推定値Eを減算した値Rとして、測定物100の真の変位b1が得られることになる。
図3aは、解析装置9において変位算出処理を行う変位算出ブロックの構成例を示したものである。
図示した構成では、受光ユニット5から入力する速度信号VをA/D変換器301でデジタル変換して速度データVとする、そして積分ブロック302において速度データVを積分し、変位データPを得る。差分ブロック304は、この変位データPと、遅延ブロック303によって変位データPを測定物の1回転周期遅延した遅延変位データP'の差分を求め差分データDとする。そして、積分ブロック306において、差分データを乗算器305で1/mした値の積分値を求めて見かけ変位推定データEとし、遅延ブロック303において一回転周期遅延した変位データP'からみかけ変位推定データEを、減算ブロック307において減算し、算出変位データRとする。ここで、乗算器で乗算に用いるmは、測定物100の1回転周期期間中に生成する、A/D変換器301の速度データVのサンプリング数である。
図3bに、解析装置9においてソフトウエアの処理によって変位算出処理を行う場合の変位算出ブロックの構成例を示す。
図示するように、この変位算出ブロックでは、A/D変換器351は、受光ユニット5から入力する速度信号Vをデジタル変換して速度データVとして入力バッファ353に格納する。一方、ロータリーエンコーダ352は、回転センサ10から入力する回転同期信号に同期したA/D変換器351のサンプリングクロックの生成と、測定開始後何回転周期目の速度データVであって回転周期中何番目の速度データVであるかを識別可能に速度データVが入力バッファ353に格納されるように、速度データVの入力バッファ353の書き込み位置の制御を行う。
次に、このCPUが行う変位算出処理の手順を図4に示す。
図示するようにこの処理では、速度データVを測定順に入力バッファ353より読み出し(ステップ402、414、418、416)、以下の処理を行う。
すなわち、n番目の回転周期のi番目の速度データをV(n、i)として、と速度データV(n、i)と速度データV(n、i)に先行して測定した各速度データVの総和を求め、n番目の回転周期のi番目の変位データP(n、i)とし、メモリ354に格納する(ステップ404)。
そして、得られた変位データPが、2番目以降の回転周期の変位データである場合には(ステップ406)、その変位データP(n、i)から、メモリ354に格納されている、その変位データPの1回転周期前の変位データP'=P(n−1、i)を減算し、n番目の回転周期のi番目の差分データD(n,i)とする(ステップ408)。そして、差分データD(n,i)と、その差分データD(n,i)に先行して求めた差分データDの総和のiMax分の1を求め(ステップ410)、nー1番目の回転周期のi番目の見かけ変位推定データE(nー1、i)とする。ただし、iMaxは1回転周期期間中の速度データVのサンプル数である。
さて、解析装置9は、以上のような変位算出処理によって求めた算出変位データRに対して、測定物100の各回転周期で同回転角度(同じiの値)に対して得られた変位値の平均化やその他の後処理を施して最終的な測定物100の各回転角に対する変位を出力する。
以上のように、本実施形態によれば、レーザビームの光軸と回転体の回転軸との位置ずれや散乱光によって生じる速度成分が一様である場合には、これによって生じる見かけの変位を排除して、測定物100の真の変位を算出することができる。
ところで、本実施形態は、レーザビームの光軸と回転体の回転軸との位置ずれや散乱光によって生じる速度成分が一様でない場合においても、レーザビームの光軸と回転体の回転軸との位置ずれや散乱光によって生じる見かけの変位による測定誤差をある程度抑制することができる。
Claims (2)
- 回転体に当該回転体の回転軸と垂直な方向よりレーザビームを照射し、入射される反射ビームに生じたドップラシフト量より求まる速度信号を積分して求まる変位信号に基づいて、当該回転体の回転軸と垂直な方向の振動を測定するレーザドップラ振動計であって、
前記回転体の回転周期を検出する回転周期検出手段と、
前記回転体の1回転周期期間分の前記変位信号の変化量を見かけ変位量単位として算出する見かけ変位量単位算出手段と、
前記変位信号が表す変位量のうちの、前記速度信号に含まれる前記回転体表面の回転軸と垂直な測定対象方向の変位によらない速度成分に起因する成分である見かけ変位量を、前記見かけ変位量単位が1回転周期分の前記見かけ変位量の総和であるとして推定する見かけ変位量推定手段と、
前記変位信号が表す変位量から、前記見かけ変位量を減算して、前記回転体の変位量とする変位算出手段とを有することを特徴とするレーザドップラ振動計。
- 回転体に当該回転体の回転軸と垂直な方向よりレーザビームを照射し、入射される反射ビームに生じたドップラシフト量より求まる速度信号を積分して求まる変位信号に基づいて、当該回転体の回転軸と垂直な方向の振動を測定するレーザドップラ振動計において、回転体表面の回転軸と垂直な方向の変位を算出する変位算出方法であって、
前記回転体の1回転周期期間分の前記変位信号の変化量を見かけ変位量単位として算出するステップと、
前記変位信号が表す変位量のうちの、前記速度信号に含まれる前記回転体表面の回転軸と垂直な測定対象方向の変位によらない速度成分に起因する成分である見かけ変位量を、前記見かけ変位量単位が1回転周期分の前記見かけ変位量の総和であるとして推定するステップと、
前記変位信号が表す変位量から、前記見かけ変位量を減算して、前記回転体の変位量とするステップとを有することを特徴とする変位算出方法。
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