JP5526464B2 - 積層型圧電アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、積層型圧電アクチュエータに関するものである。

従来、インクジェットヘッドとしては、複数枚のシートを積層したキャビティユニットに、一定の配列ピッチで複数列に配置した複数の圧力室が設けられ、各圧力室に対応する活性部（エネルギー発生手段）を有する圧電アクチュエータがキャビティユニットと接合されている。そして、圧電アクチュエータとして、積層された複数のセラミックスシートの間に、複数の個別内部電極と、その複数の個別内部電極に共通のコモン内部電極とが少なくとも１つのセラミックスシートを挟んで対向配置され、その積層された複数のセラミックスシートの一表面に、前記個別内部電極と接続された個別表面電極と前記コモン内部電極と接続されたコモン表面電極とが形成されてなり、前記個別表面電極およびコモン表面電極に、駆動信号を入力するフレキシブルフラットケーブルの信号線の接続端子が接続されるものが知られている（例えば特許文献１、特許文献２参照）。

前記特許文献１に記載のものでは、さらに、個別表面電極と個別内部電極との間の複数のセラミックスシートの間に、前記個別表面電極と個別内部電極とを接続する複数の中継用電極が配置されている。そのようなものでは、個別内部電極と中継用電極と個別表面電極、またコモン内部電極と中継用電極とコモン表面電極をそれぞれ接続するために、セラミックスシートを貫通するスルーホールに導電材料を充填することが行われる。

また、特許文献２では、スルーホールを、個別内部電極の並び方向と平行に一列に整列しないように配置して、焼成工程においてスルーホールを基点にアクチュエータ全体が反り変形することを抑制することが開示されている。

また、特許文献１及び特許文献２のようなものでは、多数の個別表面電極に接続される多数の信号線をフレキシブルフラットケーブル上に平面状に配線しなければならず、個別表面電極と干渉することなく、かつ信号線どうしの間隔をあけるために、できるだけ個別表面電極間に隙間が存在するように個別表面電極を配置する必要がある。そのため、前記特許文献１に記載のものでは、隣り合う列の個別表面電極を、前記配列ピッチの半分のピッチだけずれた千鳥状に配置し、しかも、１つ列の各個別表面電極において、信号線と接続する位置を個別表面電極の列方向と直交する両端に交互に設定している。
特開２００６−１５５３９号公報 特開２００２−２５４６３４号公報

前記特許文献１記載のものでは、個別内部電極の圧力室外に延出した端部、中継用電極、個別表面電極を、積層方向に一致させて配置し、それらを接続するスルーホールをセラミックスシート毎に交互にずらせて形成しているが、個別内部電極の圧力室外に延出した端部及び中継用電極は、スルーホールに導電材料を充填するための必要最小限度の面積が確保されているだけである。そのため、スルーホールのずれ量がわずかで、その箇所でセラミックスシートの強度が不足したり、また特許文献２の従来技術に記載されている、スルーホールが一列に整列したものと同様に、焼成工程においてスルーホールを基点にアクチュエータ全体が反り変形することがある。特許文献２の構成のように個別内部電極が２列のものでは、その列の外側に、スルーホールを一列に整列させずに配置できるが、アクチュエータが大型化する。特許文献１のように、圧力室が複数列あるものでは、一層大型化する。近年の記録速度の増加と解像度の増加の要求に対応して、ノズルの数を多くしようとすれば、セラミックスをさらに大きくしなければならず、焼成による収縮が大きくなり、精度よく製作することが困難になる。

そこで、発明者は、前述した中継用電極は、個別表面電極と個別内部電極とを接続する目的だけに用いられ、電極の形状について制約を受けないことから、前記各中継用電極を、前記各個別表面電極に対して、前記積層方向において対向しかつ平行に配列すれば、前記各個別表面電極が前記各中継用電極と平面視でほぼ重なることになるので、個別内部電極との位置関係に関係なく、前記スルーホールを用いて各個別表面電極と中継用電極と接続をすることができることに着想し、本発明をなすに至ったものである。

この発明は、個別表面電極と中継用電極との接続の自由度を高め、外形の小型化を図り、かつ反り変形することの少ない積層型圧電アクチュエータを提供することを目的とする。

請求項１の発明は、積層された複数のセラミックスシートの間に、複数の個別内部電極と、その複数の個別内部電極に共通のコモン内部電極とが少なくとも１つのセラミックスシートを挟んで対向配置され、その積層された複数のセラミックスシートの一表面に、前記個別内部電極と接続された個別表面電極と前記コモン内部電極と接続されたコモン表面電極とが形成されてなり、前記個別表面電極およびコモン表面電極に、駆動信号を入力する信号線の接続端子が接続される一方、前記積層された複数のセラミックスシートの他表面に、液滴を吐出する複数のノズルに対応する複数の圧力室を配列して有するキャビティユニットが接合される積層型圧電アクチュエータであって、前記個別表面電極と個別内部電極との間の複数のセラミックスシートの間に、前記個別表面電極と個別内部電極とを接続する複数の中継用電極が配置され、前記複数の個別表面電極と前記複数の中継用電極は、前記積層方向において対向しかつ平行に配列され、隣接する前記複数の個別表面電極および前記複数の中継用電極とは前記配列方向と直交する方向において相互に異なる位置で接続され、かつ前記中継用電極が前記配列方向と直交する方向において前記圧力室が形成された領域と重なる領域まで延びていることを特徴とする。

請求項１の発明によれば、個別表面電極と個別内部電極との間の複数のセラミックスシートの間に、個別表面電極と個別内部電極とを接続する複数の中継用電極が配置され、前記複数の個別表面電極と前記複数の中継用電極とは、前記積層方向において対向しかつ平行に配列され、隣接する前記複数の個別表面電極および前記複数の中継用電極の配列方向と直交する方向において相互に異なる位置で接続し、かつ前記中継用電極が前記配列方向と直交する方向において前記圧力室が形成された領域と重なる領域まで延びているので、個別内部電極と中継用電極との接続位置に無関係に、中継用電極と個別表面電極との接続位置を分散することができ、セラミックスシートの強度が不足したり、また、変形することを抑えることができる。
また、液滴を吐出する複数のノズル列に対応する圧力室の複数の列を有するキャビティユニットに接合されるものにおいて、中継用電極を利用した個別表面電極と個別内部電極との接続の自由度を高めることができ、近年の記録速度の増加と解像度の増加の要求に対応して、ノズルの数が多くなっても、従来のように個別内部電極の列の外側に接続のための領域を広く確保する必要がないから、圧電アクチュエータとともにキャビティユニットの小型化を容易に実現できる。

請求項２に記載のように、請求項１の積層型圧電アクチュエータにおいて、前記個別表面電極が、前記中継用電極と接続する部分と対応する位置において、前記信号線の接続端子と接続される構成とすることができる。

請求項２の発明によれば、中継用電極と接続する部分と対応する位置において、個別表面電極が信号線の接続端子と接続されるので、中継用電極と接続する部分と信号線の接続端子とが直接的に接続され、電気的接続の信頼性が高まる。また、個別表面電極の配列方向と直交する方向において相互に異なる位置で個別表面電極と接続端子とが接続されるので、その接続部分どうしの間に隙間が大きく確保され、その隙間に信号線をより多く配置できるようになり、個別表面電極をより多く、あるいは高密度にできる。

請求項３に記載のように、請求項２の積層型圧電アクチュエータにおいて、前記個別表面電極および前記中継用電極が、その配列方向と直交する方向に長さを有し、その個別表面電極上の前記中継用電極と接続する部分と対応する位置に、前記信号線の接続端子と接続される接合電極を有する構成とすることができる。

請求項３の発明によれば、個別表面電極上の中継用電極と接続する部分と対応する位置において、信号線の接続端子と接続される接合電極を有するので、前記接合電極に信号線の接続端子を接続することで、中継用電極と接続する部分に信号線の接続端子を、信頼性が高くかつ簡単に接続することができる。

請求項４に記載のように、請求項３の積層型圧電アクチュエータにおいて、前記接合電極は、前記配列方向と直交する方向において千鳥状に配置されている構成とすることができる。

請求項４の発明によれば、接合電極は、前記配列方向と直交する方向において千鳥状に配置されているので、接合電極間に隙間が存在するようになり、接合電極に接続される信号線の接続端子どうしの間隔をあけることができる。

請求項５に記載のように、請求項３記載の積層型圧電アクチュエータにおいて、複数の前記中継用電極が、前記個別表面電極とは反対側に位置する前記コモン内部電極とそれぞれ同じ面積をもって対向している構成とすることができる。

請求項５の発明によれば、前記中継用電極がその配列方向と直交する方向に長さを有し、個別表面電極とは反対側に位置するコモン内部電極とそれぞれ同じ面積をもって対向しているので、中継用電極とコモン内部電極との間で発生する静電容量が複数の中継用電極において均一となり、各個別表面電極ごとの圧電アクチュエータとしての特性を揃えることができる。

請求項６に記載のように、請求項１の積層型圧電アクチュエータにおいて、前記中継用電極が、その配列方向と直交する方向に長さを有し、前記個別表面電極は、隣接する個別表面電極とは前記配列方向と直交する方向において相互に異なる位置であって、かつ前記中継用電極の長さ方向の異なる位置に対向している構成とすることができる。

このようにすれば、個別表面電極は、隣接する個別表面電極とは前記配列方向と直交する方向において相互に異なる位置であって、かつ前記中継用電極の長さ方向の異なる位置に対向しているので、各個別表面電極は、個別表面電極間に隙間が存在するように配置される。

請求項７に記載のように、請求項６の積層型圧電アクチュエータにおいて、前記個別表面電極上の前記中継用電極と接続する部分と対応する位置に、前記信号線の接続端子と接続される接合電極を有する構成とすることができる。

このようにすれば、個別表面電極上の中継用電極と接続する部分と対応する位置に、信号線の接続端子と接続される接合電極を有するので、前記接合電極に信号線の接続端子を接続することで、中継用電極と接続する部分に信号線の接続端子を、信頼性が高くかつ簡単に接続することができる。

請求項８に記載のように、請求項７の積層型圧電アクチュエータにおいて、前記接合電極が、前記配列方向と直交する方向において千鳥状に配列されており、前記各個別表面電極は、前記配列方向において、前記接合電極よりも長く、かつ幅広に形成されている構成とすることができる。

このようにすれば、各個別表面電極は、前記配列方向において、接合電極よりも長く、かつ幅広に形成され、前記個別表面電極が前記接合電極の周囲に広い面積でもって形成されていることになるので、信号線の接続端子をハンダ等の導電性ろう材を用いて前記接合電極に接続する際に、ろう材が流動しても個別表面電極上で止められ、隣接する接合電極へ流れて短絡するのが回避される。

その場合、請求項９に記載のように、請求項８に記載の積層型圧電アクチュエータにおいて、前記各個別表面電極の前記配列方向の長さは、前記個別表面電極の配列方向の間隔よりも長いことが望ましい。

このようにすれば、個別表面電極の前記配列方向の長さをできるだけ長く確保され、前記配列方向において、接合電極の、個別表面電極に対する位置ズレの許容量を増加させることができる。

また、請求項１０に記載のように、請求項８に記載の積層型圧電アクチュエータにおいて、前記各個別表面電極の前記配列方向の長さは、前記配列方向と直交する方向の隣接する個別表面電極と、前記配列方向と直交する方向において対向する部分を有する長さとされていることが望ましい。

このようにすれば、前記配列方向において、接合電極の、個別表面電極に対する位置ズレの許容量を増加させることができる。

請求項１１に記載のように、請求項１〜１０のいずれかの積層型圧電アクチュエータにおいて、前記複数の個別内部電極、前記コモン内部電極、前記複数の中継用電極、及び前記複数の個別表面電極とコモン表面電極をそれぞれ表面に形成した各セラミックスシートが積層され、前記積層方向の前記個別内部電極と前記中継用電極とが、また前記中継用電極と前記個別表面電極とが、それぞれそれらの間のセラミックスシートを貫通したスルーホールに充填された導電材料によって接続されている構成とすることができる。

請求項１１の発明によれば、前記積層方向の前記個別内部電極と前記中継用電極とが、また前記中継用電極と前記個別表面電極とが、それぞれそれらの間のセラミックスシートを貫通したスルーホールに充填された導電材料により、セラミックスシートを積層することによって簡単に接続される。また、上記のように中継用電極と個別表面電極との接続位置を配列方向と直交する方向において相互に異なる位置で、自由に設定することができるから、スルーホールの間隔を大きくとることができ、焼成にともなうセラミックスシートの変形を抑えることができる。

請求項１２に記載のように、請求項１〜１１のいずれかの積層型圧電アクチュエータにおいて、前記キャビティユニットが、前記圧力室の列を複数列備え、前記個別内部電極は、前記圧力室の複数列に対応して複数列あり、前記コモン内部電極は、前記複数列の個別内部電極と前記積層方向に対向しかつその配列方向に延び、前記中継用電極及び個別表面電極は、前記複数列の個別内部電極と対応して複数列あり、前記コモン表面電極は、前記個別表面電極と同一平面に、その個別表面電極の配列方向と直交する端部に沿って、複数列の並び方向に長く形成されている構成とすることができる。

請求項１２の発明によれば、コモン表面電極とコモン内部電極との接続を確保して、中継用電極を利用した個別表面電極と個別内部電極との接続の自由度を高めることができ、記録速度の増加と解像度の増加の要求に対応して、ノズルの数が多くなっても、圧電アクチュエータとともにキャビティユニットの小型化を容易に実現できる。
また、請求項１３の発明は、積層された複数のセラミックスシートの間に、複数の個別内部電極と、その複数の個別内部電極に共通のコモン内部電極とが少なくとも１つのセラミックスシートを挟んで対向配置され、その積層された複数のセラミックスシートの一表面に、前記個別内部電極と接続された個別表面電極と前記コモン内部電極と接続されたコモン表面電極とが形成されてなり、前記個別表面電極およびコモン表面電極に、駆動信号を入力する信号線の接続端子が接続される積層型圧電アクチュエータであって、前記個別表面電極と個別内部電極との間の複数のセラミックスシートの間に、前記個別表面電極と個別内部電極とを接続する複数の中継用電極と、前記中継用電極と個別内部電極とを接続する導通用電極とが配置され、前記複数の個別表面電極と前記複数の中継用電極は、それらの電極の各配列方向と直交する方向に長く延び、前記積層方向において対向しかつ平行に配列され、隣接する前記複数の個別表面電極および前記複数の中継用電極とは前記配列方向と直交する方向において相互に異なる位置で接続され、かつ前記中継用電極が前記導通用電極よりも前記配列方向と直交する方向において長いことを特徴とする。

以上のように構成したから、個別表面電極と個別内部電極との間の複数のセラミックスシートの間に、個別表面電極と個別内部電極とを接続する複数の中継用電極が配置され、前記複数の個別表面電極と前記複数の中継用電極とは、前記積層方向において対向しかつ平行に配列され、隣接する前記複数の個別表面電極および前記複数の中継用電極の配列方向と直交する方向において相互に異なる位置で接続しているので、個別内部電極と中継用電極との接続位置と無関係に、中継用電極を利用した個別表面電極と個別内部電極との接続位置を分散することができ、セラミックスシートの強度が不足したり、また、変形することを抑えることができる。また、近年の記録速度の増加と解像度の増加の要求に対応して、ノズルの数を多くし、前記個別表面電極の数が多くなっても、従来のように個別内部電極の列の外側に接続のための領域を広く確保する必要がないから、圧電アクチュエータのを容易に実現できる。

以下、本発明の実施の形態を図面に沿って説明する。なお、本発明に係る積層型圧電アクチュエータが用いられるインクジェットヘッドは、カラー記録用で、具体的に図示しないが、記録用紙の搬送方向Ｙ（副走査方向）と直交する方向Ｘ（主走査方向）に往復移動するキャリッジに搭載される。そして、そのインクジェットヘッドには、例えば、キャリッジ上に搭載されるインクカートリッジから、あるいはプリンタ本体内に設置されたインクタンクからインク供給パイプ及びキャリッジ上に搭載されたダンパータンクを介して、４色のカラーインク（シアン、マゼンタ、イエロー、ブラック）が供給されるように構成されている。

図１は本発明を適用するインクジェットヘッドの上面にフレキシブルフラットケーブルが接合された状態を示す斜視図、図２はキャビティユニット等の斜視図、図３はキャビティユニットの要部の部分拡大斜視図である。

図１に示すように、インクジェットヘッド１は、液滴を吐出する複数のノズル列に対応する圧力室の複数の列を有するキャビティユニット２と、その上側に接着されるプレート型の圧電アクチュエータ３とを備え、その圧電アクチュエータ３の上面側に駆動信号を入力するためのフレキシブルフラットケーブル４が接合されるようになっている。
（キャビティユニット２の構造）
キャビティユニット２は、８枚の扁平なプレートをそれぞれ積み重ねて接着してなる積層構造体で、図２に示すように、下側から順に、ノズルプレート１１、カバープレート１２、ダンパープレート１３、下側及び上側マニホールドプレート１４，１５、下側及び上側スペーサプレート１６，１７及び、圧力室１８ａが形成されているベースプレート１８
を備える。なお、合成樹脂材料からなるノズルプレート１１を除き、各プレート１２〜１８は、４２％ニッケル合金鋼板で形成され、それぞれ５０μｍ〜１５０μｍ程度の板厚を有する。

キャビティユニット２の下面を構成するノズルプレート１１には、多数のインク吐出用のノズル１１ａ（２５μｍ程度の孔径）がＹ方向に沿って列状に配置されてなる５つのノズル列Ｎ（図２に３列のみ図示）が設けられている。

下側及び上側マニホールドプレート１４，１５には、Ｙ方向に細長い貫通孔が各ノズル列Ｎに対応して厚さ方向に貫通するように形成され、下側スペーサプレート１６とダンパープレート１３とに挟まれることにより、前記貫通孔が５つのマニホールド室１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ，１９ｅ（共通インク室）となる。なお、マニホールド室１９ａ，１９ｂ，１９ｃは、それぞれシアンインク（Ｃ）用、イエローインク（Ｙ）用、マゼンタインク（Ｍ）用とされ、マニホールド室１９ｄ，１９ｅはブラックインク（ＢＫ）用とされる。

図２において、ベースプレート１８のＹ方向の一端部には４つのインク供給孔２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄが並んで設けられ、インク供給孔２１ａ，２１ｂ，２１ｃはマニホールド室１９ａ，１９ｂ，１９ｃに、インク供給孔２１ｄは２つのマニホールド室１９ｄ，１９ｅにそれぞれインクを供給するものである。そして、図２に示すように、上側スペーサプレート１７及び下側スペーサプレート１６の一端部に、インク供給孔２１ａ〜２１ｄに上流端が連通するインク供給通路部２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄが穿設されている。そして、インク供給通路部２２ａ，２２ｂ，２２ｃの下流端は対応するマニホールド室１９ａ，１９ｂ，１９ｃの一端部に、インク供給通路部２２ｄの下流端はマニホールド室１９ｄ，１９ｅの一端部にそれぞれ連通している。

また、ダンパープレート１３の下面側には、平面視で各マニホールド室１９ａ〜１９ｅの形状に対応し下方に開口する６つの凹溝部が形成され、その凹溝部の開口部分がカバープレート１２にて塞がれて密閉状態のダンパー室２３とされる。この構成により、圧電アクチュエータ３の駆動で圧力室１８ａに圧力波が伝播されるが、その圧力波のうちマニホールド室１９ａ〜１９ｅの方向に向かう後退成分を、各ダンパー室２３の壁厚の薄い部分の振動により吸収し、いわゆるクロストークが発生することを防止することができるようになっている。

下側スペーサプレート１６には、図３に示すように、ノズル列Ｎの各ノズル１１ａに対応する絞り部２４が形成されている。この絞り部２４はＸ方向に延びる細幅の凹溝状である。この各絞り部２４の一端は、上側マニホールドプレート１５のマニホールド室１９ａ〜１９ｅのうち対応するものに連通し、各絞り部２４の他端は、上側スペーサプレート１７において上下方向に貫通する連通孔２５に連通する。

カバープレート１２、ダンパープレート１３、下側及び上側マニホールド１４，１５、下側及び上側スペーサプレート１６，１７には、それぞれ、各ノズル列Ｎ毎にノズル１１ａに連通する連通孔２５が、マニホールド室１９及びダンパー室２３と上下に重ならない位置で上下に貫通するように形成されている。

また、ベースプレート１８には、Ｘ方向に細長く延び厚さ方向に貫通する圧力室１８ａがノズル１１ａの個数に対応して、各ノズル列Ｎ毎に形成されている。各圧力室１８ａの長手方向の一端は、上側スペーサプレート１７の連通孔２５に連通しており、各圧力室１８ａの長手方向の他端は、各プレート１２〜１７を貫通して形成される連通路２６に連通している。各列の圧力室１８ａは隔壁２７を介してＹ方向に一定の配列ピッチＰ（図３参照）でもって配置されている。各圧力室１８ａは隣接する列の圧力室１８ａに対してＹ方向に半ピッチＰ／２だけずれ、いわゆる千鳥状に配列されている。

これにより、各インク供給孔２１ａ〜２１ｄから各マニホールド室１９ａ〜１９ｅ内に流入したインクは、絞り部２４、連通孔２５を通って各圧力室１８ａ内に分配されたのち、各圧力室１８ａ内から連通路２６を通って、それぞれの圧力室１８ａに対応するノズル１１ａに至り、液滴として吐出されるという構成になっている。
（圧電アクチュエータ３の構造）
圧電アクチュエータ３は、図４に示すように、表面に複数の個別内部電極３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３６Ｅのパターンが形成される第１のセラミックスシート３１と、表面にコモン内部電極３７のパターンが形成される第２のセラミックスシート３２が交互に３枚ずつ積層された部分の上側に、導通用ダミーセラミックスシート３３を積層し、さらにその上側に、個別表面電極３８Ａ，３８Ｂ，３８Ｃ，３８Ｄ，３８Ｅとコモン表面電極３９Ａ，３９Ｂとが表面に形成されているトップセラミックスシート３４を積層する一方、前記第１及び第２のセラミックスシート３１，３２の積層部分の下側に、上面全体に亘ってコモン表面電極７１が形成され最下層となる第３のセラミックスシート３５を積層してなる積層型である。ダミーセラミックスシート３３及びトップセラミックスシート３４は、拘束層、すなわち後述するように第１及び第２のセラミックスシート３１，３２の活性部が変位するとき、圧力室１８ａと反対側への変位を抑え圧力室１８ａ側に変位を多く向けるようにするものである。

それらのシート３１〜３５は、それぞれ強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ（ＰｂＴｉＯ3・ＰｂＺｒＯ3））系のセラミックス粉末、バインダ、溶剤を混合した混合液を調製し、シート状に広げて乾燥させグリーンシートを形成する。これらのグリーンシート上に、上記の各電極となる導電材料（銀−パラジュウム系の導電性ペースト）をスクリーン印刷等によって形成する。そして、これらのグリーンシートを積層して、焼成されて一体化される。その後、個別電極とコモン電極との間に、公知のように分極処理用の高電圧が印加され、その両電極に挟まれたセラミックスシートが分極処理されて、いわゆる圧電特性（駆動電圧の印加によって変位する性質）が付与される。なお、各セラミックスシート３１〜３５は、１枚の厚さが３０μｍ程度である。導通用ダミーセラミックスシート３３、トップセラミックスシート３４及び第３のセラミックスシート３５は圧電特性を発揮しない他の材料でも形成してもよく、電気的絶縁性を有すればよい。
−第１のセラミックスシート３１−
第１のセラミックスシート３１の表面には、図５に示すように、その表面に沿って各圧力室１８ａに対応して個別内部電極３６Ａ〜３６Ｅが５列配置される。各個別内部電極３６Ａ〜３６Ｅは、各圧力室１８ａとほぼ同じ長さで、平面視で重複しかつ各圧力室１８ａよりもやや狭い幅の直線状の直線部３６Ａａ〜３６Ｅａを有する。また、それぞれ平面視で直線部３６Ａａ〜３６Ｅａの一端部に屈曲部３６Ａｂ〜３６Ｅｂを介して、圧力室１８ａの外方に位置している平面視矩形状の導通部３６Ａｃ〜３６Ｅｃが連接されている。

中央に位置する列を構成する個別内部電極３６Ｃａ，３６Ｃｂは、圧力室１８ａの外側端部に対応する直線部３６Ｃａａ，３６Ｃｂａの端部に、外方に延びる屈曲部３６Ｃａｂ，３６Ｃｂｂを介して交互に導通部３６Ｃａｃ，３６Ｃｂｃが互いに反対方向に延びるように連接されている。

その個別内部電極３６Ｃａ，３６Ｃｂの外側に位置する列を構成する個別内部電極３６Ｂ，３６Ｄは、圧力室１８ａの外側端部に対応する直線部３６Ｂａ，３６Ｄａの端部に、外方に延びる屈曲部３６Ｂｂ，３６Ｄｂを介し導通部３６Ｂｃ，３６Ｄｃが連接されている。その個別内部電極３６Ｂ，３６Ｄの外側に位置する列を構成する個別内部電極３６Ａ，３６Ｅは、圧力室１８ａの内側端部に対応する直線部３６Ａａ，３６Ｅａの端部に、外
方に延びる屈曲部３６Ａｂ，３６Ｅｂを介し導通部３６Ａｃ，３６Ｅｃが連接されている。そして、図５に示すように、導通部３６Ａｃと導通部３６Ｂｃと、及び導通部３６Ｄｃと導通部３６Ｅｃとは、配列方向において、圧力室１８ａの配列ピッチＰの半分のピッチずつずれ、圧力室１８ａ、１８ａの間の隔壁２７の延長位置の上方に対応して配置されている。

また、個別内部電極３６Ａ〜３６Ｅの導通部３６Ａｃ〜３６Ｅｃは、上下に隣接する第２のセラミックスシート３２に列状に配置された導通用電極４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ，４１Ｄ，４１Ｅ，４１Ｆあるいは導通用ダミーシート３３に列状に配置された中継用電極４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄ，４２Ｅ，４２Ｆとそれぞれ少なくとも一部が平面視で重なる配置とされている。

さらに、第１のセラミックスシート３１には、第２のセラミックスシート３２におけるコモン内部電極３７（３７Ａ〜３７Ｆ）と平面視で一部重複する個所であって、第１のセラミックスシート３１の広幅面における短辺及び長辺に沿う外周部位等にダミーコモン電極４３が形成されている。
−第２のセラミックスシート３２−
第２のセラミックスシート３２の表面には、図６に示すように、各圧力室１８ａに対してコモン内部電極３７が共通に配置されている。このコモン内部電極３７は、複数列の個別内部電極３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃと前記積層方向において対向しかつその配列方向に延びている５つの第１の帯状部分３７Ａ，３７Ｂ，３７Ｃ，３７Ｄ，３７Ｅと、それらの端部をシート端部において連結する第２の帯状部分３７Ｆ，３７Ｇとを有する。

また、第１の帯状部分３７Ａ〜３７Ｅの間には、各個別内部電極３６Ａ〜３６Ｅの導通部３６Ａｃ〜３６Ｅｃに対応して導通用電極４１Ａ〜４１Ｆが列状に配置されている。コモン内部電極３７は、列状に配置される各導通用電極４１Ａ〜４１Ｆを囲んで形成されていることになる。

なお、中央に位置する導通用電極４１Ｃ，４１Ｄは配列方向の配列ピッチが、両側に配置される導通用電極４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｅ，４１Ｆの配列ピッチの２倍のピッチとされ、２列の導通用電極４１Ｃ，４１Ｄで、中央に位置する個別内部電極３６Ｃａ，３６Ｃｂの列に対応している。
−導通用ダミーセラミックスシート３３−
導通用ダミーセラミックスシート３３の表面には、第２のセラミックスシート３２と同様に、図７に示すように、各個別内部電極３６Ａ〜３６Ｅとシート積層方向において対向しかつ平行に、中継用電極４２Ａ〜４２Ｆがそれぞれ列状に配置されている。

中央に位置する中継用電極４２Ｃ，４２Ｄは配列方向の配列ピッチが、両側に配置される中継用電極４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｅ，４２Ｆの配列ピッチの２倍のピッチとされ、２列の中継用電極４２Ｃ，４２Ｄが、中央に位置する個別内部電極３６Ｃａ，３６Ｃｂの列に対応している。また、中央に位置する中継用電極４２Ｃ，４２Ｄは平面視矩形状である。

両側に位置する２列の中継用電極４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｅ，４２Ｆはそれぞれ、圧力室１８ａ，１８ａ間の隔壁２７の上方に対応する直線部４２Ａａ，４２Ｂａ，４２Ｅａ，４２Ｆａの端部に、直線部４２Ａａ，４２Ｂａ，４２Ｅａ，４２Ｆａより幅広で導通用電極４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｅ，４１Ｆに後述のスルーホール５３Ａを通じて接続される矩形の導通電極部４２Ａｂ，４２Ｂｂ，４２Ｅｂ，４２Ｆｂが形成される形状となっている。

さらに、導通用ダミーセラミックスシート３３の上面の短辺に沿う部位つまり中継用電極４２Ａ〜４２Ｆの配列方向と直交する端部に沿って複数列の並び方向に長く、セラミックスシート３２におけるコモン内部電極３７の一部（帯状部分３７Ｆ，３７Ｇ）及び圧電セラミックスシート３１におけるダミーコモン電極４３の一部にそれぞれ平面視で重複する位置にコモン内部電極用の中継用電極４４Ａ，４４Ｂが形成されている。
−トップセラミックスシート３４−
トップセラミックスシート３４の表面には、図８に示すように、その表面に沿って、各中継用電極４２Ａ〜４２Ｆに対応して個別表面電極３８Ａ，３８Ｂ，３８Ｃａ，３８Ｃｂ，３８Ｄ，３８Ｅが複数列配置され、コモン表面電極３９Ａ，３９Ｂは、トップセラミックスシート３４の表面における個別表面電極３８Ａ〜３８Ｅの配列方向と直交する端部に沿って、複数列の並び方向に長く形成されている。

中央に位置する各個別表面電極３８Ｃａ，３８Ｃｂは、Ｘ方向に延びる第１の部分３８Ｃａａ，３８Ｃｂａと、その第１の部分の内側端部に接続されＹ方向に延びる第２の部分３８Ｃａｂ，３８Ｃｂｂとを有する平面視Ｔ字形状である。そして、この個別表面電極３８Ｃａ，３８Ｃｂは、互いに他の列の個別表面電極に対して半ピッチずれて、千鳥状に配置されている。第１の部分３８Ｃａａ，３８Ｃｂａの端部部分上には、後述するフレキシブルフラットケーブル４の接続端子と接続される接合電極３８Ｃａｃ，３８Ｃｂｃ（図８のハッチング部分参照）が形成されている。

外側に位置する個別表面電極３８Ａ，３８Ｂ，３８Ｄ，３８Ｅは、平面視で直線状で、隣接する個別表面電極３８Ａ，３８Ｂ，３８Ｄ，３８Ｅとは半ピッチずつずれるように、千鳥状に配置されている。そして、各列の個別表面電極３８Ａ，３８Ｂ，３８Ｄ，３８Ｅには、配列方向において交互に個別表面電極の両端に位置するように、すなわち千鳥状に、後述するフレキシブルフラットケーブル４の接続端子と接続される接合電極３８Ａａ，３８Ｂａ，３８Ｄａ，３８Ｅａ（図８のハッチング部分参照）が形成されている。

そして各個別表面電極３８Ａ〜３８Ｅは、各個別内部電極３６Ａ〜３６Ｅにおける各直線部３６Ａａ〜３６Ｅａと略平行であって、その各下方に並列状に位置する相隣接する圧力室１８ａ、１８ａの間の隔壁２７（図３参照）の上方に位置される。従って、圧力室１８ａのＹ方向の配列ピッチＰと同じピッチにて個別内部電極３６Ａ〜３６Ｅが配置され、かつ圧力室１８ａの配置と半ピッチずれて個別表面電極３８Ａ〜３８Ｅが配置されることになる。これは、個別表面電極３８Ａ〜３８Ｅにフレキシブルフラットケーブル４の接続端子を接続する際の押圧力を隔壁２７で受け、圧力室１８ａ上方のセラミクスシートに押圧力が作用し破壊しないようにするためである。

コモン表面電極３９Ａ，３９Ｂは、トップセラミックスシート３４上にその短辺に沿って長く形成され、その表面上に長手方向に沿って、フレキシブルフラットケーブル４の接続端子と接続される複数の接合電極３９Ａａ，３９Ｂａ（図８のハッチング部分参照）が形成されている。

圧電アクチュエータを前述のように焼成したとき、表面電極も高温で処理され、表面電極へのフレキシブルフラットケーブル４の接続端子のハンダ接合性が低下するため、表面電極（銀−パラジュウム系）上に銀系の接合電極３８Ａａ，３８Ｂａ，３８Ｃａｃ，３８Ｃｂｃ，３８Ｄａ，３８Ｅａ，３９Ａｂ，３９Ｂｂを付着させてフレキシブルフラットケーブル４の接続端子との接合性を改善している。

個別表面電極３８Ｃａ，３８Ｃｂの列の間には、電気的な導通に関与しない複数のダミー表面電極５１が規則的に設けられている。個別表面電極３８Ｂ，３８Ｃａの間の部分、個別表面電極３８Ｃｂ，３８Ｄの間の部分、個別表面電極３８Ａ，３８Ｅの外側部分にも、電気的な導通に関与しないダミー表面電極５１が設けられている。

なお、前述したダミー表面電極５１は、各シートを一体化するためにプレスする際に、一様に加圧して接合力が低下しないように、表面電極が設けられている部分にバランスよく配置すればよく，図８に示す配置のものに制限されるものではない。
−第３の圧電セラミックスシート３５−
前述したように上面全体に亘ってコモン内部電極７１が形成されている（図４参照）。−スルーホール５３Ａ−
最下層の第３のセラミックスシート３５を除き、第１及び第２のセラミックスシート３１，３２及び導通用ダミーシート３３、トップセラミックスシート３４には、図１０（ａ）（ｂ）に示すように、シート厚さ方向に貫通し内部導通電極５２Ａとなる導電性ペーストが充填される複数のスルーホール５３Ａが穿設されている。そして、各個別表面電極３８Ａ〜３８Ｅ，各個別内部電極３６Ａ〜３６Ｅの導通部３６Ａｃ〜３６Ｅｃ、導通用電極４１Ａ〜４１Ｆ及び中継電極４２Ａ〜４２Ｆは、それぞれを上下方向に電気的に接続するために、セラミックスシート３１，３２，３３，３４のスルーホール５３Ａ内の内部導通電極５２Ａを介してそれぞれ電気的に接続されている(図１０，図１１参照)。

また、セラミックスシート３１，３２，３３及び３４には、コモン表面電極３９Ａ，３９Ｂ、コモン内部電極３７（３７Ａ〜３７Ｅ），７１とダミーコモン電極４３、コモン内部電極用の導通用電極４４Ａ，４４Ｂとの複数箇所を上下方向に電気的に接続するために、電極３９Ａ，３９Ｂ，３７，７１，４３，４４Ａ，４４Ｂの位置において、上記と同様に各セラミックスシート３１，３２，３３及び３４の厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極が形成されている。

これらの場合、各内部導通電極５２Ａは、上下に隣接するセラミックスシート３１〜３４の部位で平面視で上下に重複しない位置に適宜距離だけ隔てて形成されている。これは、セラミックスシートの元材料であるグリーンシートにスルーホール５３Ａが形成され、その後、表面に導電材料をスクリーン印刷等する際に、導電材料がスルーホール内に流れ込んで内部導通電極５２Ａが形成されるので、内部導通電極５２Ａは表面側を開口した中空状になり（図１０(ｂ)参照）、上層のシートのスルーホールがこれと同軸上に重なると、内部導通電極５２Ａ同士の接触面積が減少してしまうので、これを回避するためである。スルーホール内にカップ状に形成された内部導通電極５２Ａの底部を、下層シートの平面状の電極４２Ａ（４１Ａ）に面接触させて、電気的な導通を確実にするのである。

個別表面電極３８Ａ，３８Ｂ，３８Ｄ，３８Ｅと中継用電極４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｄ，４２Ｅは、それらの電極の各配列方向と直交する方向に長く延び、前記積層方向において対向しかつ平行に配列されおり、その配列方向と直交する方向において隣接する個別表面電極３６Ａ〜３６Ｅおよび中継用電極４２Ａ〜４２Ｅと相互に異なる位置で接続されている。具体的には、図１１に示すように、個別表面電極３８Ａとそれに対向する中継用電極４２Ａとは、それらの長手方向一端でスルーホール内の内部導通電極５２Ａによって接続され、それらに隣接する個別表面電極３８Ａと中継用電極４２Ａとは、それらの長手方向他端で内部導通電極５２Ａによって接続される。つまり、配列方向において、電極の両端に交互に千鳥状に接続される。このように相互に異なる位置で接続されるので、多数のスルーホールが配列方向に隣接して並ぶことなく分散配置することができ、セラミックスシートを焼成する際に、スルーホールを基点としてセラミックスシートが反り変形することを抑えることができる。また、近年の記録速度の増加と解像度の増加の要求に対応して、ノズルの数を多くし、個別表面電極３８Ａ〜３８Ｅの数が多くなっても、従来のように個別内部電極の列の外側に接続のための領域を広く確保する必要がないから、圧電アクチュエータの小型化を容易に実現できる。また、個別表面電極３６Ａ〜３６Ｅと中継用電極４２Ａ〜４２Ｅとは、前記積層方向において対向しかつ平行に配列されているので、個別表面電極３６Ａ〜３６Ｅとコモン内部電極３７，７１との間で、変位に関係しない静電容量もバランスされる。

また、複数の中継用電極４２Ａ〜４２Ｅは、相互に同じ長さ、幅に形成されて配列されてているので、その下に位置するコモン電極３７Ａ〜３７Ｅと同じ面積をもって積層方向に対向することになり、その両電極間の静電容量が均一になる。この静電容量は、個別内部電極の直線部３６Ａａとは半ピッチずれて位置しているので、吐出のための変位には寄与しない。この静電容量が均一になることで、各個別表面電極毎３８Ａごとの圧電アクチュエータとしての特性が揃う。

ところで、個別表面電極３８Ａ〜３８Ｅ上の接合電極３８Ａａ，３８Ｂａ，３８Ｃａｃ，３８Ｃｂｃ，３８Ｄａ，３８Ｅａは、内部導通電極５２Ａの上端開口部を覆って形成され、配列方向において、電極３８Ａ〜３８Ｅの両端に交互に千鳥状に接続されている。この際に接合電極３８Ａａ〜３８Ｅａが内部導通電極５２Ａの内部まで充填されることで、内部導通電極５２Ａがスルーホール内において極めて厚さが薄くなっていたとしても、その部分を補強し、電気的断線を確実に防ぐことができる。
−フレキシブルフラットケーブル４−
フレキシブルフラットケーブル４は、トップセラミックスシート３４の上面に重ねられ、ノズル列と直交する方向（Ｘ方向）に外方へ突出して配置される（図１参照）。フレキシブルフラットケーブル４は、電気絶縁性を有し、可撓性の合成樹脂材（例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂）からなる帯状のベース材１００の片面に、個別電極用の接合電極３８Ａａ〜３８Ｅａと対応して銅箔からなる接続端子４８Ａ，４８Ｂ，４８Ｃ，４８Ｄ，４８Ｅ並びにそれらに接続される微細な信号線４６が設けられている。また、コモン電極用の接合電極３９Ａｂ，３９Ｂｂと対応した位置に接続端子４９Ａ，４９Ｂ並びにそれらに接続される帯状（配線４６よりも幅の広い）の信号線４７がフレキシブルフラットケーブル４の両側縁に沿って設けられている（図９参照）。これらの接続端子及び配線は、フォトレジスト法等により形成され、これらの表面が電気絶縁性を有し、可撓性の合成樹脂材（例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂）からなるカバーレイ１０２にて被覆されている。

接続端子４８Ａ〜４８Ｅ，４９Ａ，４９Ｂは、ベース材１００から露出され、コモン電極用及び個別電極用の接合電極３８Ａａ〜３８Ｅａ，３９Ａｂ，３９Ｂｂと導電性ろう材（たとえばハンダ）４５により接合される。この信号線の他端はベース材１００に搭載された駆動用の集積回路１０１に電気的に接合されており、圧電アクチュエータに選択的に駆動信号を供給することができる。

接続端子４８Ａ〜４８Ｅは、個別電極用の接合電極３８Ａａ〜３８Ｅａと対応して各列ごとに千鳥状に配列され、さらに、隣接する列に対しても千鳥状に配列されているから、接続端子４８Ａ〜４８Ｅどうしの間隔を広くとることができ、その間隔に信号線４６を相互に干渉することなく配線することができる。
（圧電アクチュエータの機能）
セラミックスシートの積層方向における個別内部電極３６Ａ〜３６Ｅとコモン内部電極３７，７１との間のセラミックスシート３１，３２が活性部（エネルギー発生手段）として機能する。つまり、任意の個別内部電極３６Ａ〜３６Ｅとコモン内部電極３７，７１との間に電圧を印加することにより、それらの間のセラミックスシート３１，３２（活性部）を変位させて圧力室１８ａ内のインクに吐出圧力を与え、ノズル１１ａからインク液滴を吐出する。

このような活性部（エネルギー発生手段）は、圧力室１８ａの数と同一の数で同一の列にてそれに対応する位置に形成される。即ち、前記活性部は、ノズル１１ａ（圧力室１８
ａ）の配列方向（Ｙ方向）に沿って配置され、かつノズル列の数（５つ）と同じ数だけ、Ｘ方向に配置されることになる。また、各活性部は、Ｘ方向に圧力室１８ａの長手方向に長く形成され、かつ隣接する活性部の配置間隔は圧力室１８ａの配置間隔と同様であって、千鳥状に配列されることになる。

図１２は他の実施の形態を示すものである。この実施の形態では、個別内部電極３６Ａは、圧力室１８ａと対応して位置する直線部３６Ａａ〜３６Ｅａの延長位置に導通部３６Ａｃを有する。導通用電極４１Ａ、ダミーセラミックスシート３３の導通電極部４２Ａｂは、導通部３６Ａｃと平面視において重なる位置に配置される。ダミーセラミックスシート３３の中継用電極４２Ａは、直線部４２Ａａを導通電極部４２Ａｂから圧力室１８ａの配列方向において、その配列ピッチの半分のピッチずれ、圧力室１８ａ、１８ａの間の隔壁２７の上方に延出されている。個別表面電極３８Ａは、直線部４２Ａａの上方に対応して配置され、スルーホール内の導通用電極５２Ａによって直線部４２Ａａと、前記実施の形態と同様に配列方向において交互に電極の両端位置で接続されている。なお、他の個別内部電極３６Ｂ〜３６Ｅと個別表面電極３８Ｂ〜３８Ｅとの接続も、同様の構成である。この実施の形態においても前記実施の形態と同様の作用効果を奏する。

図１３及び図１４（ａ）（ｂ）はさらに他の実施の形態を示すものである。この実施の形態では、中継用電極４２Ａが、その配列方向Ｙと直交する方向Ｘに長さを有するが、個別表面電極３８Ａ’は、Ｘ方向の長さを中継用電極４２Ａの約半分以下としている。個別表面電極３８Ａ’は、中継用電極４２Ａの配列方向において中継用電極４２Ａの直線部４２ＡａのＸ方向両端に交互に対応して位置、すなわち千鳥状に配置されている。つまり、個別表面電極３８Ａ’は、隣接する個別表面電極３８Ａ’とは前記配列方向Ｙと直交する方向Ｘにおいて位置がずれ、相互に異なる位置となっている。また、個別表面電極３８Ａ’は、隣接する個別表面電極３８Ａ’とは中継用電極４２Ａの長さ方向においても位置がずれ、その長さ方向の異なる位置に対向している。

そして、個別表面電極３８Ａ’上の、中継用電極４２Ａと接続する部分（スルーホール内の導通用電極５２Ａ）と対応する位置に、信号線４６の接続端子４８Ａ〜４８Ｅと接続される接合電極３８Ａａが配置されている。この接合電極３８Ａａは、図９に示すように千鳥状に配列される接続端子４８Ａ〜４８Ｅに対応して、前記配列方向と直交する方向Ｘにおいて千鳥状に配列されている。そして、各個別表面電極３８Ａ’は、前記配列方向Ｙにおいて、接合電極３８Ａａよりも長く、かつ幅広に形成されている。このように各個別表面電極３８Ａ’が接合電極３８Ａａの周囲に広い面積でもって形成されることで、信号線４６の接続端子４８Ａ〜４８Ｅを接合電極３８Ａａに接合するのに用いる導電性ろう材（例えばハンダ）が接合電極３８Ａａから流れ出しても個別表面電極３８Ａ’上で確実に止まるようになっている。

各個別表面電極３８Ａ’の前記配列方向Ｙの長さは、図１４（ａ）に示すように、前記配列方向と直交する方向Ｘの隣接する個別表面電極３８Ａ’と、前記配列方向と直交する方向Ｘにおいて対向する部分を有する長さとされている。つまり、各個別表面電極３８Ａ’の前記配列方向Ｙの長さは、個別表面電極３８Ａ’の配列方向の間隔よりも長くなっており、信号線４６の接続端子４８Ａ〜４８Ｅを接合電極３８Ａａに接合する際に、前記配列方向Ｙにおいて、接合電極３８Ａａの、個別表面電極３８Ａ’に対する位置ズレの許容量を、前述した実施の形態よりも増加させるようになっている。この場合、信号線が延びる方向に接合電極の長手方向が一致するように設けられ、信号線の配線ピッチが高密度にならないようにしているが、図１４（ｂ）に示すように、接合電極３８Ａａ’を、それの長手方向が前記配列方向Ｙに合わせるように配置することもできる。このようにすれば、図１４（ｂ）において接合電極３８Ａａ’の長手方向における接合電極３８Ａａ’と個別表面電極３８Ａ’との長さの差Ｓ部分に余裕ができ、導電性ろう材の流れに対して有効になるし、平面視で隣接する圧力室の間の仕切壁部に確実に重複するようになるので、個別表面電極３８Ａ‘にフレキシブルフラットケーブル４の接続端子を接続する際の押圧力を隔壁２７で受け、セラミックシートの割れを防止することができる。

なお、図１３の実施の形態においても、図１２の実施の形態と同様に、個別内部電極３６Ａの直線部３６Ａａと導通部３６Ａｃとを直線状に形成し、中継用電極４２Ａの直線部４２Ａａと導通電極部４２Ａｂとを半ピッチずらして構成することができる。

また、他の個別内部電極３６Ｂ〜３６Ｅと個別表面電極３８Ｂ〜３８Ｅとの接続も、図１２、図１３の実施の形態と同様に構成することができる。

本発明の圧電式インクジェットヘッドのキャビティユニットと圧電アクチュエータと、フラットケーブルとを分離して示す斜視図である。 キャビティユニットの分解斜視図である。 キャビティユニットの一部分解斜視図である。 一部を省略して示す、圧電アクチュエータの分解斜視図である。 一部を省略して示す、第１の圧電セラミックスシートの平面図である。 第２の圧電セラミックスシートの平面図である。 調整用ダミーシートを示す平面図である。 トップセラミックスシートを示す平面図である。 フレキシブルフラットケーブルにおける電極配置を説明する平面図である。 （ａ）は個別内部電極〜個別表面電極の導通関係を説明する断面図、（ｂ）はスルーホールの説明図である。 個別内部電極〜個別表面電極の導通関係を説明する斜視図である。 他の実施の形態における個別内部電極〜個別表面電極の導通関係を説明する斜視図である。 さらに他の実施の形態における個別内部電極〜個別表面電極の導通関係を説明する斜視図である。 （ａ）は図１３の実施の形態における接合電極と個別表面電極との関係を説明する平面図、（ｂ）は変形例の説明図である。

符号の説明

１ インクジェットヘッド
２ キャビティユニット
３ 圧電アクチュエータ
４ フレキシブルフラットケーブル
１１ａ ノズル
１８ａ 圧力室
３１，３２ セラミックスシート
３４ トップセラミックスシート
３６Ａ〜３６Ｅ 個別内部電極
３７，７１ コモン内部電極
３８Ａ〜３８Ｅ 個別表面電極
３８Ａａ〜３８Ｅａ 接合電極
３９Ａ，３９Ｂ コモン表面電極
３９Ａａ，３９Ｂａ 接合電極
４２Ａ〜４２Ｆ 中継用電極
５２Ａ 内部導通電極
５３Ａ スルーホール

Claims (13)

1. 積層された複数のセラミックスシートの間に、複数の個別内部電極と、その複数の個別内部電極に共通のコモン内部電極とが少なくとも１つのセラミックスシートを挟んで対向配置され、その積層された複数のセラミックスシートの一表面に、前記個別内部電極と接続された個別表面電極と前記コモン内部電極と接続されたコモン表面電極とが形成されてなり、前記個別表面電極およびコモン表面電極に、駆動信号を入力する信号線の接続端子が接続される一方、前記積層された複数のセラミックスシートの他表面に、液滴を吐出する複数のノズルに対応する複数の圧力室を配列して有するキャビティユニットが接合される積層型圧電アクチュエータであって、
   前記個別表面電極と個別内部電極との間の複数のセラミックスシートの間に、前記個別表面電極と個別内部電極とを接続する複数の中継用電極が配置され、
   前記複数の個別表面電極と前記複数の中継用電極は、前記積層方向において対向しかつ平行に配列され、隣接する前記複数の個別表面電極および前記複数の中継用電極とは前記配列方向と直交する方向において相互に異なる位置で接続され、かつ前記中継用電極が前記配列方向と直交する方向において前記圧力室が形成された領域と重なる領域まで延びていることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
2. 前記個別表面電極は、前記中継用電極と接続する部分と対応する位置において、前記信号線の接続端子と接続されることを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電アクチュエータ。
3. 前記個別表面電極および前記中継用電極は、その配列方向と直交する方向に長さを有し、その個別表面電極上の前記中継用電極と接続する部分と対応する位置に、前記信号線の接続端子と接続される接合電極を有することを特徴とする請求項２に記載の積層型圧電アクチュエータ。
4. 前記接合電極は、前記配列方向と直交する方向において千鳥状に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の積層型圧電アクチュエータ。
5. 複数の前記中継用電極は、前記個別表面電極とは反対側に位置する前記コモン内部電極とそれぞれ同じ面積をもって対向していることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の積層型圧電アクチュエータ。
6. 前記中継用電極が、その配列方向と直交する方向に長さを有し、前記個別表面電極は、隣接する個別表面電極とは前記配列方向と直交する方向において相互に異なる位置であって、かつ前記中継用電極の長さ方向の異なる位置に対向していることを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電アクチュエータ。
7. 前記個別表面電極上の前記中継用電極と接続する部分と対応する位置に、前記信号線の接続端子と接続される接合電極を有することを特徴とする請求項６に記載の積層型圧電アクチュエータ。
8. 前記接合電極が、前記配列方向と直交する方向において千鳥状に配列されており、
   前記各個別表面電極は、前記配列方向において、前記接合電極よりも長く、かつ幅広に形成されていることを特徴とする請求項７に記載の積層型圧電アクチュエータ。
9. 前記各個別表面電極の前記配列方向の長さは、前記個別表面電極の配列方向の間隔よりも長いことを特徴とする請求項８に記載の積層型圧電アクチュエータ。
10. 前記各個別表面電極の前記配列方向の長さは、前記配列方向と直交する方向の隣接する個別表面電極と、前記配列方向と直交する方向において対向する部分を有する長さとされていることを特徴とする請求項８に記載の積層型圧電アクチュエータ。
11. 前記複数の個別内部電極、前記コモン内部電極、前記複数の中継用電極、及び前記複数の個別表面電極とコモン表面電極をそれぞれ表面に形成した各セラミックスシートが積層され、
    前記積層方向の前記個別内部電極と前記中継用電極とが、また前記中継用電極と前記個別表面電極とが、それぞれそれらの間のセラミックスシートを貫通したスルーホールに充填された導電材料によって接続されていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の積層型圧電アクチュエータ。
12. 前記キャビティユニットは、前記圧力室の列を複数列備え、
    前記個別内部電極は、前記圧力室の複数列に対応して複数列あり、
    前記コモン内部電極は、前記複数列の個別内部電極と前記積層方向に対向しかつその配列方向に延び、
    前記中継用電極及び個別表面電極は、前記複数列の個別内部電極と対応して複数列あり、
    前記コモン表面電極は、前記個別表面電極と同一平面に、その個別表面電極の配列方向と直交する端部に沿って、複数列の並び方向に長く形成されていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の積層型圧電アクチュエータ。
13. 積層された複数のセラミックスシートの間に、複数の個別内部電極と、その複数の個別内部電極に共通のコモン内部電極とが少なくとも１つのセラミックスシートを挟んで対向配置され、その積層された複数のセラミックスシートの一表面に、前記個別内部電極と接続された個別表面電極と前記コモン内部電極と接続されたコモン表面電極とが形成されてなり、前記個別表面電極およびコモン表面電極に、駆動信号を入力する信号線の接続端子が接続される積層型圧電アクチュエータであって、
    前記個別表面電極と個別内部電極との間の複数のセラミックスシートの間に、前記個別表面電極と個別内部電極とを接続する複数の中継用電極と、前記中継用電極と個別内部電極とを接続する導通用電極とが配置され、
    前記複数の個別表面電極と前記複数の中継用電極は、それらの電極の各配列方向と直交する方向に長く延び、前記積層方向において対向しかつ平行に配列され、隣接する前記複数の個別表面電極および前記複数の中継用電極とは前記配列方向と直交する方向において相互に異なる位置で接続され、かつ前記中継用電極が前記導通用電極よりも前記配列方向と直交する方向において長いことを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。

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